JPH09116382A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 同一圧電基板上に構成された弾性表面波フィ
ルタおよび弾性表面波共振子において、発振回路のオン
・オフに関わらずノイズを発生させない。 【解決手段】 圧電基板と、この圧電基板の 1主面に載
置された少なくとも 2組のトランスデューサ電極によっ
て構成される少なくとも 1つの弾性表面波フィルタと、
1主面に載置された少なくとも 1組のトランスデューサ
電極および 2組の反射器電極によって構成される少なく
とも 1つの弾性表面波共振子とよりなる弾性表面波装置
において、弾性表面波フィルタは、その各トランスデュ
ーサ電極の内の弾性表面波共振子に近接する側の電極が
全て接地電位にある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波装置に係
り、とくに同一の圧電基板上に形成された発振回路や他
の弾性表面波フィルタの影響を受けることのない弾性表
面波装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波フィルタと弾性表面波共振子
とを同一の圧電基板上に構成することは既に知られてい
る（特開平 4-68907号公報）。この技術は同一の圧電基
板に第１中間周波数フィルタおよび第２局部発振用共振
子を構成することからなり、スパーヘテロダイン検波回
路を想定している。また、この技術の要旨はフィルタの
中心周波数と発振周波数を常に合わせることであり、そ
のために、周波数温度特性が同一である回路を構成する
ように、弾性表面波フィルタと弾性表面波共振子を同一
の基板上に構成している。

【０００３】ここで弾性表面波フィルタについて下記に
説明する。弾性表面波フィルタは、圧電基板と、この圧
電基板主面上に載置された入出力トランスデューサ電
極、これらを納めるパッケージ、および圧電基板とパッ
ケージとを電気的に接続するボンディング・ワイヤとか
ら構成される。ここで、圧電基板は弾性表面波を伝搬す
る基板であり、入力トランスデューサ電極は電気信号を
弾性表面波（機械信号）に変換する電極であり、出力ト
ランスデューサ電極は弾性表面波（機械信号）を電気信
号に変換する電極であり、パッケージは金属またはプラ
スチックまたはセラミックスから構成され、ボンディン
グ・ワイヤはアルミニウム材料または金材料などから構
成されている。

【０００４】弾性表面波フィルタは回路上に発生するあ
らゆる信号の内、本来の処理に必要な周波数成分のみを
瀘波抽出するために用いられる。すなわち入力トランス
デューサ電極の電極ピッチと圧電基板の弾性表面波伝搬
速度とで決まる周波数を中心周波数とし入力トランスデ
ューサ電極の本数で決まる通過帯域幅の周波数成分の電
気信号のみを圧電基板上に弾性表面波として励振し得
る。また励振された弾性表面波は入力トランスデューサ
電極から出力トランスデューサ電極へ到達し、やはり出
力トランスデューサ電極のピッチと圧電基板の弾性表面
波伝搬速度と出力トランスデューサ電極本数とから決ま
る周波数成分のみ弾性表面波から電気信号へ変換し得る
ことができ、またパッケージの端子を通して外部に電気
信号として排出し得る。このとき入力トランスデューサ
電極または出力トランスデューサ電極のいづれかにその
交差幅の重みづけを掛けることでフィルタの振幅特性や
位相特性（群遅延特性）を所望の特性に変更する事が可
能である。また弾性表面波フィルタに入力された電気信
号の内、先の入力トランスデューサ電極のピッチと圧電
基板の弾性表面波伝搬速度と入力トランスデューサ電極
の本数とから決められた中心周波数および周波数帯域幅
の範囲に無い電気信号は入力トランスデューサ電極にて
弾性表面波に変換されず、したがって圧電基板上に弾性
表面波として励振されないために出力トランスデューサ
電極において電気信号として瀘波抽出されることはな
い。

【０００５】一般の弾性表面波フィルタの応用では、例
えば日本のテレビの中間周波数回路に於ける映像信号
（58.75MHz）や音声信号（54.25MHz）の検出すなわち隣
接映像信号や隣接音声信号の除去に用いられたり、また
は衛星放送受信機の第２中間周波数抽出（402.78MHz ）
に用いられてきた。最近ではデジタル化された信号を検
波する前段のロールオフ・フィルタとして用いられる応
用も増えてきている。

【０００６】次に弾性表面波共振子について説明する。
弾性表面波共振子は主に 1ポート共振子と 2ポート共振
子とに分類することができる。 1ポート共振子は圧電基
板上に載置された 1対のトランスデューサ電極とこれを
弾性表面波の伝搬方向に挟む形で配置された 1組の反射
器電極とで形成される。 1ポート共振子では圧電基板の
弾性表面波伝搬速度とトランスデューサ電極のピッチと
で共振周波数が決められる。弾性表面波フィルタの中心
周波数が圧電基板の弾性表面波伝搬速度とトランスデュ
ーサ電極のピッチの比で決まったことに対して、弾性表
面波共振子では一般に反射器電極の弾性表面波反射効率
を上げるために電極を構成する金属薄膜の膜厚を高くし
ているためトランスデューサ電極の内部で表面波の反射
が生じ、したがってトランスデューサ電極自身の放射コ
ンダクタンスは周波数が低い方にシフトした形になる。
1ポート共振子はトランスデューサ電極を 1対のみ持つ
ために弾性表面波フィルタとは異なり入力から出力にか
けての電気信号の遅延時間を持たないことが特徴であ
る。

【０００７】また 2ポート共振子では前述の反射器電極
に挟まれて 2対のトランスデューサ電極を合わせ持つ。
動作は前述の弾性表面波フィルタに近く、一方のトラン
スデューサ電極は入力された電気信号を弾性表面波に変
換、励振する。励振された弾性表面波は出力トランスデ
ューサ電極で受信される以上に両側の反射器電極で反射
され各電極が載置された圧電基板上にＱの高い定在波を
生じる。出力トランスデューサ電極は定在波の腹に位置
する位相関係で圧電基板上に配置され、高い出力の電気
信号を取り出すことが可能である。

【０００８】1ポート、 2ポートのいづれにおいても弾
性表面波共振子は発振回路に用いられる。一般的にはト
ランジスタ等の増幅回路を用いコルピッツ形の発振回路
を構成する。図４に 1ポート共振子を用いた発振回路の
例を示す。弾性表面波共振子４１からみたトランジスタ
４２を中心とした回路は容量性に見えているので、弾性
表面波共振子４１がインダクター性に見える周波数、す
なわち 1ポート共振子の直列共振点と並列共振点の間の
いづれかで発振が生じる。

【０００９】弾性表面波共振子を用いた発振回路はＣＡ
ＴＶや衛星放送受信機などで広く用いられている。ＣＡ
ＴＶにおいてはセットトップ・コンバータの第２ローカ
ル発振器に用いられる。これは第１中間周波数と第２ロ
ーカル発振器信号とのミキシングによりテレビのチャン
ネル周波数に合わせることに用いられる。また衛星放送
受信機では第２中間周波数フィルタに弾性表面波フィル
タを用い、第３ローカル発振器に弾性表面波共振子を用
いることがある。

【００１０】近年では様々な放送、通信がディジタル信
号化されて行われている。特に衛星放送においても未来
の通信とのデータの共有化を目指してディジタル化が進
んでいる。さてディジタル衛星放送の受信機においては
第２中間周波数を 479.5MHzに設定することが一般化さ
れている。ディジタル信号はπ/4ＱＰＳＫ信号として送
信されてくる。この信号を受信、検波するためには図５
の様な回路を必要とする。図５はディジタル変調された
信号の検波回路の例である。図５において５１は第２中
間周波数弾性表面波フィルタ、５２は第３ローカル弾性
表面波発振器、５３はπ/2位相変換器、５４は第３ミキ
サー、５５は検波回路である。５１に用いられる弾性表
面波フィルタには次のような性能が求められる。まず中
心周波数は第２中間周波数である 479.5MHz 近傍でなく
てはならない。さらに信号が拡散している周波数帯域 3
2MHzを通過させる帯域幅が必要であり、前後段のゲイン
・プロファイルの問題から弾性表面波フィルタの電圧損
失は 20dB 程度が望ましい。また信号の電圧レベルを常
に一定に保つために振幅偏差（リップル）は 0.1〜0.2d
B 程度、また信号の検波誤り率を低く保つために群遅延
時間偏差は通過帯域内で 2〜4ns に保つことが望まし
い。５２に用いられる弾性表面波共振子には発振回路に
実装した際に前述の弾性表面波フィルタの中心周波数で
発振することが求められる。したがって一般的にはその
共振周波数は弾性表面波フィルタの中心周波数とは一致
するとは限らない。前述のように発振周波数は弾性表面
波共振子のインピーダンスがインダクタ性に見える周波
数になるが、それは直列共振周波数と並列共振周波数の
間にあり、いわゆるインピーダンスの最も低く見える共
振周波数ではインダクター性には見えない。すなわち直
列共振周波数は前記弾性表面波フィルタの中心周波数よ
りは低く、並列共振周波数は前記の弾性表面波フィルタ
の中心周波数よりも高くなる。このように、ディジタル
衛星放送においては第２中間周波数フィルタに厳密なロ
ールオフ特性を求めるために、第２中間周波数の中心周
波数と第３ローカル発振周波数とが厳密に一致すること
が重要となる。

【００１１】しかし、第２中間周波数フィルタである弾
性表面波フィルタは、その中心周波数に温度特性を持っ
ている。広く用いられているＹ軸カットＸ軸伝搬ニオヴ
酸リチウムを圧電基板として用いた 479.5MHz の弾性表
面波フィルタの場合、中心周波数の温度係数が -90ppm/
℃なので 25 ℃に対して、 +60℃では 1.5MHz も中心周
波数が下がることになる。またＸ軸カット 112°Ｙ軸伝
搬タンタル酸リチウムを圧電基板にした場合には温度係
数が -18ppm/℃であるため、 25 ℃に対して、+60℃で
は中心周波数が 302kHz も下がることになる。このとき
第３ローカル発振器にも同等の周波数温度係数を持たせ
る必要がある。そのために発振器を構成する発振素子に
は、第２中間周波に用いられた弾性表面波フィルタと同
等材料を用いた弾性表面波共振子が用いられる。一般的
に弾性表面波共振子を用いた発振回路の周波数温度係数
は弾性表面波共振子自体の温度係数が支配的であり、共
振子の材料を意図的にフィルタと合わせている限り、フ
ィルタの温度係数と同等になる。

【００１２】このため、弾性表面波フィルタと弾性表面
波共振子を同一の材料で構成する場合、同一の基板上に
それぞれの電極を構成することはすでに知られている
（特開平 4-68907号公報）。図６に一般的な構成例を示
す。図６の上段は第２中間周波数を抽出する弾性表面波
フィルタ２、下段は第３ローカル発振器の発振素子であ
る弾性表面波共振子３である。それぞれは同一の圧電基
板１上に載置されている。前述の特開平 4-68907号公報
で説明されている技術は第１中間周波フィルタ以降の検
波方式はいわゆるスーパーヘテロダイン方式である。本
方式では第１中間周波フィルタの中心周波数と発振回路
の周波数とは異なる。たとえば第１中間周波フィルタ以
降の第３ローカル周波数は 10 MHz 程度に設定されるこ
とが多い。この場合、第１中間周波フィルタの中心周波
数に対して発振回路を構成する第２局部発振用共振子の
共振周波数は 10 MHz 程度低い。この技術は第１中間周
波フィルタを通過した信号を直接検波する方式に用いら
れるが、前述の特開平 4-68907号公報ではヘテロダイン
方式に用いられる点が異なる。

【００１３】一方、弾性表面波フィルタと弾性表面波共
振子との組合わせでなく、少なくとも 2個の弾性表面波
フィルタを組合わせるデュアルタイプの弾性表面波装置
がある。このような弾性表面波装置の従来例を図８に示
す。図８において、圧電基板１のチップサイズが大きい
ので、弾性表面波フィルタＡの出力側電極９ａと弾性表
面波フィルタＢの入力側電極８ｂとの間の距離と弾性表
面波フィルタＢの出力側電極９ｂと弾性表面波フィルタ
Ａの入力側電極８ａとの間の距離とが等しくなるように
弾性表面波フィルタＡおよびＢを配置できる。この配置
においては、出力側外部回路に差動増幅器を使用しても
2つの入力側電極に同時に信号が加えられたとき、誘導
をキャンセルすることができる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６に
おいて、実際に発振回路を構成し、弾性表面波共振子３
を用いて発振させた状態で弾性表面波フィルタ２の振幅
特性を観測してみると図７の様になった。図７（ａ）は
振幅特性であり、共振子が発振状態での振幅（実線）で
は通過帯域内にノイズ１１が見られる。発振を止めた場
合の振幅特性は点線の様になり、帯域内のノイズが発振
回路による影響であることがわかる。図７（ｂ）の群遅
延特性の場合も同様である。発振回路の影響と考えられ
るノイズ１１が帯域内に見られるディジタル信号の検波
の場合、特に群遅延特性のノイズ１１の影響は大きい。
群遅延の帯域内偏差は 15ns 程度が限度であり、ノイズ
の影響でこれを超える偏差を生じた場合には映像や音声
にノイズが生じる。

【００１５】以上のように同一圧電基板上に弾性表面波
フィルタおよび弾性表面波共振子を構成し、弾性表面波
共振子を発振素子として発振回路を構成しまた発振させ
た状態では、弾性表面波フィルタの振幅、群遅延特性に
ノイズが発生し、特にディジタル信号検波回路において
は影響が考えられるという問題がある。

【００１６】前述の特開平 4-68907号公報の技術を弾性
表面波フィルタの中心周波数 479.5MHz 、弾性表面波共
振子の共振周波数 469.0MHz で構成して同様に受信回路
を構成してみた。弾性表面波共振子を用いた発振回路を
動作させ、弾性表面波フィルタの通過特性を観察したと
ころ、図７（ａ）および図７（ｂ）で示されたノイズは
観察されなかった。これは発振回路の影響が弾性表面波
フィルタに及んでいないことを示している。発振回路の
周波数が弾性表面波フィルタの中心周波数とは10 MHz
以上も異なるために、弾性表面波フィルタの帯域内にノ
イズとして現れないものと考察される。

【００１７】請求項１ないし請求項３の発明はこのよう
な問題に対処するためになされたもので、同一圧電基板
上に構成された弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共
振子において、発振回路のオン・オフに関わらずノイズ
のない弾性表面波フィルタ特性が得られる弾性表面波装
置を提供することを目的としている。

【００１８】一方、デュアルタイプの弾性表面波装置に
おいて、チップサイズをできる限り小さくしようとした
とき、弾性表面波フィルタＡおよびＢの配置は図９に示
すようになる。図９において、圧電基板１のチップサイ
ズが小さいので、弾性表面波フィルタＡの出力側電極９
ａと弾性表面波フィルタＢの入力側電極８ｂとの間の距
離は、弾性表面波フィルタＢの出力側電極９ｂと弾性表
面波フィルタＡの入力側電極８ａとの間の距離より長く
なってしまう。また、図９における弾性表面波装置の引
き回しパターンを図１０に示す。図１０に示すように引
き回しパターンは、外部回路にあわせ単純化するため、
弾性表面波フィルタＡの入力側ホット電極１１は、弾性
表面波フィルタＢ側に配置してあった。このような配置
において、弾性表面波フィルタＡおよびＢのそれぞれの
入力側電極に同時に信号が加えられたとき、弾性表面波
フィルタＡの入力側ホット電極１１よりの信号が弾性表
面波フィルタＢの出力側電極９ｂに漏れ混む。その結
果、差動増幅器７に大きさの異なる信号が入ることによ
り差動のバランスが崩れ誘導をキャンセルすることがで
きなくなり、帯域外減衰量の低減等の周波数特性の劣化
が生じるという問題がある。

【００１９】請求項４の発明はこのような問題に対処す
るためになされたもので、同一圧電基板上に構成された
複数個の弾性表面波フィルタを有する場合において、差
動増幅器への入力信号のバランスがとれて誘導をキャン
セルすることができる弾性表面波装置を提供することを
目的としている。

【００２０】

【課題を解決するための手段】請求項１の弾性表面波装
置は、圧電基板と、この圧電基板の 1主面に載置された
少なくとも 2組のトランスデューサ電極によって構成さ
れる少なくとも 1つの弾性表面波フィルタと、 1主面に
載置された少なくとも 1組のトランスデューサ電極およ
び 2組の反射器電極によって構成される少なくとも 1つ
の弾性表面波共振子とよりなる弾性表面波装置におい
て、弾性表面波フィルタは、その各トランスデューサ電
極の内の弾性表面波共振子に近接する側の電極が全て接
地電位にあることを特徴とする。

【００２１】請求項２の弾性表面波装置は、請求項１の
弾性表面波装置において、弾性表面波共振子が 2ポート
共振子であることを特徴とする。

【００２２】請求項３の弾性表面波装置は、請求項１ま
たは請求項２の弾性表面波装置において、弾性表面波フ
ィルタの出力電極が接地電位にならない差動出力タイプ
であって、弾性表面波フィルタのトランスデューサ電極
の間に位置するシールド電極が弾性表面波フィルタと弾
性表面波共振子との間に位置するまで引き延ばされてい
ることを特徴とする。

【００２３】請求項４の弾性表面波装置は、圧電基板
と、この圧電基板の 1主面に少なくとも 2組のトランス
デューサ電極によって構成される弾性表面波フィルタが
複数個近接して載置され、かつ弾性表面波フィルタが相
互に異なる周波数特性を有する弾性表面波装置におい
て、近接して載置された弾性表面波フィルタの一方の出
力側電極と他方の入力側電極との間の距離と、この他方
の出力側電極と一方の入力側電極との間の距離が異なる
とき、これらの距離の短いほうに位置する弾性表面波フ
ィルタの入力側電極の接地電極を近接する弾性表面波フ
ィルタ側に配置することを特徴とする。

【００２４】

【発明の実施の形態】請求項１ないし請求項３に係る弾
性表面波装置について説明する。同一圧電基板上に構成
された弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振子にお
いて、発振回路のオン・オフにより発生するノイズの原
因は発振回路で発生しているスペクトラムの回り込みと
考えられる。それは発振回路をオン・オフした場合に、
振幅や群遅延特性に発生するノイズの状態が変わること
で考察される。発振回路の内、弾性表面波フィルタに最
も近いのは同一圧電基板上に構成された弾性表面波共振
子である。したがって弾性表面波共振子を通過する発振
出力が誘電率の高い圧電基板を通過して弾性表面波フィ
ルタ側に漏れていると考えられる。

【００２５】図６を用いて現象を説明する。誘電率の高
い圧電基板１上に形成された弾性表面波共振子３は外部
の回路とともに発振回路を構成している。このとき弾性
表面波のエネルギー（定在波）は共振子によってトラッ
プされてはいるが、実は共振子の外に若干漏れている。
漏れてはいるが共振子が構成する導波路から離れること
無く、周辺にトラップされた形で伝搬している。さて、
同一圧電基板１上に形成された弾性表面波フィルタ２で
は電気信号が入力される電極４および電気信号が出力さ
れる電極５は弾性表面波共振子側に配置されており、一
方の対である電極６および電極７は接地電位になってい
る。この構成で弾性表面波共振子３をつなぐ回路を発振
させて弾性表面波フィルタ２のフィルタ特性を観察する
と図７の実線のようになった。また発振を止めると図７
の点線の通りとなった。これは弾性表面波共振子３から
発振回路のエネルギーがもれ、フィルタ側の電極４、電
極５に漏れこんだためと考えられる。弾性表面波フィル
タ２と弾性表面波共振子３の間には互いの電位を妨げる
ものが無い。したがって誘電率の高い圧電材料で結合
し、漏れこんだものと考えられる。

【００２６】この漏れ混みを防ぐための実施例について
図１を用いて説明する。図１では、誘電率の高い基板１
上に形成された弾性表面波フィルタ２と弾性表面波共振
子（１ポート共振子）３との位置関係は変わっていない
が、入出力電極と接地電極との位置関係をかえている。
すなわち、図６の入力電極４に対応する位置に、図１で
は接地電極６が置かれ、これは接地電位にある。また同
様に図６の出力電極５の位置に、図１では接地電極７が
ありこれも接地電位にある。かわって図１の入力電極４
は接地電極６の内側の位置に変わり、これは弾性表面波
共振子３とは離れた位置にあると言えるばかりか、弾性
表面波共振子３との間には接地電位にある接地電極６お
よび接地電極７を挟んで静電的結合を阻止している。

【００２７】実際に同一基板上に弾性表面波フィルタ２
および弾性表面波共振子３を構成し、弾性表面波共振子
３を発振回路に接続、発振させた状態で弾性表面波フィ
ルタ２のフィルタ特性を観察すると、図７に示す点線の
通りとなり、また発振を止めてフィルタ特性を観測する
と変わること無く点線の通りの特性となった。これは発
振回路の影響を受けていないことを示している。これは
弾性共振子を用いた発振回路のエネルギーの漏れが弾性
表面波フィルタの接地電位にある電極によって遮断さ
れ、トランスデューサ電極の一方の対である、図１の入
力電極４や出力電極５に影響していないものと考えられ
る。

【００２８】しかも図７に示す実線の特性に現れたノイ
ズは静電的な結合によるものであり、実際に弾性表面波
自身が共振子からフィルタに向かって漏れ出ているわけ
では無いことを示している。なぜならば弾性表面波自身
が漏れ出ているのならば、フィルタの共振子に近接する
側のトランスデューサ電極の一方の対を接地電位にして
も他方の電極ではノイズとして出力されるはずだからで
ある。

【００２９】図２に本発明の変形例を示す。図２で弾性
表面波フィルタ２は図１と同様に共振子に近接するトラ
ンスデューサ電極を接地電位として、弾性表面波共振子
３は2ポート共振子として構成されている。 2ポート共
振子を用いた発振回路はその位相特性を利用して構成さ
れることが多く、そのために 2組のトランスデューサ電
極をそれぞれ入力電極、出力電極として用いる。共振子
の入力電極や出力電極においても接地電位に設定するの
は弾性表面波フィルタとは近接する側に設定してある。
本変形例においても図１と同様の効果が確認できた。 2
ポート弾性表面波共振子を用いた発振回路を動作させた
ままで弾性表面波フィルタの通過特性を確認すると図７
に示す点線の特性を確認した、また発振を止めても同様
にノイズの無い点線通りの特性が得られ、発振のオン・
オフに連動してフィルタの特性が変わることはなかっ
た。

【００３０】図３に本発明の他の変形例を示す。図３に
記載の弾性表面波フィルタは図１、図２と構成的には変
わらないが、入力トランスデューサ電極８を非作動と
し、出力トランスデューサ電極９を作動としている。ま
た弾性表面波共振子３は図１と同様に 1ポート共振子の
構成である。このとき入力のトランスデューサ電極８は
前述までの理由で弾性共振子を含んだ発振回路の影響を
受けないが、出力トランスデューサ電極９は発振回路の
影響を受けることになる。これを除去するために入力ト
ランスデューサ電極８と出力トランスデューサ電極９と
の間に載置されたシールド電極１０（接地電位）を引き
延ばし、弾性表面は共振子と出力トランスデューサ電極
との間に接地電位の壁を設けた。やはり、図７の点線で
示した周波数特性を実現し、発振回路のオン・オフに関
わらずノイズの無い特性を実現している。

【００３１】請求項４に係る弾性表面波装置を図１１に
より説明する。図１１は誘電率の高い基板上に形成され
た弾性表面波フィルタとその電極の引き回しパターンを
示す。図１１において、弾性表面波フィルタＡとＢとの
位置関係は図１０に示す従来例と変わっていないが、弾
性表面波フィルタＡにおける入力側ホット電極１１と入
力側接地電極１２との位置関係を変えている。すなわ
ち、図１０における弾性表面波フィルタＡの入力側ホッ
ト電極１１に対応する位置に、図１１では接地電極１２
が置かれている。

【００３２】この結果、弾性表面波フィルタＢの出力側
電極１０ｂと弾性表面波フィルタＡの入力側ホット電極
１１との間の距離が遠くなり、入力側ホット電極１１よ
りの信号の漏れ混みを防ぐことができる。

【００３３】実際に同一圧電基板上に弾性表面波フィル
タＡおよびＢを構成し、両方の弾性表面波フィルタのフ
ィルタ特性を観察した結果を図１２に示す。図１０に示
す従来例では、図１２に示す点線の通りとなり、また図
１１に示す本実施例では、実線の通りの特性となり、帯
域外減衰量が大きく良好なフィルタ特性が得られた。

【００３４】

【発明の効果】請求項１ないし請求項３の弾性表面波装
置は、同一圧電基板上に構成された弾性表面波フィルタ
および弾性表面波共振子において、弾性表面波共振子を
用いて発振回路を構成し、その発振回路を動作させた状
態でも発振回路の影響を受けることの無い弾性表面波弾
性表面波装置を得ることができる。

【００３５】請求項４の弾性表面波装置は、同一圧電基
板上に構成された複数の弾性表面波フィルタにおいて、
近接する入力側ホット電極からの漏れ混みを防ぐことに
より、差動増幅器への入力信号のバランスがとれ誘導が
キャンセルされて、帯域外レベルが良好である弾性表面
波装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】発振回路からのエネルギー漏れ混みを防ぐため
の実施例を示す図である。

【図２】図１に示す実施例の変形例を示す図である。

【図３】図１に示す実施例の他の変形例を示す図であ
る。

【図４】1ポート共振子を用いた発振回路の例を示す図
である。

【図５】ディジタル変調された信号の検波回路の例を示
す図である。

【図６】従来例の弾性表面波装置を示す図である。

【図７】弾性表面波装置のフィルタ特性を示す図であ
る。

【図８】従来例のデュアルタイプの弾性表面波装置を示
す図である。

【図９】デュアルタイプの弾性表面波装置における弾性
表面波フィルタの配置を示す図である。

【図１０】図９における弾性表面波装置の引き回しパタ
ーンを示す図である。

【図１１】本実施例における弾性表面波装置の引き回し
パターンを示す図である。

【図１２】弾性表面波フィルタのフィルタ特性を示す図
である。

【符号の説明】

１……圧電基板、２……弾性表面波フィルタ、３……弾
性表面波共振子、４……入力電極、５……出力電極、６
……接地電極、７……接地電極、８……入力トランスデ
ューサ電極、９……出力トランスデューサ電極、１０…
…シールド電極、１１……ノイズ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電基板と、この圧電基板の 1主面に載
   置された少なくとも 2組のトランスデューサ電極によっ
   て構成される少なくとも 1つの弾性表面波フィルタと、
   前記 1主面に載置された少なくとも 1組のトランスデュ
   ーサ電極および2組の反射器電極によって構成される少
   なくとも 1つの弾性表面波共振子とよりなる弾性表面波
   装置において、 前記弾性表面波フィルタは、その各トランスデューサ電
   極の内の前記弾性表面波共振子に近接する側の電極が全
   て接地電位にあることを特徴とする弾性表面波装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の弾性表面波装置におい
   て、前記弾性表面波共振子が 2ポート共振子であること
   を特徴とする弾性表面波装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２記載の弾性表面
   波装置において、前記弾性表面波フィルタの出力電極が
   接地電位にならない差動出力タイプであって、前記弾性
   表面波フィルタのトランスデューサ電極の間に位置する
   シールド電極が前記弾性表面波フィルタと前記弾性表面
   波共振子との間に位置するまで引き延ばされていること
   を特徴とする弾性表面波装置。
4. 【請求項４】 圧電基板と、この圧電基板の 1主面に少
   なくとも 2組のトランスデューサ電極によって構成され
   る弾性表面波フィルタが複数個近接して載置され、かつ
   前記弾性表面波フィルタが相互に異なる周波数特性を有
   する弾性表面波装置において、 前記近接して載置された弾性表面波フィルタの一方の出
   力側電極と他方の入力側電極との間の距離と、前記他方
   の出力側電極と前記一方の入力側電極との間の距離が異
   なるとき、これらの距離の短いほうに位置する弾性表面
   波フィルタの入力側電極の接地電極を近接する弾性表面
   波フィルタ側に配置することを特徴とする弾性表面波装
   置。