JP2006114598A - テープ接着装置およびテープ接着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 テープ部材12をワーク11に対して接着するテープ接着装置10であり、上面にワーク11を載置する載置手段35と、載置手段35およびこの載置手段35に載置されるワーク11を内在させると共に、内部を密封状態で閉塞可能な圧力室50と、ワーク11の法線方向に向かい、載置手段35を移動させる移動手段30と、圧力室50の内部に設けられると共に、ワーク11の法線方向における上部でテープ部材12を保持するテープ保持手段70と、圧力室50の内部を真空吸引する吸引手段84と、圧力室50の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段87と、載置手段35に載置されているワーク11を加熱する加熱手段60と、を具備している。
【選択図】 図5
Description
11…ウエハ(ワークに対応)
12…テープ部材
20…本体部
22…本体上面部
22a…フレーム設置部
23…シールリング(シール部材に対応)
24…Xリング
25…凹嵌部
30…シリンダ機構
35…取付板(載置手段に対応)
50…圧力室
60…ヒータ(加熱手段に対応)
61…ウエハ用治具
70…テープフレーム(テープ保持手段に対応)
80…空気管路(吸引手段の一部)
82…集合管(吸引手段の一部)
84…真空ポンプ(吸引手段の一部)
85…第1の弁部材(吸引手段の一部)
86…コンプレッサ配管(加圧手段の一部)
87…コンプレッサ(加圧手段の一部)
88…第2の弁部材(加圧手段の一部)
90…制御装置(制御手段)
100…蓋体部
110…固定蓋
114…凹部
115…レール体
120…回転蓋
121…回転軸
122…ガイド車輪
125…ガイドローラ
Claims (8)
- テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、
上記ワークを載置する載置手段と、
上記載置手段およびこの載置手段に載置される上記ワークを内在させると共に、内部を密封状態で閉塞可能な圧力室と、
上記ワークの法線方向に向かい、上記載置手段を移動させる移動手段と、
上記圧力室の内部に設けられると共に、上記ワークに対し、その法線方向において離間した部位で上記テープ部材を保持するテープ保持手段と、
上記圧力室の内部を真空吸引する吸引手段と、
上記圧力室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧手段と、
上記載置手段に載置されているワークを加熱する加熱手段と、
を具備することを特徴とするテープ接着装置。 - 前記吸引手段、前記加圧手段、前記移動手段および前記加熱手段の作動を制御する制御手段を具備すると共に、
この制御手段は、
前記吸引手段を作動させて、前記圧力室の真空吸引を行い、
上記真空吸引の後に、前記移動手段を作動させて、前記ワークを前記テープ部材に向かって移動させて、前記ワークを前記テープ部材に接着させ、
前記テープ部材の接着後に、前記加圧手段を作動させて前記圧力室の内部に空気を加圧状態で導入する、
ことを特徴とする請求項1記載のテープ接着装置。 - 前記制御手段は、前記吸引手段による前記圧力室の真空吸引に先立って、前記加熱手段を作動させて、予め前記ワークを加熱することを特徴とする請求項2記載のテープ接着装置。
- 前記テープ接着装置は、凹嵌部を有する本体部と、この本体部に対して開閉自在に設けられると共に凹部を有する蓋体部とを具備していて、
上記蓋体部を上記本体部に対して閉じた場合に、上記蓋体部と上記本体部との間を気密に閉塞するシール部材が、これら蓋体部と本体部との境界部分に設けられ、
前記移動手段の摺動部は、孔部を通過して前記圧力室の内部に延伸し、かつ該摺動部と孔部との間には、これらの間を気密に封止する封止部材が設けられると共に、
上記蓋体部の閉塞状態において、上記シール部材および上記封止部材により封止されると共に上記凹嵌部および上記凹部を備える前記圧力室が形成される、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のテープ接着装置。 - 前記蓋体部は、
前記本体部に当接すると共に、該本体部に対して開閉可能な固定蓋と、
上記固定蓋に対して回転自在に設けられる回転蓋と、
を具備すると共に、
前記本体部と上記回転蓋との間には、上記回転蓋の回転により係脱可能なカム機構が設けられていて、このカム機構の存在により、前記蓋体部を前記本体部に対してロック可能としている、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のテープ接着装置。 - 前記加熱手段は、ラバーヒータを具備することを特徴とする請求項5記載のテープ接着装置。
- 前記ワークは、前記載置手段に対してワーク固定用治具を介して載置されると共に、このワーク固定用治具には、その径方向の外周側に、該ワーク固定用治具の他の部分よりも前記テープ部材に対する粘着性の低い非粘着コーティングが施されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のテープ接着装置。
- テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法において、
上記ワークを載置する載置手段を加熱手段で加熱する加熱工程と、
上記載置手段にワークを載置した状態で、該載置手段および上記ワークを内在させかつ内部を密封状態で閉塞可能な圧力室を、吸引手段を用いて真空吸引を行う吸引工程と、
上記吸引工程によって、上記圧力室が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出工程と、
上記真空到達度検出工程によって設定された真空度に到達したことを検出した後に、上記ワークの法線方向に向かって上記載置手段を移動させる移動手段を作動させ、上記テープ部材に対して上記ワークを近付けて、上記ワークを上記テープ部材に接着させる接着工程と、
上記接着工程における接着を予め設定された時間だけ実行した後に、加圧手段を作動させて上記圧力室の内部に空気を加圧状態で導入する加圧工程と、
を具備することを特徴とするテープ接着方法。
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