JP4562614B2 - ナノピンセット装置 - Google Patents
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図1は、本発明の実施の形態によるナノピンセット装置全体の概略を示す構成図である。ナノピンセット装置50は、ナノピンセット1と、電源回路2とを備えており、ナノピンセット1は、後述するようにSOI(Silicon on Insulator)ウエハから一体で作製される。SOIウエハは、2枚のSi単結晶板の一方にSiO2層を形成し、SiO2層を介して貼り合わせたものである。
図4は、ナノピンセット1の固定電極5aおよび可動電極6aの一部を模式的に示す斜視図である。印加電圧V=0の初期状態におけるアーム間隔DをD0とする。櫛歯型静電アクチュエータの典型的なモデルでは、固定電極5aと可動電極6aとの間に生じる静電容量Ccomb(x)は、可動電極6aの初期位置からの移動距離xの関数として式(1)で与えられる。但し、式(1)において、ε0は真空の誘電率、wは櫛歯の幅、l0は櫛歯先端と対向する電極の壁面との初期間隔、lは櫛歯の長さ、gは櫛歯間のギャップ、bは櫛歯の厚み、Vは印加電圧、Nは櫛歯の本数であり、これらは図4に対比させて示されている。
次に、ナノピンセット1の開閉動作について説明する。上述したように、連結部8aにより一体となった可動電極6aおよびアーム3aは、支持部7aおよびアーム支持部9aにより弾性支持されている。そのため、電極5a,6aに電圧を印加すると、電極間に働くクーロン力(式(2)参照)によるアーム3aを閉じようとする力と、そのクーロン力に反してアーム3aを初期位置に戻そうとする弾性力とが釣り合う位置でまで可動電極6aおよびアーム3aが移動することになる。ただし、ここでは、上述したようにアーム支持部9aの弾性力は無視して考える。
ところで、印加電圧をさらに増加させてV2とすると、図5の曲線C2のように直線部E1,E2よりも常に上側となる。すなわち、どのような櫛歯移動距離xであってもクーロン力が常に弾性力を上回る状態(クーロン力>弾性力)となり、印加電圧をそれ以上増加させなくても可動電極6が固定電極5aに引き寄せられて図18(b)に示すような密着状態となる。このような現象のことを、プルイン(Pull-in)現象と呼ぶ。
次に、プルイン状態の解除動作について説明する。プルイン状態を解除するためには、ロック電圧Vpとなっている印加電圧を減少させれば良い。実際に印加電圧をVpから減少させると、図6の直線F2に示すように印加電圧がVrとなるまでプルイン状態が継続され、可動電極6aは固定電極5aに密着したままである。そして、印加電圧がVrとなったときにプルイン状態が解除され、弾性力と印加電圧Vrにおけるクーロン力とが釣り合う櫛歯移動距離xrまで可動電極6aが移動する。図6に示す例では、xr<xdとなっているので、アーム3a,3bが開くことになる。ここでは、電圧Vrをアンロック電圧と呼ぶことにする。
3a,3b:アーム 4a,4b:静電アクチュエータ
5a,5b:固定電極 6a,6b:可動電極
7a,7b:支持部 8a,8b:連結部
9a,9b:アーム支持部 10:台座
50:ナノピンセット装置 100:SOIウエハ
101:ベース層 102:絶縁層
103:シリコン層 200:コントローラ
203:ロック・アンロックスイッチ
204:グリップスイッチ
Claims (5)
- 開閉自在な一対のアームと、
前記一対のアームを開閉駆動するための固定電極および可動電極を備えた静電アクチュエータと、
前記一対のアームおよび前記可動電極を支持すると共に、前記前記一対のアームが前記静電アクチュエータにより開閉駆動されたとき前記可動電極に対して弾性力を生じさせる弾性支持部と、
前記固定電極と前記可動電極の間に直流電圧を印加することにより、前記固定電極と前記可動電極の間にクーロン力を生じさせる直流電圧源と、
前記固定電極および前記可動電極の表面にそれぞれ形成されている絶縁層が互いに接触する位置まで前記可動電極が変位したとき前記弾性支持部の変形および前記一対のアームの変形に起因して生じる弾性力よりも、前記固定電極と前記可動電極の間に生じるクーロン力が常に上回るようなプルイン状態を生じさせるロック電圧を、前記直流電圧源から発生させる電圧制御手段とを備えたことを特徴とするナノピンセット装置。 - 請求項1に記載のナノピンセット装置において、
前記固定電極は第1の櫛歯状凹凸部を有し、且つ前記可動電極は前記第1の櫛歯状凹凸部と噛合する第2の櫛歯状凹凸部を有しており、
前記プルイン状態における前記第2の櫛歯状凹凸部の移動距離は、前記第1の櫛歯状凹凸部および前記第2の櫛歯状凹凸部に直流電圧が印加されていないときの櫛歯初期間隔から前記絶縁層の合計膜厚を差し引いた値であることを特徴とするナノピンセット装置。 - 請求項1または2に記載のナノピンセット装置において、
前記電圧制御手段は、前記プルイン状態を解除するアンロック電圧を前記直流電圧源から発生させる際に、前記一対のアームにおけるアーム間隔を零とするための直流電圧より低い直流電圧を発生させることを特徴とするナノピンセット装置。 - 請求項1または2に記載のナノピンセット装置において、
前記電圧制御手段は、前記プルイン状態を解除するアンロック電圧を前記直流電圧源から発生させる際に、前記一対のアームを閉じたままとする直流電圧を発生させることを特徴とするナノピンセット装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載のナノピンセット装置において、
前記ロック電圧の印加を指令するスイッチと、前記ロック電圧の印加を解除するスイッチとを有するコントローラをさらに備えることを特徴とするナノピンセット装置。
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