JP2006073697A - 干渉計を備えた露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 露光用パターンを被露光体に投影する投影光学系と、前記投影光学系の光学性能を干渉縞として測定する測定装置とを有し、前記測定装置は、互いに対向する第1及び第2の面を有する光学部材を有し、前記第1の面には第1の計測用パターンが形成され、前記第2の面には第2の計測用パターンが形成され、前記第2の面は第1の面よりも前記投影光学系側に配置され、前記測定装置は、前記第1及び第2の計測用パターンを介して光を前記投影光学系に導光することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
120 マスク(レチクル)
121a、121b マスク面
122、124 パターン
150 測定装置
Claims (13)
- 露光用パターンを被露光体に投影する投影光学系と、
前記投影光学系の光学性能を干渉縞として測定する測定装置とを有し、
前記測定装置は、互いに対向する第1及び第2の面を有する光学部材を有し、
前記第1の面には第1の計測用パターンが形成され、前記第2の面には第2の計測用パターンが形成され、前記第2の面は第1の面よりも前記投影光学系側に配置され、
前記測定装置は、前記第1及び第2の計測用パターンを介して光を前記投影光学系に導光することを特徴とする露光装置。 - 前記露光用パターンが形成された露光用マスクを保持するためのレチクルステージを更に有し、
前記光学部材は前記レチクルステージに固定されていることを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 前記光学部材は、前記第1の計測用パターンを形成するための回折光学素子を有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記回折光学素子は拡散板であることを特徴とする請求項3記載の露光装置。
- 前記回折光学素子は、行列状に配置された複数の回折格子であり、
第1の行に形成された複数の回折格子は第2の行に形成された複数の回折格子に対して列方向にずれていることを特徴とする請求項3記載の露光装置。 - 前記第2の計測用パターンは、前記列方向に連続的又は断続的に延びるスリットを含むことを特徴とする請求項5記載の露光装置。
- 前記測定装置は、
前記被露光体を支持するウェハステージに載置され、前記第1及び第2の計測用パターンを経た光が導光される第3の計測用パターンが形成された基準板と、
前記第3の計測用パターンを経た前記光を検出する検出部と、
前記第3の計測用パターンと前記検出部との間に配置された正のパワーを有する光学系とを更に有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 前記正のパワーを有する光学系は、前記第3の計測用パターンのパターン面と前記検出部とを実質的にフーリエ変換の関係に維持することを特徴とする請求項7記載の露光装置。
- 前記光学部材は、前記第1の計測用パターンを含む第1の光学部と、前記第2の計測用パターンを含む第2の光学部とを有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 請求項1乃至9記載の露光装置を利用して前記投影光学系の光学性能を算出するステップと、
前記算出された前記投影光学系の前記光学性能に基づいて前記投影光学系を調節するステップと、
前記調節された前記投影光学系を有する前記露光装置を使用して被露光体を露光するステップとを有することを特徴とする露光方法。 - 前記露光用パターンを前記被露光体に露光する際に露光条件を変更する毎に、前記算出ステップを行うことを特徴とする請求項10記載の露光方法。
- 請求項1乃至9のうちいずれか一項記載の露光装置を利用して被露光体を露光するステップと、
前記露光された前記被露光体を現像するステップとを有するデバイス製造方法。 - 露光用パターンを被露光体に投影する投影光学系と、当該投影光学系の光学性能を干渉縞として測定する測定装置とを有する露光装置の前記測定装置に使用されるマスクであって、
前記マスクの表裏面にはそれぞれ計測用パターンが形成され、前記測定装置は前記計測用パターンを介して光を前記投影光学系に導光することを特徴とするマスク。
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