JP2006038832A5 - - Google Patents

Claims (27)

1. 流体を流す流路に、該流路に流れる流体の質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構とを設け、外部から入力される流量設定信号と前記流量信号とに基づいて前記流量制御弁機構を制御する制御手段を設けてなる質量流量制御装置において、
   前記流路に、該流路を開閉する検定用バルブ部と、所定の容量を有する検定用タンク部と、前記流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段とをそれぞれ設け、前記検定用バルブと前記検定用タンク部と前記圧力検出手段とを用いて質量流量検定動作を行うように制御する検定制御手段を備えるように構成したことを特徴とする質量流量制御装置。
2. 前記検定用タンク部の近傍には、温度検出を行う温度検出手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の質量流量制御装置。
3. 前記検定制御手段は、基準測定時の流体の圧力変化を記憶する基準用データメモリと、検定時の流体の圧力変化を記憶する検定用データメモリとを有することを特徴とする請求項１または２記載の質量流量制御装置。
4. 前記検定制御手段には、警報手段が接続されており、前記検定制御手段は検定結果が所定の範囲外の時には前記警報手段を駆動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の質量流量制御装置。
5. 前記検定制御手段は、前記検定結果に基づいて前記質量流量検出手段を校正することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の質量流量制御装置。
6. 前記検定用タンク部は、前記流路の途中に設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の質量流量制御装置。
7. 前記検定制御手段には、検定結果を表示する表示手段が接続されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の質量流量制御装置。
8. 前記流路には、零点測定の時に該流路の出口側を開閉する零点測定用バルブ部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の質量流量制御装置。
9. 前記検定用バルブ部と前記零点測定用バルブ部は、前記質量流量制御手段を挟んで互いに反対側に設けられることを特徴とする請求項８記載の質量流量制御装置。
10. 前記検定用バルブ部と前記零点測定用バルブ部の内の少なくともいずれか一方は、弁口となる流体入口部と流体出口部とを有する流体溜め室と、
    前記流体入口部に着座して該流体入口部を閉じるために屈曲変形可能になされた全閉用ダイヤフラムと、
    前記全閉用ダイヤフラムを前記流体入口部に向けて押圧するための押圧手段と、
    よりなることを特徴とする請求項８または９記載の質量流量制御装置。
11. 前記全閉用ダイヤフラムは、平面形状、或いは略球殻の一部の形状になされていることを特徴とする請求項１０記載の質量流量制御装置。
12. 前記押圧手段は、前記全閉用ダイヤフラムを挟んで前記流体溜め室とは反対側に設けられた作動空間と、
    前記作動空間内へ加圧気体を給排することができる弁機構と、
    よりなることを特徴とする請求項１０または１１記載の質量流量制御装置。
13. 前記弁機構は三方弁よりなることを特徴とする請求項１２記載の質量流量制御装置。
14. 前記零点測定用バルブ部は、前記流量制御弁機構に対して対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれかに記載の質量流量制御装置。
15. 前記検定制御手段は、前記検定用バルブ部と前記零点測定用バルブ部とを完全に閉じることによって前記流路に流れる流体を完全に遮断して零点測定を行なうことを特徴とする請求項８乃至１４のいずれかに記載の質量流量制御装置。
16. 前記検定用バルブ部と前記検定用タンク部と前記圧力検出手段は、前記質量流量検出手段及び前記流量制御弁機構よりも上流側に設けられることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれかに記載の質量流量制御装置。
17. 前記検定用バルブ部は前記流路の最上流側に設けられ、前記零点測定用バルブ部は前記流路の最下流側に設けられることを特徴とする請求項１６記載の質量流量制御装置。
18. 前記検定用バルブ部と前記検定用タンク部と前記圧力検出手段は、前記質量流量検出手段及び前記流量制御弁機構よりも下流側に設けられることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれかに記載の質量流量制御装置。
19. 前記検定用バルブ部と前記検定用タンク部と前記圧力検出手段の内、前記検定用バルブは最上流側に位置されていることを特徴とする請求項１乃至１８のいずれかに記載の質量流量制御装置。
20. 請求項１に係る質量流量制御装置の検定方法において、
    検定流量を設定する工程と、
    流路に検定用の流体を安定的に流す工程と、
    前記流れる流体の圧力と検定用タンク部の温度とを検出してそれぞれ初期圧力と初期温度とする工程と、
    検定用バルブ部を閉じて流路を遮断する工程と、
    前記検定用バルブ部を閉じた後に前記検定用タンク部から流出する流体の圧力変化を測定する工程と、
    前記測定された圧力変化と予め求められた基準圧力変化特性とに基づいて検定結果を求める工程と、
    を有することを特徴とする質量流量制御装置の検定方法。
21. 前記検定結果を表示手段に表示することを特徴とする請求項２０記載の質量流量制御装置の検定方法。
22. 前記検定結果が所定の許容範囲外の時には警報手段により警報を発することを特徴とする請求項２０または２１記載の質量流量制御装置の検定方法。
23. 前記検定結果に基づいて質量流量検出手段を自動的に校正することを特徴とする請求項２０乃至２２のいずれかに記載の質量流量制御装置の検定方法。
24. 前記検定結果を求める工程における上部基準圧力と下部基準圧力は予め定められていることを特徴とする請求項２０乃至２３のいずれかに記載の質量流量制御装置の検定方法。
25. 前記検定流量を種々変更することを特徴とする請求項２０乃至２４のいずれかに記載の質量流量制御装置の検定方法。
26. 前記検定流量を設定する工程の前に、前記流路に流れる流体の流れを完全に遮断して零点測定を行なう零点測定工程を行なうことを特徴とする請求項２０乃至２５のいずれかに記載の質量流量制御装置の検定方法。
27. 前記零点測定工程は、前記検出用バルブ部と前記零点測定用バルブ部の内の少なくとも検定用バルブ部を全閉することを特徴とする請求項２６記載の質量流量制御装置の検定方法。