JPH0778296A - 流量制御器モニタ方式 - Google Patents
流量制御器モニタ方式Info
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- JPH0778296A JPH0778296A JP6151128A JP15112894A JPH0778296A JP H0778296 A JPH0778296 A JP H0778296A JP 6151128 A JP6151128 A JP 6151128A JP 15112894 A JP15112894 A JP 15112894A JP H0778296 A JPH0778296 A JP H0778296A
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- Japan
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- mfcs
- voltage
- voltage signal
- mfc
- switching means
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/20—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy
- H01L21/205—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy using reduction or decomposition of a gaseous compound yielding a solid condensate, i.e. chemical deposition
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
Abstract
(57)【要約】
【構成】 各々が複数のＭＦＣ１０Ａ〜１０Ｆの１つに
対応し、ＭＦＣ制御電圧に対応する電圧信号を与える複
数のインタフェース２０Ａ〜２０Ｆと、インタフェース
から上記電圧信号を伝送する複数の電線４０と、該電線
に結合されＭＦＣの１つに対応する上記電圧信号を選択
する位置スイッチ６０と、該スイッチに結合されＭＦＣ
の１つに対応する上記電圧信号の値を可視表示する複数
の表示手段７０Ａ，７０Ｂとを設ける。 【効果】 オペレータは、複数のＭＦＣ動作電圧を同時
に、ＭＦＣを用いるシステムの他の動作を妨げることな
くモニタ又は校正することができる。
対応し、ＭＦＣ制御電圧に対応する電圧信号を与える複
数のインタフェース２０Ａ〜２０Ｆと、インタフェース
から上記電圧信号を伝送する複数の電線４０と、該電線
に結合されＭＦＣの１つに対応する上記電圧信号を選択
する位置スイッチ６０と、該スイッチに結合されＭＦＣ
の１つに対応する上記電圧信号の値を可視表示する複数
の表示手段７０Ａ，７０Ｂとを設ける。 【効果】 オペレータは、複数のＭＦＣ動作電圧を同時
に、ＭＦＣを用いるシステムの他の動作を妨げることな
くモニタ又は校正することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路の生産に使わ
れる種々のガスの正確な量を供給するために使用される
流量制御器（ＭＦＣ）のモニタに関するものである。も
っと詳しくいえば、本発明は、１個以上のＭＦＣの複数
の電圧を同時にモニタする方式（装置及び方法）に関す
る。
れる種々のガスの正確な量を供給するために使用される
流量制御器（ＭＦＣ）のモニタに関するものである。も
っと詳しくいえば、本発明は、１個以上のＭＦＣの複数
の電圧を同時にモニタする方式（装置及び方法）に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置を製作するとき、高度の精密
さを要する技術を使用するのが普通である。例えば、集
積回路の製作に用いる化学蒸着（ＣＶＤ）法では、正確
な比率のＳｉＨ4 やＷＦ6 のような材料の正確な量の蒸
着が必要である。適正な蒸着を確実に達成するには、か
ようなガス流を調節するための１個以上の校正されたＭ
ＦＣの使用が欠かせない。
さを要する技術を使用するのが普通である。例えば、集
積回路の製作に用いる化学蒸着（ＣＶＤ）法では、正確
な比率のＳｉＨ4 やＷＦ6 のような材料の正確な量の蒸
着が必要である。適正な蒸着を確実に達成するには、か
ようなガス流を調節するための１個以上の校正されたＭ
ＦＣの使用が欠かせない。
【０００３】一般に使用される流量制御器は、モニタし
なければならない５つの能動的ＤＣ電圧レベルを有する
ため、必要な許容範囲内で適正に校正することができ
る。例えば、所望の蒸着及び比率レベルを維持するため
には、各ＭＦＣが示すセットポイント（目標値）の電圧
及び電流（出力）電圧をモニタしなければならない。こ
れらの電圧は、ＭＦＣが適正に動作しているか或いは校
正を要するかどうかを決めるための比較ができるよう
に、十分な正確度で測定しなければならない。
なければならない５つの能動的ＤＣ電圧レベルを有する
ため、必要な許容範囲内で適正に校正することができ
る。例えば、所望の蒸着及び比率レベルを維持するため
には、各ＭＦＣが示すセットポイント（目標値）の電圧
及び電流（出力）電圧をモニタしなければならない。こ
れらの電圧は、ＭＦＣが適正に動作しているか或いは校
正を要するかどうかを決めるための比較ができるよう
に、十分な正確度で測定しなければならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のモニタ技法に
は、種々の欠点がある。例えば、少なくとも１つの従来
モニタ技法によれば、ＭＦＣの他の機能をも制御する制
御装置でＭＦＣ電圧レベルをモニタしている。このよう
な装置を用いると、オペレータは、モニタしている間は
そのシステム（例えば、Genus system）の他の機能を制
御することができない。本発明の一般的な課題は、従来
技術のこれら及び他の欠点を克服することである。
は、種々の欠点がある。例えば、少なくとも１つの従来
モニタ技法によれば、ＭＦＣの他の機能をも制御する制
御装置でＭＦＣ電圧レベルをモニタしている。このよう
な装置を用いると、オペレータは、モニタしている間は
そのシステム（例えば、Genus system）の他の機能を制
御することができない。本発明の一般的な課題は、従来
技術のこれら及び他の欠点を克服することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、次の
ような構成要素を含む装置を設けることにより上記の課
題を解決した。各々が複数のＭＦＣの１つに対応し、夫
々のＭＦＣを制御する制御電圧に対応する電圧信号を与
える複数のインタフェース、該インタフェースから上記
電圧信号を伝送するための複数の電線、上記複数の電線
に結合（接続）され、上記ＭＦＣの１つに対応する上記
電圧信号を選択するためのスイッチング手段、上記スイ
ッチング手段に結合され、上記ＭＦＣの１つに対応する
上記電圧信号の値を可視表示するための複数の表示手
段。
ような構成要素を含む装置を設けることにより上記の課
題を解決した。各々が複数のＭＦＣの１つに対応し、夫
々のＭＦＣを制御する制御電圧に対応する電圧信号を与
える複数のインタフェース、該インタフェースから上記
電圧信号を伝送するための複数の電線、上記複数の電線
に結合（接続）され、上記ＭＦＣの１つに対応する上記
電圧信号を選択するためのスイッチング手段、上記スイ
ッチング手段に結合され、上記ＭＦＣの１つに対応する
上記電圧信号の値を可視表示するための複数の表示手
段。
【０００６】本発明の１つの具体構成では、上記表示
（ディスプレイ）手段は、各々が上記電圧信号の１つの
値を表示する２個の４1/2 ディジットＬＥＤ表示器を有
する。
（ディスプレイ）手段は、各々が上記電圧信号の１つの
値を表示する２個の４1/2 ディジットＬＥＤ表示器を有
する。
【０００７】本発明の他の具体構成では、上記電圧信号
は、上記複数のＭＦＣの１つのセットポイント電圧及び
流量電圧に対応する。
は、上記複数のＭＦＣの１つのセットポイント電圧及び
流量電圧に対応する。
【０００８】本発明の更に他の具体構成では、上記表示
手段は、上記ＬＥＤ表示器にＡＣ電流を供給する電源手
段を含む。
手段は、上記ＬＥＤ表示器にＡＣ電流を供給する電源手
段を含む。
【０００９】本発明の別の具体構成では、上記表示手段
及びスイッチング手段は、単一の表示ユニットに収容さ
れる。
及びスイッチング手段は、単一の表示ユニットに収容さ
れる。
【００１０】本発明の更に別の具体構成では、上記スイ
ッチング手段は、２８ピンコネクタを介して上記複数の
電線に結合される。
ッチング手段は、２８ピンコネクタを介して上記複数の
電線に結合される。
【００１１】本発明のなお別の具体構成では、上記スイ
ッチング手段は６位置スイッチを有し、それにより、上
記装置が、各々が対応するチャンネルをもつ６個までの
別々のＭＦＣを選択的にモニタすることができる。
ッチング手段は６位置スイッチを有し、それにより、上
記装置が、各々が対応するチャンネルをもつ６個までの
別々のＭＦＣを選択的にモニタすることができる。
【００１２】
【実施例】図１は、本発明の実施例を示すブロック図で
ある。同図において、モニタ装置１は、複数のＭＦＣ１
０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，‥‥，１０Ｆをモニタする。６
個のＭＦＣのみを示したが、本発明は、この数に限定さ
れるものではなく、スイッチング装置を最新式のものに
すれば、どんな数のＭＦＣでも含むことができる。各Ｍ
ＦＣ１０Ａ〜１０Ｆは夫々、対応するインタフェース２
０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，‥‥，２０Ｆに結合される。こ
れらのインタフェースは、各ＭＦＣの動作を示す電圧制
御信号に対応する複数の電圧信号を供給するために使用
される。
ある。同図において、モニタ装置１は、複数のＭＦＣ１
０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，‥‥，１０Ｆをモニタする。６
個のＭＦＣのみを示したが、本発明は、この数に限定さ
れるものではなく、スイッチング装置を最新式のものに
すれば、どんな数のＭＦＣでも含むことができる。各Ｍ
ＦＣ１０Ａ〜１０Ｆは夫々、対応するインタフェース２
０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，‥‥，２０Ｆに結合される。こ
れらのインタフェースは、各ＭＦＣの動作を示す電圧制
御信号に対応する複数の電圧信号を供給するために使用
される。
【００１３】図１に示す好適な実施例では、各インタフ
ェースは、各ＭＦＣから２つの直流電圧供給信号をサン
プルする（取出す）のに用いる。図示の例では、これら
の信号は、各ＭＦＣのセットポイント電圧及び出力電圧
に対応する。他の電圧も、同様の方法でサンプルするこ
とができる。したがって、各インタフェースは２つのサ
ンプルＤＣ電圧信号を与えるが、本例では、これらは共
通接地に対し−１５Ｖから＋１５Ｖの範囲の値をもつ。
したがって、１つのＭＦＣ及びその２つのサンプルされ
る制御電圧に対応する各チャンネルは、４本の伝送線を
必要とする。例えば、ブロック１０Ａで示すＦＭＣ Ａ
は、インタフェースＡ（ブロック２０Ａ）を介して３２
Ａで示す４本の伝送線に結合される。
ェースは、各ＭＦＣから２つの直流電圧供給信号をサン
プルする（取出す）のに用いる。図示の例では、これら
の信号は、各ＭＦＣのセットポイント電圧及び出力電圧
に対応する。他の電圧も、同様の方法でサンプルするこ
とができる。したがって、各インタフェースは２つのサ
ンプルＤＣ電圧信号を与えるが、本例では、これらは共
通接地に対し−１５Ｖから＋１５Ｖの範囲の値をもつ。
したがって、１つのＭＦＣ及びその２つのサンプルされ
る制御電圧に対応する各チャンネルは、４本の伝送線を
必要とする。例えば、ブロック１０Ａで示すＦＭＣ Ａ
は、インタフェースＡ（ブロック２０Ａ）を介して３２
Ａで示す４本の伝送線に結合される。
【００１４】残りのＭＦＣも夫々、ケーブル４０に収容
された対応する伝送線に結合される。よって本例では、
ケーブル４０は２４本の電線を有し、これらは、モニタ
表示ユニット５０へ６チャンネルの情報を与える（即
ち、６つの異なるチャンネルに対する２つの入力は、１
２の異なる信号を与えることになる）。ケーブル４０の
各電線は、ピンコネクタ４５で終わる。好適な具体構成
では、ピンコネクタ４５は２４本の電線に結合され、各
ピンはスイッチング手段６０に結合される。このように
して、ピンコネクタ４５は、複数のＭＦＣを表示ユニッ
ト５０のスイッチング手段６０に結合する手段となって
いる。
された対応する伝送線に結合される。よって本例では、
ケーブル４０は２４本の電線を有し、これらは、モニタ
表示ユニット５０へ６チャンネルの情報を与える（即
ち、６つの異なるチャンネルに対する２つの入力は、１
２の異なる信号を与えることになる）。ケーブル４０の
各電線は、ピンコネクタ４５で終わる。好適な具体構成
では、ピンコネクタ４５は２４本の電線に結合され、各
ピンはスイッチング手段６０に結合される。このように
して、ピンコネクタ４５は、複数のＭＦＣを表示ユニッ
ト５０のスイッチング手段６０に結合する手段となって
いる。
【００１５】スイッチング手段６０は、複数のＭＦＣ１
０Ａ〜１０Ｆのどれかの制御電圧に対応する所望のチャ
ンネルを選択するのに使用される。所望のチャンネルを
選択すると、制御信号が複数の表示器に供給される。図
１に示す好適な実施例では、２個の４1/2 ディジットＬ
ＥＤ表示器７０Ａ及び７０Ｂを用い、セットポイント電
圧及び出力電圧を同時にモニタできるようにする。所望
ならば、他の制御電圧をモニタするため、もっと多くの
表示器を用いることもできる。
０Ａ〜１０Ｆのどれかの制御電圧に対応する所望のチャ
ンネルを選択するのに使用される。所望のチャンネルを
選択すると、制御信号が複数の表示器に供給される。図
１に示す好適な実施例では、２個の４1/2 ディジットＬ
ＥＤ表示器７０Ａ及び７０Ｂを用い、セットポイント電
圧及び出力電圧を同時にモニタできるようにする。所望
ならば、他の制御電圧をモニタするため、もっと多くの
表示器を用いることもできる。
【００１６】好適な具体例では、ＬＥＤ表示器７０Ａ及
び７０Ｂは、標準ディジタル パネル メータである。
この例によれば、これらのメータは±１９．９９９Ｖの
感度を有する。よって、各ＭＦＣのセットポイント電圧
及び出力電圧は、±１ｍＶの範囲内（精度）まで測定す
ることができる。この分解度は、代表的なＣＶＤ装置の
ＭＦＣを正確にモニタ又は校正するのに十分である。し
かも、この好適な具体例の上記メータは、２〜３メグオ
ームのオーダー（桁数）の比較的高い入力インピーダン
スを有する。必要な正確度に応じて、分解度がもっと大
きいか或いはもっと小さく且つ特性が異なる他の従来の
メータで置換えてもよい。
び７０Ｂは、標準ディジタル パネル メータである。
この例によれば、これらのメータは±１９．９９９Ｖの
感度を有する。よって、各ＭＦＣのセットポイント電圧
及び出力電圧は、±１ｍＶの範囲内（精度）まで測定す
ることができる。この分解度は、代表的なＣＶＤ装置の
ＭＦＣを正確にモニタ又は校正するのに十分である。し
かも、この好適な具体例の上記メータは、２〜３メグオ
ームのオーダー（桁数）の比較的高い入力インピーダン
スを有する。必要な正確度に応じて、分解度がもっと大
きいか或いはもっと小さく且つ特性が異なる他の従来の
メータで置換えてもよい。
【００１７】モニタ表示ユニット５０にはまた、ＬＥＤ
表示器７０Ａ及び７０Ｂに電気を供給するヒューズ付き
ＡＣ電源８０が収容される。好適な実施例では、この電
源８０は、モニタ表示ユニット５０内の制御スイッチ８
２に接続される。ＡＣ電源を示したが、上記メータに電
気を供給する他の手段を使用してもよい。
表示器７０Ａ及び７０Ｂに電気を供給するヒューズ付き
ＡＣ電源８０が収容される。好適な実施例では、この電
源８０は、モニタ表示ユニット５０内の制御スイッチ８
２に接続される。ＡＣ電源を示したが、上記メータに電
気を供給する他の手段を使用してもよい。
【００１８】図２は、図１のモニタ装置の好適な具体例
を示す回路図である。同図に示すように、ＬＥＤ表示器
７０Ａ及び７０Ｂは、コネクタ８６及びヒューズ８４を
介して普通のＡＣ電源８０から電気が供給される。ＡＣ
電源は、低い電池による表示ミスを防止する。上記メー
タを変えれば、ＤＣ電圧を使用できるであろう。
を示す回路図である。同図に示すように、ＬＥＤ表示器
７０Ａ及び７０Ｂは、コネクタ８６及びヒューズ８４を
介して普通のＡＣ電源８０から電気が供給される。ＡＣ
電源は、低い電池による表示ミスを防止する。上記メー
タを変えれば、ＤＣ電圧を使用できるであろう。
【００１９】図２では、図１と同様、２４個のピンが、
外部の６個のＭＦＣと結合され、２つの表示器（メー
タ）への６チャンネル入力を与え、６ＭＦＣの２つの制
御電圧が同時に表示されるようになっている。制御電圧
信号を供給するピンは、２極２デック６位置スイッチ６
２を介して表示メータ７０Ａ及び７０Ｂに結合される。
該スイッチ６２は、モニタ表示ユニット（図示せず）に
ある制御つまみによって動作し、６個の別々のＭＦＣチ
ャンネルの１つを選択するのに使用される。
外部の６個のＭＦＣと結合され、２つの表示器（メー
タ）への６チャンネル入力を与え、６ＭＦＣの２つの制
御電圧が同時に表示されるようになっている。制御電圧
信号を供給するピンは、２極２デック６位置スイッチ６
２を介して表示メータ７０Ａ及び７０Ｂに結合される。
該スイッチ６２は、モニタ表示ユニット（図示せず）に
ある制御つまみによって動作し、６個の別々のＭＦＣチ
ャンネルの１つを選択するのに使用される。
【００２０】表１は、６ＭＦＣチャンネルＡ〜Ｆの各々
に対応するピンの番号と、２４個のピンの各々によって
供給される信号とを示す。
に対応するピンの番号と、２４個のピンの各々によって
供給される信号とを示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】図３に、２８ピンコネクタ４５′を示す。
好適な具体例では、該コネクタ４５′は、６つの２ＭＦ
Ｃチャンネルを与える２４個のピンを表示器７０Ａ及び
７０Ｂに、図１を参照して述べた２４本の信号伝送線で
結合する。図３に示すように、６チャンネルＡ〜Ｆの各
々は、４本の対応する信号ラインを有する。２本は接
地、他の２本は表示信号用である。具体的な信号は、さ
きの表１に示した。
好適な具体例では、該コネクタ４５′は、６つの２ＭＦ
Ｃチャンネルを与える２４個のピンを表示器７０Ａ及び
７０Ｂに、図１を参照して述べた２４本の信号伝送線で
結合する。図３に示すように、６チャンネルＡ〜Ｆの各
々は、４本の対応する信号ラインを有する。２本は接
地、他の２本は表示信号用である。具体的な信号は、さ
きの表１に示した。
【００２３】例えば、図１及び２において、ＭＦＣ Ａ
に対応するチャンネルＡは、４つのピン、ピン３、ピン
２、ピン７及びピン６を介して表示ユニット５０に接続
される。一般に、ピン３及びピン２はＤＣ入力信号（±
１９．９９９Ｖまで）を与え、一方、夫々入力点７５Ａ
及び７５ＢでＬＥＤメータ７０Ａ及び７０Ｂに接続され
るピン７及びピン６は、図２に示すように、ライン７２
を介して設定された共通電位に接続される。ピン３によ
り与えられた信号は、入力点７４Ａを介してＬＥＤ表示
器７０Ａを駆動する。同様に、ピン２は、入力点７４Ｂ
を介してＬＥＤ表示器７０Ｂを駆動する。図３に示すよ
うに、２８個のうち４個のピンは使用しない。
に対応するチャンネルＡは、４つのピン、ピン３、ピン
２、ピン７及びピン６を介して表示ユニット５０に接続
される。一般に、ピン３及びピン２はＤＣ入力信号（±
１９．９９９Ｖまで）を与え、一方、夫々入力点７５Ａ
及び７５ＢでＬＥＤメータ７０Ａ及び７０Ｂに接続され
るピン７及びピン６は、図２に示すように、ライン７２
を介して設定された共通電位に接続される。ピン３によ
り与えられた信号は、入力点７４Ａを介してＬＥＤ表示
器７０Ａを駆動する。同様に、ピン２は、入力点７４Ｂ
を介してＬＥＤ表示器７０Ｂを駆動する。図３に示すよ
うに、２８個のうち４個のピンは使用しない。
【００２４】図４は、表示メータを収容するモニタ表示
ユニット５０（図１）の寸法例を示す。図示のとおり、
表示ユニット５０は、従来の通気孔が付いた低い外形の
器具ケースである。該ユニットのサイズは比較的小さい
ので、ＭＦＣシステムのモニタ手段として一層便利であ
る。
ユニット５０（図１）の寸法例を示す。図示のとおり、
表示ユニット５０は、従来の通気孔が付いた低い外形の
器具ケースである。該ユニットのサイズは比較的小さい
ので、ＭＦＣシステムのモニタ手段として一層便利であ
る。
【００２５】以上、本発明の好適な実施例を詳細に説明
したが、本発明は、これらに限定されるものではなく、
特許請求の範囲内において種々の変形、変更をすること
ができるものである。
したが、本発明は、これらに限定されるものではなく、
特許請求の範囲内において種々の変形、変更をすること
ができるものである。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、複数の同時ＭＦＣ動作
電圧を連続的にモニタできる独立した装置が提供され、
それによって、オペレータが、ＭＦＣを用いるシステム
の他の動作を妨げることなくＭＦＣ動作の校正及びモニ
タを容易に行える効果がある。
電圧を連続的にモニタできる独立した装置が提供され、
それによって、オペレータが、ＭＦＣを用いるシステム
の他の動作を妨げることなくＭＦＣ動作の校正及びモニ
タを容易に行える効果がある。
【図１】本発明の実施例を示すブロック図である。
【図２】図１のモニタ装置の具体例を示す回路図であ
る。
る。
【図３】図２の２８ピンコネクタの具体例を示す断面図
である。
である。
【図４】図１のモニタ表示ユニットの寸法例を示す分解
斜視図である。
斜視図である。
１ モニタ装置 １０Ａ〜１０Ｆ 流量制御器（ＭＦＣ） ２０Ａ〜２０Ｆ インタフェース手段 ４０ 電源 ６０ スイッチング手段 ７０Ａ，７０Ｂ 表示手段（ＬＥＤ表示器） ５０ （モニタ）表示ユニット ４５′ ２８ピンコネクタ ８０ 電源手段
Claims (14)
- 【請求項１】 複数の流量制御器（ＭＦＣ）をモニタす
る装置であって、 各々が複数のＭＦＣの１つに対応し、該ＭＦＣを制御す
る制御電圧に対応する電圧信号を与える複数のインタフ
ェース手段と、 該インタフェース手段から上記電圧信号を伝送するため
の複数の電線と、 上記複数の電線に結合され、上記ＭＦＣの１つに対応す
る電圧信号を選択するためのスイッチング手段と、 上記スイッチング手段に結合され、上記ＭＦＣの１つに
対応する上記電圧信号の値を可視表示するための複数の
表示手段とを具えた流量制御器モニタ装置。 - 【請求項２】 上記表示手段は、各々が上記電圧信号の
１つの値を表示する２個の４1/2 ディジットＬＥＤ表示
器より成る請求項１の装置。 - 【請求項３】 上記電圧信号は、上記複数のＭＦＣの１
つのセットポイント電圧及び流量電圧に対応する請求項
２の装置。 - 【請求項４】 上記表示手段は、上記ＬＥＤ表示器にＡ
Ｃ電流を供給する電源手段を含む請求項２の装置。 - 【請求項５】 上記表示手段及びスイッチング手段は、
単一の表示ユニットに収容される請求項１の装置。 - 【請求項６】 上記スイッチング手段が６位置スイッチ
を含み、それにより、上記装置は、各々が対応するチャ
ンネルをもつ６個までの別々のＭＦＣを選択的にモニタ
できる請求項１の装置。 - 【請求項７】 上記スイッチング手段は、２８ピンコネ
クタを介して上記複数の電線に結合される請求項６の装
置。 - 【請求項８】 複数の流量制御器（ＭＦＣ）をモニタす
る方法であって、 上記ＭＦＣを制御する制御電圧に対応する電圧信号を、
各々が上記複数のＭＦＣの１つに対応する複数のインタ
フェース手段に与えるステップと、 上記電圧信号を上記インタフェース手段から複数の電線
を介して伝送するステップと、 上記ＭＦＣの１つに対応する電圧信号を、上記複数の電
線に結合されたスイッチで選択するステップと、 上記ＭＦＣの１つに対応する電圧信号の値を可視表示す
るステップとを含む流量制御器モニタ方法。 - 【請求項９】 上記可視表示ステップは、上記電圧信号
の値を２個の４1/2 ディジットＬＥＤ表示器で可視表示
することを含む請求項８の方法。 - 【請求項１０】 上記電圧信号は、上記複数のＭＦＣの
１つのセットポイント電圧及び流量電圧に対応する請求
項９の方法。 - 【請求項１１】 上記可視表示ステップは、ＡＣ電流を
上記ＬＥＤ表示器に供給することを含む請求項９の方
法。 - 【請求項１２】 上記スイッチ及び上記ＬＥＤ表示器
は、単一の表示ユニットに収容される請求項１０の方
法。 - 【請求項１３】 上記スイッチが６位置スイッチを含
み、それにより、各々が対応するチャンネルをもつ６個
までの別々のＭＦＣを選択的にモニタできる請求項８の
方法。 - 【請求項１４】 上記スイッチは、２８ピンコネクタを
介して上記複数の電線に結合される請求項１３の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US9222093A | 1993-07-16 | 1993-07-16 | |
| US92220 | 1993-07-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778296A true JPH0778296A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=22232215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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-
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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