JP4211673B2 - 物質比較装置及び物質比較方法 - Google Patents
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Description
分析対象物及び参照物質に光を出射する光源と、
分析対象物で反射された又は分析対象物を透過したサンプル光と参照物質で反射された又は参照物質を透過したレファレンス光をそれぞれ分光する回折格子と、
回折格子で分光されたサンプル光を所定の波長バンドごとに偏向して反射させるサンプル光用プログラマブル回折格子と、
サンプル光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたサンプル光を波長バンドごとに通過/遮断するサンプル光用アパチャと、
回折格子で分光されたレファレンス光を所定の波長バンドごとに偏向して反射させるレファレンス光用プログラマブル回折格子と、
レファレンス光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたレファレンス光を波長バンドごとに通過/遮断するレファレンス光用アパチャと、
サンプル光とレファレンス光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、サンプル光とレファレンス光のスペクトルの差を出力するアレイ検出素子と、
各アパチャを通過したサンプル光とレファレンス光を屈折させてアレイ検出素子に到達させる屈折手段と、
アレイ検出素子からの出力に基づいて物質比較の演算を行う演算手段とを備えたものである。
分析対象物に光を出射する光源と、
分析対象物で反射された又は分析対象物を透過したサンプル光と光源から別経路でガイドされたレファレンス光をそれぞれ分光する回折格子と、
回折格子で分光されたサンプル光を所定の波長バンドごとに偏向して反射させるサンプル光用プログラマブル回折格子と、
サンプル光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたサンプル光を波長バンドごとに通過/遮断するサンプル光用アパチャと、
回折格子で分光されたレファレンス光を所定の波長バンドごとに偏向して反射させるレファレンス光用プログラマブル回折格子と、
レファレンス光の波長バンドごとのスペクトルに、予め作製しておいた参照物質の光吸収スペクトルと同じ重み付けを行うべく、レファレンス光用プログラマブル回折格子での偏向量を調節する制御手段と、
レファレンス光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたレファレンス光を波長バンドごとに通過/遮断するレファレンス光用アパチャと、
サンプル光とレファレンス光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、サンプル光とレファレンス光のスペクトルの差を出力するアレイ検出素子と、
各アパチャを通過したサンプル光とレファレンス光を屈折させてアレイ検出素子に到達させる屈折手段と、
アレイ検出素子からの出力に基づいて物質比較の演算を行う演算手段とを備えたものである。
また、上記サンプル光用プログラマブル回折格子での偏向量を調節することにより、サンプル光用アパチャを通過するサンプル光の波長バンドごとの強度を調整し、アレイ検出素子で検出するスペクトルの差を増幅させてもよい。
光源から出射された光を分析対象物に照射し、その光を反射又は透過させてサンプル光とすると共に、光の一部を参照物質に照射し、その光を反射又は透過させてレファレンス光とし、
サンプル光とレファレンス光を回折格子でそれぞれ分光し、
分光されたサンプル光をサンプル光用プログラマブル回折格子で所定の波長バンドごとに偏向、反射させ、これをサンプル光用アパチャで所定の波長バンドごとに通過/遮断すると共に、
分光されたレファレンス光をレファレンス光用プログラマブル回折格子で所定の波長バンドごとに偏向、反射させ、これをレファレンス光用アパチャで所定の波長バンドごとに通過/遮断し、
各アパチャを通過したサンプル光とレファレンス光を屈折させてアレイ検出素子に到達させると共に、
アレイ検出素子でサンプル光とレファレンス光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、
アレイ検出素子が出力したサンプル光とレファレンス光のスペクトルの差に基づいて演算手段で物質比較を行うものである。
光源から出射された光を分析対象物に照射し、その光を反射又は透過させてサンプル光とすると共に、光の一部を出射された状態のままのレファレンス光として取り出し、
サンプル光とレファレンス光を回折格子でそれぞれ分光し、
分光されたサンプル光をサンプル光用プログラマブル回折格子で所定の波長バンドごとに偏向、反射させ、これをサンプル光用アパチャで所定の波長バンドごとに通過/遮断すると共に、
分光されたレファレンス光をレファレンス光用プログラマブル回折格子で所定の波長バンドごとに偏向、反射させ、レファレンス光の波長バンドごとのスペクトルに、予め作製しておいた参照物質の光吸収スペクトルと同じ重みの重み付けを行うべく、レファレンス光用プログラマブル回折格子での偏向量を制御手段で調節し、レファレンス光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたレファレンス光をレファレンス光用アパチャで所定の波長ごとに通過/遮断し、
各アパチャを通過したサンプル光とレファレンス光を屈折させてアレイ検出素子に到達させると共に、
アレイ検出素子でサンプル光とレファレンス光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、
アレイ検出素子が出力したサンプル光とレファレンス光のスペクトルの差に基づいて演算手段で物質比較を行うものである。
この時、入射光Lとサンプル光L1との間には、
L1(λ)=L(λ)×T(λ)
ここで、T(λ)は反射率
の関係が成り立つ。光強度が減衰された波長バンドから材質が、光強度の減衰程度からその濃度がわかる。
11 光源
12a 第1光ガイド部材
12b 第2光ガイド部材
13 サンプル(分析対象物)
14 参照物質
20 マルチチャンネル分光器
22 プログラマブル回折格子(光反射偏向手段)
22a サンプル光用プログラマブル回折格子
22b レファレンス光用プログラマブル回折格子
25 アレイ検出素子
L 光
L1 サンプル光
L2 レファレンス光
Claims (10)
- 分析対象物及び参照物質に光を照射し、それらの反射光又は透過光を分光分析して、分析対象物と参照物質とが同じ物質であるかどうかを判断する装置において、
分析対象物及び参照物質に光を出射する光源と、
分析対象物で反射された又は分析対象物を透過したサンプル光と参照物質で反射された又は参照物質を透過したレファレンス光をそれぞれ分光する回折格子と、
回折格子で分光されたサンプル光を所定の波長バンドごとに偏向して反射させるサンプル光用プログラマブル回折格子と、
サンプル光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたサンプル光を波長バンドごとに通過/遮断するサンプル光用アパチャと、
回折格子で分光されたレファレンス光を所定の波長バンドごとに偏向して反射させるレファレンス光用プログラマブル回折格子と、
レファレンス光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたレファレンス光を波長バンドごとに通過/遮断するレファレンス光用アパチャと、
サンプル光とレファレンス光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、サンプル光とレファレンス光のスペクトルの差を出力するアレイ検出素子と、
各アパチャを通過したサンプル光とレファレンス光を屈折させてアレイ検出素子に到達させる屈折手段と、
アレイ検出素子からの出力に基づいて物質比較の演算を行う演算手段とを備えたことを特徴とする物質比較装置。 - 分析対象物及び参照物質に光を照射し、それらの反射光又は透過光を分光分析して、分析対象物と参照物質とが同じ物質であるかどうかを判断する装置において、
分析対象物に光を出射する光源と、
分析対象物で反射された又は分析対象物を透過したサンプル光と光源から別経路でガイドされたレファレンス光をそれぞれ分光する回折格子と、
回折格子で分光されたサンプル光を所定の波長バンドごとに偏向して反射させるサンプル光用プログラマブル回折格子と、
サンプル光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたサンプル光を波長バンドごとに通過/遮断するサンプル光用アパチャと、
回折格子で分光されたレファレンス光を所定の波長バンドごとに偏向して反射させるレファレンス光用プログラマブル回折格子と、
レファレンス光の波長バンドごとのスペクトルに、予め作製しておいた参照物質の光吸収スペクトルと同じ重み付けを行うべく、レファレンス光用プログラマブル回折格子での偏向量を調節する制御手段と、
レファレンス光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたレファレンス光を波長バンドごとに通過/遮断するレファレンス光用アパチャと、
サンプル光とレファレンス光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、サンプル光とレファレンス光のスペクトルの差を出力するアレイ検出素子と、
各アパチャを通過したサンプル光とレファレンス光を屈折させてアレイ検出素子に到達させる屈折手段と、
アレイ検出素子からの出力に基づいて物質比較の演算を行う演算手段とを備えたことを特徴とする物質比較装置。 - 上記レファレンス光用アパチャを通過するレファレンス光の波長バンドごとの強度が、分析対象物に参照物質と同じ物質を用いたときのサンプル光の波長バンドごとの強度と等しくなるように、レファレンス光用プログラマブル回折格子でのレファレンス光の偏向量を調節する請求項1記載の物質比較装置。
- 上記サンプル光用プログラマブル回折格子での偏向量を調節することにより、サンプル光用アパチャを通過するサンプル光の波長バンドごとの強度を調整し、アレイ検出素子で検出するスペクトルの差を増幅させる請求項1から3いずれかに記載の物質比較装置。
- 上記各プログラマブル回折格子が、MEMSアクチュエータを有する請求項1から4いずれかに記載の物質比較装置。
- 上記分析対象物で反射された又は分析対象物を透過したサンプル光を全て受光可能とするべく、サンプル光を回折格子にガイドする第1光ガイド部材を設けると共に、その第1光ガイド部材のサンプル光導入端に、第1光ガイド部材を走査させるスキャニング手段を設けた請求項1から5いずれかに記載の物質比較装置。
- 分析対象物及び参照物質に光を照射し、それらの反射光又は透過光を分光分析して、分析対象物と参照物質とが同じ物質であるかどうかを判断する方法において、
光源から出射された光を分析対象物に照射し、その光を反射又は透過させてサンプル光とすると共に、光の一部を参照物質に照射し、その光を反射又は透過させてレファレンス光とし、
サンプル光とレファレンス光を回折格子でそれぞれ分光し、
分光されたサンプル光をサンプル光用プログラマブル回折格子で所定の波長バンドごとに偏向、反射させ、これをサンプル光用アパチャで所定の波長バンドごとに通過/遮断すると共に、
分光されたレファレンス光をレファレンス光用プログラマブル回折格子で所定の波長バンドごとに偏向、反射させ、これをレファレンス光用アパチャで所定の波長バンドごとに通過/遮断し、
各アパチャを通過したサンプル光とレファレンス光を屈折させてアレイ検出素子に到達させると共に、
アレイ検出素子でサンプル光とレファレンス光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、
アレイ検出素子が出力したサンプル光とレファレンス光のスペクトルの差に基づいて演算手段で物質比較を行うことを特徴とする物質比較方法。 - 分析対象物及び参照物質に光を照射し、それらの反射光又は透過光を分光分析して、分析対象物と参照物質とが同じ物質であるかどうかを判断する方法において、
光源から出射された光を分析対象物に照射し、その光を反射又は透過させてサンプル光とすると共に、光の一部を出射された状態のままのレファレンス光として取り出し、
サンプル光とレファレンス光を回折格子でそれぞれ分光し、
分光されたサンプル光をサンプル光用プログラマブル回折格子で所定の波長バンドごとに偏向、反射させ、これをサンプル光用アパチャで所定の波長バンドごとに通過/遮断すると共に、
分光されたレファレンス光をレファレンス光用プログラマブル回折格子で所定の波長バンドごとに偏向、反射させ、レファレンス光の波長バンドごとのスペクトルに、予め作製しておいた参照物質の光吸収スペクトルと同じ重みの重み付けを行うべく、レファレンス光用プログラマブル回折格子での偏向量を制御手段で調節し、レファレンス光用プログラマブル回折格子で偏向、反射されたレファレンス光をレファレンス光用アパチャで所定の波長ごとに通過/遮断し、
各アパチャを通過したサンプル光とレファレンス光を屈折させてアレイ検出素子に到達させると共に、
アレイ検出素子でサンプル光とレファレンス光の波長バンドごとのスペクトルを交互に検出し、
アレイ検出素子が出力したサンプル光とレファレンス光のスペクトルの差に基づいて演算手段で物質比較を行うことを特徴とする物質比較方法。 - サンプル光とレファレンス光の波長バンドごとのスペクトルが交互にアレイ検出素子で検出されるように、各プログラマブル回折格子で各光を偏向、反射させる際、各プログラマブル回折格子の偏向制御を同期させて行う請求項7又は8記載の物質比較方法。
- 分析対象物で反射した又は分析対象物を通過したサンプル光の受光を2次元的に走査して行い、物質比較を2次元的に行う請求項7から9いずれかに記載の物質比較方法。
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