JP2006066503A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シリコン基板の上に形成されたシリコン酸窒化膜と、このシリコン酸窒化膜の上に形成された高誘電率絶縁膜とを有する半導体装置において、シリコン酸窒化膜中の窒素濃度が膜厚方向に分布を持ち、このシリコン酸窒化膜中の窒素濃度の平均値に対してシリコン基板との界面付近で低く、高誘電率絶縁膜との界面付近で高くなることを特徴とする。これにより、熱処理によるヒステリシスの増加および移動度の低下の小さい半導体装置とすることができる。
【選択図】 図8
Description
従来より、ゲート絶縁膜の形成後には、PDA(Post Deposition Annealing)と呼ばれる高温熱処理が行われる。PDAを施すことによって、High−k膜に含まれる欠陥や不純物の量を減少させることができる。具体的には、酸素の存在によって欠陥が埋められたり、不純物が酸素と反応してHigh−k膜(高誘電率絶縁膜)の外に出て行ったりする。
2 素子分離領域
3 自然酸化膜
4 拡散層
5 シリコン酸窒化膜
6 High−k膜
7 ポリシリコン膜
8 ゲート電極
9 ゲート絶縁膜
10 エクステンション領域
11 サイドウォール
12 ソース・ドレイン領域
13 層間絶縁膜
Claims (7)
- シリコン基板の上に形成されたシリコン酸窒化膜と、
前記シリコン酸窒化膜の上に形成された高誘電率絶縁膜とを有する半導体装置において、
前記シリコン酸窒化膜中の窒素濃度が膜厚方向に分布を持ち、該シリコン酸窒化膜中の窒素濃度の平均値に対して前記シリコン基板との界面付近で低く、前記高誘電率絶縁膜との界面付近で高くなることを特徴とする半導体装置。 - 前記シリコン基板との界面から膜厚方向に0.2nmまでの領域における前記窒素濃度が5atm%以下の値である請求項1に記載の半導体装置。
- 前記高誘電率絶縁膜との界面から膜厚方向に0.2nmまでの領域における前記窒素濃度が10atm%以上の値である請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記シリコン酸窒化膜は1nm以下の膜厚である請求項1〜3に記載の半導体装置。
- シリコン基板の上にシリコン酸窒化膜を形成する工程と、
前記シリコン酸窒化膜の上に高誘電率絶縁膜を形成する工程と、
酸素を含む雰囲気中で前記高誘電率絶縁膜に対して熱処理を行う工程とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記シリコン酸窒化膜を形成する工程は、前記シリコン基板の上にシリコン酸化膜を形成する工程と、
前記シリコン酸化膜をプラズマ窒化処理する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - シリコン基板の上にシリコン酸窒化膜を形成する工程と、
前記シリコン酸窒化膜の上に高誘電率絶縁膜を形成する工程と、
酸素を含む雰囲気中で前記高誘電率絶縁膜に対して熱処理を行う工程とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記シリコン酸窒化膜を形成する工程は、前記シリコン基板の上にシリコン窒化膜を形成する工程と、
前記シリコン窒化膜を酸化する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記シリコン酸窒化膜は1nm以下の膜厚であり、
前記シリコン窒化膜は、膜厚が0.6nm以下であって窒素濃度が40atm%以上である請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
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