JP2006030049A

JP2006030049A - 被検査基板の位置固定機構

Info

Publication number: JP2006030049A
Application number: JP2004211227A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Seki; 和彦関
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2004-07-20
Filing date: 2004-07-20
Publication date: 2006-02-02

Abstract

【課題】略方形を呈してサイズを異にする被検査基板を常にその中心位置を一定にして定置できる被検査基板の位置固定機構の提供。
【解決手段】被検査基板６０を受け入れる開口部１３を具備させた基台と、被検査基板６０の対向二角側に開口部１３上にて各別に密接支持するコーナー支持片２３，３３を有し、かつ、相互が常に接近方向に付勢されて基台１１面上での進退を自在に配設される一側チャック部２２と他側チャック部３２とからなるチャック体２１と、該チャック体２１側に対し所定の接離動作を付与する介在作動杆４５，４６を従動させるべく基台１１面上での進退を自在に配設される作動体４１とを少なくとも備え、該作動体４１を進退させて位置調整された一方のコーナー支持片２３と他方のコーナー支持片３３とを介して対応する被検査基板６０の位置固定を自在とした。
【選択図】図１

Description

本発明は、インサーキットテスタなどの基板検査装置を用いて平面形状が正方形を含む略方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に対応させながら位置固定して検査する際に好適な被検査基板の位置固定機構に関する技術である。

図３は、インサーキットテスタなどの基板検査装置を用いて平面形状が略正方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に対応させながら検査する際に従来から用いられている被検査基板の位置固定機構の一例を示す説明図であり、その（ａ）は平面図を、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線矢視方向での縦断面図をそれぞれ示す。

同図によれば、被検査基板の位置固定機構１は、略中央領域に正方形を呈する空間部３が開設された基台部２と、空間部３の一角側に設けられたガイド溝部５を介してその対角線方向での進退を自在に配設された基板保持手段６とで構成されている。

この場合、基板保持手段６は、進退制御が自在に配設されたエアシリンダ７と、該エアシリンダ７の先端部に付設されて被検査基板Ｂのコーナー部Ｃと当接しながらこれを下支えする支持爪部８とを備えて形成されている。

このため、空間部３の周縁部に設けられている基板載置部４を介して載置される被検査基板Ｂは、そのコーナー部Ｃに支持爪部８が押し当てられて移動させられ、図２（ａ）に示すようにその不動位置にて定置させることができ、その状態で図２（ｂ）に示すように例えば剣山状となって配設されている複数本のコンタクトプローブＰを上下方向から被測定箇所に接触させることができるようになっている。

しかし、上記従来手法による場合、被検査基板Ｂは、進退する基板保持手段６によりコーナー部Ｃが保持されるものであることから、その進退ストロークの程度如何によりサイズを異にする被検査基板Ｂに柔軟に対応することができなくなる不都合があった。

また、上記従来手法による場合、被検査基板Ｂは、常に基板保持手段６とは反対側に位置する方向へと押し付けられて定置されることから、個々の被検査基板Ｂの中心位置もサイズが異なるごとに位置ずれを起こし、そのたびにハンドリング装置などを被検査基板Ｂの中心に位置調整する段取りが別に必要になる不具合もあった。

このため、本出願人は、平面形状が略正方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に柔軟に対応させ、かつ、その中心位置を常に一定にして定置することができる被検査基板の位置固定機構を既に提案している。
特開２００３−３４４４８６号公報

しかし、特許文献１の開示技術による場合には、４つの基板保持手段を各別に配設した上で、架け渡したワイヤーを介してこれらの各基板保持手段を連動させるものであり、機構的に複雑になるという不都合があった。

本発明は、従来手法にみられた上記課題に鑑み、被検査基板をそのサイズの別に柔軟に対応させることができほか、サイズを異にする被検査基板であってもその中心位置を常に一定にして定置することができる機構的に構成の簡単な被検査基板の位置固定機構を提供することに目的がある。

本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、サイズを異にして用意される平面形状が略方形を呈する各種の被検査基板のための受入れスペースに供される開口部を具備させた基台と、前記被検査基板における１つの対向二角側に前記開口部上にて各別に密接支持すべく形成されたコーナー支持片を有し、かつ、相互が常に接近方向に付勢されて前記基台面上での位置規制された進退を自在に配設される一側チャック部と他側チャック部とからなるチャック体と、これら一側チャック部と他側チャック部とに対し所定の接離動作を付与する介在作動杆を従動させるべく前記基台面上での位置規制された進退を自在に配設される作動体とを少なくとも備え、該作動体を進退させて位置調整された一側チャック部の前記コーナー支持片と他側チャック部の前記コーナー支持片を介して対応する前記被検査基板の位置固定を自在としたことに最も主要な特徴がある。

この場合、一側チャック部と他側チャック部とが保持する接近方向への付勢力は、相互間に介在させた引張り弾性体により生成させるのが好ましい。

本発明によれば、単に作動体を機械的に進退させることで、相互が接近する方向に付勢されている一側チャック部と他側チャック部とを簡単に接離させることができるので、被検査基板のサイズに合致するように各コーナー支持片の位置を調整して対応する被検査基板を確実に位置固定することができる。したがって、サイズを異にする被検査基板であっても柔軟に対応させながら位置固定して測定作業を遂行させることができる。

また、定置される被検査基板は、サイズを異にしても常にその中心位置は一定となって位置固定されることになるので、測定に先立つ位置調整のための各種段取りを不要にして作業効率を高めてやることができる。

図１は、本発明の一例をサイズの小さな正方形の被検査基板に適用させた際の平面図を、図２は、サイズの大きな正方形の被検査基板に適用させた際の平面図をそれぞれ示す。本発明に係る被検査基板の位置固定機構は、図３に示す従来例と同様にインサーキットテスタなどの基板検査装置を用いて平面形状が正方形を含む略方形を呈する被検査基板をそのサイズの別に対応させながら検査する際に用いられる。

これらの図によれば、その全体は、所要の厚さと面積とを備えるベース体として用いられる基台１１と、被検査基板６０を二方向から位置固定する一側チャック部２２と他側チャック部３２とからなるチャック体２１と、該チャック体２１側に対し所定の接離動作を付与する作動体４１とを少なくとも備えて構成されている。

このうち、適宜の金属材や合成樹脂材を用いて形成される基台１１は、その基端部１２に設けた通孔１２ａを介して図示しない基板検査装置が備える回転機構側にネジ止めすることにより取り付けられる。

また、基８１１は、サイズを異にして用意される平面形状が正方形を呈する各種の被検査基板６０のための受入れスペースに供される略正方形の開口部１３を備えて形成されている。

チャック体２１は、相互が常に接近方向に付勢され、かつ、基台１１における開口部１３を含む表側の一部領域を一段低く落ち込ませた段差を設けて確保される平坦面１４内での位置規制された進退が自在に設置される一側チャック部２２と他側チャック部３２とで形成されている。

これを図示例に即してより詳しく説明すれば、一側チャック部２２と他側チャック部３２とは、被検査基板６０における１つの対向二角側、図示例では被検査基板６０の左下角部６１と右上角部６２とを各別に導入して密接支持する切欠部２５，３５を有するコーナー支持片２３，３３を備えている。これらコーナー支持片２３，３３は、相互に向き合わせることで略正方形を呈する空間域３９を生成・確保することができるようになっている。このため、一側チャック部２２と他側チャック部３２とは、常に各切欠部２５，３５を開口部１３の対角線方向に向かって進退自在とした状態で空間域３９が開口部１３の中央部に位置する配置関係のもとで平坦面１４内に配設されことになる。

一方のコーナー支持片２３を形成している二辺と、他方のコーナー支持片３３を形成している二辺とには、それぞれ被検査基板６０の対応周縁部を下支えするために狭幅な庇状に突出させた受け部２４，３４がそれぞれ形成されており、これにより被検査基板６０を確実に位置固定して保持することができることになる。

この場合における一側チャック部２２と他側チャック部３２との進退方向での位置規制は、間に開口部１３を位置させて向き合う基台１１の平坦面１４に、それぞれが開口部１３の対角線方向と平行な位置関係で設置された各３本のガイドレール１５，１６を介して行われることになる。

また、一側チャック部２２と他側チャック部３２とに保持させた接近方向への付勢力は、その進退方向に沿わせた平坦面１４内に介在配置される引張りコイルスプリングなどの引張りバネを含む引張り弾性体４８を、その一端部４８ａは一側チャック部２２の連結部２６に、他端部４８ｂは他側チャック部３２の連結部３６にそれぞれ連結することで生成される。

しかも、一側チャック部２２と他側チャック部３２との最接近位置は、対面するそれぞれの平坦面１４上に突設されている各ストッパー１９，２０と当接してその動きを停止させることができる各位置規制孔２７，３７を介して規制することができるようになっている。

作動体４１は、一側チャック部２２と他側チャック部３２とに対し所定の接離動作を付与する介在作動杆４５，４６を従動させるべく、基台１１の平坦面１４上での位置規制された進退を自在にして配設されている。なお、作動体４１は、例えば適宜位置に設けられた接続ピン４２をエアーシリンダやモータなどの図示しない駆動制御手段側に接続するなどして、その進退を自動制御することができるようになっている。

これを図示例に基づいてより詳しく説明すれば、作動体４１は、一側チャック部２２と他側チャック部３２との進退方向と直交する方向への進退運動を確保することができる部位に位置する平坦面１４に設置されたガイドレール５２を介して位置規制された進退ができるようになっている。

しかも、基台１１において作動体４１が位置している平坦面１４のガイドレール５２の左右両側には、該ガイドレール５２と平行に開設されたガイド孔４３が各別に形成されている。また、これらのガイド孔４３は、その一端部４５ａが一側チャック部２２の裏面側に軸支された一方の介在作動杆４５の他端部４５ｂを軸支させ、同じくその一端部４６ａが他側チャック部３２の裏面側に軸支された他方の介在作動杆４６の他端部４５ｂを軸支させた状態のもとでの作動体４１の進退移動を可能にしている。

また、基台１１において一側チャック部２２と他側チャック部３２とが位置している部位の平坦面１４には、一方の介在作動杆４５の一端部４５ａを軸支させた状態での移動を可能にするガイド孔１７と、他方の介在作動杆４６の一端部４６ａを軸支させた状態での移動を可能にするガイド孔１８とがそれぞれ形成されている。なお、一方の介在作動杆４５と他方の介在作動杆４６とは、基台１１の裏側の一部領域に段差を設けて形成された図示しない平坦面を介して作動体４１の動きに追従できるようになっている。

次に、本発明の作用を説明すれば、その不使用時には、引張り弾性体４８の引張力により一側チャック部２２と他側チャック部３２とがストッパー１９，２０により位置規制された相互に最接近する位置関係のもとで停止させておくことができる。

略正方形の平面形状を呈する被測定基板６０を測定する際しては、そのサイズに適合させるように例えば図示しない駆動制御手段を駆動させて作動体４１を進出方向へと強制移動させる。

チャック体２１を構成している一側チャック部２２と他側チャック部３２とは、作動体４１の移動に従動する介在作動杆４５，４６を介して引張り弾性体４８の引張力に抗して相互を強制的に離間させることができる。

かくして、一側チャック部２２と他側チャック部３２とが備えるコーナー支持片２３，３３を今回測定する被測定基板６０のサイズに適合する位置にまで後退させた後は、コーナー支持片２３，３３の各受け部４，３４上に被測定基板６０の対応外縁部を載置させた上で、自動駆動手段を駆動して作動体４１を後退させる。

一側チャック部２２と他側チャック部３２とは、作動体４１を後退させることにより、引張り弾性体４８の引張力に従って相互が接近する方向へと移動し、コーナー支持片２３，３３の各受け部４，３４上に被測定基板６０の対応外縁部を載置した状態で被測定基板６０側に圧接するに至り、被測定基板６０が確実に位置固定されることになる。この場合、図示例のように被測定基板６０の左下角部６１は一側チャック部２２の切欠部２５内に、右上角部６１は他側チャック部３２の３５内にそれぞれが導入されることになる。

このため、被測定基板６０は、そのサイズを異にするものであっても、その中心位置を常に一定にした状態のもとでチャック体２１側に保持されて位置固定させることができる。

このようにして位置固定された被測定基板６０に対しては、図３（ｂ）と同様にしてプロービングされ、その電気的な特性の測定検査が円滑に行われることになる。なお、検査を終えた被測定基板６０は、同様な手順を踏むことによりこれを取り出すことができる。

以上は、本発明の実施形態を図示例に即して説明したものであり、その具体的な実施の形態例はこれに限定されるものではない。例えば、一側チャック部２２と他側チャック部３２とは、被測定基板６が長方形を呈するものであれば、これに対応させるべく確保できる空間域３９が長方形となるようにコーナー支持片２３，３３の位置関係を適宜設計変更することもできる。また、引張り弾性体４８は、引張りコイルスプリングが図示されているが、要は一側チャック部２２と他側チャック部３２とを接近方向に付勢することができるものでさえあればその他の弾性体を適宜用いることもできる。さらに、作動体４１は、機械力以外に人力によって進退させるようにしてもよい。

また、基台１１における開口部１３の形状は、サイズを異にする各種の被検査基板の受入れスペースを確保することができるものであれば、図示例のような正方形だけではなく、長方形やその他の形状を呈するものであってもよい。

本発明に係る被検査基板の位置固定機構の一例をサイズの小さな被検査基板に適用した際の状態を示す平面図。図１に示す被検査基板の位置固定機構をサイズの大きな被検査基板に適用した際の状態を示す平面図。従来からある被検査基板の位置固定機構の一例を示す説明図であり、その（ａ）は平面図を、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線矢視方向での縦断面図をそれぞれ示す。

符号の説明

１１基台
１２基端部
１２ａ通孔
１３開口部
１４平坦面
１５，１６ガイドレール
１７，１８ガイド孔
１９，２０ストッパー
２１チャック体
２２一側チャック部
２３コーナー支持片
２４受け部
２５切欠部
２６連結部
２７位置規制孔
３２他側チャック部
３３コーナー支持片
３４受け部
３５切欠部
３６連結部
３７位置規制孔
３９空間域
４１作動体
４２接続ピン
４３ガイド孔
４５介在作動杆
４５ａ一端部
４５ｂ他端部
４６介在作動杆
４６ａ一端部
４６ｂ他端部
４８引張り弾性体
４８ａ一端部
４８ｂ他端部
５２ガイドレール
６０被検査基板
６１左下角部
６２右上角部

Claims

サイズを異にして用意される平面形状が略方形を呈する各種の被検査基板のための受入れスペースに供される開口部を具備させた基台と、
前記被検査基板における１つの対向二角側に前記開口部上にて各別に密接支持すべく形成されたコーナー支持片を有し、かつ、相互が常に接近方向に付勢されて前記基台面上での位置規制された進退を自在に配設される一側チャック部と他側チャック部とからなるチャック体と、
これら一側チャック部と他側チャック部とに対し所定の接離動作を付与する介在作動杆を従動させるべく前記基台面上での位置規制された進退を自在に配設される作動体とを少なくとも備え、
該作動体を進退させて位置調整された一側チャック部の前記コーナー支持片と他側チャック部の前記コーナー支持片とを介して対応する前記被検査基板の位置固定を自在としたことを特徴とする被検査基板の位置固定機構。
一側チャック部と他側チャック部とが保持する接近方向への付勢力は、相互間に介在させた引張り弾性体により生成させた請求項１に記載の被検査基板の位置固定機構。