JP2006075743A - 排ガス分解処理装置 - Google Patents
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Abstract
触媒式PFC分解装置に流入するPFC含有排ガス中の大量のケイ素化合物を、反応器前段の湿式除去装置で従来と同様の方法で除去するためには大量の水を必要とする。水使用量の低減を目的とする。
【解決手段】
被処理ガスに含まれる固形物を除去する湿式除去装置と、前記被処理ガスを加熱する予熱器と、前記被処理ガスを分解する反応器とを備えたガス分解処理装置であって、前記湿式除去装置は複数のスプレノズルを有し、前記複数のスプレノズルは上流側のミストを形成するスプレノズルと下流側の水膜を形成するスプレノズルとを有する構成となっていることを特徴とする排ガス分解処理装置。
湿式除去装置内に異なるスプレノズルを配置し、噴霧される水とケイ素化合物を含む被処理ガスとを効率良く接触させるようにした。また、水と反応して生成したケイ素化合物含有ミストを、触媒層を有する反応器に流通させないようにした。
【選択図】図5
Description
(COP3)では温暖化ガス排出削減が決定し、業界でもPFC大気放出の自主規制目標を決定した。放出抑制策としては、使用プロセスの見直し、代替ガスの開発等を進めているが、開発に時間を要することから、分解による方法を導入している。
SiF4+4H2O → Si(OH)4+4HF
SiF4+2HF → H2SiF6
本発明は、これらの化合物を高効率で除去することができる。
30m/sec で使用できる。
Zn,Ni,Ti,Fe,Sn,Co,Zr,Ce,Si,W,Pt,Pdのうち少なくとも一成分を含む触媒を用いることができる。これらの成分は酸化物,金属,複合酸化物の形で存在する。特にAl2O3にNi,Zn,Ti,W,Co,Zrを含んでなる触媒が、高い分解性能を持つ。一例としてはNiとAlの酸化物を含んでなる触媒がある。この触媒は、Al,Niを含むが、これらはNiO,NiAl2O4の形態で含まれる。Alの一部は触媒のX線回折分析を行うと、明確な回折パターンが見られないが、これは結晶性の悪いアモルファス状として含まれるためと思われる。さらにこの触媒にWO3 を金属としてNiO/Al2O3触媒の1〜10wt%で、好ましくは1〜5wt%で添加した触媒はさらに高い性能を示す。
C2F6+3H2O → CO+CO2+6HF (式2)
CHF3+H2O → CO+3HF (式3)
SF6+3H2O → SO3+6HF (式4)
NF3+3/2H2O → NO+1/2O2+3HF (式5)
(式2)及び(式3)の反応ではCOが生成するが、酸素が存在すればCOをCO2 にすることができる。またCO酸化触媒を反応器の後流に設置してもよく、同一反応管内で使用してもよい。触媒式の場合は、反応器内でPFC分解触媒の後流に設置してもよい。
102で排ガス中に含まれるSiF4,SiO2,HF等のケイ素化合物除去を行う。エッチング条件によってはその他の固形物、水と反応して固形化する成分が含まれるが、それらも不純物除去装置102で除去される。不純物除去装置102には、図1−図5等のように構成されたスプレ塔を使用することができる。スプレ塔を通過したガスに、空気または酸素21が被処理ガスに添加され、予熱器104に導入される。反応に必要な水または水蒸気は予熱器に直接導入される。水を直接導入する場合は、予熱槽で気化させる。水は純水が望ましいが、水道水等の市水20を使用する場合は、イオン交換樹脂103等を通し、スケールとして析出する金属成分を除去してから使用する。予熱器の加熱装置222は被処理ガス温度を400−900℃の範囲で任意に加熱する。加熱された被処理ガスは、例えば、アルミナを含む触媒23が充填された反応器105で加水分解される。例えばCF4 はCO2 とHFに分解する。反応器の加熱装置は被処理ガス温度が設定温度から低下しないように、保温または加温する。触媒層を通過した分解生成ガスは、高温のため、水または酸性水を噴霧することができる冷却器106で温度を下げる。尚、被処理ガスの冷却方法としては、水冷やガス冷の一般的な手法、また熱交換器等を使用することができる。この後、必要に応じて、酸性排ガス処理槽107を設置してもよい。図8は排ガススクラバを設置した例である。水を噴霧し、充填材108で排ガスと噴霧水の接触効率向上及びミスト除去を行う。冷却室を通過した後の排ガスはブロワ,エジェクタ等の排気設備109で系外に排ガス25として放出する。また、酸性ガスを吸収した水も排水設備110で排水26として工場内の排水ラインへ放出する。冷却器106,不純物除去装置102で使用した水は排水タンク111に一旦回収して排水してもよい。また、排水ポンプ110で、または他のリサイクルポンプを排水ポンプの前段または後段に設置して、酸性排水を不純物除去装置102,冷却器106,排ガス洗浄槽107にリサイクルしてもよい。排ガス洗浄槽107を通過したガスにミスト、特に酸性ミストが含まれる場合は、サイクロン24等のミスト除去装置を設置してもよい。
minであり、ホロコーン水量は1.55L/minである。L/Gは35(L/m3)である。尚、ホロコーンノズルの効果を調べるため、全てフルコーンノズルにした場合と比較した。この場合も最上段ノズルには水道水を供給し、残りのノズルにはHF含有水を供給した。このときのL/Gは40(L/m3)である。
Si量はそれぞれ1.6,0.8mg/m3 であった。これに対し、全てフルコーンの場合は、4.1,2.5mg/m3であった。即ち、Si量は85φスプレ塔で(1−1.6/
4.1)×100=61% 低減、125φスプレ塔で68%低減し、フルコーンノズルにホロコーンノズルを組合わせた効果が確認された。表1に結果をまとめた。
min、水道水+HF含有水を供給した場合は水道水4.11L/min、HF含有水10.50L/minで合計14.61L/minであった。それぞれL/Gは79,73(L/m3)である。
0.5 ,0.6mg/m3であった。即ち、Si量はHF含有水を利用しても十分除去できる効果が確認された。表2に結果をまとめた。
Si量30.65mg/m3と比較して、18%低減し、多孔板の効果が確認された。表3に結果をまとめた。
Si量は、スプレ塔出口排ガス中のSi量とスプレ塔出口配管に付着した固形物中のSi量の合計である。
mg/m3 よりもさらに低減した。2段でホロコーンノズルを使用し、かつデミスタ層も分割したケイ素化合物含有ミスト除去部の効果が確認された。表6に結果をまとめた。
Claims (13)
- 被処理ガスに含まれる固形物を除去する湿式除去装置と、前記被処理ガスを加熱する予熱器と、前記被処理ガスを分解する反応器とを備えたガス分解処理装置であって、
前記湿式除去装置は複数のスプレノズルを有し、前記複数のスプレノズルは上流側のミストを形成するスプレノズルと下流側の水膜を形成するスプレノズルとを含むことを特徴とする排ガス分解処理装置。 - 請求項1に記載された排ガス分解処理装置であって、前記反応器の下流側に前記分解された被処理ガスを冷却する冷却器、及び前記分解された被処理ガスから酸性ガスを除去する排ガス処理装置のいずれかまたは両方を有することを特徴とする排ガス分解処理装置。
- 請求項1に記載された排ガス分解処理装置であって、前記被処理ガスはパーフルオロコンパウンドを含み、前記固形物はケイ素化合物を含むことを特徴とする排ガス分解処理装置。
- 被処理ガスに含まれる固形物を除去する湿式除去装置と、前記被処理ガスを加熱する予熱器と、前記被処理ガスを分解する反応器とを備えたガス分解処理装置であって、前記湿式除去装置は複数のスプレノズルを有し、前記複数のスプレノズルはHF含有水を噴霧するスプレノズルとHFを含まない水を噴霧するスプレノズルを含むことを特徴とする排ガス分解処理装置。
- 請求項1または4に記載された排ガス分解処理装置であって、
前記複数のスプレノズルのうち少なくとも一つのスプレノズルの上流側に多孔板を有することを特徴とするガス分解処理装置。 - 請求項1に記載された排ガス分解処理装置であって、
前記複数のスプレノズルのうち少なくとも一つのスプレノズルの下流側に、流路を狭くする絞り板を有することを特徴とするガス分解処理装置。 - 被処理ガスに含まれるケイ素化合物を除去する湿式除去装置と、前記被処理ガスを加熱する予熱器と、前記被処理ガスを分解する反応器とを備えた排ガス分解処理装置であって、
前記湿式除去装置は複数のスプレノズルを有するケイ素化合物除去部と、前記ケイ素化合物除去部の下流に設けられたケイ素含有ミスト除去部とを有することを特徴とする排ガス分解処理装置。 - 請求項7に記載された排ガス分解処理装置であって、
前記ケイ素含有ミスト除去部は上流側から、耐フッ化水素性材料からなる第一デミスタ層,スプレノズル層,水ミストを除去する第二デミスタ層の順に設置されていることを特徴とする排ガス分解処理装置。 - 請求項8に記載された排ガス分解処理装置であって、
前記スプレノズル層の最下流に設置されたスプレノズルは水膜を形成するスプレノズルであることを特徴とする排ガス分解処理装置。 - 請求項7ないし9のいずれかに記載された排ガス分解処理装置であって、前記ケイ素化合物除去部に設けられた複数のスプレノズルのうち、最下流に設置されたスプレノズルは水膜を形成するスプレノズルであることを特徴とする排ガス分解処理装置。
- 請求項9または10に記載された排ガス分解処理装置であって、前記水膜を形成するスプレノズルは釣鐘状の液膜を形成するスプレノズルであることを特徴とする排ガス分解処理装置。
- 請求項1ないし11のいずれかに記載された排ガス分解処理装置であって、
前記反応器は前記被処理ガスを分解する触媒が内蔵されていることを特徴とする排ガス分解処理装置。 - 微粒子、または水分との反応により固化する成分を含む被処理ガスを処理する方法であって、
前記被処理ガスをミスト雰囲気を通過させ、その後に水膜を通過させることを特徴とするガス処理方法。
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