JPH06174490A - 磁気検出装置 - Google Patents

磁気検出装置

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JPH06174490A
JPH06174490A JP32967092A JP32967092A JPH06174490A JP H06174490 A JPH06174490 A JP H06174490A JP 32967092 A JP32967092 A JP 32967092A JP 32967092 A JP32967092 A JP 32967092A JP H06174490 A JPH06174490 A JP H06174490A
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bias
magnetic
magnet
bias magnet
magnetic field
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JP32967092A
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English (en)
Inventor
Masanori Aoyama
正紀 青山
Yasuaki Makino
牧野  泰明
Masaki Takashima
正樹 高島
Shinichi Chikada
真市 近田
Ichiro Izawa
一朗 伊澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気抵抗素子の感度低下を極力抑えたうえで
出力波形の波形割れも生じない磁気検出装置を提供する
ことにある。 【構成】 ギヤ5に向けてバイアス磁界を発生するバイ
アス磁石3が用意され、このバイアス磁石3には貫通孔
4が形成され中空形状となっている。又、磁気抵抗素子
7,8がモールド材2にて保持され、この磁気抵抗素子
7,8は、バイアス磁界とでなす角度が略45度となる
ように配置されるものである。バイアス磁石3の貫通孔
4を貫通するようにモールド材2が配置され、バイアス
磁石3の表面とギヤ5との間においてバイアス磁石3の
表面に対し磁気抵抗素子7,8が近接位置に配置されて
いる。そして、磁気抵抗素子7,8の抵抗値変化により
バイアス磁界の状態変化が検出される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気抵抗素子の抵抗
変化を利用して被検出対象の移動等の運動を検出する磁
気検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】通常、近接型回転センサは、その磁気回
路の構造として、磁石面とセンサ素子とが平行となる構
造(センサ素子裏面に磁石を配置する)がほとんどであ
る。この方式においては、磁気抵抗素子の電流方向に垂
直な方向の磁気ベクトルの振れ角を利用して検出するも
のであるが、これは、振れ角が大きくなってくると、出
力波形に波形割れを生じ誤動作の原因となる。
【0003】そこで、特開平3−195970号公報に
おいては、センサ素子の配置を磁石面に対し垂直とし、
しかもセンサ素子内の磁気抵抗素子を45度配置とする
ことにより波形割れの対策ができる構造とした。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この磁気回
路の構造をとったために、磁気抵抗素子(センサ)の感
度が低くなることが挙げられる。
【0005】そこで、この発明の目的は、磁気抵抗素子
の感度低下を極力抑えたうえで出力波形の波形割れも生
じない磁気検出装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の磁気検
出装置は、磁性材料を有する被検出対象に向けてバイア
ス磁界を発生するバイアス磁石と、前記バイアス磁界と
でなす角度が略45度となるように設置され、前記被検
出対象の運動に応じた前記バイアス磁界により抵抗変化
を生じる磁気抵抗素子とを備え、前記磁気抵抗素子の抵
抗値変化により前記バイアス磁界の状態変化を検出する
ようにした磁気検出装置において、前記バイアス磁石を
中空形状とし、この中空部を貫通するように、前記磁気
抵抗素子を保持する素子保持部材を配置し、かつ、前記
バイアス磁石の表面と被検出対象との間において当該バ
イアス磁石の表面に対し前記磁気抵抗素子を近接位置に
配置したものをその要旨とする。
【0007】ここで、磁気抵抗素子とバイアス磁石の最
適距離は、中空構造による磁気ベクトルの乱れがない領
域において最も近い距離であるものとするのが好まし
い。又、バイアス磁石は、フェライト系プラスティック
マグネットよりなるものとしてもよい。
【0008】さらに、磁気抵抗素子を封入したモールド
パッケージの先端部を削ることにより、モールド材のエ
ッジ部を薄くし、磁気抵抗素子と被検出対象の距離を短
くするようにしてもよい。
【0009】請求項5に記載の磁気検出装置は、磁性材
料を有する被検出対象に向けてバイアス磁界を発生する
バイアス磁石と、前記バイアス磁界とでなす角度が略4
5度となるように設置され、前記被検出対象の運動に応
じた前記バイアス磁界により抵抗変化を生じる磁気抵抗
素子とを備え、前記磁気抵抗素子の抵抗値変化により前
記バイアス磁界の状態変化を検出するようにした磁気検
出装置において、前記バイアス磁石の一側面に、前記磁
気抵抗素子を保持する素子保持部材を配置し、かつ、前
記バイアス磁石の表面に対し前記磁気抵抗素子を近接位
置に配置したものをその要旨とする。
【0010】
【作用】請求項1に記載の磁気検出装置は、バイアス磁
石の中空部に、磁気抵抗素子を保持する素子保持部材が
配置され、バイアス磁石の表面と被検出対象との間にお
いてバイアス磁石の表面に対し磁気抵抗素子が近接位置
に配置される。
【0011】請求項5に記載の磁気検出装置は、バイア
ス磁石の一側面に磁気抵抗素子を保持する素子保持部材
が配置され、バイアス磁石の表面に対し磁気抵抗素子が
近接位置に配置される。
【0012】
【実施例】
(第1実施例)以下、この発明を具体化した一実施例を
図面に従って説明する。
【0013】図1には、本実施例の磁気回転検出装置
(正面図)を示す。又、図2には磁気回転検出装置の平
面図を、図3には図1におけるA矢視図を示す。センサ
素子1はモールド材2にてモールドされ、モールド材2
は断面が長方形状の棒状に形成されている。センサ素子
1はモールド材2の先端側に配置されている。又、リー
ドフレーム22がモールド材2にてモールドされ、図1
中、右端部のリードフレーム22が露出している。本実
施例では、モールド材料としてエポキシ系樹脂を使用し
ている。
【0014】又、永久磁石よりなるバイアス磁石3は円
柱形状をなし、その中央部には長方形状をなす貫通孔4
がバイアス磁石3の長手方向に延びている。このように
バイアス磁石3は中空形状となっている。本実施例で
は、バイアス磁石3は、フェライト系プラスティックマ
グネットが使用されている。
【0015】バイアス磁石3の貫通孔4にはモールド材
2が挿入固定されている。つまり、バイアス磁石3の貫
通孔4にモールド材2を嵌合状態で挿入し、所定の位置
で接着剤により固定されている。
【0016】ギヤ5は磁性材料を有する被検出対象とな
っており、ギヤ5には多数の歯6が形成されている。そ
して、ギヤ5の歯6に対向するようにセンサ素子1が配
置されている。つまり、図4に示すように、センサ素子
1にはチップ9内に2つの磁気抵抗素子7,8が備えら
れており、この磁気抵抗素子7,8は磁石面に垂直に、
ギヤ回転方向面に対して平行に配置されている。又、磁
気抵抗素子7,8は、チップ9内にてバイアス磁石3の
磁界方向と同一平面内に磁界方向(図4でWで示す)に
対しそれぞれプラス・マイナス45度の角度で一対配置
されている。
【0017】又、図2に示すように、ギヤ5の中心線上
にモールド材2及びセンサ素子1が配置されている。こ
こで、磁気の検出原理を説明する。
【0018】図6,7,8,9に示すように、ギヤ5が
回転すると、ギヤ5〜磁気抵抗素子7,8〜磁石3の磁
気回路内にて、ギヤ5の回転によってギヤ5〜磁石3間
のギヤ5の歯6(凸部)に引かれた磁気ベクトルが振れ
る。すると、図5に示すように、ギヤ5〜磁石3間に配
置された磁気抵抗素子7,8は、この磁気ベクトルの方
向変化を受けて抵抗が変化をする。この時、一対の磁気
抵抗素子7,8の抵抗変化は、それぞれ逆相に働く。図
5に示すように、この抵抗変化を同一チップ内に形成さ
れた処理回路25(図4参照)が波形整形をし、ギヤ5
の回転に伴う回転数に応じたパルス数(=歯数)を出力
する。
【0019】磁気抵抗素子7,8の配置が上記配置のた
めに、図10,11,12に示すように、磁気抵抗素子
7,8上にて受ける磁気ベクトルをBxとBy方向成分
に分けて考える。尚、電流方向に平行な磁気ベクトルを
Bxとし、電流方向に垂直な磁気ベクトルをByとす
る。すると、飽和領域における抵抗値をそれぞれRx,
Ryとすれば、図13中の磁気抵抗素子7,8の抵抗値
R7 ,R8 は、次のようになる。尚、磁気ベクトル(B
ベクトル)の振れ角をδとする。 R7 =Rx・cos2 {(π/4)−δ}+Ry・sin2 {(π/4)−δ} =(Rx+Ry)/2+(Rx−Ry)/2・sin2δ R8 =Rx・cos2 {(π/4)+δ}+Ry・sin2 {(π/4)+δ} =(Rx+Ry)/2−(Rx−Ry)/2・sin2δ ゆえに、抵抗値R7 ,R8 の差ΔRは ΔR=R8 −R7 =(Rx−Ry)sin2δ となる。
【0020】ここで、磁気回路を考える場合、磁気ベク
トル(Bベクトル)の振れ角δを、−45°<δ<45
°の範囲内にて最大振れ角δmax をとるように設計をす
れば、磁気抵抗素子7,8の感度(抵抗変化率△R/R
(R=R7 =R8 ))を向上することができる。
【0021】具体的な実施結果を図14,15に示す。
磁気抵抗素子7,8の感度は、磁気抵抗素子7,8〜磁
石距離〔単位;mm〕に比例する。ギヤ5〜磁気抵抗素
子7,8距離が一定の場合、最大感度を得るためには、
磁気抵抗素子7,8と磁石距離は近い方がよい。この
時、磁気ベクトル(Bベクトル)の振れ角δが最大とな
ると考えられる。実際にこの条件を満たすためには、本
実施例では、磁石構造を中空としている。つまり、磁気
抵抗素子7,8と磁石5とを接近するよう設計するため
に、磁石形状を中空構造とし、その中にセンサ素子を含
んだモ−ルドICを挿入している。しかしながら、図1
6に示すように、中空状の磁石3の0〔mm〕付近の磁
気ベクトルが、ギヤ5との磁気回路に関係なく貫通孔4
(中空部)方向に引き寄せられ、ギヤ5の回転に対する
正確な感度が得られない領域がある。この磁束の乱れる
領域は、磁石3の表面磁界強度と、中空の形状に関係し
てくると考えられ、実際には図14,15で示すよう
に、磁気抵抗素子7,8と磁石3との距離が0〜1〔m
m〕の範囲で発生する。
【0022】よって、この磁気回路の最適設計として、
上記磁束の乱れる領域の発生しない範囲にて、磁気抵抗
素子7,8と磁石3との距離を最も近くなるように、そ
の距離を1mmにすれば、最大感度が得られる。
【0023】このようにこの実施例では、ギヤ5(磁性
材料を有する被検出対象)に向けてバイアス磁界を発生
するバイアス磁石3を設けるとともに、バイアス磁界と
でなす角度が略45度となるように磁気抵抗素子7,8
を設置してギヤ5の運動に応じたバイアス磁界により抵
抗変化が生じるように、磁気抵抗素子7,8の抵抗値変
化によりバイアス磁界の状態変化を検出するようにした
磁気検出装置において、バイアス磁石3を中空形状と
し、この中空部を貫通するように、磁気抵抗素子7,8
を保持するモールド材2(素子保持部材)を配置し、か
つ、バイアス磁石3の表面とギヤ5との間においてバイ
アス磁石3の表面に対し磁気抵抗素子7,8を近接位置
に配置した。
【0024】このようにして、バイアス磁界とでなす角
度が略45度となるように磁気抵抗素子7,8を設置す
るとともに、磁気抵抗素子7,8とバイアス磁石3との
距離を近づけることにより、磁気抵抗素子の感度低下を
極力抑えたうえで出力波形の波形割れも生じないことと
なる。
【0025】又、磁気抵抗素子7,8とバイアス磁石3
との距離を、中空構造による磁気ベクトルの乱れがない
領域において最も近い距離である1mmとすることによ
り、最大感度が得られる。
【0026】さらに、従来、バイアス磁石として希土類
磁石を用いており、この磁石は強磁界が得られるのでセ
ンサ素子と磁石の距離が離れていても、センサの回転検
出に必要な磁界強度(センサ飽和磁界)が得られる。ゆ
えに、バイアス磁石を迂回するようにセンサ素子用の入
力端子を引き回すことが可能であるが、希土類磁石は高
価である。しかし、近年コストダウンの要望があり、安
価な磁石としてフェライト系プラスティックマグネット
があるが、磁界強度は希土類磁石よりも弱いために、希
土類磁石を用いたセンサと同じ構造では、磁気抵抗素子
の飽和磁界強度を得られなかった。しかしながら、バイ
アス磁石の形状を中空とし、モールド材を差し込み磁気
抵抗素子7,8とバイアス磁石3との距離を近づけるこ
とにより、表面磁界強度の弱いフェライト系プラスチッ
クマグネットを用いてもセンサに必要な磁界強度(セン
サ飽和磁界)が得られ回転検出が可能となる。よって、
バイアス磁石として安価なフェライト系プラスチックマ
グネットを用いることができコストダウンとなる。
【0027】又、バイアス磁石の形状を中空とし、モー
ルド材を差し込むことによりセンサ入出力端子(リード
フレーム22)が磁石を迂回する構造となっていないの
で、端子を折り返す必要がなく組み付け性がよいものと
なる。 (第2実施例)次に、第2実施例を第1実施例との相違
点を中心に説明する。
【0028】図17には本実施例の磁気回転検出装置の
概略図を示すとともに、図18に図17のB矢視図を示
す。本実施例においては、バイアス磁石10の一側面
に、磁気抵抗素子11,12を保持するモールド材13
を配置し、かつ、バイアス磁石10の表面に対し磁気抵
抗素子11を近接位置に配置している。
【0029】つまり、バイアス磁石10が板状をなして
いる。又、磁気抵抗素子11,12を有するセンサ素子
14が板状のモールド材13にモールドされている。そ
して、バイアス磁石10とモールド材13とが貼り付け
られ、磁気抵抗素子11,12はバイアス磁石10より
もギヤ15に対し、より接近する位置に配置されてい
る。
【0030】本実施例においても、磁気抵抗素子11,
12の配置、及び、磁気検出原理等は第1実施例と同様
である。このように本実施例では、ギヤ15(磁性材料
を有する被検出対象)に向けてバイアス磁界を発生する
バイアス磁石10を設けるとともに、バイアス磁界とで
なす角度が略45度となるように磁気抵抗素子11,1
2を設置しギヤ15の運動に応じたバイアス磁界により
抵抗変化を生じるようにし、磁気抵抗素子11,12の
抵抗値変化によりバイアス磁界の状態変化を検出するよ
うにした磁気検出装置において、バイアス磁石10の一
側面に磁気抵抗素子11,12を保持するモールド材1
3(素子保持部材)を配置し、かつ、バイアス磁石10
の表面に対し磁気抵抗素子11,12を近接位置に配置
した。よって、第1実施例と同様に、磁気抵抗素子1
1,12とバイアス磁石10との距離を近づけることに
より、バイアス磁石として表面磁界強度の弱いフェライ
ト系プラスチックマグネットを用いてもセンサに必要な
磁界強度(センサ飽和磁界)が得られ回転検出が可能と
なる。
【0031】尚、本実施例の応用例としては、図19に
示すようにしてもよい。即ち、ギヤ15の中心線に対し
傾斜角αだけ傾けてモールド材13及びセンサ素子14
を配置すると、より有効である。 (第3実施例)次に、第3実施例を第1実施例との相違
点を中心に説明する。
【0032】図20には本実施例の磁気回転検出装置の
概略図を示すとともに、図21に図20のC矢視図を示
す。又、図22に図20のD矢視図を示す。本実施例で
は、バイアス磁石16に貫通孔17を設け、モールド材
18をこの貫通孔17に挿入するとともに、モールド材
18を貫通孔17に挿入する際に、磁気抵抗素子19が
バイアス磁石16の着磁面から突出する位置にて停止す
るように貫通孔17及びモールド材18にテーパ状の段
差を付けたものである。つまり、第1実施例ではモール
ド材2を貫通孔4に挿入し、所定の位置でモールド材2
と磁石3とを接着していたが、本実施例では段差により
位置決めを行っている。
【0033】図23にはバイアス磁石16の断面図を示
し、図24にはモールド材18の平面図を示し、図25
にはモールド材18の側面図を示す。図23に示すよう
に、バイアス磁石16には貫通孔17が形成され、この
貫通孔17は先端部が細く後端部が太く形成されてい
る。又、図24,25に示すように、モールド材18は
先端部が細く後端部が太く形成されている。そして、バ
イアス磁石16の貫通孔17にモールド材18を差し込
んで挿入していき、貫通孔17の段差部とモールド材1
8の段差部が当接する箇所で位置決めが行われる。
【0034】このように、本実施例では、モールド材1
8を貫通孔17に挿入する際に、磁気抵抗素子19がバ
イアス磁石16の着磁面から突出する位置にて停止する
ように貫通孔17及びモールド材18に段差を付けた。
よって、モールド材18を貫通孔17に挿入するだけで
センサ素子(磁気抵抗素子19)とバイアス磁石16の
位置関係を容易に管理することができる。又、モールド
材18、磁石16は共に型成形で製造できるため、量産
時にセンサ素子(磁気抵抗素子19)とバイアス磁石1
6の位置が管理しやすく、又、安定してセンサ素子(磁
気抵抗素子19)とバイアス磁石16の位置関係を得る
ことができる。 (第4実施例)次に、第4実施例を第1実施例との相違
点を中心に説明する。
【0035】図26には本実施例の磁気回転検出装置の
概略図を示す。本実施例では、モールド材20をバイア
ス磁石21の貫通孔23に挿入し位置決めした後にモー
ルド材20の先端を厚さtだけ切削したものである。
【0036】つまり、図27に示すように、モールド材
20をバイアス磁石21の貫通孔23に挿入固定した後
に、モールド材20の先端を厚さtだけ切削することに
より図26のようになる。よって、従来型のセンサ性能
で、厚さtだけモールド材20とギヤ24との間のエア
ギャップを大きくすることができる。これは、0.1m
m単位で性能の変化する回転検出装置の磁気回路におい
て有効である。
【0037】つまり、現在社会に提供されている回転検
出装置にはギヤ〜センサ素子〜バイアス磁石の磁気回路
を持つものがあるが、いずれも回転体と回転検出装置間
の間隔(エアギャップ)が最大でも1.2mm程度しか
とれない。回転検出装置取り付け時のエアギャップを1
mm以下に設定できるようにするため回転体を構成する
部品の精度や回転体と回転検出装置の位置精度が要求さ
れる。近年上記問題を緩和するため、より大きなエアギ
ャップのとれる回転検出装置が要望されているが、セン
サ素子を樹脂モールドする場合モールド樹脂の長さによ
って実装上のギャップが発生し十分なエアギャップ(1
mm)が確保できなかった。しかしながら、本実施例の
ようにモールド材20をバイアス磁石21に組み付けた
後にモールド材20の先端を切削することによりエアギ
ャップを大きくすることができることとなる。
【0038】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明によれば、
磁気抵抗素子の感度低下を極力抑えたうえで出力波形の
波形割れも生じない優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例の磁気回転検出装置の概略構成図で
ある。
【図2】磁気回転検出装置の平面図である。
【図3】図1のA矢視図である。
【図4】センサ素子の正面図である。
【図5】信号処理を示すタイミングチャートである。
【図6】ギヤの回転に伴う磁気ベクトルの変化を説明す
るための概略図である。
【図7】ギヤの回転に伴う磁気ベクトルの変化を説明す
るための概略図である。
【図8】ギヤの回転に伴う磁気ベクトルの変化を説明す
るための概略図である。
【図9】ギヤの回転に伴う磁気ベクトルの変化を説明す
るための概略図である。
【図10】磁気抵抗素子の方向を示す斜視図である。
【図11】磁気抵抗素子の方向を示す側面図である。
【図12】磁気抵抗素子の抵抗値を示すグラフである。
【図13】磁気抵抗素子に加わる磁気ベクトルの方向を
示す斜視図である。
【図14】感度の測定結果を示す図である。
【図15】感度の測定結果を示す図である。
【図16】バイアス磁石の斜視図である。
【図17】第2実施例の磁気回転検出装置の概略構成図
である。
【図18】図16のB矢視図である。
【図19】第2実施例の応用例を示す磁気回転検出装置
の概略構成図である。
【図20】第3実施例の磁気回転検出装置の概略構成図
である。
【図21】図20のC矢視図である。
【図22】図20のD矢視図である。
【図23】バイアス磁石の断面図である。
【図24】モールド材の平面図である。
【図25】モールド材の正面図である。
【図26】第4実施例の磁気回転検出装置の概略構成図
である。
【図27】第4実施例の磁気回転検出装置での切削前の
概略構成図である。
【符号の説明】
2 素子保持部材としてのモールド材 3 バイアス磁石 5 磁性材料を有する被検出対象としてのギヤ 7,8 磁気抵抗素子 10 バイアス磁石 11,12 磁気抵抗素子 13 素子保持部材としてのモールド材 15 磁性材料を有する被検出対象としてのギヤ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近田 真市 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装 株式会社内 (72)発明者 伊澤 一朗 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装 株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁性材料を有する被検出対象に向けてバ
    イアス磁界を発生するバイアス磁石と、 前記バイアス磁界とでなす角度が略45度となるように
    設置され、前記被検出対象の運動に応じた前記バイアス
    磁界により抵抗変化を生じる磁気抵抗素子とを備え、 前記磁気抵抗素子の抵抗値変化により前記バイアス磁界
    の状態変化を検出するようにした磁気検出装置におい
    て、 前記バイアス磁石を中空形状とし、この中空部を貫通す
    るように、前記磁気抵抗素子を保持する素子保持部材を
    配置し、かつ、前記バイアス磁石の表面と被検出対象と
    の間において当該バイアス磁石の表面に対し前記磁気抵
    抗素子を近接位置に配置したことを特徴とする磁気検出
    装置。
  2. 【請求項2】 前記磁気抵抗素子とバイアス磁石の最適
    距離は、中空構造による磁気ベクトルの乱れがない領域
    において最も近い距離である請求項1に記載の磁気検出
    装置。
  3. 【請求項3】 前記バイアス磁石は、フェライト系プラ
    スティックマグネットよりなる請求項1に記載の磁気検
    出装置。
  4. 【請求項4】 前記磁気抵抗素子を封入したモールドパ
    ッケージの先端部を削ることにより、モールド材のエッ
    ジ部を薄くし、磁気抵抗素子と被検出対象の距離を短く
    することができるようにした請求項1に記載の磁気検出
    装置。
  5. 【請求項5】 磁性材料を有する被検出対象に向けてバ
    イアス磁界を発生するバイアス磁石と、 前記バイアス磁界とでなす角度が略45度となるように
    設置され、前記被検出対象の運動に応じた前記バイアス
    磁界により抵抗変化を生じる磁気抵抗素子とを備え、 前記磁気抵抗素子の抵抗値変化により前記バイアス磁界
    の状態変化を検出するようにした磁気検出装置におい
    て、 前記バイアス磁石の一側面に、前記磁気抵抗素子を保持
    する素子保持部材を配置し、かつ、前記バイアス磁石の
    表面に対し前記磁気抵抗素子を近接位置に配置したこと
    を特徴とする磁気検出装置。
JP32967092A 1992-12-09 1992-12-09 磁気検出装置 Pending JPH06174490A (ja)

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