JP2006121072A - リーク検出器及びプロセスガスモニタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 1枚以上のフラットパネルディスプレイ基板を処理するためのプラズマ増強型化学気相堆積システムであって、ガスを含有するように構成されたプロセスチャンバ133と、プロセスチャンバ内のガスを分析するとともにフィードバックをするように構成された残留ガス分析器63と、ガス分析器からのフィードバックをモニタするためのコントローラ250を備えている。時間の関数として分圧のラインのヒストリカルな勾配を求めるステップと、残留ガス分析器63による分圧測定に基づいたラインの新規な勾配を計算するステップと、ヒストリカルな勾配と新規な勾配を比較するステップと、オペレータに信号を送るステップとを含む方法により、プラズマ増強型化学気相堆積システム内のプロセス不調を確認する。
【選択図】 図1
Description
[0001]本発明の実施形態は、一般的には、フラットパネルディスプレイ及び半導体ウェハ処理及び方法に関し、更に詳細には、フラットパネルディスプレイ処理システムの状態をモニタするための方法及びシステムに関する。
[0002]化学気相堆積(CVD)は、基板上に真性のものやドープされたアモルファスシリコン(a‐Si)、酸化シリコン(SixOy)、窒化シリコン(SirNs)、酸窒化シリコンのような膜を堆積するために半導体産業で広く用いられている。現代の半導体CVD処理は、一般的には、所望の膜を形成するために解離し反応させる前駆ガスを用いることにより真空チャンバ内で行われる。低温と比較的高い堆積速度で膜を堆積するために、プラズマが堆積の間チャンバ内で前駆ガスから形成し得る。このようなプロセスは、プラズマ増強型CVDプロセス又はPECVDとして知られる。HDP‐CVDのような他のシステムも望ましいものである。
122…ガス分散プレートアセンブリ、128…ホール、131…スロット型オリフィス133…プロセスチャンバ、135…基板支持アセンブリ、137…ステム、138…スリーブ、139…ガスコンジット、141…処理領域、142…開口、150…排気プレナム、152…排気口、154…真空シャットオフバルブ、164…上側、166…下側、170…プロセスガス源、180…注入ポート、182…洗浄ガス源、250…コントローラ、280…バルブ
Claims (36)
- 1枚以上のフラットパネルディスプレイ基板を処理するためのプラズマ増強型化学気相堆積システムであって、
ガスを含有するように構成された真空堆積プロセスチャンバと、
該プロセスチャンバ内の該ガスを分析するとともにフィードバックをするように構成された残留ガス分析器と、
該残留ガス分析器から該フィードバックをモニタするためのコントローラと、
を備えている、前記システム。 - 該コントローラが該チャンバへのガスフローを制御する、請求項1記載のシステム。
- 該コントローラが該チャンバからのガスの排気を制御する、請求項1記載のシステム。
- 該ガス分析器が質量分析計である、請求項1記載のシステム。
- 該質量分析計が四重極質量分析計である、請求項4記載のシステム。
- 該コントローラがプロセスデータを記録する、請求項3記載のシステム。
- 該残留ガスモニタが少なくとも2種のガスを分析する、請求項1記載のシステム。
- 該少なくとも2種のガスが窒素と酸素である、請求項7記載のシステム。
- フラットパネルディスプレイ基板を処理するように構成されたプラズマ増強型化学気相成長システム内のプロセス不調を確認する方法であって、
時間の関数として分圧のラインのヒストリカルな勾配を求めるステップと、
残留ガスアナライザによって分圧測定に基づいたラインの新規な勾配を計算するステップと、
該ヒストリカルな勾配と新規な勾配を比較するステップと、
オペレータに信号を送るステップと、
を含む、前記方法。 - オペレータへの該信号が、プロセス不調があるか又はプロセス不調がないことを該オペレータに知らせるように選ばれる、請求項9記載の方法。
- 該ヒストリカルな勾配が、
複数の分圧測定をモニタする工程と、
従来の統計分析を行って平均と偏差を求める工程と、
によって求められる、請求項9記載の方法。 - 少なくとも2種のガスがモニタされ分析される、請求項9記載の方法。
- 該少なくとも2種のガスの時間の関数として該分圧測定の該ヒストリカルな勾配と新規な勾配が記録される、請求項12記載の方法。
- 少なくとも2種のガスの該勾配の変化が相互に比較される、請求項13記載の方法。
- 該少なくとも2種のガスの、該ヒストリカルな勾配と比較した該新規な勾配の変化が同様である場合に、該オペレータに知らせる、請求項14記載の方法。
- 該少なくとも2種のガスが酸素と窒素である、請求項13記載の方法。
- 該少なくとも2種のガスが、更にアルゴンを含んでいる、請求項16記載の方法。
- 該ガス分析器が質量分析計である、請求項9記載の方法。
- 該質量分析計が四重極質量分析計である、請求項18記載の方法。
- 信号をコントローラに送るステップを更に含む、請求項9記載の方法。
- 真空チャンバ内でリークをモニタする検出器であって、
真空チャンバ内で窒素、酸素、アルゴンより選ばれた1種以上の大気ガスをモニタするように構成されたガス分析器と、
該ガス分析器からのデータを受け取って該1種以上の大気ガスが該真空チャンバにリークしているかを決定するように適合されたコントローラと、
を備えている、前記検出器。 - 該コントローラが該チャンバへのプロセスガスフローを制御する、請求項21記載の検出器。
- 該コントローラが該チャンバからのガスの排気を制御する、請求項21記載の検出器。
- 該ガス分析器が質量分析計である、請求項21記載の検出器。
- 該質量分析計が四重極質量分析計である、請求項24記載の検出器。
- 該コントローラがプロセスデータを記録する、請求項23記載の検出器。
- 該ガスモニタが少なくとも2種のガスを分析する、請求項21記載の検出器。
- 該少なくとも2種のガスが窒素と酸素である、請求項27記載の検出器。
- 1種以上の基板を処理するためのチャンバであって、
化学気相堆積チャンバ、物理気相堆積チャンバ、又はエッチングチャンバからなる群より選ばれたチャンバと、
該チャンバに結合した真空源と、
該チャンバに結合した質量分析計と、
を備えている、前記チャンバ。 - コントローラを更に備えている、請求項29記載のチャンバ。
- 該コントローラが該チャンバへのプロセスガスフローを制御する、請求項30記載のチャンバ。
- 該コントローラが該真空源を制御する、請求項30記載のチャンバ。
- 該質量分析計が四重極質量分析計である、請求項29記載のチャンバ。
- 該質量分析計が少なくとも2種のガスを分析する、請求項29記載のチャンバ。
- 該少なくとも2種のガスが窒素と酸素である、請求項34記載のチャンバ。
- 該コントローラがシステムと連通していて該オペレータに情報を与える、請求項1記載のシステム。
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