KR100283344B1

KR100283344B1 - 6개 채널 이중 디스플레이 유량 제어 모니터

Info

Publication number: KR100283344B1
Application number: KR1019940016236A
Authority: KR
Inventors: 넛슨 폴
Original assignee: 밀러 제리 에이; 소니 일렉트로닉스 인코포레이티드
Priority date: 1993-07-16
Filing date: 1994-07-07
Publication date: 2001-04-02
Also published as: US5541576A; KR960015717A; JPH0778296A

Abstract

공지된 다수의 인터페이스를 갖는 장치는 다수의 MFC 중 하나에 각기 대응하여 MFC를 제어하는 제어전압과 대응하는 전압 신호를 제공한다. 인터페이스로 부터 전압신호를 전송하기 위해 다수의 배선을 포함한다. 선정스위치는 MFC 중 하나에 대응하는 전압 신호를 선택하기 위해 다수의 배선에 결합된다. 다수의 디스플레이는 상기 스위치에 결합되어 MFC 중 하나에 대응하는 전압신호의 값의 시각적 디스플레이를 제공한다. 본 발명은 동작자가 MFC를 사용한 시스템의 다른 동작과 인터페이스 없이 동시에 다수의 MFC 동작 전압을 모니터/조정 할수 있도록 하는데 있다.

Description

6개 채널 이중 디스플레이 유량 제어 모니터

제1도는 본 발명의 한가지 실시예를 예시하는 블럭도.

제2도는 본 발명의 실시예를 더 상세히 예시하는 회로의 블럭도.

제3도는 본 발명의 한가지 실시예에 사용된 핀 커넥터의 횡단면도.

제4도는 본 발명의 양호한 실시예에 사용된 모니터 디스플레이 장치의 예시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10A∼10F : 유량 제어기(MFC) 20A∼20F : 인터페이스

50 : 디스플레이 유닛 60 : 스위칭 수단

[발명의 분야]

본 발명은 집적회로의 제조시 사용되는 여러가지 개스를 정확한 양으로 공급하는데 사용되는 유량 제어기(MFC)의 모니터링에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 하나 이상의 MFC 상에 있는 다수의 전압을 동시에 모니터링 하는 장치에 관한 것이다.

[발명의 배경]

반도체 장치를 제조함에 있어, 통상은 고도의 정밀을 요하는 기술이 사용된다. 이를테면, 집적회로를 제조함에 있어 사용되는 화학 증기 증착(CVD) 방법은 SiH₄및 WF₆와 같은 물질들의 정확한 양을 정확한 비율로, 증착시키는 단계를 포함한다. 적정한 증착이 실현되기 위해서는 개스의 흐름을 일정하게 하는 하나 이상의 조정되는 MFC를 사용할 필요가 있다.

통상 5개의 활성 DC 전압 레벨을 포함하고 있는 대용량 제어기는 MFC가 필요한 허용 범위 내에서 적절하게 조정될 수 있도록 모니터 되어야만 한다. 예를들면, 각각의 MFC 상의 설정 전압 및 유동전압은 적정한 증착 및 비율 레벨을 유지하기 위하여 모니터 되어야 한다. 상기 전압은 MFC가 적절하게 동작하는지 혹은 조정을 필요로 하는지의 여부를 판단하기 위하여 비교될 수 있도록 높은 정확도로 측정되어야 한다.

종래 모니터하는 기술에는 여러가지 결함이 있었다. 예를 들면, 적어도 하나의 종래 모니터 기술에 의하면, MFC 전압 레벨은 MFC의 다른 기능을 제어하는 제어장치에 의해 모니터 된다. 상기와 같은 장치를 사용할 경우 동작자(operator)는 모니터가 수행되는 동안 시스템(제너스(Genus) 시스템 같은)의 다른 기능을 제어할 수가 없다.

[발명의 요약]

본 발명의 일반적인 목적은 다수의 MFC 중 하나에 각각 대응하는 다수의 인터페이스를 구비한 장치를 제공하고, 각각의 MFC를 제어하는 제어 전압에 대응하는 전압신호와. 인터페이스로부터의 전압신호를 전송하는 다수의 배선과, 상기 다수의 배선에 결합되어 MFC 중 하나에 대응하는 전압신호를 선택하는 스위칭 수단과, 상기 스위칭 수단에 결합되어 MFC 중 하나에 대응하는 상기 전압 신호 값의 시각적 디스플레이를 공급하는 다수의 디스플레이를 제공함으로써 종래 기술의 상기와 같은 그리고 또다른 결점을 극복할 수 있는데 있다.

본 발명의 한 관점에 따르면, 디스플레이는 상기 전압 신호중 하나의 값을 각기 디스플레이 하는 2개의 4½ 디지트(digit) LED 디스플레이를 구비한다.

본 발명의 또 다른 관점에 따르면, 상기 전압 신호는 상기 다수의 MFC 중 하나의 설정 전압 및 유동 전압(flow voltage)에 대응한다.

본 발명의 또 다른 관점에 따르면, 디스플레이는 LED 디스플레이에 ac 공급을 제공하는 전력 공급수단을 구비한다.

본 발명의 또 다른 관점에 따르면, 디스플레이 및 스위칭 수단은 단일 디스플레이 유닛(unit)으로 구성된다.

본 발명의 또 다른 관점에 따르면, 스위칭 수단은 28개의 핀 커넥터를 통하는 다수의 배선에 결합된다.

최종적으로, 본 발명의 또 다른 관점에 따르면, 스위칭 수단은 6개의 선정 스위치를 구비하여, 상기 장치가 채널에 각기 대응하는 6개의 분리된 MFC를 선택적으로 모니터 할수 있도록 한다.

[양호한 실시예에 대한 상세한 설명]

제1도는 복수의 MFC(10A, 10B, 10C, 10D, 10E 및 10F)를 모니터 하는 모니터링 장치를도시한다. 공지된 바로는 6개의 MFC가 사용되지만, 본 발명은 상기 갯수에 한정되지 않고, 스위칭 장치가 바뀜에 따라 소정의 수의 MFC를 포함할 수 있다. MFC(10A, 10B, 10C, 10D, 10E 및 10F) 각각은 인터페이스 장치(20A, 20B, 20C, 20D, 20E 및 20F) 각각에 결합된다. 인터페이스 장치는 MFC 각각의 동작을 지시하는 전압 제어 신호에 대응하는 다수의 전압 신호를 공급하기 위해 사용된다.

제1도에 도시된 양호한 실시예에서, 각각의 인터페이스는 각각의 MFC로부터 2개의 직류 전압 공급 신호를 표본화 하기 위해 사용된다. 도시된 예에서, 이러한 신호는 MFC 각각의 설정 전압 및 출력 전압에 대응한다. 다른 전압도 유사한 방법으로 표본화 될 수 있다. 따라서, 각각의 인터페이스는 도시된 예에서와 같이 공통 접지에 관련되어 측정된 -15V 에서 +15V 까지 범위의 값을 갖는 2개의 표본화 DC 전압 신호를 제공한다. 그러므로, 단일 MFC에 대응하는 각각의 채널 및 상기 채널의 2개의 표본화된 제어 전압은 4개의 전송 배선을 필요로 한다. 예를 들면, 블럭(10A)으로 표시된 MFC(A)는 블럭(20A)으로 표시된 인터페이스(A)를 통해 (32A)로 표시된 4개의 전송 배선에 결합된다.

나머지 MFC들의 각각은 도시된 바와 같이 케이블(40)내에 포함된 대응하는 전송 배선에 각기 결합된다. 따라서, 상기예에서 케이블(40)은 모니터 디스플레이 유닛(50)에 6개 채널의 정보를 제공하는 24개의 배선을 포함한다. (즉, 6개의 다른 채널 마다의 2개의 입력은 12개의 다른 신호를 제공한다) 케이블(40)의 각각의 배선은 핀 커텍터(45)를 통과하게 된다. 양호한 실시예에서, 핀 커넥터(45)는 스위칭 수단(60)에 각기 결합되는 24개의 핀에 결합된다. 상기와 같은 방법에서, 핀 커넥터(45)는 디스플레이 유닛(50)의 스위칭 수단(60)에 다수의 MFC를 결합시키는 수단이 된다.

스위칭 수단(60)은 다수의 MFC(10A-10F)중 일부의 제어전압에 대응하는 적절한 채널을 선택하기 위해 사용된다. 적절한 채널이 선택되어, 제어 신호는 이때 다수의 디스플레이에 공급된다. 제1도에 도시된 양호한 실시예에서는, 2개의 4½ 디지트 LED 디스플레이(70A 및 70B)는 설정 전압 및 출력 전압 두개가 동시에 모니터 될수 있도록 하는데 사용된다. 필요하다면, 더 많은 디스플레이가 모니터되는 다른 전압 신호를 디스플레이 하기 위해 사용될 수 있다.

양호한 실시예에서, LED 디스플레이(70A 및 70B)는 표준 디지트 패널 미터이다. 상기 예에 따른, 상기 미터는 ±19.999V의 감도를 갖는다. 따라서, MFC 각각의 설정전압 및 출력전압은 ±1mV 내에서 측정될 수 있다. 상기와 같은 설정값은 종래 CVD 시스템에서 MFC의 모니터링/조정을 정확하게 하는 데 효과적이다. 게다가, 양호한 실시예에서 미터는 수백만옴인 상대적으로 높은 입력 임피던스를 갖는다. 더 높거나 더 낮은 설정값 및 특성 변화를 갖는 종래의 다른 미터는 적정한 정확도로 대체될 수 있다.

또한, 모니터 디스플레이 유닛(50)의 구성에 있어서, 퓨즈가 달린 AC 전력 공급부(80)는 LED 디스플레이(70A 및 70B)에 공급을 한다. 양호한 실시예에서, 상기 전력 공급부(80)는 모니터 디스플레이 유닛상에 위치한 제어 스위치(82)에 결합된다. 반면, 상술한 AC 전력 공급부 대신에, 미터에 전력을 공급하는 다른 수단이 사용될 수도 있다.

제2도는 본 발명의 양호한 실시예에 대한 회로도를 도시한다. 제2도에 도시된 바에 따르면, LED 디스플레이(70A 및 70B)는 커넥터(86) 및 퓨즈(84)를 통과하는 종래 AC 소스에 의해 전력이 공급된다. 상기 AC 공급부는 저 전력 소스 공급으로 발생되는 디스플레이 결함을 제거한다. 미터의 변경은 사용될 DC 전압을 제공할 수 있다.

또한, 제1도와 마찬가지로 제2도에 도시된 도면에는 6개 MFC의 2개 제어 전압이 동시에 디스플레이 될수 있도록, 6개 채널 입력을 이중 디스플레이에 제공해주는 6개 MFC 외부에 결합된 24개와 분리된 핀이 있다. 제어 전압 신호를 공급하는 핀은 2개의 폴(pole), 2개의 데크(deck), 6개의 선정 스위치(62)를 통하여 디스플레이 미터(70A 및 70B)에 결합된다. 모니터 디스플레이 유닛(도시되지 않음)상에 위치된 제어 마디를 통해 동작할 수 있는 스위치(62)는 6개의 분리된 MFC 채널중 하나로부터 선택될 수 있다.

하기 테이블 A는 6개 MFC 채널(A-F) 각각에 대응하는 핀의 수 뿐만 아니라, 24개 핀 각각에 의해 공급되는 신호를 나타낸다.

[표 A]

28개 핀 커넥터(451)는 제3도에 도시된다. 양호한 실시예에서는, 상기 커넥터(45′)는 6개 2 중 MFC 채널을 디스플레이(70A 및 70B)에 제공하며, 제1도를 참조로하여 설명된 24개 신호 전송 배선을 갖도록 24개 핀과 결합한다. 제3도에 도시된 바에 따르면, 6개 채널(A-F) 각각은 4개 대응 신호선과 2개 접지 및 2개 디스플레이 신호를 갖는다. 정확한 신호는 상기 테이블 A에 표시되었다.

제1도 및 제2도를 참조로하여, 예를들면, MFC(A)에 대응하는 채널(A)은 4개 핀인 핀(#3), 핀(#2), 핀(#7) 및 핀(#6)를 통해 디스플레이 유닛(50)에 결합된다. 일반적으로, 핀(#3) 및 핀(#2)은 DC 입력 신호를 공급한다(±19.999V 까지). 반면, LED 미터(70A 및 70B)에 결합된 핀(#7) 및 핀(#6)은 각기 입력 점(75A 및 75B)에서, 도시된(제2도) 바와 같이 선(72)를 통해 설정된 접지 전위상에 남게된다. 핀(#3)에 의해 공급된 신호는 입력점(74A)을 통해 LED 디스플레이(70A)를 구동한다. 마찬가지로, 핀(#2)은 입력점(74B)을 통해 LED 디스플레이(70B)를 구동한다.

마지막으로, 제4도는 디스플레이 미터를 포함하는 모니터 디스플레이 유닛(50)의 더 세부적인 치수를 도시한다. 도시된 바에 따르면, 디스플레이 유닛(50)은 종래 통로가되는 낮은 측면장치의 경우이다. 상기 유닛의 상대적으로 작은 크기는 MFC 시스템을 모니터 하는데 있어 더욱 유용한 수단을 제공한다.

따라서, 본 발명은 다수의 MFC 동작 전압을 동시에 연속적으로 모니터링 할 수 있도록 분리된 장치를 제공하며 그로인해, MFC 동작의 조정 및 유지가 더욱 용이해지게 된다.

상술한 바에 의거 본 발명의 양호한 실시예는 상세히 설명되었다. 그러나, 본 발명의 영역은 여기에 제한되지 만은 않는다. 여러가지 대안이 있음은 종래 기술에 숙련된 사람에게는 명백하다. 본 발명은 이하 명세서에 첨부된 청구범위에 의해서만 제한된다.

Claims

다수의 유량 제어기(MFC)들을 모니터하는 장치에 있어서, 상기 다수의 MFC들중 한 MFC에 각각 대응하며, 상기 MFC들을 제어하는 제어전압에 대응하는 전압신호들을 제공하는 다수의 인터페이스 수단과, 상기 인터페이스 수단으로부터 상기 전압신호들을 전송하는 다수의 배선과, 상기 다수의 배선에 결합되어 상기 MFC들 중 하나에 대응하는 전압신호들을 선택하는 스위칭 수단과, 상기 스위칭 수단에 결합되어 상기 MFC들 중 하나에 대응하는 상기 전압 신호들의 값의 시각적 디스플레이를 제공하는 다수의 디스플레이 수단을 구비하는 MFC들을 모니터하는 장치.
제1항에 있어서, 상기 디스플레이 수단은 상기 전압신호들중 하나의 값을 각각 디스플레이 하는 2 개의 4½ 디지트 LED 디스플레이를 구비하는 MFC들을 모니터하는 장치.
제2항에 있어서, 상기 전압 신호들은 다수의 MFC들 중 하나의 설정 전압 및 유동전압에 대응하는 MFC들을 모니터하는 장치.
제2항에 있어서, 상기 디스플레이 수단은 상기 LED 디스플레이들에 ac 공급을 제공하는 전력 공급수단을 구비하는 MFC들을 모니터 하는 장치.
제1항에 있어서, 상기 디스플레이 수단 및 상기 스위칭 수단은 단일한 디스플레이 유닛에 포함되어 있는 MFC들을 모니터하는 장치.
제1항에 있어서, 상기 스위칭 수단은 상기 장치가 6개의 위치 스위치(position switch)를 구비함으로써 대응하는 한 채널을 각각 갖는 분리된 6개 MFC들 까지 선택적으로 모니터 할수 있는 들을 모니터하는 장치.
제6항에 있어서, 상기 스위칭 수단은 28개 핀 커넥터를 통해 상기 다수의 배선에 결합되는 MFC들을 모니터하는 장치.
다수의 유량 제어기(MFC)들을 모니터링 하는 방법에 있어서, 상기 MFC들을 제어하는 제어 전압들에 대응하는 전압 신호들을 다수의 인터페이스들에 제공하는 단계로서, 상기 인터페이스들 각각은 상기 다수의 MFC들중 하나에 대응하는 단계와, 상기 인터페이스 수단으로부터 다수의 배선을 통해 상기 전압신호들을 전송하는 단계와, 상기 다수의 배선에 결합된 스위치를 상기 MFC들 중 하나와 대응하는 전압 신호들을 선택하는 단계와, 상기 MFC들중 하나에 대응하는 상기 전압 신호들의 값들을 시각적으로 디스플레이 하는 단계를 포함하는 MFC들을 모니터링 하는 방법.
제8항에 있어서, 시각적으로 디스플레이하는 상기 단계는 상기 전압신호들의 값들을 2개의 4½ 디지트 LED 디스플레이에 시각적으로 디스플레이 하는 MFC들을 모니터링 하는 방법.
제9항에 있어서, 상기 전압 신호들은 상기 다수의 MHC들 중 하나의 설정전압 및 유동전압에 대응하는 MFC들을 모니터링 하는 방법.
제9항에 있어서, 시각적으로 디스플레이 하는 상기 단계는 LED 디스플레이에 ac 공급을 제공하는 단계를 포함하는 MFC들을 모니터링 하는 방법.
제10항에 있어서, 상기 스위치 및 상기 LED 디스플레이는 단일한 디스플레이 유닛에 포함되는 MFC들을 모니터링 하는 방법.
제8항에 있어서, 상기 스위치는 상기 장치가 6개 위치 스위치를 포함함으로써 대응하는 한채널을 각각 갖는 분리된 6개 MFC들 까지 선택적으로 모니터 될 수 있는 MFC들을 모니터링 하는 방법.
제13항에 있어서, 상기 스위치는 28개 핀 커넥터를 통해 상기 다수의 배선에 결합되어 있는 MFC들을 모니터링 하는 방법.