JP2006047113A - 回転検出装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】工程S1においてバイアス磁石を成形した後、工程S2において同バイアス磁石の磁界特性を測定する。そしてこの磁界特性が所望とする特性であるときには、磁気抵抗素子を有するセンサチップと一体に組み付けて回転検出装置を製造する。一方、上記工程S2において上記バイアス磁石の磁界特性が所望とする特性でないときには、工程S5において同バイアス磁石の一部をトリミングして所望とする特性に調整した後、上記センサチップ等と一体に組み付ける。
【選択図】 図1
Description
上記磁束の開き角度の測定は、成形されたバイアス磁石13の中空部14内に検査用チップを挿入し、その検査用チップから出力される信号に基づき行われる。詳しくは、図2に示されるように、上記磁気抵抗素子対1および2に対応した磁気抵抗素子MREaおよびMREbからなる磁気抵抗素子対A1および磁気抵抗素子MREcおよびMREdからなる磁気抵抗素子対A2を有する検査用チップCを用い、この検査用チップCを上記バイアス磁石13の中空部14内に挿入する。そして、実際に上記磁気抵抗素子対1および2が配置される位置での磁束の開き角度を上記磁気抵抗素子対A1およびA2それぞれが示す電圧値VaおよびVbに基づいて測定する。なお、この測定にあたっては、予め磁気抵抗素子対A1およびA2に対して様々な磁束の開き角度の磁界を付与して各磁界ごとに示す電圧値VaおよびVbのデータを多数採取しておき、上記測定された電圧値VaおよびVbをこの採取されたデータと照らし合わせることにより行う。
(1)成形したバイアス磁石13の磁束の開き角度及び磁束密度を測定しつつ、それらが所望とする磁束の開き角度及び磁束密度になるまでトリミングすることとした。このため、所望とする磁束の開き角度及び磁束密度からずれた特性を示すバイアス磁石13が成形された場合であれ、同バイアス磁石13のトリミングを通じて上記所望とする磁束の開き角度及び磁束密度に合わせ込むことが可能となる。このため、いわゆる不良品の発生が抑えられることとなり、回転検出装置の製造に際しても、バイアス磁石13の成形精度に起因する歩留まりの低下を好適に抑制することができるようになる。
・上記実施の形態では、バイアス磁石13の長さを短くする態様で同バイアス磁石13をトリミングして磁束の開き角度及び磁束密度を調整することとしたが、例えば図5(a)〜(c)に示すような各態様でバイアス磁石13をトリミングして磁束の開き角度や磁束密度を調整してもよい。なお、これらの図においても、斜線で表す部分がトリミング部分である。すなわち、図5(a)に示すように、バイアス磁石13の上面から側面にかけてトリミングしたり、図5(b)に示すように、バイアス磁石13の上面部にV字溝等の溝を形成する態様でトリミングしたり、図5(c)に示すように、バイアス磁石13の径を縮める態様でトリミングしたりしてもよい。このように、バイアス磁石13の磁束の開き角度及び磁束密度を測定しつつトリミングするのであれば、そのトリミング態様がいかなる場合であれ、バイアス磁石13の磁束の開き角度や磁束密度といった磁界特性を所望とする特性に調整することは可能であり、これにより上記実施の形態とほぼ同等の効果を得ることができる。
Claims (6)
- 磁気抵抗素子を備えるセンサチップと前記磁気抵抗素子にバイアス磁界を付与するバイアス磁石とを有し、前記センサチップの近傍にてロータが回転するときに前記バイアス磁界と協働して生じる磁気ベクトルの変化を前記磁気抵抗素子の抵抗値変化として感知して前記ロータの回転態様を検出する回転検出装置の製造方法であって、
前記バイアス磁石の成形後、前記磁気抵抗素子に付与されるバイアス磁界の特性を測定しつつ、この磁界特性が所望の特性となるまで同バイアス磁石の一部をトリミングする工程と、このトリミングしたバイアス磁石に前記センサチップを一体に組み付ける工程とを備える
ことを特徴とする回転検出装置の製造方法。 - 前記磁界特性の測定が、前記バイアス磁石から発せられる磁束の開き角度の測定として行われる
請求項1に記載の回転検出装置の製造方法。 - 前記バイアス磁石は前記センサチップの周囲を囲繞する態様で配されるものであり、前記バイアス磁石から発せられる磁束の開き角度の測定が、同バイアス磁石内に挿入した検査用チップの出力に基づいて行われる
請求項2に記載の回転検出装置の製造方法。 - 前記磁界特性の測定が、前記バイアス磁石から発せられる磁束の開き角度および磁束密度の測定として行われる
請求項1に記載の回転検出装置の製造方法。 - 前記バイアス磁石は前記センサチップの周囲を囲繞する態様で配されるものであり、前記バイアス磁石から発せられる磁束の開き角度の測定が、同バイアス磁石内に挿入した検査用チップの出力に基づいて行われ、前記バイアス磁石の磁束密度の測定が、同バイアス磁石内に挿入したプローブの出力に基づいて行われる
請求項4に記載の回転検出装置の製造方法。 - 前記センサチップとして予め樹脂モールドされたものを用いる
請求項1〜5のいずれか一項に記載の回転検出装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004228564A JP4617762B2 (ja) | 2004-08-04 | 2004-08-04 | 回転検出装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006047113A true JP2006047113A (ja) | 2006-02-16 |
JP4617762B2 JP4617762B2 (ja) | 2011-01-26 |
Family
ID=36025826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004228564A Expired - Fee Related JP4617762B2 (ja) | 2004-08-04 | 2004-08-04 | 回転検出装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4617762B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012503767A (ja) * | 2008-09-24 | 2012-02-09 | ムービング マグネット テクノロジーズ | 強磁性対象検出のための永久磁石を有する線形位置または回転位置センサ |
JP2014060404A (ja) * | 2006-07-14 | 2014-04-03 | Allegro Microsystems Llc | センサ |
JP2015038507A (ja) * | 2008-12-05 | 2015-02-26 | アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー | 磁場センサおよび磁場センサを製造する方法 |
US9411025B2 (en) | 2013-04-26 | 2016-08-09 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame and a magnet |
US9494660B2 (en) | 2012-03-20 | 2016-11-15 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame |
US9666788B2 (en) | 2012-03-20 | 2017-05-30 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame |
US9812588B2 (en) | 2012-03-20 | 2017-11-07 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US10234513B2 (en) | 2012-03-20 | 2019-03-19 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0242372A (ja) * | 1988-08-02 | 1990-02-13 | Yuichi Moriki | 磁気センサーの検出片 |
JPH0494581U (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-17 | ||
JPH06174490A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-06-24 | Nippondenso Co Ltd | 磁気検出装置 |
JP2000298134A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Denso Corp | 磁気検出装置の製造方法 |
JP2001165610A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-06-22 | Erumekku Denshi Kogyo Kk | 非接触型ポテンショメータ |
JP2004069655A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Denso Corp | 磁気センサのオフセット調整方法 |
JP2004294215A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Denso Corp | 磁気センサ |
-
2004
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0242372A (ja) * | 1988-08-02 | 1990-02-13 | Yuichi Moriki | 磁気センサーの検出片 |
JPH0494581U (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-17 | ||
JPH06174490A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-06-24 | Nippondenso Co Ltd | 磁気検出装置 |
JP2000298134A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Denso Corp | 磁気検出装置の製造方法 |
JP2001165610A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-06-22 | Erumekku Denshi Kogyo Kk | 非接触型ポテンショメータ |
JP2004069655A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Denso Corp | 磁気センサのオフセット調整方法 |
JP2004294215A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Denso Corp | 磁気センサ |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014060404A (ja) * | 2006-07-14 | 2014-04-03 | Allegro Microsystems Llc | センサ |
US9228860B2 (en) | 2006-07-14 | 2016-01-05 | Allegro Microsystems, Llc | Sensor and method of providing a sensor |
JP2012503767A (ja) * | 2008-09-24 | 2012-02-09 | ムービング マグネット テクノロジーズ | 強磁性対象検出のための永久磁石を有する線形位置または回転位置センサ |
JP2015038507A (ja) * | 2008-12-05 | 2015-02-26 | アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー | 磁場センサおよび磁場センサを製造する方法 |
US9666788B2 (en) | 2012-03-20 | 2017-05-30 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame |
US9494660B2 (en) | 2012-03-20 | 2016-11-15 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame |
US9812588B2 (en) | 2012-03-20 | 2017-11-07 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US10230006B2 (en) | 2012-03-20 | 2019-03-12 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with an electromagnetic suppressor |
US10234513B2 (en) | 2012-03-20 | 2019-03-19 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US10916665B2 (en) | 2012-03-20 | 2021-02-09 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with an integrated coil |
US11444209B2 (en) | 2012-03-20 | 2022-09-13 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with an integrated coil enclosed with a semiconductor die by a mold material |
US11677032B2 (en) | 2012-03-20 | 2023-06-13 | Allegro Microsystems, Llc | Sensor integrated circuit with integrated coil and element in central region of mold material |
US11828819B2 (en) | 2012-03-20 | 2023-11-28 | Allegro Microsystems, Llc | Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material |
US11961920B2 (en) | 2012-03-20 | 2024-04-16 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package with magnet having a channel |
US9411025B2 (en) | 2013-04-26 | 2016-08-09 | Allegro Microsystems, Llc | Integrated circuit package having a split lead frame and a magnet |
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JP4617762B2 (ja) | 2011-01-26 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090826 |
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