JP2006076064A - 吸引装置、液滴吐出装置、マイクロアレイの製造装置及び液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、液滴吐出ヘッド内に貯留されている液体を無駄に消費せずに、液滴吐出ヘッドの保守（メンテナンス）を可能とし得る吸引装置、液滴吐出装置、マイクロアレイの製造装置及び液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 液滴を吐出する液滴吐出ヘッド６０の吐出口６１を外部から吸引する吸引装置３０であって、液滴吐出ヘッド６０の吐出口６１が形成された面６３を凹部４５で覆うキャップ３１と、キャップ３１に接続される第１の通路３３と、第１の通路３３に気液分離膜４１を介して接する第２の通路３５とを有する排出部３７と、第２の通路３５に接続されてキャップ３１内を吸引する第１の吸引手段３９と、を備える吸引装置により上記課題を解決する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、インクジェット方式を利用した液滴吐出技術に関する。

従来、一般に用いられているインクジェットプリンタでは、全ノズルから正常に液滴を吐出するために、吐出前の準備動作としてノズル先端に液体を充填する必要がある。

また、液滴吐出ヘッドの吐出口であるノズルは非常に小さいためノズル内の液体が乾燥しやすく、長期にわたり保管すると溶媒の蒸発によりノズル内に気泡が生じたり、増粘物質が生じたりする場合がある。

このような問題を解決する方法として、特許文献１には、吸引により気泡や増粘物質を吸引除去する方法が開示されている。しかしながら、吸引の際にインクが大量に排出されてしまい、インクが浪費される虞がある。

一方で、インクジェット方式は効率良くしかも高精度に対象物に対し液滴を吐出し得ることから、近年では他の技術分野にも応用され始めている。例えば、特許文献２には、インクジェット方式の製造装置を利用してＤＮＡマイクロアレイを製造する方法が開示されている。しかしながら、貴重な生体高分子溶液を無駄なく液滴吐出ヘッドの流路内に充填し、メンテナンスをすることは困難であった。
特開平１０−２６４４０２号公報 特開２００１−１８６８８０号公報

したがって、本発明は、液滴吐出ヘッド内に貯留されている液体を無駄に消費せずに、液滴吐出ヘッドの保守（メンテナンス）を可能とし得る吸引装置、液滴吐出装置、マイクロアレイの製造装置及び液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法を提供することを目的としている。

本発明の第１の態様は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出口を外部から吸引する吸引装置であって、前記液滴吐出ヘッドの吐出口が形成された面を凹部で覆うキャップと、前記キャップに接続される第１の通路と当該第１の通路に気液分離膜を介して接する第２の通路とを有する排出部と、前記第２の通路に接続されて前記キャップ内を吸引する第１の吸引手段と、を備える吸引装置を提供するものである。

かかる構成によれば、気液分離膜を介して吸引することにより、液滴吐出ヘッドから排出される液体の排出量を制限することが可能となる。また、液体の流れる通路（第１の通路）と気体の流れる通路（第２の通路）を分離することができるので、液体を容易に排出することが可能となる。したがって、液滴吐出ヘッド内に溜まった増粘物質、気泡、汚染液等を除去する際や液滴吐出ヘッドの吐出口先端に液体を充填する際などの液滴吐出ヘッドのメンテナンス時に、液体の浪費を低減することが可能となる。また、第１の吸引手段として、液体を嫌う装置を用いた場合であっても、かかる構成を有することにより、液体による装置の劣化を軽減することが可能となる。したがって、第１の吸引手段として使用し得る装置の選択の幅が広がる。

前記第１の通路に接続される第２の吸引手段を更に備えることが好ましい。これによれば、液体の排出を促進させることが可能となる。

前記第１の通路に設けられる第１の開閉弁を更に備えることが好ましい。これによれば、廃液の通過・不通過を制御することができる。また、キャップ内を密閉系にすることが可能となるので、第１の吸引手段による吐出口の吸引時に、より確実に吐出口から排出される液体の排出量を制御することが可能となる。

前記第２の通路に設けられる第２の開閉弁を更に備えることが好ましい。これによれば、第２の吸引手段による吸引時に、吸引力を高めることが可能となる。

前記第１の通路が、チューブから構成されることが好ましい。これによれば、簡便な構成で第１の通路を形成することが可能となる。

本発明の他の態様は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出口を外部から吸引する吸引装置であって、前記液滴吐出ヘッドの吐出口が形成された面を凹部で覆うキャップと、前記キャップに接続される第１の通路と、当該第１の通路に気液分離膜を介して接する第２の通路とを有する排出部と、前記キャップ内を前記第１又は第２の通路を介して選択的に吸引する吸引手段と、を備える吸引装置である。

かかる構成によれば、気液分離膜を介して吸引することにより、液滴吐出ヘッドから排出される液体の排出量を制限することが可能となる。また、液体の流れる通路（第１の通路）と気体の流れる通路（第２の通路）を分離することができるので、液体を容易に排出することが可能となる。したがって、液滴吐出ヘッド内に溜まった増粘物質、気泡、汚染液等を除去する際や液滴吐出ヘッドの吐出口先端に液体を充填する際などの液滴吐出ヘッドのメンテナンス時に、液体の浪費を低減することが可能となる。また、一つの吸引手段により、第１の通路と第２の通路の吸引を選択的にし得るので、装置の小型化が図れる。

本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、上記吸引装置とを備えるものである。これによれば、上記吸引装置を備えるので、液体吐出ヘッドのメンテナンス時に液体の浪費を低減することが可能な液滴吐出装置を提供し得る。このような液滴吐出装置としては、例えば、印刷装置、マイクロアレイの製造装置、又は金属配線材料を吐出するための吐出装置等が挙げられる。

本発明のマイクロアレイの製造装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、上記吸引装置とを備えるものである。これによれば、上記吸引装置を備えるので、液体吐出ヘッドのメンテナンス時に液体の浪費を低減することが可能なマイクロアレイの製造装置を提供し得る。

本発明の液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出口を外部から吸引する工程を含む液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法であって、前記液滴吐出ヘッドの吐出口が形成された面をキャップの凹部で覆う第１過程と、前記キャップに接続される第１の通路に気液分離膜を介して接する第２の通路を吸引することにより、前記キャップ内を吸引する第２過程と、前記液滴吐出ヘッドの吐出口が形成された面から前記キャップを取り外した後、前記第１の通路を吸引することにより液体を排出する第３過程と、を含むものである。

これによれば、気液分離膜を介して吸引するので、液滴吐出ヘッドから排出される液体の排出量を制限することが可能となる。また、液体の流れる通路（第１の通路）と気体の流れる通路（第２の通路）を分離しているので、液体の排出が容易となっている。したがって、液滴吐出ヘッド内に溜まった増粘物質、気泡、汚染液等を除去する際や液滴吐出ヘッドの吐出口先端に液体を充填する際などの液滴吐出ヘッドのメンテナンス時に、液体の浪費を低減することが可能である。

以下、本発明の実施形態について説明する。

図１は、本発明の実施形態に係る吸引装置を説明するための図である。
図１に示すように、本実施形態の吸引装置３０は、液滴吐出ヘッド６０の吐出口（ノズル）６１が形成された面６３（以下、ノズル形成面ともいう）を覆うキャップ３１と、第１の通路３３及び第２の通路３５を有する排出部３７と、第１の吸引手段としてのポンプ３９と、第２の吸引手段としてのポンプ４７から主に構成されている。

キャップ３１は、ポンプ３９により減圧される空間４３を形成するものであり、液滴吐出ヘッド６０の吐出口６１の周囲を覆って閉空間を形成するものである。キャップ３１は、凹部４５を有し、例えばブチルゴムなどの弾性部材を用いて射出成形等により形成される。弾性部材を用いることで、液滴吐出ヘッド６０のノズル形成面６３と密着させることが可能となり、閉空間４３内の機密性を高めることが可能となるので好ましい。また、キャップ３１の先端に、ノズル形成面６３との密着性をさらに高めるためにＯリング等のパッキンや襞部等が設けられていてもよい。

排出部３７は、第１の通路３３と第２の通路３５とを含み構成されている。

第１の通路３３は、液滴吐出ヘッド６０の吐出口６１から排出される液体６５が通過する通路であり、キャップ３１とポンプ４７とを繋ぐものであり、例えばチューブ等が用いられる。第１の通路３３は、少なくとも一部が気液分離膜４１から構成されている。また、気液分離膜４１で構成される以外の部分については、例えば、ブチレンゴム、シリコンゴム、又はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等からなるチューブ等を用いて構成される。気液分離膜４１については後述する。第１の通路３３には、第１の開閉弁４９（例：バルブ）が設けられており、液体６５の通過・不通過を制御することができる。また、第１の開閉弁４９を閉じることにより、キャップ３１内を密閉系にすることができるので、ポンプ４７による吐出口６１の吸引時に、より確実に吐出口６１から排出される液体６５の排出量を制御することが可能となる。

第２の通路３５は、第１の通路３３に気液分離膜４１を介して接している。第２の通路３５は、気液分離膜４１を介してキャップ３１内から吸引された気体を外方に導くためのものである。第２の通路３５は、少なくとも気液分離膜４１を覆うように設けられる。具体的には、第２の通路３５は、図１に示すように、ポンプ３９に繋がる分岐管を有し、チューブ状の気液分離膜４１の周囲をポンプ３９で吸引するための空間５１を隔てて覆う管状部材（例：ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ））から構成されていてもよい。また、第２の通路３５には、第２の開閉弁５３（例：バルブ）が設けられており、第２の開閉弁５３を閉じることにより、第２の通路３５を密閉空間とすることが可能となる。これにより、他からの気体の流入を防止することができるので、ポンプ４７の作動時に吸引力を高めることが可能となる。

第１の吸引手段としてのポンプ３９は、第２の通路３５を介してキャップ３１内を吸引するものであり、キャップ３１内の気体を吸引するためのものである。ポンプ４７としては、吸引ポンプ（減圧ポンプ）等の吸引（減圧）機能を有するものであれば特に限定するものではない。後述するポンプ４７と同様に、例えばチューブポンプを用いてもよい。

第２の吸引手段としてのポンプ４７は、第１の通路３３を介してキャップ３１内を吸引するものであり、第１の通路３３及びキャップ３１内に溜まった吐出口６１からの廃液（排出された液体６５）を外方に排出するのに用いられる。ポンプ４７としては、吸引ポンプ（減圧ポンプ）等の吸引（減圧）機能を有するものであれば特に限定するものではない。単純な構造で減圧が可能で、また、溜まった廃液を外方に排出することも可能であるという観点からは、例えばチューブポンプが好ましい。チューブポンプは、軟質チューブを回転ローラが押しつぶし、一方向に連続的にしごくことによって、液体や気体を押出すことを利用したものである。

次に気液分離膜４１について説明する。気液分離膜４１は、所定圧力をかけた場合に気体を透過するが液体６５を透過しない多孔性膜（フィルタ）であり、使用するポンプの吸引力において、このような性質を有するものであればよい。気液分離膜４１としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の多孔性膜等が用いられる。気液分離膜４１の平均孔径は、液体６５の性質（例：濡れ性）にも依存し特に限定するものではないが、例えば１〜３μｍのものが用いられる。このような孔径であれば、例えば空気は透過されるが、水や水を主成分とする液体は透過されない。気液分離膜４１の形状は、特に限定されるものではないが、例えば、チューブ状であると容易に取り付け可能となる。

気液分離膜４１は、第１の通路３３の少なくとも一部を構成していればよく、大きさ、配置位置を特に限定するものではない。気液分離膜４１の大きさ及び配置位置を適宜調整することにより、液滴吐出ヘッド６０の吐出口６１から吸引する液体量を調節することが可能となる。吸引量を最小限に抑えるという観点からは、気液分離膜４１の大きさは小さい方が好ましく、また、配置位置はキャップ３１の近傍に配置されることが好ましい。なお、気液分離膜４１の一例を挙げると、例えば、チューブ状であって、外径５ｍｍ、内径４ｍｍ、肉厚０．５ｍｍ、長さ１０ｃｍのものが用いられる。

次に、図２を参照しながら、本実施形態の吸引装置３０の動作機序について説明する。図２は、本実施形態の吸引装置３０の動作機序を説明するための図である。

まず、図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド６０のノズル形成面６３にキャップ３１を密着させて、吐出口６１全体を凹部４５で覆い、必要に応じて第１の通路３３に設けられた第１の開閉弁４９（図２（ａ）中、図示略）を閉じることにより、吐出口６１を吸引するための閉空間を形成する。

次に、図２（ｂ）に示すように、ポンプ３９（図２（ｂ）中、図示略）により第２の通路３５を介してキャップ３１内を吸引する。第２の通路３５は、気液分離膜４１を介して第１の通路３３に接しており、気液分離膜４１は液体６５は透過し難いが気体は容易に透過し得るので、ポンプ３９を作動させることにより、キャップ３１内の気体は第１の通路３３及び気液分離膜４１を通って第２の通路３５に移行されることになる。これにより、キャップ３１内が減圧されるので、吐出口６１内の液体６５がキャップ内に排出されることになる。少なくとも第１の通路３３の気液分離膜４１で構成された領域（気液分離膜から構成されるチューブ）に液体６５が充填されると、気液分離膜４１を液体６５が覆って吸引力が低下してしまうので、液体６５の移動が止まる。これにより、吐出口６１から排出される液体６５の量が所定量に制限されることになる。

次に、図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド６０をキャップ３１から取り外し、キャップ３１内及び第１の通路３３内に溜まった液体６５をポンプ４７で吸引することにより、外方に排出する。この際、ポンプ４７の吸引力をさらに向上させるため、第２の通路３５に設けられた第２の開閉弁５３を閉じることにより、第１の通路の密閉性を高めてもよい。このように、気液分離膜４１を用いているため、吐出口６１から吸引される液体６５の量を制限し得る一方で、液体６５を排出する流路を別途設けているので、液体６５の廃棄も容易に行うことが可能となる。なお、この際、液滴吐出ヘッド６０のノズル形成面６３に付着した液体６５は、ノズル形成面６３をゴムブレードでかきとることにより除去することが可能である。

また、吐出口６１からの液体６５の吸引量が十分でない場合には、上記図２（ｂ）の吸引操作を繰り返し行ってもよい。

上述した吸引装置３０を用いた吸引動作を利用して、液滴吐出ヘッド６０のメンテナンスを行うことが可能である。

具体的には、例えば、上記動作を利用して、リザーバタンクに収容された吐出液体（例：インク、生体試料溶液等）をインクジェットヘッド等の液滴吐出ヘッドのノズル先端にまで充填させる操作（プライミング）を行うことができる。

また、例えば、ノズル孔内の増粘した吐出液体や残留する気泡を除去する操作（サッキング）を行うことができる。

なお、吸引装置３０の停止時においては、キャップ３１を液滴吐出ヘッド６０の乾燥防止のために用いてもよい。

本実施形態によれば、気液分離膜４１を介して吸引することにより、液滴吐出ヘッド６０から排出される液体６５の排出量を制限することが可能となる。また、液体６５の流れる通路（第１の通路３３）と気体の流れる通路（第２の通路３５）を分離することができるので、液体６５を容易に排出することが可能となる。したがって、液滴吐出ヘッド６０内に溜まった増粘物質、気泡、汚染液等を除去する際や液滴吐出ヘッド６０の吐出口６１先端に液体６５を充填する際といった、液滴吐出ヘッド６０をメンテナンスする際に、液体６５の浪費を低減することが可能となる。また、第１の吸引手段としてのポンプ３９が、液体を嫌うもの（液体の流入によりポンプ３９の機能が低下するもの）であっても、液体６５の流入を回避し得るので、液体による装置の劣化を軽減することが可能となる。したがって、第１の吸引手段として使用し得る装置の選択の幅が広がる。

なお、上記例においては、第１の吸引手段と第２の吸引手段として別々の装置（ポンプ３９及びポンプ４７）を用いたが、同一の装置（ポンプ）を用いてもよい。

図３は、本発明に用いられる吸引装置３０の他の例を示す図である。図３に示すように、本例では、第１の通路３３及び第２の通路３５を一のポンプ５５により吸引可能に構成されている。本例の吸引装置３０では、ポンプ５５と第１の通路３３及び第２の通路３５とを各々繋ぐ、二股に分岐された第３の通路５７を備えている。第１の通路３３及び第２の通路３５に各々繋がれた分岐通路５９ａ及び５９ｂには、第１の開閉弁４９及び第２の開閉弁５３が各々設けられており、上述した開閉弁の機能に加え、第１の通路３３と第２の通路３５の吸引を選択可能にしている。具体的には、例えば図示せぬ制御部（ＣＰＵ：中央処理装置）により、第１の通路３３の吸引時に第１の開閉弁４９を開き、第２の開閉弁５３を閉じるように指示し、第２の通路３５の吸引時には、第２の開閉弁５３を開き、第１の開閉弁４９を閉じるように指示するよう構成されていてもよい。なお、第１の開閉弁４９及び第２の開閉弁５３としては、例えば電磁バルブ等を用いることができる。また、ポンプ５５としては、ポンプ３９，４７として例示したものと同様のものが用いられる。

このような動作を行うことにより、液滴吐出ヘッド６０の種々のメンテナンスが可能となる。

上記吸引装置３０は、印刷装置やマイクロアレイの製造装置等の液滴吐出ヘッドを利用する装置に好適に用いられる。

次に、上記吸引装置３０を備えた印刷装置及びマイクロアレイの製造装置の一例について説明する。

図４は、本実施形態のインクジェット印刷装置を説明するための図である。
図４に示すように、本実施形態のインクジェット印刷装置１０は、キャリッジ１１、液滴吐出ヘッド６０、インクカートリッジ（リザーバタンク）１３、キャリッジモータ１４、タイミングベルト１５、ガイド部材１６、ブラテン１７及び吸引装置３０から要部が構成されている。

キャリッジ１１は、液滴（インク滴）を吐出する液滴吐出ヘッド６０及び液滴吐出ヘッド６０にインクを供給するインクカートリッジ１３を搭載し、搬送するためのものである。キャリッジ１１は、キャリッジモータ１４により駆動されるタイミングベルト１５に結合されており、ガイド部材１６に案内されてプラテン１７の主軸と平行（主走査方向Ｘ）に往復移動するように構成されている。記録媒体２０の送り方向（副走査方向Ｙ）は、主走査方向Ｘと直交している。

液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１２は、ノズル孔から液滴を記録媒体２０に吐出するものであり、キャリッジ１１下部の記録媒体２０に対向する側に装備されている。液滴吐出ヘッド６０は、静電アクチュエータ、圧電方式のアクチュエータ、サーマル方式のいずれの方式を採るものであってもよい。

インクカートリッジ（タンク）１３は、液滴吐出ヘッド６０に供給するインク（液体）を貯留する容器であり、不図示の接続部を介して液滴吐出ヘッド６０上に取り付けられている。なお、本実施形態では、インクカートリッジ１３は液滴吐出ヘッド６０と別体として構成されているが、一体に構成されていてもよい。

吸引装置３０は、上述のように、液滴吐出ヘッド６０のノズル孔を外部から吸引するための装置である。吸引装置３０は、印刷領域外に位置する液滴吐出ヘッド６０の格納位置（ホームポジション）に設置される。吸引装置３０は、シリンダ又はボールネジ機構等により昇降可能に構成されている。これにより、必要に応じて、吸引装置３０を液滴吐出ヘッド６０のノズル開口面（ノズル形成面）まで移動させることが可能となる。なお、キャップ３１のみが昇降可能になるよう構成されていてもよい。

図５は、本実施形態のマイクロアレイの製造装置を説明するための図である。
図５に示すように、本実施形態のマイクロアレイの製造装置１００は、基台１０１、Ｘ軸方向に往復移動する液滴吐出ヘッド６０、Ｙ軸方向に往復移動しマイクロアレイ基板１０５を載置するテーブル１０３、及び、液滴吐出ヘッド６０の格納位置（ホームポジション）に吐出液体充填用の吸引装置３０を備えている。なお、図５において、１０４は液滴吐出ヘッド６０及びテーブル１０３の駆動部であり、液滴吐出ヘッド６０及びテーブル１０３は、例えば、タイミングベルト機構やボールネジ機構等を用いて数値制御方式等により移動させることができる。

液滴吐出ヘッド６０は、ＤＮＡ又はタンパク質等を含む生体試料溶液をマイクロアレイ基板１０５上に吐出するものである。液滴吐出ヘッド６０は、外部に液滴を吐出するヘッド部とヘッド部に生体試料溶液を供給する貯留部（タンク）が一体的に形成されていても、別体として形成されていてもよい。
吸引装置３０は、上述したものと同様のものを用いることが可能である。

なお、本発明の吸引装置３０は、このような印刷装置又はマイクロアレイの製造装置だけでなく、液滴吐出ヘッド６０を利用するいかなる装置の吐出口の吸引に用いられてもよい。したがって、例えば、金属配線等の形成に用いられる液滴吐出ヘッドの吐出口６１の吸引に用いられてもよい。

図１は、本発明の実施形態に係る吸引装置を説明するための図である。 図２は、本実施形態の吸引装置３０の動作機序を説明するための図である。 図３は、本発明に用いられる吸引装置３０の他の例を示す図である。 図４は、本実施形態のインクジェット印刷装置を説明するための図である。 図５は、本実施形態のマイクロアレイの製造装置を説明するための図である。

符号の説明

１０・・・インクジェット印刷装置、１１・・・キャリッジ、１３・・・インクカートリッジ、１４・・・キャリッジモータ、１５・・・タイミングベルト、１６・・・ガイド部材、１７・・・プラテン、２０・・・記録媒体、３０・・・吸引装置、３１・・・キャップ、３３・・・第１の通路、３５・・・第２の通路、３７・・・排出部、３９・・・ポンプ、４１・・・気液分離膜、４３・・・空間（閉空間）、４５・・・凹部、４７・・・ポンプ、４９・・・第１の開閉弁、５１・・・空間、５３・・・第２の開閉弁、５５・・・ポンプ、５７・・・第３の通路、５９ａ，ｂ・・・分岐通路、６０・・・液滴吐出ヘッド、６１・・・吐出口、６３・・・ノズル形成面、６５・・・液体、１００・・・マイクロアレイの製造装置、１０１・・・基台、１０３・・・テーブル、１０５・・・マイクロアレイ基板

Claims (9)

1. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出口を外部から吸引する吸引装置であって、
   前記液滴吐出ヘッドの吐出口が形成された面を凹部で覆うキャップと、
   前記キャップに接続される第１の通路と、当該第１の通路に気液分離膜を介して接する第２の通路とを有する排出部と、
   前記第２の通路に接続されて前記キャップ内を吸引する第１の吸引手段と、
   を備えることを特徴とする吸引装置。
2. 前記第１の通路に接続される第２の吸引手段を更に備える、請求項１に記載の吸引装置。
3. 前記第１の通路に設けられる第１の開閉弁を更に備える、請求項１又は請求項２に記載の吸引装置。
4. 前記第２の通路に設けられる第２の開閉弁を更に備える、請求項１〜３のいずれかに記載の吸引装置。
5. 前記第１の通路がチューブから構成される、請求項１〜４のいずれかに記載の吸引装置。
6. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出口を外部から吸引する吸引装置であって、
   前記液滴吐出ヘッドの吐出口が形成された面を凹部で覆うキャップと、
   前記キャップに接続される第１の通路と、当該第１の通路に気液分離膜を介して接する第２の通路とを有する排出部と、
   前記キャップ内を前記第１又は第２の通路を介して選択的に吸引する吸引手段と、
   を備えることを特徴とする吸引装置。
7. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、請求項１〜６のいずれかに記載の吸引装置とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
8. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、請求項１〜６のいずれかに記載の吸引装置とを備えることを特徴とするマイクロアレイの製造装置。
9. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出口を外部から吸引する工程を含む液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法であって、
   前記液滴吐出ヘッドの吐出口が形成された面をキャップの凹部で覆う第１過程と、
   前記キャップに接続される第１の通路に気液分離膜を介して接する第２の通路を吸引することにより、前記キャップ内を吸引する第２過程と、
   前記液滴吐出ヘッドの吐出口が形成された面から前記キャップを取り外した後、前記第１の通路を吸引することにより液体を排出する第３過程と、
   を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法。

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