JP2005172626A - 変調マルチチャンネル分光器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 分析対象物を収容する容器16と、その容器の一方に設けられた光源17と、前記容器16の他方に設けられ、可動回折素子12を有すると共に、その各可動回折素子12を移動して前記容器16を透過した光を波長を分光するプログラマブル回折格子10と、その回折格子で分光された光を検出するアレイ光検出素子14とを備えたものである。
【選択図】 図1
Description
請求項3の発明は、プログラマブル回折格子は可動回折格子と、その各可動回折素子を可動するための固定電極とからなり、その各電極に可動回折素子を駆動する駆動回路が接続される請求項1または2記載の変調マルチチャンネル分光器である。
12 可動回折素子
13 駆動回路
14 アレイ光検出素子
16 ガスセル
17 光源
18 固定電極
Claims (5)
- 分析対象物を収容する容器と、その容器の一方に設けられた光源と、前記容器の他方に設けられ、可動回折素子を有すると共に、その各可動回折素子を移動して前記容器を透過した光を波長を分光するプログラマブル回折格子と、その回折格子で分光された光を検出するアレイ光検出素子とを備えたことを特徴とする変調マルチチャンネル分光器。
- 上記光源が紫外線、赤外線、可視光線を出射する請求項1記載の変調マルチチャンネル分光器。
- 上記プログラマブル回折格子は可動回折格子と、その各可動回折素子を可動するための固定電極とからなり、その各電極に可動回折素子を駆動する駆動回路が接続される請求項1または2記載の変調マルチチャンネル分光器。
- 請求項1から3いずれかに記載の変調マルチチャンネル分光器を用い、そのアレイ素子で微分スペクトルを検出して、その任意の波長の微分値よりその中の特定成分の濃度を検出することを特徴とする分光分析方法。
- 予め濃度が既知の特定成分を含むガスをガスセルに収容してその吸収スペクトルを検出すると共に、順次濃度を変えて吸収スペクトルを検出し、これら濃度の異なる吸収スペクトルを微分して、特定波長における濃度毎の微分値を基に検量線を作成し、その検量線を基に未知の濃度の吸収スペクトルの微分から特定ガスのガス濃度を測定する請求項4記載の分光分析方法。
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