JP2006120470A - 電子銃及び電子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子源1と、電子源1からの電子52aが通過する開口部3bを有する第1の電極3と、第1の電極3の開口部3bを通過した電子52aが入射する入射用開口5bを有するフィルタリング手段5と、フィルタリング手段5を通過した電子52aを加速するための第2の電極6,7とを備える電子銃51において、フィルタリング手段5の入射用開口5bよりも狭く形成された孔4aを有する絞り部材4を第1の電極3に配置した。
【選択図】図2
Description
Claims (5)
- 電子源と、電子源からの電子が通過する開口部を有する引出電極と、引出電極の開口部を通過した電子が入射するフィルタリング手段と、フィルタリング手段を通過した電子を加速するための加速電極とを備える電子銃において、フィルタリング手段への電子の入射角度を規定するための孔が形成された入射絞りを引出電極の開口部に設置したことを特徴とする電子銃。
- 前記引出電極における前記フィルタリング手段との対向面に前記入射絞りを取り付けたことを特徴とする請求項1記載の電子銃。
- 前記引出電極を入射絞りとともに電子の通路に対して直交する方向に移動させる軸調整手段をさらに備えることを特徴とする請求項1若しくは2記載の電子銃。
- 前記入射絞りに形成された孔の直径は、100〜500μmの範囲であることを特徴とする請求項1乃至3何れかに記載の電子銃。
- 請求項1乃至4何れかに記載の電子銃を備えた電子ビーム装置。
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JP2004307538A JP4365765B2 (ja) | 2004-10-22 | 2004-10-22 | 電子銃及び電子ビーム装置 |
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Country | Link |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101116318B1 (ko) * | 2010-07-15 | 2012-03-09 | 에이피시스템 주식회사 | 슬리브 유닛 및 이를 이용한 주사 전자현미경 |
KR101330925B1 (ko) * | 2011-03-22 | 2013-11-18 | 선문대학교 산학협력단 | 초소형 전자기파 발생 모듈 |
WO2020235003A1 (ja) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 株式会社日立ハイテク | 電子銃および電子銃を備えた荷電粒子線装置 |
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2004
- 2004-10-22 JP JP2004307538A patent/JP4365765B2/ja active Active
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