JPH07260413A - 位置センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンパクトで耐久性があり、厳しい環境に対
する適用について正確である位置センサの提供。 【構成】 本位置センサは、全体に「Ｃ」字形状断面を
持つ磁極部品に設けられた所定形状の二磁石構造を有す
る。磁石及び磁極部品は全体に円形の線形磁界を構成す
る。この磁界は、ロータ全体の回転軸線を中心として同
心である。ホール効果装置が二つの磁石間の開放部分即
ちギャップに挿入されており、良好に構成された磁界に
露呈される。選択された形状及び特定の磁性材料を使用
することによって、正確で、コンパクトで耐久力のある
磁気回路を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は位置検出に関し、特定的
には、コンパクトで耐久性があり、厳しい環境に対する
適用について正確である位置センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】電子装置は、驚異的な速度で技術的に発
展している。価格は連続的に下がり、これはほぼ同時に
性能の向上を伴う。これらの更に高性能で低価格の装置
及び回路は、増大し続ける要求に適用できる。こうした
傾向が続く限り、電子回路を非電子的な装置及びシステ
ムに繋ぐためのインターフェースを提供する多くの方法
が必要とされる。一般的には、このインターフェース
は、センサとアクチュエータの組み合わせによって達成
される。

【０００３】位置検出は、状態の変化及び連続的に変化
する状態についての情報を電気回路に送るのに使用され
る。例えば、ミシンのオペレータがペダルを踏むとき、
駆動モータの始動に対する要求の信号を出すのにペダル
位置センサを使用する。更に、センサは、所定量の受容
電力、又はモータが作動する所望の速度をつくりだすの
に使用できる。

【０００４】センサは、ディザー（振動：ｄｉｔｈｅｒ
ｓ）と呼ばれる数百万又は数十億の小さな動きに耐えな
ければならない。これらのディザーは、多くの場合、セ
ンサに伝えられた機械的運動及び振動の結果である。更
に、センサの使用寿命中、百万回又はそれ以上のフルサ
イクルが必要とされる。

【０００５】センサには多くの用途があり、これらの必
要を満たすのに種々の技術がある。これらの技術の各々
には、利点及び欠点からなる独特の組み合わせがある。
これらの技術のうち、磁気検出は、長寿命構成要素及び
汚染物に対する優れた抵抗という独特の組み合わせを持
つことが知られている。しかしながら、従来技術では、
これらの装置は、近接検出のように要求精度が低い場合
にしか適用できない。

【０００６】しかしながら、磁気センサは、用途が限ら
れている。これは、線形性及び正確な出力が必要とされ
るためである。ペダル位置検出の用途の場合には、ペダ
ルを静かに押すオペレータは、モータ又はエンジンの計
測可能な出力変化を期待している。

【０００７】実際、最初の数度の回転はモータの出力の
変化の割合に関し最も順当である。

【０００８】ゼロ位置又は無要求位置の近くでは感度及
び精度が最も重要である。線形性からの１％以下のずれ
は、性能及びモータ制御機能に大きな悪影響をもたら
す。オペレータがペダルを押していない場合のモータに
対する要求を検出すると、悪影響の結果が明らかにな
る。従って、モータのゼロ設定点では、センサは、代表
的には、気候環境、汚染、及び他の外部要因の全ての極
値に亘って極めて小さく且つ再現性のある許容差を持つ
ように指定される。

【０００９】磁気回路は、通常の汚染物に露呈した場
合、称賛に値する性能を発揮する。しかしながら、線形
性及び小さな許容差は別の事柄である。

【００１０】センサには、センサの定置部分に対する可
動部分の整合を変化させる力が加えられる。場合によっ
ては、システム内には有限量の遊び即ち動きを持つ少な
くとも一つのベアリングが設けられている。前記遊び
は、センサの固定構成要素と可動構成要素との間に不正
確な動きをもたらす。残念なことに、従来技術の磁気回
路は、センサのベアリングで生じるこの種の機械的動き
に対して非常に敏感である。この問題点は、精度の低い
又は摩耗したベアリングについて顕著である。

【００１１】代表的な磁気回路は、一つの磁石又は一組
の磁石を使用してエアーギャップを横切る磁界を発生す
る。次いで、ホール効果装置又は磁気抵抗材料又は他の
磁界センサである磁界センサをギャップに挿入する。こ
のセンサをギャップの断面内で中央に整合させる。磁力
線はギャップ内に閉じ込められていないが、ギャップ内
の中央で最も密度が高く、強度が一定している。センサ
によって監視される磁界の強度を変化させるための種々
の手段を設けることができる。

【００１２】センサ周りの磁界を変化させるための構成
及び方法に関わらず、磁気回路は、従来解決されなかっ
た幾つかの障害と直面している。ベアリングの遊びによ
るセンサのギャップに対する移動は、センサが計測する
磁界の強度を変化させてしまう。この効果は、センサの
感度が単一の軸線を中心として変化し、垂直磁界に対し
て感受性がない、ホール効果センサ、磁気抵抗センサ、
及び他の同様のセンサで特に顕著である。

【００１３】ギャップを飛び越える一般的な磁力線の膨
出が起こった場合、ホール効果センサがギャップに正確
に位置決めされていないとギャップに対して直接的に平
行な磁界強度のベクトル成分を計測する。ギャップの中
央では、これは、全磁界強度と等しい。センサは、ベク
トルの和がその点での実際の磁界強度であるけれども、
ギャップに対して垂直なベクトル成分を無視する。セン
サをギャップの中央から移動させると、磁界は広がり始
め、即ち膨出し始め、磁界のベクトルの大部分がギャッ
プに対して垂直になる。これは、センサによって検出さ
れないため、センサは、不十分な大きさの読みを提供す
る。

【００１４】位置及び磁界強度に関する問題点に加え、
別の論点にも配慮しなければならない。位置センサは変
動温度に関して正確でなければならない。有用な出力を
得るため、最初に磁石を完全に飽和させなければならな
い。これをし損なうと、性能の予測を行うことができな
くなる。しかしながら、完全に飽和させた状態で作動さ
せると、当業者が回復不能な損失（不可逆的損失）と呼
ぶ別の問題点が生じる。温度サイクル、特に高温への温
度サイクルは、磁気出力を永久的に減少させる。

【００１５】磁石は、更に、他の材料では起こらない老
化プロセスを被る。このプロセスには、酸化及び他の形
態の腐蝕が含まれる。これは、一般に、構造的損失と呼
ばれる。出力が正確な信頼性のある装置を提供するた
め、構造的損失及び回復不能な損失を理解し、これに対
処しなければならない。

【００１６】磁気回路の設計における別の大きな挑戦
は、周囲の強磁性物に対する回路の感度である。幾つか
の用途については、大量の鉄又は鋼がセンサの非常に近
くに置かれている。センサは、この外部からの影響に応
答してはならない。

【００１７】従来技術、例えばトムクザック等による米
国特許第４，５７０，１１８号を例示する。この特許に
は、ホール効果位置センサの磁気回路を形成するための
多くの種々の磁石が例示されている。トムクザック等の
開示は、一つの実施例において、長さが変化するエアギ
ャップの両側に逆の極性で配置された二つの所定形状の
磁石に形成した焼結サマリウムコバルト磁石材料を使用
することを教示している。

【００１８】トムクザック等の特許には各磁石をどのよ
うにして互いに磁気的に連結するのかについての議論が
開示されていないが、プラスチック製の成形キャリヤが
形成するエアギャップを使用することによって行われる
ということは、トムクザック等の特許の開示から明らか
である。更に、この磁性材料をどのように形成するの
か、及び回復不能な損失及び構造的損失をどのように処
理するのかについて全く議論がなされていない。焼結サ
マリウムバルトは正確に成形するのが困難であり、この
材料は、代表的には、焼結後に研削する。研削工程は困
難であり、費用がかかり、正確さに欠ける。

【００１９】装置は、かなりの費用を掛けて所与の温度
及び所与の磁気飽和レベル、おそらくは完全に飽和させ
た状態で線形であり且つ正確であるように設計され且つ
研削される。しかしながら、このような装置は、製造プ
ロセス、温度サイクル、及びセンサに加わる振動のた
め、線形で且つ正確に作動できないし、信頼性もない。

【００２０】更に、このトムクザック等の設計に従って
つくられた装置は、隣接した強磁性体の影響を非常に受
け易い。隣接した強磁性材料が変化すると、磁界が歪
み、線形性及び正確さの両方に悪影響を及ぼす。開放磁
気回路は、異物に対する感度に悪影響を及ぼすばかりで
なく、一般に電磁妨害雑音（ＥＭＩ又はＥＭＣ）とよば
れる電磁エネルギに対する感度にも悪影響を及ぼす。

【００２１】更に、トムクザック等の実施例は、ベアリ
ングの遊びに対して感度が非常に高い。開放磁気回路と
半径方向に延びる幅狭の永久磁石構造の組み合わせは、
ベアリングシステムの動きを全く許容をしない。この動
きが伝えられると磁界が変化する。これは、磁界が平行
であり且つ磁気誘導が一定のギャップ内の面積が非常に
小さいためである。

【００２２】ラタジュスキー等の米国特許第３，１１
２，４６４号は、ブラシレスホール効果電位差計の幾つ
かの実施例を例示する。第１の実施例には、上述のトム
クザック等の特許の最後の実施例と異なり、磁石構造と
ケーシングとの間のエアギャップを変化させる半径方向
に磁化された所定形状の構造が開示されている。しかし
ながら、ロータ上に支持された磁石を半径方向又は軸線
方向に移動するための装置がない。更に、トムクザック
の研削磁石と同様の大型の磁石構造は製造が困難であ
り、比較的高価である。

【００２３】ウーの米国特許第５，１５９，２６８号に
は、ラタジュスキー等と同様の所定形状の磁石構造が例
示されている。ここに例示された構造は、ラタジュスキ
ー等の開示と同じ欠点がある。更に、ウーの装置の開示
は、外部にある強磁性体に対する保護を全く提供しな
い。

【００２４】アルフォルスの米国特許第５，１６４，６
６８号には、半径方向遊び及び軸線方向遊びに対する感
度が低いセンサが例示されている。開示の装置は、正確
性及び線形性のため大型の所定形状の磁石を必要とす
る。磁石構造が大型であるため、ベアリングシステムに
対する要求が大きい。この特許では、磁石材料、回復不
能な損失及び構造的損失を補償するための方法、又は外
部強磁性体からのシールド方法についての議論がなされ
ていない。大型の磁石、強化ベアリング構造、及び追加
のシールドの組み合わせにより更に高価なパッケージと
なる。

【００２５】従来技術の文献の各々には、ゼロ設定点で
の磁界強度が高いという欠点がある。ウー及びアルフォ
ルスの特許では、双極磁界が使用されている。ゼロ点で
又はゼロ点の近くで強い磁界と遭遇し、中間点で又は中
間点の近くで強度がゼロ磁界にまで徐々に減少し、次い
で、強い磁界に戻る。トムクザック等の開示の第１実施
例では、双極磁界が使用され、そのため、二つの向き合
った磁界が回転の中間点の近くで互いに打ち消し会うよ
うに設計されている。しかしながら、センサを回転させ
て中間点から外すと磁気誘導はもはや打ち消されず、検
出された磁界が徐々に強くなる。

【００２６】トムクザック等の最後の実施例には、双極
磁界が開示されている。しかしながら、焼結サマリウム
コバルト磁石を必要な研削作業とともに使用するため、
磁石の厚さは必然的に最小になる。

【００２７】断面が非常に薄くなるように研削しようと
試みると、欠けや割れのため大量の欠陥品が出る。しか
しながら、線形出力をつくりだすためには、焼結磁石を
研削することが重要である。サマリウムコバルトが発生
する大きな磁気誘導のため、磁界は磁石の最も薄い点で
も実質的に均等である。

【００２８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、特別
の形状の磁石構造を使用することによって上述の従来技
術の問題点を解決すること、及び正確な磁気位置センサ
を使用することに対する障壁をなくすことである。

【００２９】

【課題を解決するための手段】磁石構造は、回転軸線か
ら磁極部品を越えたところまで半径方向に大きく延びる
互いに向き合った磁石を含む。磁極部品の外周では、磁
石が磁極部品の延長部を巻いており、これによって、磁
極部品によって境界付けられた領域内の磁力線を真っ直
ぐにし、コンパクトさを維持する。ゼロ設定点の周りに
あるようになった回転の下端には、磁力線をギャップ内
の直線移動からこれに対して垂直にそらし、ゼロ設定点
で又はゼロ設定点の近くで真のゼロ磁界を計測できるよ
うにするための追加の手段が設けられている。

【００３０】

【実施例】図１及び図２では、本発明による回転センサ
の好ましい実施例の全体に参照番号１００が附してあ
る。このセンサは、円弧状の周囲を持ち且つ全体に
「Ｃ」字形状の断面を持つ磁石構造２００を有する。磁
石構造２００には、透磁性磁極部品２１０、所定形状の
磁石２１２及び２１４、及び成形ロータカップ２２０を
含む。

【００３１】磁極部品２１０は、磁石２１２及び２１４
によってエアギャップが境界付けられるように、これら
の磁石に結合されている。このように二つの磁石を使用
することによって、磁石を一つしか使用しない場合に生
じる、エアギャップを通る損失を大きく減少させる。磁
極部品２１０が形成する閉じた磁気回路は、ベアリング
の遊びに対する感受性を低くし、外部にある強磁性体に
対する感受性を低くすることによって、性能を改善す
る。閉じた磁気回路は、本開示の目的について、永久磁
石の外部磁束通路が高透磁性材料で取り囲まれている場
合に存在する。空気は、低透磁性材料であると理解され
ている。磁極部品２１０は、磁石２１２及び２１４の必
要とされる大きさを小さくする。磁極部品は、成形金属
又は焼結金属から製造できる。更に好ましくは、磁極部
品２１０をＡＮＳＩ ４３０ステンレス鋼のような鋼板
から形成する。

【００３２】所定形状の磁石２１２及び２１４は、好ま
しくは、結合フェライトのような磁性材料を型成形する
ことによって形成される。結合フェライトは、費用に関
する大きな利点を提供し、腐蝕及び他の環境による劣化
による構造的損失について、他の同様の磁性材料よりも
非常に有利であるという利点を提供する。更に、結合フ
ェライトは、非常に薄くつくることができ、磁界強度が
非常に低い領域をゼロ設定点の近くに持つようにつくる
ことができる。ゼロ設定点での磁界強度を低くすること
による利点を本明細書中以下に図４を参照して論じる。
当業者によって決定されるように、他の磁性材料も適し
ている。

【００３３】磁石２１２及び２１４は、磁極部品２１０
の外周から、回転軸線２５０に非常に近い箇所まで、又
は設計が許すならば回転軸線と整合して大きく延びてい
なければならない。このように磁石２１２及び２１４の
半径方向長さが大きいため、磁石構造２００が半径方向
に移動することによる影響がかなり小さくなる。

【００３４】更に、磁石２１２及び２１４には、図２に
最もよく示してあるように、リップ構造４７４及び４７
２が形成されている。これらのリップは、磁極部品２１
０を越えて外方に、磁極部品の周りを部分的に延びてい
る。リップ４７２及び４７４は、磁石２１２と２１４と
の間のエアギャップを磁力線が直線状をなして通過する
面積を強制的に拡大することによって、ホール効果装置
５１０の作動の「スイートゾーン」（ｓｗｅｅｔ ｚｏ
ｎｅ）を拡げるのに役立つ。このように磁力線が直線状
をなして通過する面積を拡大すると、これと直接的に対
応して、半径方向及び軸線方向の両方向での遊びに対す
る許容度が大きくなり更に、磁石の半径方向寸法を最小
にする。

【００３５】成形ロータカップ２２０は、位置が計測さ
れるべき装置から延びたシャフトと係合するように設計
された表面を有する。次いで、成形ロータカップ２２０
を図１で参照番号２５０を附した軸線を中心として回転
させる。成形ロータカップは、磁石構造２００の残りを
支持する。成形ロータカップ２２０は、ハウジング３０
０、シール３５０、コイルばね３６０、及びカバー３１
０によって保持されている。

【００３６】カバー３１０はハウジング３００と係合し
ており、例えば、所定位置に超音波溶接されている。カ
バー３１０は、リブ３１２を形成することによって、狂
いや撓みが起こらないように強化してある。

【００３７】磁石２１２及び２１４が形成したギャップ
内には、ホール効果装置５１０を備えたハイブリッド回
路基板５００が設けられている。ホール効果装置５１０
は、磁石２１２及び２１４の外径と軸線２５０の近くの
内径との間に位置されていなければならないが、上文中
で説明した磁界膨出効果が生じないようにするため、い
ずれか一方の特に近くにはない。

【００３８】ハイブリッド基板５００は、熱かしめ又は
他の同様の方法でハウジング３００に取り付けることが
できる。ハイブリッド基板５００は、更に、トレー５２
０内の電気回路を支持する。このトレー５２０は、関連
した回路に全ての必要な環境的保護を与えるため適当な
注封化合物を内部に置くことができる容器として作用す
る。トレー５２０は、電磁場（電磁妨害雑音（ＥＭＩ及
びＥＭＣ））に対して保護するため、電気的に接地され
ていなければならない。

【００３９】ハイブリッド基板５００は、導線結合体５
３０を通して電気端子４１０に相互接続されていなけれ
ばならない。多くの電気的相互接続技術のうちの任意の
技術が適当であるということは理解されよう。標準的な
コンセントに相互接続するため、電気コネクタ端子４１
０がコネクタ本体４００のところでハウジング３００か
ら出ている。

【００４０】磁石構造２００は、ほぼ中心にある軸線２
５０を中心としてハウジング３００に対して回転し、こ
れによって、磁石２１２及び２１４を磁極部品２１０と
一緒に回転する。ホール効果装置５１０は、ハウジング
３００に対して保持されている。図３に最もよく示して
あるように、磁石２１２及び２１４は、比較的厚味のあ
る端部と比較的薄い端部を持つように全体に螺旋状に形
成されている。両磁石２１２及び２１４について磁石構
造２００の同じ回転角度のところにある厚味のある端部
２１１及び２１５には、小さなエアギャップ２１７があ
る。薄い端部２１３及び２１６のところには対応して大
きなエアギャップ２１８がある。その結果、ギャップ２
１８を横切る磁気誘導が小さくなり、ギャップ２１７を
横切って更に大きな磁気誘導が生じる。

【００４１】磁極部品２１０を軸線２５０を中心として
回転させると、界磁誘導が変化し、ホール効果装置５１
０がこれを直接的に計測する。ギャップを適当に成形す
ると、ホール効果装置５１０が線形出力を発生する。し
かしながら、このようなシステムは、設計について更に
考慮を払わないと、線形で作動せず、使用寿命に亘るベ
アリングの遊びに対する精度及び抵抗を伴って作動しな
い。

【００４２】回復不能な損失に対して磁石を安定化させ
るため、先ず最初に磁石２１２及び２１４を飽和させ、
次いでこれらの磁石を僅かに減磁することが必要であ
る。磁石構造２００は、特別の配慮を払わない限り、磁
石端部２１１及び２１５から磁石端部２１３及び２１６
まで均等に減磁しない。参考のため開示されている内容
を本明細書中に組み入れた、本出願人の現在継続中の出
願に記載されている適当な減磁を行わないと、結果的に
得られた装置は、温度エクスカーション（温度の急激な
上昇）の結果として正確さを失うか或いは安定化減磁の
結果として線形性を失うかのいずれかである。

【００４３】図４は、二つの小さな延長部即ちダム４８
２及び４８４を持つ磁極部品設計２１０を示す。これら
のダムは、回転の低磁界端で磁束を図３のギャップ２１
８内に引付け、これによって、回転軸線２５０と平行な
磁界のベクトル部分の強度を更に減少させるのに役立
つ。このように磁界を偏向させると、計測した磁界強度
が減少し、これによって回転の下端での出力を下げる。
この下端での出力が下がると、温度及び回復不能な損失
及び構造的損失の効果のような非線形性及び変動のイン
パクトが小さくなる。これらの非線形性及び変動は、上
述のように、ゼロ設定点のところで又はゼロ設定点の近
くで最も必然的である。ゼロ設定点のところでゼロガウ
ス磁界を使用すると、磁石、磁気センサ５１０、及び基
板５００上に配置された調整電子回路によって引き起こ
されるゲインエラーをなくすことによって、非常に小さ
な許容差を維持する上で大きな利点が得られる。

【００４４】本明細書中に好ましい実施例として説明し
た回転位置即ち角度位置を計測するための装置は、重量
が小さく、磁気構成要素に対する要求が小さいため、安
価な構造である。更に、従来得られなかった多くの性能
上の利点がある。これらの利点には、ベアリングの遊び
に対する感度が低いということ、汚染及び環境に対する
抵抗性を備えていること、外部に配置された磁界、エネ
ルギ、及び対象物に対する感度が低いということ、動き
及びディザーに対する耐久性があるということ、正確で
あるということ、線形性を持つこと、コンパクトである
こと、複雑さが低いこと、及び安価であることが含まれ
る。

【００４５】以上、本発明の好ましい実施例と思われる
ものを説明したが、これは、特許請求の範囲に記載した
本発明の範囲を本質的に限定しようとするものではな
い。例示の目的で回転センサを示したが、当業者は、特
許請求の範囲に記載した本発明をリニアセンサに容易に
適用できる。

【００４６】ホール効果装置を示したが、磁気抵抗率セ
ンサ及び他の磁気センサを本発明で使用するように同様
に適合できる。更に、当業者に明らかな特徴及び変形例
の設計は、本発明に組み込まれるべきであると考えられ
る。本発明の範囲を特許請求の範囲に記載し特定的に説
明する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の好ましい実施例の、明瞭化を図るため
カバーを取り外した状態での平面図である。

【図２】図１の２' −２' 線に沿った、図１の好ましい
実施例の断面図である。

【図３】磁石及びホール効果装置構造の概略図である。

【図４】本発明による磁極部品の斜視図である。

【符号の説明】

１００ 回転センサ ２００ 磁石構造 ２１０ 磁極部品 ２１２、２１４ 所定形状の磁石 ２１７、２１８ エアギャップ ２２０ 成形ロータカップ ３００ ハウジング ３１０ カバー ３１２ リブ ３５０ シール ３６０ コイルばね ４１０ 電気端子 ４００ コネクタ本体 ４７２、４７４ リップ ５００ ハイブリッド回路基板 ５１０ ホール効果装置 ５２０ トレー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェフリー・エル・マッカーリー アメリカ合衆国インディアナ州46514，エ ルクハート，ホリデー・ドライブ 54663 (72)発明者 ジェームズ・イー・ホワイト アメリカ合衆国インディアナ州46580，ウ ォーソー，サンフィッシュ・ドライブ 1721 (72)発明者 マイク・ガスリー アメリカ合衆国ミシガン州48178，サウ ス・ライオン，ラヴィンウッド・レーン 9055

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 位置センサにおいて、 第１磁界発生手段及び第２磁界発生手段を有し、これら
   の第１及び第２の磁界発生手段は互いから間隔を隔てら
   れており、前記第１及び前記第２の磁界発生手段が発生
   した、結果的に得られた磁界を伝導する領域をその間に
   構成し、前記第１及び前記第２の磁界発生手段は、元々
   極性化してあり、その極性化は、前記第１磁界発生手段
   の前記第２発生手段からのずれと平行な軸線にほぼ沿っ
   ており、 前記第１磁界発生手段は、前記伝導領域と隣接した面を
   有し、 磁界を検出するため前記領域内に位置決めされており、
   前記磁界の成分の強度を表す出力を提供する、磁界検出
   手段と、 前記検出手段を前記第１磁界発生手段に対して第１行路
   に沿って移動するための手段とを有し、前記出力の大き
   さの変化は、前記行路上での前記検出手段の前記位置を
   表し、 前記領域は前記第１及び前記第２の磁界発生手段によっ
   て境界付けられた部分を有し、この部分では、前記第１
   及び前記第２の磁界発生手段の両方が前記平行な軸線と
   平行な軸線に沿って存在し、 前記領域の前記部分の中央の所定位置にある前記検出手
   段の前記出力の第１の大きさを、前記領域の前記部分の
   周囲の所定位置にある前記検出手段の前記出力の第２の
   大きさと均衡させるための手段を有し、前記結果として
   の磁界を均衡させるための手段は、前記部分の前記中央
   位置での全体としての磁気誘導よりも大きな全体として
   の磁気誘導を前記部分の前記周囲に発生させるための手
   段を有する、位置センサ。
2. 【請求項２】 前記均衡手段は、前記第１磁界発生手段
   と一体である、請求項１に記載の位置センサ。
3. 【請求項３】 前記第１磁界発生手段は、永久磁石材料
   からなる、請求項２に記載の位置センサ。
4. 【請求項４】 前記均衡手段は、前記中央位置でよりも
   前記周囲位置で前記平行な軸線と平行に延びる前記永久
   磁石材料を有する、請求項３に記載の位置センサ。
5. 【請求項５】 位置センサにおいて、 第１位置で第１の大きさの磁界成分を発生し、第２位置
   で第２の大きさを発生する磁界発生手段と、 検出軸線に関する前記磁界成分に対して敏感であり且つ
   前記検出軸線に対して垂直な軸線に関する前記磁界成分
   に対して敏感でない、磁気誘導検出手段と、 前記磁気誘導検出手段を、前記磁界発生手段に対して前
   記第１位置から前記第２位置まで移動するための手段
   と、 前記磁界成分を、前記第２位置で前記垂直軸線とほぼ平
   行に差し向けるための手段とを有する位置センサ。