JP5090448B2 - 臨界流に基づく質量流量検証器 - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 84
- 238000012795 verification Methods 0.000 claims description 42
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 10
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims 3
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 30
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 26
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
- G01F25/15—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters specially adapted for gas meters
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- G—PHYSICS
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
- G01F25/17—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters using calibrated reservoirs
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
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Description
本出願は、2005年3月25日に出願された「External Volume Insensitive Flow Verification」と題する米国特許出願第11/090,120号(「120出願」)(代理人整理番号MKS−155)の一部継続出願である。その特許出願の内容は、全てが記述されているかのように、参照によりその全体が本明細書に援用される。
1.上流バルブ120及び下流バルブ150の両方を開く。
2.DUTのための流量設定値を与える。
4.流量計算のためにチャンバ気体圧力及びチャンバ気体温度を記録し始める。
5.下流バルブ150を閉じて、チャンバ圧力を上昇させる。
7.下流バルブ150を開く。
8.チャンバ気体圧力及びチャンバ気体温度を記録するのを止める。
臨界ノズル140は、流体の流れを臨界流又はチョーク流れに保持するように構成される。気体が絞り機構の中を通り抜けるとき、その密度は減少し、速度は増加する。質量流束(単位面積当たりの質量流量)が最大になる臨界面積がある。この面積では、速度が音速であり、下流圧力をさらに減少させても、質量流量は増加しない。これは、臨界流又はチョーク流れと呼ばれる。
以下の気体関数を定義することができる。
Claims (17)
- 流体送達デバイスによる測定値を検証するための流量検証器であって、該流量検証器は、
前記デバイスからの前記流体の流れを収容するように構成されるチャンバと、
前記チャンバ内の前記流体の圧力を測定するように構成される圧力センサと、
前記チャンバ内の前記流体の温度を測定するように構成される温度センサと、
前記デバイスから前記チャンバへの前記流体の流路に沿って、前記チャンバの上流に位置決めされる臨界ノズルと、を備え、
前記臨界ノズルは、臨界流時間t cf 中に、前記ノズルを通る前記流体の流量を実質的に一定に保持し、且つ前記チャンバ内の圧力の変動の影響を実質的に受けないように構成され、
前記臨界ノズルは、前記臨界流時間tcf中に、前記ノズルを通って流れる前記流体が臨界流条件を満たすことができるように構成され、前記臨界流条件は数学的に以下の式によって与えられ、
pdは前記チャンバ内及び前記臨界ノズルの下流の前記流体の圧力であり、
Puは前記臨界ノズルの上流の前記流体の圧力であり、
γはγ=Cp/Cvによって与えられ、前記流体の比熱Cp及びCvの比であり、ここで、Cpは一定の圧力における前記流体の熱容量であり、Cvは一定の体積における前記流体の熱容量であり、
apcはPdとPuとの間の最大限許容できる比を表す臨界圧力比であり、前記臨界流条件が満たされる場合に、前記ノズルを横切る前記流体の流れは実質的に一定のままであり、且つ前記チャンバ内の圧力のいかなる変動にも実質的に影響を及ぼされない、流量検証器。 - 請求項1に記載の流量検証器であって、前記デバイスから前記チャンバの入口への前記流体の流れを開閉するように構成される上流バルブと、前記チャンバの出口からの前記流体の流れを開閉するように構成される下流バルブとをさらに備える、流量検証器。
- 請求項2に記載の流量検証器であって、前記下流バルブ及び前記上流バルブ、並びに前記圧力センサ及び前記温度センサを制御するように構成されるコントローラをさらに備え、該コントローラは、前記下流バルブが閉じられた後に前記チャンバ内の前記流体の圧力の上昇率を測定し、該測定された上昇率を用いて、前記デバイスから前記チャンバへ流れ込む前記流体の流量を計算し、それによって、前記流体送達デバイスによる測定値を検証するようにさらに構成される、流量検証器。
- 請求項3に記載の流量検証器において、前記圧力センサ及び前記温度センサは、前記流量検証過程が、変化するチャンバ圧力、及び前記検証器と前記デバイスとの間の外部体積とは実質的に無関係であるように、前記臨界流時間tcf内に測定を行うように構成される、流量検証器。
- 請求項1に記載の流量検証器において、前記臨界流時間tcfは、以下の式によって与えられるように、前記下流バルブが閉じられる時点と、PdとPuとの間の比が前記臨界圧力比限界apcを超える時点との間と定義され、
Vcはチャンバ体積であり、
ap0はt=0における前記ノズルの上流と下流との間の初期圧力比であり、
C’は前記ノズルのための吐出係数であり、
Aは前記ノズルののど部の断面積であり、
fg(M,γ,T)は以下のとおりであり、
Mは前記流体の分子量であり、
Rは一般気体定数であり、
Tは気体温度であり、
γは前記流体の比熱Cp及びCvの比であり、Cpは一定の圧力における気体熱容量であり、Cvは一定の体積における気体熱容量である、流量検証器。 - 請求項3に記載の流量検証器において、前記コントローラは、
a)前記上流バルブ及び前記下流バルブを開き、
b)前記デバイスのための流量設定値を与え、
c)前記チャンバ内の圧力が定常状態に達し、安定するまで待ち、
d)流量計算のためにチャンバの気体圧力及び前記チャンバ気体温度を記録し始め、
e)前記下流バルブを閉じて、それによって前記チャンバ内の圧力が上昇するようにし、
f)流量検証のために前記臨界流時間tcfよりも短い時間だけ待ち、
g)前記下流バルブが閉じられた時点から測定されるような臨界時間内に、前記下流バルブを開き、
h)以下の式を用いて、前記チャンバに流れ込む前記流体の流量を計算することによって、前記流体送達デバイスの測定値を検証するように構成され、
Vcはチャンバ体積であり、
Tstpは約273.15Kであり、
Pstpは約1.01325e5Paであり、
K0はSCCM単位の場合、約6×107、SLM単位の場合、6×104であり、
Pは前記圧力センサ/変換器によって測定されるチャンバ圧力であり、
Tは前記温度センサによって測定される気体温度である、流量検証器。 - 請求項7に記載の流量検証器において、前記臨界ノズルは、前記流量検証器の前記チャンバ体積を、前記デバイスへの外部配管から分離し、それによって前記外部体積の情報が前記流量検証器の前記流量計算と関係がなくなると共に、前記流量検証器と前記デバイスとの間の前記外部体積を求めるための準備較正が一切不要になるようにする、流量検証器。
- 請求項8に記載の流量検証器において、前記流量検証器は、連続パルス動作モードにおいて動作することができ、該動作モードでは、前記コントローラによって、複数の検証時間のそれぞれにおいて、前記圧力センサ及び前記温度センサによって圧力測定及び温度測定が行われ、該各検証時間は、前記下流バルブが閉じられるときに開始し、前記下流バルブが閉じられた時刻から前記臨界流時間tcfが経過する前に、前記下流バルブが開けられるときに終了し、それによって、前記ノズルを横切る流れが常に前記臨界流条件にあり、前記チャンバ圧力が変化しても、前記流量、及び前記デバイスの前記下流圧力に実質的に影響を及ぼさないようにする、流量検証器。
- 請求項9に記載の流量検証器において、前記コントローラによって計算される前記流量は、前記CPSRモードにおいて何度も実行する場合の平均流量であり、それによって、前記圧力センサ及び前記温度センサ内の測定雑音によって引き起こされる前記計算された流量の変動が最小限に抑えられる、流量検証器。
- 請求項1に記載の流量検証器において、前記臨界ノズルは、前記ノズルを通る前記流体の流れを臨界流に制限するように構成される、流量検証器。
- 流体送達デバイスの測定値を検証する方法であって、
前記質量流量検証器と前記デバイスとの間の前記流体の流路に沿って臨界ノズルを配置することであって、臨界流時間中に、前記残留物の該ノズルを横切る流体の流れ、及び該ノズルの上流の前記流体の圧力が実質的に一定のままであり、且つ前記チャンバ内の圧力の上昇の影響を実質的に受けないように、該流体の流れを保持する、配置すること、
前記チャンバの入口及び出口バルブを開かれている間に、前記流体が流路に沿って前記デバイスから前記チャンバに流れ込むようにすること、
前記チャンバ内に流れ込む前記流体の流量、及び前記チャンバ内の前記流体の圧力が定常状態に達することができるようにすること、
前記チャンバの下流のバルブを閉じることであって、前記流体の圧力が前記チャンバ内で上昇し始めるようにする、閉じること、並びに
前記臨界流時間内に流体圧力及び流体温度の測定を行うことであって、前記チャンバ内の前記流体の圧力の上昇率を測定する、測定を行うこと、及び該測定された上昇率を用いることであって、前記流体温度の測定値と共に、前記流体の流量を計算する、用いることを含み、
前記臨界ノズルは、前記臨界流時間中に臨界流条件が満たされるように、前記ノズルを横切る前記流体の流れを制限するように構成され、前記臨界流条件は数学的に以下の式によって与えられ、
pdは前記チャンバ内及び前記臨界ノズルの下流内の前記流体の圧力であり、
Puは前記臨界ノズルの上流の前記流体の圧力であり、
γはγ=Cp/Cvによって与えられ、前記流体の比熱Cp及びCvの比であり、ここでCpは一定の圧力における前記流体の熱容量であり、Cvは一定の体積における前記流体の熱容量であり、
apcはPdとPuとの間の最大限許容できる比を表す臨界流パラメータであり、前記臨界流条件が満たされる場合に、前記ノズルを横切る前記流体の流れは実質的に一定のままであり、且つ前記チャンバ内の圧力のいかなる変動にも実質的に影響を及ぼされない、方法。 - 請求項13に記載の方法において、
前記圧力の測定及び前記温度の測定は複数の検証時間のそれぞれにおいて行われ、各該検証時間は、前記下流バルブが閉じられるときに開始し、前記下流バルブが閉じられた時刻から前記臨界流時間tcfが経過する前に前記下流バルブが開けられるときに終了し、
前記計算された流量は、前記CPSRモードにおける多数の実行中の平均流量であり、測定される雑音が最小限に抑えられるようにする、方法。 - 流体の流量の流量測定デバイスによる測定値を検証する質量流量検証器によって計算される前記流体の流量の変動を最小限に抑える方法であって、該質量流量検証器は、前記流量測定デバイスからの前記流体の流れを収容するように構成されるチャンバと、該チャンバ内の前記流体の圧力を測定するように構成される圧力センサと、該チャンバ内の前記流体の温度を測定するように構成される温度センサとを備え、該方法は、
前記流量測定デバイスと前記チャンバとの間に臨界ノズルを配設して該ノズルを横切る前記流体の流れを制限する、臨界ノズルを配設することを含み、前記ノズルの下流の圧力及び前記ノズルの上流の圧力の比が臨界流パラメータapcよりも小さい限り、前記ノズルを通る前記流体の流量が前記チャンバ内の圧力の変動の影響を実質的に受けないようにし、
前記ノズルの上流圧力を測定するために第2の圧力変換器は前記ノズルの上流に位置しており、該第2の圧力変換器によって測定される前記ノズルの上流圧力を用いて、前記流量検証器を実行する前に、前記ノズルを通る流れが安定しているか否かを判定することができる、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、所望の流量範囲、及び前記流量測定デバイスの最大下流圧力要件に基づいて、前記臨界ノズルのための最適なオリフィスサイズを選択することをさらに含む、方法。
- 請求項15に記載の方法において、前記第2の圧力変換器によって測定される前記ノズルの前記上流圧力を用いて、臨界流に基づく前記質量流量検証器への第2の流量検証方法として、請求項6に記載の式によって前記ノズルを通る前記流量を計算することができる、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/479,092 | 2006-06-30 | ||
US11/479,092 US7474968B2 (en) | 2005-03-25 | 2006-06-30 | Critical flow based mass flow verifier |
PCT/US2007/072186 WO2008014076A2 (en) | 2006-06-30 | 2007-06-27 | Critical flow based mass flow verifier |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012201431A Division JP2013037003A (ja) | 2006-06-30 | 2012-09-13 | 臨界流に基づく質量流量検証器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009543061A JP2009543061A (ja) | 2009-12-03 |
JP5090448B2 true JP5090448B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=38922739
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009518530A Active JP5090448B2 (ja) | 2006-06-30 | 2007-06-27 | 臨界流に基づく質量流量検証器 |
JP2012201431A Pending JP2013037003A (ja) | 2006-06-30 | 2012-09-13 | 臨界流に基づく質量流量検証器 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012201431A Pending JP2013037003A (ja) | 2006-06-30 | 2012-09-13 | 臨界流に基づく質量流量検証器 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7474968B2 (ja) |
JP (2) | JP5090448B2 (ja) |
KR (1) | KR101198202B1 (ja) |
DE (1) | DE112007001375B4 (ja) |
GB (1) | GB2452467B (ja) |
TW (1) | TWI568993B (ja) |
WO (1) | WO2008014076A2 (ja) |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7628860B2 (en) * | 2004-04-12 | 2009-12-08 | Mks Instruments, Inc. | Pulsed mass flow delivery system and method |
US7628861B2 (en) * | 2004-12-17 | 2009-12-08 | Mks Instruments, Inc. | Pulsed mass flow delivery system and method |
US7461549B1 (en) * | 2007-06-27 | 2008-12-09 | Mks Instruments, Inc. | Mass flow verifiers capable of providing different volumes, and related methods |
US7757554B2 (en) * | 2005-03-25 | 2010-07-20 | Mks Instruments, Inc. | High accuracy mass flow verifier with multiple inlets |
US8986253B2 (en) | 2008-01-25 | 2015-03-24 | Tandem Diabetes Care, Inc. | Two chamber pumps and related methods |
US8408421B2 (en) | 2008-09-16 | 2013-04-02 | Tandem Diabetes Care, Inc. | Flow regulating stopcocks and related methods |
AU2009293019A1 (en) | 2008-09-19 | 2010-03-25 | Tandem Diabetes Care Inc. | Solute concentration measurement device and related methods |
US7891228B2 (en) * | 2008-11-18 | 2011-02-22 | Mks Instruments, Inc. | Dual-mode mass flow verification and mass flow delivery system and method |
JP5346628B2 (ja) * | 2009-03-11 | 2013-11-20 | 株式会社堀場エステック | マスフローコントローラの検定システム、検定方法、検定用プログラム |
US8758323B2 (en) | 2009-07-30 | 2014-06-24 | Tandem Diabetes Care, Inc. | Infusion pump system with disposable cartridge having pressure venting and pressure feedback |
US9127361B2 (en) * | 2009-12-07 | 2015-09-08 | Mks Instruments, Inc. | Methods of and apparatus for controlling pressure in multiple zones of a process tool |
US8997686B2 (en) * | 2010-09-29 | 2015-04-07 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of fast pulse gas delivery |
US9348339B2 (en) | 2010-09-29 | 2016-05-24 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for multiple-channel pulse gas delivery system |
US10031531B2 (en) | 2011-02-25 | 2018-07-24 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of multiple channel fast pulse gas delivery |
US10126760B2 (en) | 2011-02-25 | 2018-11-13 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of fast pulse gas delivery |
US10353408B2 (en) | 2011-02-25 | 2019-07-16 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of fast pulse gas delivery |
GB201108854D0 (en) * | 2011-05-26 | 2011-07-06 | Spp Process Technology Systems Uk Ltd | Mass flow controller monitoring |
US9188989B1 (en) | 2011-08-20 | 2015-11-17 | Daniel T. Mudd | Flow node to deliver process gas using a remote pressure measurement device |
US9958302B2 (en) | 2011-08-20 | 2018-05-01 | Reno Technologies, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US9557744B2 (en) | 2012-01-20 | 2017-01-31 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of monitoring flow through mass flow controllers in real time |
US9846074B2 (en) | 2012-01-20 | 2017-12-19 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of monitoring flow through mass flow controllers in real time |
US9471066B2 (en) | 2012-01-20 | 2016-10-18 | Mks Instruments, Inc. | System for and method of providing pressure insensitive self verifying mass flow controller |
US9372104B2 (en) * | 2012-03-07 | 2016-06-21 | Deka Products Limited Partnership | Volumetric measurement device, system and method |
US9180242B2 (en) | 2012-05-17 | 2015-11-10 | Tandem Diabetes Care, Inc. | Methods and devices for multiple fluid transfer |
US10031005B2 (en) | 2012-09-25 | 2018-07-24 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for self verification of pressure-based mass flow controllers |
US9173998B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-11-03 | Tandem Diabetes Care, Inc. | System and method for detecting occlusions in an infusion pump |
JP6527151B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2019-06-05 | ヌヴェラ・フュエル・セルズ,エルエルシー | ガス貯蔵と共に使用するための圧力逃がしの検出 |
KR101710105B1 (ko) * | 2015-07-08 | 2017-02-24 | 주식회사 유진테크 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
TWI693494B (zh) * | 2015-08-31 | 2020-05-11 | 美商Mks公司 | 於非臨界流條件中以壓力為基礎之流量量測的方法和系統 |
WO2017122714A1 (ja) | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 株式会社フジキン | 流量測定可能なガス供給装置、流量計、及び流量測定方法 |
US10684159B2 (en) * | 2016-06-27 | 2020-06-16 | Applied Materials, Inc. | Methods, systems, and apparatus for mass flow verification based on choked flow |
US10679880B2 (en) | 2016-09-27 | 2020-06-09 | Ichor Systems, Inc. | Method of achieving improved transient response in apparatus for controlling flow and system for accomplishing same |
US10838437B2 (en) | 2018-02-22 | 2020-11-17 | Ichor Systems, Inc. | Apparatus for splitting flow of process gas and method of operating same |
US11144075B2 (en) | 2016-06-30 | 2021-10-12 | Ichor Systems, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
US10303189B2 (en) | 2016-06-30 | 2019-05-28 | Reno Technologies, Inc. | Flow control system, method, and apparatus |
GB2553002B (en) * | 2016-08-19 | 2020-12-30 | Cameron Tech Ltd | Assembly for control and/or measurement of fluid flow |
CN106352931B (zh) | 2016-10-09 | 2018-02-13 | 无锡洋湃科技有限公司 | 一种测量多相流中气液两相各自流量的临界流喷嘴流量计及测量方法 |
US10031004B2 (en) * | 2016-12-15 | 2018-07-24 | Mks Instruments, Inc. | Methods and apparatus for wide range mass flow verification |
US10663337B2 (en) | 2016-12-30 | 2020-05-26 | Ichor Systems, Inc. | Apparatus for controlling flow and method of calibrating same |
JP6913498B2 (ja) * | 2017-04-18 | 2021-08-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 流量制御器の出力流量を求める方法及び被処理体を処理する方法 |
US10866135B2 (en) | 2018-03-26 | 2020-12-15 | Applied Materials, Inc. | Methods, systems, and apparatus for mass flow verification based on rate of pressure decay |
US11327510B2 (en) | 2018-05-23 | 2022-05-10 | Hitachi Metals, Ltd. | Multi-chamber rate-of-change system for gas flow verification |
US11404290B2 (en) * | 2019-04-05 | 2022-08-02 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for pulse gas delivery |
US11585272B2 (en) | 2020-06-25 | 2023-02-21 | Pratt & Whitney Canada Corp. | System and method for detection of excessive flow in a fluid system |
US11899477B2 (en) | 2021-03-03 | 2024-02-13 | Ichor Systems, Inc. | Fluid flow control system comprising a manifold assembly |
CN113295221B (zh) * | 2021-06-30 | 2022-10-18 | 中国航发贵州黎阳航空动力有限公司 | 一种滑油喷嘴方向流量和总流量的测量装置 |
US20230304837A1 (en) * | 2022-03-23 | 2023-09-28 | Mks Instruments, Inc. | Method and Apparatus for Mass Flow Verification |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5684245A (en) * | 1995-11-17 | 1997-11-04 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus for mass flow measurement of a gas |
DE19615857C1 (de) | 1996-04-20 | 1997-10-02 | Alois Ehrler | Vorrichtung zur Erzeugung eines definierten Luftmengenstroms |
US5944048A (en) | 1996-10-04 | 1999-08-31 | Emerson Electric Co. | Method and apparatus for detecting and controlling mass flow |
DE10242377B4 (de) * | 2002-09-12 | 2007-03-08 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren eines Massenstromsensors |
US6955072B2 (en) | 2003-06-25 | 2005-10-18 | Mks Instruments, Inc. | System and method for in-situ flow verification and calibration |
JP4784338B2 (ja) * | 2004-06-21 | 2011-10-05 | 日立金属株式会社 | 質量流量制御装置 |
US7412986B2 (en) | 2004-07-09 | 2008-08-19 | Celerity, Inc. | Method and system for flow measurement and validation of a mass flow controller |
WO2006017116A2 (en) * | 2004-07-09 | 2006-02-16 | Celerity, Inc. | Method and system for flow measurement and validation of a mass flow controller |
US7150201B2 (en) | 2004-12-15 | 2006-12-19 | Celerity, Inc. | System and method for measuring flow |
US7174263B2 (en) | 2005-03-25 | 2007-02-06 | Mks Instruments, Inc. | External volume insensitive flow verification |
-
2006
- 2006-06-30 US US11/479,092 patent/US7474968B2/en active Active
-
2007
- 2007-06-27 KR KR1020087028169A patent/KR101198202B1/ko active IP Right Grant
- 2007-06-27 WO PCT/US2007/072186 patent/WO2008014076A2/en active Application Filing
- 2007-06-27 GB GB0900474.8A patent/GB2452467B/en active Active
- 2007-06-27 DE DE112007001375.3T patent/DE112007001375B4/de active Active
- 2007-06-27 JP JP2009518530A patent/JP5090448B2/ja active Active
- 2007-06-29 TW TW096123624A patent/TWI568993B/zh active
-
2012
- 2012-09-13 JP JP2012201431A patent/JP2013037003A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009543061A (ja) | 2009-12-03 |
US7474968B2 (en) | 2009-01-06 |
JP2013037003A (ja) | 2013-02-21 |
KR101198202B1 (ko) | 2012-11-07 |
DE112007001375B4 (de) | 2021-11-04 |
DE112007001375T5 (de) | 2009-07-23 |
TW200819712A (en) | 2008-05-01 |
TWI568993B (zh) | 2017-02-01 |
WO2008014076A3 (en) | 2008-03-27 |
US20060283254A1 (en) | 2006-12-21 |
GB0900474D0 (en) | 2009-02-11 |
GB2452467B (en) | 2012-06-20 |
GB2452467A (en) | 2009-03-04 |
WO2008014076A2 (en) | 2008-01-31 |
KR20090026136A (ko) | 2009-03-11 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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