JP2006060747A - 弾性表面波デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
弾性表面波デバイスおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006060747A JP2006060747A JP2004243358A JP2004243358A JP2006060747A JP 2006060747 A JP2006060747 A JP 2006060747A JP 2004243358 A JP2004243358 A JP 2004243358A JP 2004243358 A JP2004243358 A JP 2004243358A JP 2006060747 A JP2006060747 A JP 2006060747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave filter
- piezoelectric substrate
- shield electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 69
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 30
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract description 12
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】圧電基板12の表面に複数個の弾性表面波フィルタパターン13、14と対向する弾性表面波フィルタパターン13、14間に圧電基板12の表面から上方に延伸するように設けられたシールド電極16を備えた弾性表面波デバイスで、チップサイズを小型化してもアイソレーションの向上した弾性表面波デバイスが得られる。
【選択図】図1
Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明について説明する。
以下、実施の形態2を用いて、本発明について説明する。本実施の形態2に係る発明は、実施の形態1にかかる発明が対向する弾性表面波フィルタパターン間に圧電基板の表面から上方に延伸するようにシールド電極を設けた構成であったのに対して、本実施の形態2にかかる発明は弾性表面波フィルタパターンもしくは弾性表面波フィルタパターンを構成する弾性表面波共振子パターンの上方空間及び周囲を覆うように設けた封止部材を有し、かつ対向する弾性表面波フィルタ間の封止部材の側壁の外側もしくは内側にシールド電極を設けた点で実施の形態1と相違する。
12 圧電基板
13 送信フィルタパターン
14 受信フィルタパターン
15 ワイヤ
16 シールド電極
17 壁
18 封止部材
21 圧電基板
22 弾性表面波フィルタパターン
23 犠牲層
24 封止部材
25 穴
26 シールド電極
Claims (7)
- 圧電基板と、この圧電基板の表面に設けた複数個の弾性表面波フィルタパターンと、対向する前記弾性表面波フィルタパターン間に前記圧電基板の表面から上方に延伸するように設けられたシールド電極と、を備えた弾性表面波デバイス。
- シールド電極の圧電基板表面からの高さを、複数個の弾性表面波フィルタパターンのうち最も周波数が低いパターンのピッチの2倍より高くした請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- シールド電極は、少なくとも1つの弾性表面波フィルタパターンの上方空間をも覆う請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 圧電基板と、この圧電基板の表面に設けた複数個の弾性表面波フィルタパターンと、この弾性表面波フィルタパターンもしくは弾性表面波フィルタパターンを構成する弾性表面波共振子パターンの上方空間及び周囲を覆うように設けた天面と側壁とを有する封止部材と、前記弾性表面波フィルタパターン間に設けたシールド電極とを備え、前記シールド電極は少なくとも対向する弾性表面波フィルタパターン間の前記封止部材の側壁の内側に設けた請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 圧電基板と、この圧電基板の表面に設けた複数個の弾性表面波フィルタパターンと、この弾性表面波フィルタパターンもしくは弾性表面波フィルタパターンを構成する弾性表面波共振子パターンの上方空間及び周囲を覆うように設けた天面と側壁とを有する封止部材と、前記弾性表面波フィルタパターン間に設けたシールド電極とを備え、前記シールド電極は少なくとも対向する弾性表面波フィルタパターン間の前記封止部材の側壁の外側に設けた請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- ウェハ状の圧電基板の表面に複数個の弾性表面波フィルタパターンからなる弾性表面波デバイスパターンを複数個形成する電極形成工程と、少なくとも前記弾性表面波フィルタパターンもしくは前記弾性表面波フィルタパターンを構成する弾性表面波共振子パターンの上に犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、前記犠牲層の上および周囲に封止部材の層を形成する封止部材形成工程と、前記封止部材の一部に穴をあけ犠牲層を除去する空間形成工程と、前記封止部材の一部にあけた穴を塞ぐ封止工程と、少なくとも対向する前記弾性表面波フィルタパターン間の前記封止部材の側壁の外側にシールド電極を形成するシールド電極形成工程と、前記ウェハ状の圧電基板を切断して個々の弾性表面波デバイスを得る切断工程と、を備える弾性表面波デバイスの製造方法。
- ウェハ状の圧電基板の表面に複数個の弾性表面波フィルタパターンからなる弾性表面波デバイスパターンを複数個形成する電極形成工程と、少なくとも前記弾性表面波フィルタパターンもしくは前記弾性表面波フィルタパターンを構成する弾性表面波共振子パターンの上に犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、前記犠牲層の上面及び側面の一部およびその周辺の前記圧電基板表面の一部にシールド電極を形成するシールド電極形成工程と、前記犠牲層の上および周囲に封止部材の層を形成する封止部材形成工程と、前記封止部材の一部に穴をあけ犠牲層を除去する空間形成工程と、前記ウェハ状の圧電基板を切断して個々の弾性表面波デバイスを得る切断工程と、を備える弾性表面波デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004243358A JP4466280B2 (ja) | 2004-08-24 | 2004-08-24 | 弾性表面波デバイスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004243358A JP4466280B2 (ja) | 2004-08-24 | 2004-08-24 | 弾性表面波デバイスおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006060747A true JP2006060747A (ja) | 2006-03-02 |
JP4466280B2 JP4466280B2 (ja) | 2010-05-26 |
Family
ID=36107823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004243358A Active JP4466280B2 (ja) | 2004-08-24 | 2004-08-24 | 弾性表面波デバイスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4466280B2 (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010073377A1 (ja) | 2008-12-26 | 2010-07-01 | 太陽誘電株式会社 | 分波器および電子装置 |
JP2010200221A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Taiyo Yuden Co Ltd | 電子部品、デュープレクサ、通信モジュール、通信装置、および電子部品の製造方法 |
WO2011036977A1 (ja) * | 2009-09-28 | 2011-03-31 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ、通信モジュール、および通信装置 |
US8022787B2 (en) | 2007-12-18 | 2011-09-20 | Taiyo Yuden Co., Ltd | Duplexer, module including a duplexer and communication apparatus |
US8040205B2 (en) | 2008-06-09 | 2011-10-18 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Duplexer having specified relationship of the minimum distances between signal pads and specific ground pads |
US8138854B2 (en) | 2008-07-31 | 2012-03-20 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Filter, branching filter and communication apparatus |
US8174339B2 (en) | 2008-12-26 | 2012-05-08 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Duplexer, substrate for duplexer, and electronic apparatus |
US8228137B2 (en) | 2007-08-23 | 2012-07-24 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Filter, demultiplexer, and module including demultiplexer, communication apparatus |
US8378760B2 (en) | 2010-02-01 | 2013-02-19 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Duplexer, communication module, and communication device |
WO2014050307A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
US8766744B2 (en) | 2010-11-10 | 2014-07-01 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Duplexer and electronic device having the same |
WO2022009976A1 (ja) * | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール及び通信装置 |
US11309868B2 (en) | 2018-08-24 | 2022-04-19 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Multiplexer |
WO2023171161A1 (ja) * | 2022-03-07 | 2023-09-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52136519U (ja) * | 1976-04-13 | 1977-10-17 | ||
JPS5314436U (ja) * | 1976-07-19 | 1978-02-06 | ||
JPS54181840U (ja) * | 1978-06-12 | 1979-12-22 | ||
JPS5572337U (ja) * | 1978-11-08 | 1980-05-19 | ||
JPH08162899A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-21 | Kokusai Electric Co Ltd | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
JPH09116382A (ja) * | 1995-08-14 | 1997-05-02 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
JP2000261284A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
JP2002016466A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
JP2003051731A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波分波器 |
JP2004135193A (ja) * | 2002-10-11 | 2004-04-30 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 表面実装型sawデバイス、及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-08-24 JP JP2004243358A patent/JP4466280B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52136519U (ja) * | 1976-04-13 | 1977-10-17 | ||
JPS5314436U (ja) * | 1976-07-19 | 1978-02-06 | ||
JPS54181840U (ja) * | 1978-06-12 | 1979-12-22 | ||
JPS5572337U (ja) * | 1978-11-08 | 1980-05-19 | ||
JPH08162899A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-21 | Kokusai Electric Co Ltd | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
JPH09116382A (ja) * | 1995-08-14 | 1997-05-02 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
JP2000261284A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
JP2002016466A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
JP2003051731A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波分波器 |
JP2004135193A (ja) * | 2002-10-11 | 2004-04-30 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 表面実装型sawデバイス、及びその製造方法 |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8228137B2 (en) | 2007-08-23 | 2012-07-24 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Filter, demultiplexer, and module including demultiplexer, communication apparatus |
US8022787B2 (en) | 2007-12-18 | 2011-09-20 | Taiyo Yuden Co., Ltd | Duplexer, module including a duplexer and communication apparatus |
US8040205B2 (en) | 2008-06-09 | 2011-10-18 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Duplexer having specified relationship of the minimum distances between signal pads and specific ground pads |
US8138854B2 (en) | 2008-07-31 | 2012-03-20 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Filter, branching filter and communication apparatus |
WO2010073377A1 (ja) | 2008-12-26 | 2010-07-01 | 太陽誘電株式会社 | 分波器および電子装置 |
US8274342B2 (en) | 2008-12-26 | 2012-09-25 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Duplexer and electronic device |
US8174339B2 (en) | 2008-12-26 | 2012-05-08 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Duplexer, substrate for duplexer, and electronic apparatus |
JP2010200221A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Taiyo Yuden Co Ltd | 電子部品、デュープレクサ、通信モジュール、通信装置、および電子部品の製造方法 |
US9054674B2 (en) | 2009-09-28 | 2015-06-09 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave filter, communication module, and method for manufacturing the filter |
JP2011071874A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Taiyo Yuden Co Ltd | フィルタ、通信モジュール、および通信装置 |
WO2011036977A1 (ja) * | 2009-09-28 | 2011-03-31 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ、通信モジュール、および通信装置 |
US8378760B2 (en) | 2010-02-01 | 2013-02-19 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Duplexer, communication module, and communication device |
US8766744B2 (en) | 2010-11-10 | 2014-07-01 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Duplexer and electronic device having the same |
WO2014050307A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
JP5510695B1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-06-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
KR20150044939A (ko) * | 2012-09-25 | 2015-04-27 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 및 그 제조 방법 |
KR101645172B1 (ko) | 2012-09-25 | 2016-08-03 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 및 그 제조 방법 |
US9520859B2 (en) | 2012-09-25 | 2016-12-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device including a conductive shield electrode and manufacturing method thereof |
US11309868B2 (en) | 2018-08-24 | 2022-04-19 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Multiplexer |
WO2022009976A1 (ja) * | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール及び通信装置 |
WO2023171161A1 (ja) * | 2022-03-07 | 2023-09-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4466280B2 (ja) | 2010-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4714214B2 (ja) | 弾性表面波デバイス | |
US9520859B2 (en) | Elastic wave device including a conductive shield electrode and manufacturing method thereof | |
JP4637669B2 (ja) | フィルタ装置とこれを用いたマルチバンドフィルタ、分波器及び通信装置 | |
JP4466280B2 (ja) | 弾性表面波デバイスおよびその製造方法 | |
JP4460612B2 (ja) | 弾性表面波デバイス及びその製造方法 | |
KR100961481B1 (ko) | 탄성 표면파 디바이스, 및 이를 이용한 탄성 표면파 필터와안테나 공용기, 및 이를 이용한 전자 기기 | |
JP4316557B2 (ja) | モノリシックデュプレクサ、及びその製造方法 | |
KR100955548B1 (ko) | 듀플렉서 및 이것을 이용한 통신 장치 | |
CN107404304A (zh) | 声波谐振器及其制造方法 | |
JP2005333644A (ja) | インダクタが内蔵されたフィルタ、デュプレクサおよびその製造方法 | |
JP5025963B2 (ja) | 電子部品とその製造方法及びこの電子部品を用いた電子機器 | |
JP2005184851A (ja) | 一体化したfbarおよびアイソレーション部を用いて製造されたデュプレクサおよびその製造方法 | |
JP2008060382A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP4518870B2 (ja) | 弾性表面波装置および通信装置 | |
JP2017147719A (ja) | 音響共振器及びその製造方法 | |
CN110798167A (zh) | 声波器件及其制作方法 | |
JP2015095714A (ja) | 圧電薄膜共振子、フィルタ、及び分波器 | |
KR20180107852A (ko) | 음향 공진기 및 그 제조방법 | |
US10951195B2 (en) | Acoustic resonator filter package | |
JP5891049B2 (ja) | アンテナ共用器とその製造方法 | |
JP4454410B2 (ja) | 弾性表面波装置およびその製造方法ならびに通信装置 | |
JP2019201305A (ja) | 音響共振器 | |
WO2019036010A1 (en) | VOLUME WAVE VOLTAGE RESONATOR TECHNOLOGY FOR UHF AND SHF SIGNAL PROCESSING | |
JP4610244B2 (ja) | 弾性表面波装置の製造方法 | |
JP2005079694A (ja) | 分波器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070607 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20070712 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100215 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4466280 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140305 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |