JP6814282B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子源と試料との間に配置され、前記荷電粒子線の通路を形成すると共に、前記荷電粒子線を加減速するブースティング電極と、
前記ブースティング電極を覆うように形成される第一の磁極片と、
前記第一の磁極片を覆うように形成される第二の磁極片と、
前記第一の磁極片の外側に配置されると共に前記第二の磁極片の内側に配置され、第一のレンズを形成する第一のレンズコイルと、
前記第二の磁極片の外側に配置され、第二のレンズを形成する第二のレンズコイルと、
前記第一の磁極片の先端部と前記第二の磁極片の先端部との間に形成され、前記試料と前記第二の磁極片の先端部の間に形成させる電界を制御する制御電極と、を備える荷電粒子線装置に、着脱可能に形成される分割ユニットを備え、前記分割ユニットは、前記第二の磁極片の前記試料側の先端部を含み、
前記分割ユニットは、更に、前記制御電極と、前記ブースティング電極の前記試料側の先端部を含む、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記第一のレンズとは非浸漬型レンズであり、前記第二のレンズとは浸漬型のレンズである、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記分割ユニットと前記荷電粒子線装置との分割箇所から、該荷電粒子線装置内へ部品を挿入可能に形成される、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記部品とは、前記試料から発生した荷電粒子を検出する検出器である、請求項3記載の荷電粒子線装置。
- 前記部品とは、真空差動排気用の絞り穴である、請求項3記載の荷電粒子線装置。
- 前記部品とは、荷電粒子線を偏向するための偏向器である、請求項3記載の荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子源と試料との間に配置され、前記荷電粒子線の通路を形成すると共に、前記荷電粒子線を加減速するブースティング電極と、
前記ブースティング電極を覆うように形成される第一の磁極片と、
前記第一の磁極片を覆うように形成される第二の磁極片と、
前記第一の磁極片の外側に配置されると共に前記第二の磁極片の内側に配置され、第一のレンズを形成する第一のレンズコイルと、
前記第二の磁極片の外側に配置され、第二のレンズを形成する第二のレンズコイルと、
前記第一の磁極片の先端部と前記第二の磁極片の先端部との間に形成され、前記試料と前記第二の磁極片の先端部の間に形成させる電界を制御する制御電極と、を備え、
前記第二の磁極片は、その側面に軸対称に、前記制御電極への電圧を導入するための2乃至4つの貫通穴を備える、ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記ブースティング電極、前記制御電極、前記第二の磁極片、及び、前記試料が、互いに電気的に独立して配置され、前記試料への印加電圧をVs、前記制御電極への印加電圧をVc、前記ブースティング電極への印加電圧をVbと定義すると、Vs≦Vc≦Vbを満たす、請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子源と試料との間に配置され、前記荷電粒子線の通路を形成すると共に、前記荷電粒子線を加減速するブースティング電極と、
前記ブースティング電極を覆うように形成される第一の磁極片と、
前記第一の磁極片を覆うように形成される第二の磁極片と、
前記第一の磁極片の外側に配置されると共に前記第二の磁極片の内側に配置され、第一のレンズを形成する第一のレンズコイルと、
前記第二の磁極片の外側に配置され、第二のレンズを形成する第二のレンズコイルと、
前記第一の磁極片の先端部と前記第二の磁極片の先端部との間に形成され、前記試料と前記第二の磁極片の先端部の間に形成させる電界を制御する制御電極と、を備え、
前記第一及び第二の磁極片の試料側の先端部、並びに、前記ブースティング電極及び前記制御電極の試料側の先端部は、軸対称な中空円錐形状であり、
前記ブースティング電極の試料側の先端部は、前記第一の磁極片の試料側の先端部及び前記第二の磁極片の試料側の先端部との間に位置し、
前記制御電極の試料側の先端部は、前記ブースティング電極の試料側の先端部と前記第二の磁極片の試料側の先端部との間に位置する、ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 第一のレンズコイルを励起する時に前記ブースティング電極に印加される電圧と、第二のレンズコイルを励磁する時に前記ブースティング電極に印加される電圧が同一電位に設定される、請求項1記載の荷電粒子線装置。
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