JP2006026826A - ナノグリッパ装置 - Google Patents
ナノグリッパ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006026826A JP2006026826A JP2004210566A JP2004210566A JP2006026826A JP 2006026826 A JP2006026826 A JP 2006026826A JP 2004210566 A JP2004210566 A JP 2004210566A JP 2004210566 A JP2004210566 A JP 2004210566A JP 2006026826 A JP2006026826 A JP 2006026826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- capacitance
- arms
- sample
- gripper device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 6
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 44
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 18
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 6
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J7/00—Micromanipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
【解決手段】 駆動部6には各アーム3を駆動するめの固定電極および可動電極が設けられている。固定電極60aおよび可動電極61aは左側のアーム3を駆動するものであり、可動電極61aは支持部62により台座7に弾性支持されている。同様にアーム3も支持部63により台座7に弾性支持されている。電極60a,61a間に電圧を印加すると、クーロン力により可動電極61aが右側に移動しアーム3を閉駆動する。検出回路91A,91Bにより検出される電極60a,61a間の静電容量および電極60b,61b間の静電容量の変化に基づいて、試料が把持されたか否かを判断する。
【選択図】 図6
Description
請求項2の発明によるナノグリッパ装置は、開閉自在な一対のアームと、一対のアームを開閉駆動する静電アクチュエータと、静電アクチュエータの静電容量を検出する静電容量検出部と、アームの閉時に、静電容量検出部により検出される静電容量の変化の変曲点を求めて一対のアームにより試料を把持したことを検出する把持検出部とを備えたことを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項2に記載のナノグリッパ装置において、一対のアームの間隔と静電アクチュエータの静電容量との第1の相関、および静電アクチュエータの印加電圧と静電容量との第2の相関が予め記憶される記憶部と、静電アクチュエータに印加されている電圧および静電容量検出部で検出される静電容量と第1および第2の相関とに基づいて、試料を把持している一対のアームの把持力を演算する演算部とを備えたものである。
請求項4の発明は、請求項2または3に記載のナノグリッパ装置において、一対のアーム、静電アクチュエータおよび静電容量検出部を半導体シリコンプロセス技術により半導体基板に形成したものである。
請求項5の発明は、請求項4に記載のナノグリッパ装置において、一対のアームと静電アクチュエータとは絶縁層を介して連結されている。
グリッパ本体2とグリッパ本体2に設けられたアーム3を保護するガード4とを備えている。
図6は駆動部6を制御する回路部9を示すブロック図であり、駆動部6については図3の左側のアーム3を駆動するための固定電極60aおよび可動電極61aの一部を示した。電極60a,61aは静電アクチュエータを構成しており、図3に示した電極端子80,81に電圧を印加して可動電極61aを駆動する。上述したように、可動電極61aは支持部62により台座7に弾性的に固定されている。
ところで、電極60a,61aの静電容量Ccomb(x)は上述した式(1)で表される。静電容量Ccomb(x)の移動距離xをアーム3の間隔Dで置き換えると、静電容量Cは概略では図9の曲線L2のように変化する。間隔がD1,D2,D3と順に小さくなると、静電容量CはC1,C2,C3と大きくなる。印加電圧Vを増加してアーム3を閉じると静電容量Cが増加するので、印加電圧Vと静電容量Cとの関係は図10に示す曲線L3のようになる。すなわち、電圧Vを印加すると、その値Vの大きさに応じてアーム3の間隔Dと電極60a,61aの静電容量Cが定まる。
次に、検出部623における静電容量Cの検出方法について説明する。ここでは、時定数から求める方法と、発振周波数から求める方法について説明する。最初に、図12を参照して時定数から求める方法について説明する。図12(a)は検出回路を示す図であり、Cは電極60a,61aによるキャパシタである。このキャパシタCと直列に抵抗R1を接続し、電源20により図12(b)に示すような矩形波形の電圧Vinを印加する。そして、キャパシタCの両端の電圧変化を電圧計21によって計測する。
Vout=Vin{1−exp(t/CR)} …(3)
Fosc(Hz)=1/2π(LC)1/2 …(4)
図23は、検出回路91A,91Bとして図13の発振回路を用いた場合の回路部9を示す図である。DC電源10は交流的にはインピーダンスが0Ωに近い値になるため、アクチュエータである固定電極60a,60bと可動電極61a,61bとが短絡され発振回路が動作できなくなる。そこで、DC電源10A,10Bと直列に抵抗R1を設ける。このようにすると、アクチュエータのインピーダンスは抵抗R1の値で決まり、R1を1(MΩ)以上の値に選ぶことで、発振回路を動作させることができる。
次に、把持力の算出方法について説明する。ここでは、クーロン力Fcomb(x)の式(2)を用いることにより、アーム3による把持力Gを求める。式(2)はクーロン力を移動距離xで表したものであるが、電圧を印加しない場合のアーム3の間隔は図8に示すようにD0であってD=D0−2xの関係があるので、クーロン力Fを間隔Dを用いて表すと次式(5)のようになる。
(把持力G)=(クーロン力F)−(弾性力) …(6)
変形しない試料Sの場合、印加電圧を図7のV4に増加すると図11の点P4の状態となる。すなわち、間隔はD3が維持されるので静電容量もC3から変化しない。このときのクーロン力はF(V4,D3)で、弾性力はF(V3,D3)である。式(5)からF(V4,D3)>F(V3,D3)であり、そのときの把持力をG(V4,D3)とすると、式(6)から「G(V4,D3)=F(V4,D3)−F(V3,D3)」となる。
G(V,D3)=F(V,D3)−F(V3,D3) …(7)
図11の曲線L5で示すように、アーム3で把持した際に試料Sが変形した場合、印加電圧V4では点P5の状態となる。このときに検出される静電容量C5と図9の相関とから、点P5における間隔D5を求めることができる。図11ではC3<C5<C4となっているので、D3<D5<D4である。間隔がD5のときの支持部62,63の弾性力はF(V5,D5)であり、間隔D5および印加電圧V4のときのクーロン力はF(V4,D5)である。V5<V4であるから、式(5)からF(V5,D5)<F(V4,D5)であることが分かる。このときの把持力はクーロン力と弾性力との差=F(V4,D5)−F(V5,D5)で表される。
G(V,D5)=F(V,D5)−F(V5,D5) …(8)
次に、SOI(silicon on insulator)基板を用いてナノグリッパ装置2を形成する場合の、製造方法について説明する。なお、以下ではアーム3や駆動部6の部分の形成方法について説明し、回路部9については説明および図示を省略する。回路部9はアーム3や駆動6を構成するものと同一のシリコン層に半導体プロセス技術によって造り込んでも良いし、別に作成した回路素子を台座7上に配置するようにしても良い。ナノグリッパ装置2の形成に用いる基板100としては、図14(a)に示すように<110>方位の単結晶シリコンから成るベース層101、酸化シリコンから成る絶縁層102、<110>方位の単結晶シリコンから成るシリコン層103が順に積層されたシリコン基板が用いられる。
3 アーム
3a グリップ部
4 ガード
5 連結部
6 駆動部
7 台座
8 連結部材
9 回路部
10A,10B DC電源
60a,60b 固定電極
61a,61b 可動電極
62,63 支持部
80〜84 電極端子
91A,91B 検出回路
92 演算回路
93 記憶回路
600,610 櫛歯
P 変曲点
S 試料
Claims (5)
- 開閉自在な一対のアームと、
前記一対のアームを開閉駆動する駆動機構と、
前記一対のアームにより前記試料を把持したことを検出する把持検出部とを備えたことを特徴とするナノグリッパ装置。 - 開閉自在な一対のアームと、
前記一対のアームを開閉駆動する静電アクチュエータと、
前記静電アクチュエータの静電容量を検出する静電容量検出部と、
前記アームの閉時に、前記静電容量検出部により検出される静電容量の変化の変曲点を求めて前記一対のアームにより前記試料を把持したことを検出する把持検出部とを備えたことを特徴とするナノグリッパ装置。 - 請求項2に記載のナノグリッパ装置において、
前記一対のアームの間隔と前記静電アクチュエータの静電容量との第1の相関、および前記静電アクチュエータの印加電圧と静電容量との第2の相関が予め記憶される記憶部と、
前記静電アクチュエータに印加されている電圧および前記静電容量検出部で検出される静電容量と前記第1および第2の相関とに基づいて、前記試料を把持している前記一対のアームの把持力を演算する演算部とを備えたことを特徴とするナノグリッパ装置。 - 請求項2または3に記載のナノグリッパ装置において、
前記一対のアーム、前記静電アクチュエータおよび前記静電容量検出部を半導体シリコンプロセス技術により半導体基板に形成したことを特徴とするナノグリッパ装置。 - 請求項4に記載のナノグリッパ装置において、
前記一対のアームと前記静電アクチュエータとは絶縁層を介して連結されていることを特徴とするナノグリッパ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004210566A JP4529012B2 (ja) | 2004-07-16 | 2004-07-16 | ナノグリッパ装置 |
US11/180,606 US7489143B2 (en) | 2004-07-16 | 2005-07-14 | Nanogripper device and method for detecting that a sample is gripped by nanogripper device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004210566A JP4529012B2 (ja) | 2004-07-16 | 2004-07-16 | ナノグリッパ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006026826A true JP2006026826A (ja) | 2006-02-02 |
JP4529012B2 JP4529012B2 (ja) | 2010-08-25 |
Family
ID=35599909
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004210566A Active JP4529012B2 (ja) | 2004-07-16 | 2004-07-16 | ナノグリッパ装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7489143B2 (ja) |
JP (1) | JP4529012B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007044804A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Aoi Electronics Co Ltd | ナノピンセット装置および微小試料の把持方法 |
JP2007044805A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Aoi Electronics Co Ltd | 微小試料把持方法、微小試料把持装置のコントローラおよび微小試料把持システム |
JP2007276072A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Kagawa Univ | ナノピンセット、把持力検出方法およびナノピンセットの駆動装置 |
JP2008157673A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Sii Nanotechnology Inc | 試料把持体の把持面作製方法 |
JP2009008671A (ja) * | 2007-06-01 | 2009-01-15 | Aoi Electronics Co Ltd | ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡および搬送方法 |
JP2009537336A (ja) * | 2006-05-20 | 2009-10-29 | フラウンホファー ゲセルシャフトツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー.ファオ. | 材料付着法によるマイクログリッパの製造方法 |
JP2009541078A (ja) * | 2006-06-23 | 2009-11-26 | ユ スン | 二軸の力センサを備えたmemsベース形のマイクログリッパおよびナノグリッパ |
JP2010181339A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-19 | Sii Nanotechnology Inc | 微小マニピュレータ装置 |
JP2012517903A (ja) * | 2009-02-17 | 2012-08-09 | ザ ガバニング カウンシル オブ ザ ユニヴァーシティー オブ トロント | μmスケールの物体、およびnmスケールの物体を掴み、これをリリースする素子。 |
JP2018078666A (ja) * | 2016-11-07 | 2018-05-17 | ローム株式会社 | 静電アクチュエータの駆動回路、カメラモジュール、電子機器、容量測定回路 |
KR20190001038A (ko) * | 2017-06-26 | 2019-01-04 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 기판 그립 장치. |
RU2748140C1 (ru) * | 2020-10-14 | 2021-05-19 | Михаил Сергеевич Беллавин | Электростатическое захватное устройство |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006030017A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Sii Nanotechnology Inc | プローブ及び微小サンプルピックアップ機構 |
US9626650B2 (en) | 2011-04-14 | 2017-04-18 | Elwha Llc | Cost-effective resource apportionment technologies suitable for facilitating therapies |
US10445846B2 (en) | 2011-04-14 | 2019-10-15 | Elwha Llc | Cost-effective resource apportionment technologies suitable for facilitating therapies |
JP5855602B2 (ja) * | 2013-05-22 | 2016-02-09 | アオイ電子株式会社 | 静電誘導型電気機械変換素子およびナノピンセット |
WO2015069709A1 (en) * | 2013-11-06 | 2015-05-14 | Abb Technology Ag | Method and apparatus for using vibration to release parts held by a robotic gripper |
JP6467809B2 (ja) * | 2014-08-13 | 2019-02-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
US9708135B2 (en) * | 2015-10-02 | 2017-07-18 | University Of Macau | Compliant gripper with integrated position and grasping/interaction force sensing for microassembly |
IT201800002364A1 (it) * | 2018-02-02 | 2019-08-02 | St Microelectronics Srl | Dispositivo micro-manipolatore micro-elettro-meccanico con comando piezoelettrico, mobile nel piano |
FR3102946B1 (fr) * | 2019-11-13 | 2022-04-01 | Percipio Robotics | Dispositif pour microactionneur et microactionneur équipé d’un tel dispositif |
CN112476407B (zh) * | 2020-12-15 | 2024-04-19 | 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) | 一种基于3d打印微流道的微操作装置及方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0453691A (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ロボットハンドの握力制御装置 |
JPH0655473A (ja) * | 1992-08-06 | 1994-03-01 | Olympus Optical Co Ltd | マイクログリッパ |
JPH0732276A (ja) * | 1993-07-19 | 1995-02-03 | Nikon Corp | 超小型グリッパー及び超小型グリッパー駆動装置 |
JPH0752072A (ja) * | 1993-08-20 | 1995-02-28 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 静電駆動式マイクログリッパ |
WO2003045838A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-05 | Aoi Electronics., Co., Ltd | Nano gripper and method of manufacturing the nano gripper |
Family Cites Families (50)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7409823A (nl) * | 1973-07-31 | 1975-02-04 | Fujitsu Ltd | Uitvoerinrichting voor informatie omtrent cooerdinatenposities. |
US4293734A (en) * | 1979-02-23 | 1981-10-06 | Peptek, Incorporated | Touch panel system and method |
US4686332A (en) * | 1986-06-26 | 1987-08-11 | International Business Machines Corporation | Combined finger touch and stylus detection system for use on the viewing surface of a visual display device |
US4639720A (en) * | 1981-01-12 | 1987-01-27 | Harris Corporation | Electronic sketch pad |
US4550221A (en) * | 1983-10-07 | 1985-10-29 | Scott Mabusth | Touch sensitive control device |
JPS6370326A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-30 | Wacom Co Ltd | 位置検出装置 |
KR0122737B1 (ko) * | 1987-12-25 | 1997-11-20 | 후루다 모또오 | 위치 검출 장치 |
US5402151A (en) * | 1989-10-02 | 1995-03-28 | U.S. Philips Corporation | Data processing system with a touch screen and a digitizing tablet, both integrated in an input device |
EP0421025B1 (en) * | 1989-10-02 | 1999-05-06 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Data processing system with a touch screen and a digitizing tablet, both integrated in an input device |
DE4037883A1 (de) * | 1990-11-28 | 1992-06-04 | Hofmann Maschinenbau Gmbh | Vorrichtung zum greifen von werkstuecken, insbesondere rotoren |
JP3109220B2 (ja) | 1992-03-09 | 2000-11-13 | 株式会社ニコン | マイクログリッパー |
US5365461A (en) * | 1992-04-30 | 1994-11-15 | Microtouch Systems, Inc. | Position sensing computer input device |
EP0574213B1 (en) * | 1992-06-08 | 1999-03-24 | Synaptics, Inc. | Object position detector |
US6239389B1 (en) * | 1992-06-08 | 2001-05-29 | Synaptics, Inc. | Object position detection system and method |
US5571997A (en) * | 1993-08-02 | 1996-11-05 | Kurta Corporation | Pressure sensitive pointing device for transmitting signals to a tablet |
BE1007462A3 (nl) * | 1993-08-26 | 1995-07-04 | Philips Electronics Nv | Dataverwerkings inrichting met aanraakscherm en krachtopnemer. |
KR100300397B1 (ko) * | 1994-04-21 | 2001-10-22 | 김순택 | 터치판넬및디지타이저기능을겸비한시스템및구동방법 |
US5543589A (en) * | 1994-05-23 | 1996-08-06 | International Business Machines Corporation | Touchpad with dual sensor that simplifies scanning |
TW274598B (en) * | 1994-11-15 | 1996-04-21 | Alps Electric Co Ltd | Coordinate input device for pen of finger tip |
JPH08227336A (ja) * | 1995-02-20 | 1996-09-03 | Wacom Co Ltd | 感圧機構及びスタイラスペン |
WO1996026499A1 (en) * | 1995-02-22 | 1996-08-29 | Philips Electronics N.V. | Low-cost resistive tablet with touch and stylus functionality |
JPH08257959A (ja) * | 1995-03-29 | 1996-10-08 | Nikon Corp | マイクログリッパーシステム用のマスタ入力装置 |
US5956020A (en) * | 1995-07-27 | 1999-09-21 | Microtouch Systems, Inc. | Touchscreen controller with pen and/or finger inputs |
US6473069B1 (en) * | 1995-11-13 | 2002-10-29 | Cirque Corporation | Apparatus and method for tactile feedback from input device |
JPH09190268A (ja) * | 1996-01-11 | 1997-07-22 | Canon Inc | 情報処理装置およびその方法 |
US6128007A (en) * | 1996-07-29 | 2000-10-03 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for multi-mode handwritten input and hand directed control of a computing device |
US6626901B1 (en) * | 1997-03-05 | 2003-09-30 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Electrothermal instrument for sealing and joining or cutting tissue |
JPH10337049A (ja) | 1997-05-27 | 1998-12-18 | Hitachi Ltd | 静電型微小アクチュエータとその製造方法 |
WO1999020708A1 (en) * | 1997-10-23 | 1999-04-29 | H.B. Fuller Licensing & Financing, Inc. | Hot melt pressure sensitive adhesive which exhibits minimal staining |
US6392636B1 (en) * | 1998-01-22 | 2002-05-21 | Stmicroelectronics, Inc. | Touchpad providing screen cursor/pointer movement control |
US6278443B1 (en) * | 1998-04-30 | 2001-08-21 | International Business Machines Corporation | Touch screen with random finger placement and rolling on screen to control the movement of information on-screen |
JP3533514B2 (ja) | 1998-06-01 | 2004-05-31 | 株式会社日立製作所 | 静電アクチュエータとその製造方法 |
ATE517426T1 (de) * | 1999-01-26 | 2011-08-15 | Limited Qrg | Kapazitiver messwandler und anordnung |
US6504530B1 (en) * | 1999-09-07 | 2003-01-07 | Elo Touchsystems, Inc. | Touch confirming touchscreen utilizing plural touch sensors |
US6587093B1 (en) * | 1999-11-04 | 2003-07-01 | Synaptics Incorporated | Capacitive mouse |
JP2001142639A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-25 | Pioneer Electronic Corp | タッチパネル装置 |
US6417846B1 (en) * | 2000-02-02 | 2002-07-09 | Lee Si-Ken | Multifunction input device |
JP2001308247A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-11-02 | Nec Kansai Ltd | リードフレーム及び表面実装型半導体装置 |
US6690156B1 (en) * | 2000-07-28 | 2004-02-10 | N-Trig Ltd. | Physical object location apparatus and method and a graphic display device using the same |
US6505745B1 (en) * | 2000-08-01 | 2003-01-14 | Richard E Anderson | Holder for articles such as napkins |
US6570557B1 (en) * | 2001-02-10 | 2003-05-27 | Finger Works, Inc. | Multi-touch system and method for emulating modifier keys via fingertip chords |
US6583676B2 (en) * | 2001-06-20 | 2003-06-24 | Apple Computer, Inc. | Proximity/touch detector and calibration circuit |
US6590212B1 (en) * | 2001-07-02 | 2003-07-08 | Brian E. Joseph | Microelectromechanical system assembly and testing device |
US6937231B2 (en) * | 2001-09-21 | 2005-08-30 | Wacom Co., Ltd. | Pen-shaped coordinate pointing device |
US6762752B2 (en) * | 2001-11-29 | 2004-07-13 | N-Trig Ltd. | Dual function input device and method |
DE10232080B4 (de) * | 2002-07-15 | 2015-10-01 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | Elektrostatischer Greifer und Verfahren zu dessen Herstellung |
US7292229B2 (en) * | 2002-08-29 | 2007-11-06 | N-Trig Ltd. | Transparent digitiser |
US6620156B1 (en) * | 2002-09-20 | 2003-09-16 | Jon C. Garito | Bipolar tonsillar probe |
CN100538292C (zh) * | 2003-02-10 | 2009-09-09 | N-特莱格有限公司 | 数字化器的触摸检测 |
JP2006030017A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Sii Nanotechnology Inc | プローブ及び微小サンプルピックアップ機構 |
-
2004
- 2004-07-16 JP JP2004210566A patent/JP4529012B2/ja active Active
-
2005
- 2005-07-14 US US11/180,606 patent/US7489143B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0453691A (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ロボットハンドの握力制御装置 |
JPH0655473A (ja) * | 1992-08-06 | 1994-03-01 | Olympus Optical Co Ltd | マイクログリッパ |
JPH0732276A (ja) * | 1993-07-19 | 1995-02-03 | Nikon Corp | 超小型グリッパー及び超小型グリッパー駆動装置 |
JPH0752072A (ja) * | 1993-08-20 | 1995-02-28 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 静電駆動式マイクログリッパ |
WO2003045838A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-05 | Aoi Electronics., Co., Ltd | Nano gripper and method of manufacturing the nano gripper |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4562614B2 (ja) * | 2005-08-09 | 2010-10-13 | アオイ電子株式会社 | ナノピンセット装置 |
JP2007044805A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Aoi Electronics Co Ltd | 微小試料把持方法、微小試料把持装置のコントローラおよび微小試料把持システム |
JP2007044804A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Aoi Electronics Co Ltd | ナノピンセット装置および微小試料の把持方法 |
JP4562615B2 (ja) * | 2005-08-09 | 2010-10-13 | アオイ電子株式会社 | 微小試料把持装置 |
JP2007276072A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Kagawa Univ | ナノピンセット、把持力検出方法およびナノピンセットの駆動装置 |
JP2009537336A (ja) * | 2006-05-20 | 2009-10-29 | フラウンホファー ゲセルシャフトツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー.ファオ. | 材料付着法によるマイクログリッパの製造方法 |
JP2009541078A (ja) * | 2006-06-23 | 2009-11-26 | ユ スン | 二軸の力センサを備えたmemsベース形のマイクログリッパおよびナノグリッパ |
JP2008157673A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Sii Nanotechnology Inc | 試料把持体の把持面作製方法 |
JP2009008671A (ja) * | 2007-06-01 | 2009-01-15 | Aoi Electronics Co Ltd | ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡および搬送方法 |
JP4708455B2 (ja) * | 2007-06-01 | 2011-06-22 | アオイ電子株式会社 | ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡および搬送方法 |
US7987703B2 (en) | 2007-06-01 | 2011-08-02 | Aoi Electronics Co., Ltd. | Tweezer-equipped scanning probe microscope and transfer method |
JP2010181339A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-19 | Sii Nanotechnology Inc | 微小マニピュレータ装置 |
JP2012517903A (ja) * | 2009-02-17 | 2012-08-09 | ザ ガバニング カウンシル オブ ザ ユニヴァーシティー オブ トロント | μmスケールの物体、およびnmスケールの物体を掴み、これをリリースする素子。 |
JP2018078666A (ja) * | 2016-11-07 | 2018-05-17 | ローム株式会社 | 静電アクチュエータの駆動回路、カメラモジュール、電子機器、容量測定回路 |
KR20190001038A (ko) * | 2017-06-26 | 2019-01-04 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 기판 그립 장치. |
KR101981389B1 (ko) | 2017-06-26 | 2019-05-22 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 기판 그립 장치. |
RU2748140C1 (ru) * | 2020-10-14 | 2021-05-19 | Михаил Сергеевич Беллавин | Электростатическое захватное устройство |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4529012B2 (ja) | 2010-08-25 |
US20060014196A1 (en) | 2006-01-19 |
US7489143B2 (en) | 2009-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4529012B2 (ja) | ナノグリッパ装置 | |
US7339383B2 (en) | Nanogripper device having length measuring function and method for length measurement executed with nanogripper device having length measuring function | |
Tang | Electrostatic comb drive for resonant sensor and actuator applications | |
Bazaz et al. | Design, simulation and testing of electrostatic SOI MUMPs based microgripper integrated with capacitive contact sensor | |
JP4806771B2 (ja) | ナノピンセット、把持方法および把持力検出装置 | |
US6497141B1 (en) | Parametric resonance in microelectromechanical structures | |
US9038443B1 (en) | Microfabricated resonant fluid density and viscosity sensor | |
Rocha et al. | Analysis and analytical modeling of static pull-in with application to MEMS-based voltage reference and process monitoring | |
Kiziroglou et al. | Rolling rod electrostatic microgenerator | |
WO2003045838A1 (en) | Nano gripper and method of manufacturing the nano gripper | |
Oldham et al. | Thin-film PZT lateral actuators with extended stroke | |
JP4708455B2 (ja) | ピンセット付き走査型プローブ顕微鏡および搬送方法 | |
Lu et al. | Realization of nanoscale resolution with a micromachined thermally actuated testing stage | |
Kobayashi et al. | Microelectromechanical systems-based electrostatic field sensor using Pb (Zr, Ti) O3 thin films | |
JP4378532B2 (ja) | 櫛歯型プローブの駆動装置、原子間力顕微鏡装置および変位測定方法 | |
Casset et al. | 4-inch transparent plates based on thin-film AlN actuators for haptic applications | |
JP4758405B2 (ja) | センサ素子および物理センサ装置 | |
Gerson et al. | Pull-in experiments on electrostatically actuated microfabricated meso scale beams | |
JP2007212331A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡装置、ナノピンセット装置および試料表面形状観察方法 | |
JP4405333B2 (ja) | ナノグリッパ | |
JP4959632B2 (ja) | ナノピンセットおよび把持方法 | |
JP2006255847A (ja) | ナノピンセット、これを備える微小力計測装置および方法 | |
Paracha et al. | Design and fabrication issues of a silicon-based vibration powered electric energy generator using parallel plate and in-plane mechanism | |
JP4562615B2 (ja) | 微小試料把持装置 | |
JP5193541B2 (ja) | 角速度検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090728 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100409 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100427 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100520 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100520 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4529012 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |