JP2006104424A - 粘着テープ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基材の少なくとも一方の面に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層を有する両面粘着テープであって、前記粘着剤層は、イソボロニルアクリレートセグメントと、2−エチルヘキシルアクリレートセグメント及び/又はブチルアクリレートセグメントとを主成分とし、かつ、分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有するアクリル共重合体、並びに、ラジカル重合性の多官能オリゴマー及び/又はラジカル重合性の多官能モノマーを含有する両面粘着テープ。
【選択図】 なし
Description
例えば、ICチップの製造工程において、高純度なシリコン単結晶等から切り出した厚膜ウエハを所定の厚さにまで研削して薄膜ウエハとする場合に、厚膜ウエハを支持板に接着して補強することにより、効率よく作業を進めることが提案されている。このとき厚膜ウエハと支持板とを接着するための両面粘着テープとしては、研削工程中には強固に接着する一方で、研削工程終了後には得られた薄膜ウエハを損傷することなく支持板から剥がせることが求められる。また、同様にICチップの製造方法において、研削済のウエハをダイシングする際に用いるダイシングテープにも、ダイシング工程中には強固に接着する一方で、ダイシング工程終了後には得られたICチップを損傷することなくダイシングテープから剥がせることが求められる。
このように、いったん接着に用いた粘着テープは、接着力が強固であるほど、被着体を損傷することなく剥がすことが困難であるという問題点があった。
このような刺激により架橋する架橋成分として特許文献1には、アクリル酸アルキルエステル系及び/又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又は多官能モノマーとを主成分とする硬化型接着性樹脂が開示されている。
力が得られずに剥離できなかったり、気体を発生させる刺激として光を照射したときに粒子の界面で光が散乱して気体発生効率が低くなってしまったり、表面の平滑性が悪くなったりしてしまう。そこで、気体発生剤がブリードアウトすることのない保存安定性に優れた粘着テープが求められていた。
着剤層に含有する。このような気体発生剤を含有することにより、本発明の粘着テープに刺激を与えると気体発生剤から気体が発生して、接着面の少なくとも一部を剥がし接着力を低下させることができる。
上記刺激により気体を発生する気体発生剤としては特に限定されず、例えば、アゾ化合物、アジド化合物等が挙げられる。
これらのアゾ化合物は、主に波長350nmの紫外線領域の光を照射することにより窒素ガスを発生する。
ことができる。
効率よく粘着剤層の外に放出される。また、上記気体発生剤が粘着剤層中に粒子として存在すると、気体を発生させる刺激として光を照射したときに粒子の界面で光が散乱して気体発生効率が低くなってしまったり、粘着剤層の表面平滑性が悪くなったりすることがある。なお、上記気体発生剤が粘着剤層中に溶解していることは、電子顕微鏡により粘着剤層を観察したときに気体発生剤の粒子が見あたらないことにより確認することができる。
る化合物(以下、官能基含有不飽和化合物という)と反応させることにより得ることができる。
なお、上記一般式(1)中、nは整数を表すが、好ましい下限は1、好ましい上限は10である。10を超えると得られる粘着剤層の親水性が高くなり、粘着テープの保存安定性が低下することがある。
なお、上記一般式(1)で表されるセグメントの由来となるアクリレートとしては、NKエステルAMP−10G、NKエステルAMP−20GY(いずれも新中村化学工業社製)等の市販品を用いることができる。
イソボロニルアクリレートセグメントの比の上限については特に限定されないが、得られるアクリル系共重合体のガラス転移温度が常温(25℃)以下となるようにすることが好ましい。アクリル系共重合体のガラス転移温度が常温(25℃)を超えると、本発明の粘着テープは常温下において粘着性を発揮し得ない。
例えば、2−エチルヘキシルアクリレートセグメントとの組み合わせにおいては、イソボロニルアクリレートセグメントの比の上限は70重量%であり、ブチルアクリレートセグメントとの組み合わせにおいては、イソボロニルアクリレートセグメントの比の上限は70重量%である。
用されてもよい。
本発明の粘着テープは、基材上に粘着剤層が形成されたサポートテープであってもよいし、基材を有しないノンサポートテープであってもよい。
上記基材としては特に限定されないが、光を透過又は通過するものであることが好ましく、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ABS、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の透明な樹脂からなるシート、網目状の構造を有するシート、孔が開けられたシート等が挙げられる。
<粘着剤の調製>
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量70万のアクリル共重合体を得た。
得られたアクリル共重合体を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、2−イソシアナトエチルメタクリレート3.5重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、ウレタンアクリレート(10官能)(新中村化学工業社製、NKオリゴU324A)30重量部、ポリイソシアネート0.5重量部、光重合開始剤(イルガキュア651)0.1重量部を混合し粘着剤(1)の酢酸エチル溶液を調製した。
イソボロニルアクリレート 80重量部
2−エチルヘキシルアクリレート 20重量部
アクリル酸 1重量部
2−ヒドロキシエチルアクリレート 5重量部
光重合開始剤 0.2重量部
(イルガキュア651、50%酢酸エチル溶液)
ラウリルメルカプタン 0.01重量部
粘着剤(1)の酢酸エチル溶液を、両面にコロナ処理を施した厚さ100μmの透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの片面に乾燥皮膜の厚さが約30μmとなるようにドクターナイフで塗工し110℃、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、粘着剤(1)層の表面に離型処理が施されたPETフィルムを貼り付けた。その後、40℃、3日間静置養生を行った。
アクリル共重合体の調製において、イソボロニルアクリレートと2−エチルヘキシルアクリレートとの配合を100重量部/0重量部、70重量部/30重量部、60重量部/40重量部、40重量部/60重量部、20重量部/80重量部、10重量部/90重量部、0重量部/100重量部とした以外は同様の方法により、合計7種類の両面粘着テープを作製した。
<粘着剤の調製>
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量70万のアクリル共重合体を得た。
得られたアクリル共重合体を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、2−イソシアナトエチルメタクリレート3.5重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、ウレタンアクリレート(10官能)(新中村化学工業社製、NKオリゴU324A)30重量部、ポリイソシアネート0.5重量部、光重合開始剤(イルガキュア651)0.1重量部を混合し粘着剤(2)の酢酸エチル溶液を調製した。
イソボロニルアクリレート 80重量部
ブチルアクリレート 20重量部
アクリル酸 1重量部
2−ヒドロキシエチルアクリレート 5重量部
光重合開始剤 0.2重量部
(イルガキュア651、50%酢酸エチル溶液)
ラウリルメルカプタン 0.01重量部
粘着剤(2)の酢酸エチル溶液を、両面にコロナ処理を施した厚さ100μmの透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの片面に乾燥皮膜の厚さが約30μmとなるようにドクターナイフで塗工し110℃、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、粘着剤(2)層の表面に離型処理が施されたPETフィルムを貼り付けた。その後、40℃、3日間静置養生を行った。
アクリル共重合体の調製において、イソボロニルアクリレートとブチルアクリレートとの配合を100重量部/0重量部、70重量部/30重量部、60重量部/40重量部、40重量部/60重量部、20重量部/80重量部、10重量部/90重量部、0重量部/100重量部とした以外は同様の方法により、合計7種類の両面粘着テープを作製した。
<粘着剤の調製>
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量70万のアクリル共重合体を得た。
得られたアクリル共重合体を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、2−イソシアナトエチルメタクリレート3.5重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、ウレタンアクリレート(10官能)(新中村化学工業社製、NKオリゴU324A)30重量部、ポリイソシアネート0.5重量部、光重合開始剤(イルガキュア651)0.1重量部を混合し粘着剤(3)の酢酸エチル溶液を調製した。
フェノキシエチレングリコールアクリレート 80重量部
(新中村化学工業社製、NKエステルAMP−10G)
2−エチルヘキシルアクリレート 20重量部
アクリル酸 1重量部
2−ヒドロキシエチルアクリレート 5重量部
光重合開始剤 0.2重量部
(イルガキュア651、50%酢酸エチル溶液)
ラウリルメルカプタン 0.01重量部
粘着剤(3)の酢酸エチル溶液を、両面にコロナ処理を施した厚さ100μmの透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの片面に乾燥皮膜の厚さが約30μmとなるようにドクターナイフで塗工し110℃、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、粘着剤(3)層の表面に離型処理が施されたPETフィルムを貼り付けた。その後、40℃、3日間静置養生を行った。
アクリル共重合体の調製において、フェノキシエチレングリコールアクリレートと2−エチルヘキシルアクリレートとの配合を100重量部/0重量部、70重量部/30重量部、60重量部/40重量部、40重量部/60重量部、20重量部/80重量部、10重量部/90重量部、0重量部/100重量部とした以外は同様の方法により、合計7種類の両面粘着テープを作製した。
<粘着剤の調製>
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量70万のアクリル共重合体を得た。
得られたアクリル共重合体を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、2−イソシアナトエチルメタクリレート3.5重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、ウレタンアクリレート(10官能)(新中村化学工業社製、NKオリゴU324A)30重量部、ポリイソシアネート0.5重量部、光重合開始剤(イルガキュア651)0.1重量部を混合し粘着剤(4)の酢酸エチル溶液を調製した。
フェノキシエチレングリコールアクリレート 80重量部
(新中村化学工業社製、NKエステルAMP−10G)
ブチルアクリレート 20重量部
アクリル酸 1重量部
2−ヒドロキシエチルアクリレート 5重量部
光重合開始剤 0.2重量部
(イルガキュア651、50%酢酸エチル溶液)
ラウリルメルカプタン 0.01重量部
粘着剤(4)の酢酸エチル溶液を、両面にコロナ処理を施した厚さ100μmの透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの片面に乾燥皮膜の厚さが約30μmとなるようにドクターナイフで塗工し110℃、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、粘着剤(4)層の表面に離型処理が施されたPETフィルムを貼り付けた。その後、40℃、3日間静置養生を行った。
アクリル共重合体の調製において、フェノキシエチレングリコールアクリレートとブチルアクリレートとの配合を100重量部/0重量部、70重量部/30重量部、60重量部/40重量部、40重量部/60重量部、20重量部/80重量部、10重量部/90重量部、0重量部/100重量部とした以外は同様の方法により、合計7種類の両面粘着テープを作製した。
実施例1〜4で作製したすべての両面粘着テープについて以下の評価を行った。
結果を表1〜4に示した。
粘弾性測定装置(アイティー計測制御社製、DVA−200)を用いて、周波数10Hz、歪0.1%の条件で、剪断の貯蔵弾性率を測定し、得られたtanδのピークからアクリル重合体のガラス転移点を求めた。
両面粘着テープの粘着剤(1’)層を保護するPETフィルムを剥がし、直径20cm、厚さ約750μmのシリコンウエハに貼り付け、一方、粘着剤(1)層を保護するPETフィルムを剥がし、直径20.4cmのガラス板を真空プレス機を用いて粘着剤層に貼り付けて被着体を作製した。
この被着体をシリコンウエハ側が下になるように設置した後、ガラス板側から超高圧水銀灯を用いて、波長365nmの紫外線をガラス板表面への照射強度が40mW/cm2と
なるよう照度を調節して照射した。ガラス側から目視により観察して、シリコンウエハと両面粘着テープとが完全に剥離した場合を〇、剥離しない場合を×とした。
他の両面粘着テープについても同様の評価を行った。
得られた両面粘着テープを10℃の恒温室に入れて保管し、目視により粘着剤層表面の気体発生剤のブリードアウトの有無を観察し、ブリードアウトが発生するまでの日数を測定した。
Claims (4)
- 基材の少なくとも一方の面に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層を有する粘着テープであって、
前記粘着剤層は、イソボロニルアクリレートセグメントと、炭素数が1〜12のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来するセグメントとを主成分とし、かつ、分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有するアクリル共重合体、並びに、ラジカル重合性の多官能オリゴマー及び/又はラジカル重合性の多官能モノマーを含有する
ことを特徴とする粘着テープ。 - アクリル共重合体は、イソボロニルアクリレートセグメントと、炭素数が1〜12のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来するセグメントとの合計に占めるイソボロニルアクリレートセグメントの比が10重量%以上であることを特徴とする請求項1記載の粘着テープ。
- アクリル共重合体は、一般式(1)で表されるセグメントと、炭素数が1〜12のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来するセグメントとの合計に占める一般式(1)で表されるセグメントセグメントの比が10重量%以上であることを特徴とする請求項3記載の粘着テープ。
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