JP6580544B2 - 基板支持ユニット上に基板を位置合わせする方法および装置 - Google Patents
基板支持ユニット上に基板を位置合わせする方法および装置 Download PDFInfo
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Description
・前記基板および/または基板支持部材を支持するための位置合わせ基台と、
・前記基板に接触力を印加するために配設された力生成デバイスと
を備え、前記力生成デバイスは:
・好ましくは剛性のある近位端および遠位端と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位とを備える、アームと、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台に対して移動可能である、接続部と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータと
を備え、
ここにおいて、前記アームの前記遠位端には、前記基板の縁端に接触するための接触部位が設けられており、
それによって、前記変位が発生すると、前記接触部位によって前記接触力が前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位と、前記変位とによって決定される。
・前記基板および/または基板支持部材を支持するための位置合わせ基台と、
・前記基板に接触力を印加するように配設された力発生デバイスと
を備え、前記力発生デバイスは:
・好ましくは剛性のある近位端および遠位端と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位とを備える、アームと
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台に対して移動可能である、接続部と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータと
を備え、
前記アームの前記遠位端には、前記基板の縁端に接触するための接触部位が設けられており、
それによって、前記変位によって、前記接触力が前記接触部位によって前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位と、前記変位とによって規定される。
・好ましくは剛性のある近位端および遠位端と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位とを備える、アームと、
・前記接続部を介して前記アームが前記装着部に対して移動可能であるように、前記近位端を前記装着部に接続する、接続部と、
・前記装着部に対して前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータと
を備え、
前記アームの前記遠位端には、前記対象物に接触するための接触部位が設けられており、
それによって、前記変位が発生すると、前記接触部位によって接触力が前記対象物に印加され、前記力は、前記弾性変形可能なアーム部位と、前記変位とによって規定される。
・前記基板を、位置合わせ基台上、または位置合わせ基台上に配置された基板支持部材上に配置することと;
・接触力を前記基板の縁端上に印加するための力生成デバイスを設けることと、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端および遠位端と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位とを備えるアームであって、前記アームの前記遠位端には前記基板の前記縁端に接触するための接触部位が設けられているアームと、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台に対して移動可能である、接続部と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータであって、それによって、前記変位によって、前記接触力が前記接触部位によって前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位によって規定される、アクチュエータと、を備え、
・前記アームの前記近位端の前記変位を生じさせ、それによって前記接触力を前記縁端に印加するとともに、位置合わせ位置への前記基板の回転および/または並進を生じさせることと
を備える。
・接触部位の近傍にノッチを配置するステップと、
・接触部位とノッチを係合させ、それによってアームの近位端が変位させられるときに、基板の回転および/または並進を作動させるステップと
を備える。
・前記接触部材を第1の位置に配置するステップであって、前記第1の位置は第2の位置から遠隔である、前記接触部材を第1の位置に配置するステップと、
・基板を前記基板支持部材上に配置するステップと、
・前記接触部材を前記第2の位置まで移動させ、それによって接触部材を前記基板に向かう方向に移動させるステップと、
・前記接触部位および前記接触部材が前記基板の前記縁端に接触するように、前記近位端の変位を生じさせるステップと
を備える。
・支持部材上に基板を配設するステップと、
・アームの近位端を変位させるステップと、
・基板が2つの接触部材と接触部位とに接触して、アームの所望の量の屈曲または湾曲が得られたときに、アームの近位端の変位を終了させるステップと
を備える。
・近位端および遠位端と、前記遠位端には、前記基板の縁端に接触するための接触部位が設けられている、近位端と遠位端の間に延びている弾性変形可能なアーム部位とを備えるアームと、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台に対して移動可能である、接続部と、
・前記近位端の変位を生じさせるためのアクチュエータと
を備え、それによって、前記弾性変形可能なアーム部位によって規定される前記接触力が、前記接触部位によって前記基板に対して印加される。
条項1.
リソグラフィ装置と、基板位置合わせステーションとを備える、リソグラフィシステム(700)において、前記位置合わせステーションは、前記リソグラフィ装置に基板(1)を導入する前に、前記基板を位置合わせするための位置合わせ装置(10)を備え、前記位置合わせ装置は:
・前記基板(1)および/または基板支持部材(2)を支持するための位置合わせ基台(3)と、
・前記基板に接触力(FS)を印加するために配設された力生成デバイス(9;90;190)と
を備え、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端(520;152)および遠位端(510;151)と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位(53;153)とを備える、アーム(5;50;150)と、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部(4;44;144)であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台(3)に対して移動可能である、接続部(4;44;144)と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータ(61;161)と
を備え、
前記アームの前記遠位端には、前記基板の縁端(14;102)に接触するための接触部位(6;60)が設けられており、
それによって、前記変位が発生すると、前記接触部位によって前記接触力(FS)が前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位によって決定される、リソグラフィシステム。
弾性変形可能なアーム部位が、前記近位端の前記変位の方向に実質的に垂直に延びるように配設されているとともに、前記基板の前記縁端に実質的に正接して配向されている、条項1に記載のシステム。
前記位置合わせ装置が、前記近位端の前記変位を制限するための、変位止め(65)を備える、条項1または2に記載のシステム。
前記変位止めの位置が調節可能である、条項3に記載のシステム。
前記位置合わせ基台に接続されて、前記基板の前記縁端に接触するように配設された、2つの接触部材(8)を備える、条項1から4のいずれか一項に記載のシステム。
前記接触部材(8)が実質的に円筒形を有する、条項5に記載のシステム。
前記接触部位(6)および前記接触部材(8)が、低摩擦材料を備える表面を有し、前記低摩擦材料は、前記縁端の摩擦係数よりも低い摩擦係数を有する、条項5または6に記載のシステム。
前記近位端の前記変位が、前記2つの接触部材(8)を相互接続する相互接続線(117)に対して実質的に垂直方向に向けられている、条項5から7のいずれか一項に記載のシステム。
前記接触力(FS)が、前記2つの接触部材(8)の間の相互接続線(117)に実質的に垂直である、条項5から8のいずれか一項に記載のシステム。
特にアームが屈曲または湾曲されていないときに、アームが、前記2つの接触部材(8)の間の相互接続線(117)に実質的に平行な方向に延びるように配設されている、条項5から9のいずれか一項に記載のシステム。
前記接触部材(8)が、前記接触部材(8)と前記接触部位(6;60)とによって画定される領域の中心(114)に向かって、およびそれから離れて移動可能であり、前記位置合わせ装置は、前記中心に向かう前記接触部材の移動を制限するための阻止部材(118)を備える、条項5から10のいずれか一項に記載のシステム。
前記位置合わせ装置が、前記変位と反対の方向に向けられた、偏倚力(FB)を印加するように配設された、偏倚機構を備える、条項1から11のいずれか一項に記載のシステム。
前記偏倚機構がリターンスプリング(64)を備える、条項12に記載のシステム。
前記偏倚機構が、前記アクチュエータ(61;161)を前記アームに接続することによって実現される、条項12に記載のシステム。
前記接続部(4;44)が、第1の端部において前記近位端に、第2の端部において装着部(41)に接続された、弾性変形可能な接続部位(40)を備え、前記装着部(41)は、前記位置合わせ基台(3)に接続されている、条項1から14のいずれか一項に記載のシステム。
前記弾性変形可能な接続部位(40)が、前記近位端に接続された剛性部位(42)と前記装着部(41)の間に延びているとともに、縮小横断面の部分を備える、条項15に記載のシステム。
前記接続部(4)がピボット機構を備え、前記ピボット機構はピボット軸を備える、前記近位端は、前記近位端が変位させられるときに、前記ピボット軸のまわりにピボット回転するように配設されている、条項15に記載のシステム。
前記接続部(144)が、特に、前記アームの延長に実質的に垂直な方向における、前記近位端の並進移動を可能にするように配設されている接触並進機構(140)を備える、条項1から17のいずれか一項に記載のシステム。
装着プレート(91;191)を備え、前記アクチュエータ(61;161)および前記接続部(4;44;144)が、前記装着プレート(91;191)に接続されている、条項1から18のいずれか一項に記載のシステム。
前記装着プレート(91;191)が、位置合わせ並進機構(92;192)によって前記位置合わせ基台に接続されており、前記位置合わせ並進機構は、前記アームの延長に実質的に平行な方向に、前記アームの並進移動を与えるように配設されている、条項19に記載のシステム。
前記弾性変形可能なアーム部位(53)が、1つまたは複数のリーフスプリング(54、55;154)を備える、条項1から20のいずれか一項に記載のシステム。
前記弾性変形可能なアーム部位(53)が、第1のリーフスプリング(54)と、第2のリーフスプリング(55)とを備え、第2のリーフスプリングは、第1のリーフスプリングに実質的に平行に配設されるとともに、第1のリーフスプリングの表面に実質的に垂直な方向において、第1のリーフスプリングから距離を空けて配設されている、条項21に記載のシステム。
前記1つまたは複数のリーフスプリングの表面が、前記位置合わせ基台(3)の表面に実質的に垂直な方向に配設されている、条項21または22に記載のシステム。
前記接触部位(6)が円筒状要素を備える、条項1から23のいずれか一項に記載のシステム。
前記円筒状要素が、前記アームの前記近位端に回転可能に接続されている、条項24に記載のシステム。
前記基板を支持するための基板支持部材(2)を備え、前記基板を前記基板支持部材上に位置合わせするように構成されている、条項1から25のいずれか一項に記載のシステム。
前記基板支持部材(2)が、運動学的マウント(21、31)を介して前記位置合わせ基台(3)上に配置されている、条項26に記載のシステム。
位置合わせ装置が、その縁端(14)にノッチ(11)を設けられた基板を位置合わせするために配設され、前記接触部位(6;60;106)が、ノッチを係合するように配設されている、条項1から27のいずれか一項に記載のシステム。
位置合わせ装置が、その縁端(102)にオリエンテーションフラット(101)を設けられた基板を位置合わせするように配設されているとともに、前記オリエンテーションフラットに接触するように配設された第3の接触部材(98)を備え、接触部位(60;106)は、前記オリエンテーションフラットに接触するように配設されている、条項1から28のいずれか一項に記載のシステム。
基板(1;100)を位置合わせするための位置合わせ装置であって、
・前記基板(1)および/または基板支持部材(2)を支持するための位置合わせ基台(3)と、
・前記基板に接触力(FS)を印加するように配設された、力生成デバイス(9;90;190)と
を備え、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端(520)および遠位端(510)と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる、弾性変形可能なアーム部位(53)とを備える、アーム(5;50;150)と、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部(4;44;144)であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台(3)に対して移動可能である、接続部(4;44;144)と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータ(61;161)と
を備え、
前記アームの前記遠位端には、前記基板の縁端に接触するための接触部位(6;60;106)が設けられており、
それによって、前記変位が発生すると、前記接触力(FS)が前記接触部位によって前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位によって規定される、位置合わせ装置。
条項2から29によって定義される特徴のいずれか1つまたは複数を備える、条項30に記載の位置合わせ装置。
対象物に事前定義された接触力(FS)を印加するための力生成デバイス(9;90;190)であって、前記力生成デバイスは、
・剛性のある近位端(520)および遠位端(510)と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位(53)とを備える、アーム(5;50;150)と、
・前記近位端を装着部(41;141)に接続する接続部(4;44;144)であって、前記接続部(4)を介して前記アームが前記装着部(41;141)に対して移動可能であるようにされる、接続部(4;44;144)と、
・前記装着部に対する前記近位端の変位を生じさせるための、アクチュエータ(61;161)と
を備え、
前記アームの前記遠位端には、前記対象物に接触するための接触部位(6;60;106)が設けられており、
それによって、前記変位が発生すると、接触力(FS)が前記接触部位によって前記対象物に印加され、前記力は、前記弾性変形可能なアーム部位によって規定される、力生成デバイス。
前記近位端と前記遠位端の間の相対位置が所定の区間内であるとき、前記接触力は実質的に一定である、条項32に記載の力生成デバイス。
前記装着部(91)が、前記対象物を支持するための支持部材(2)に対して固定的に配設されている、条項32または33に記載の力生成デバイス。
弾性変形可能なアーム部位が、近位端の前記変位の方向に実質的に垂直に延びている、条項32から34のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
前記近位端の前記変位を制限するための変位止め(65)を備える、条項32から35のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
前記変位止めが、前記アクチュエータに対して調節可能である、条項36に記載の力生成デバイス。
前記変位と反対方向に向けられた偏倚力(FB)を生成するように配設された、偏倚機構を備える、条項32から37のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
前記接続部(4;44)が、第1の端部において前記近位端に、第2の端部において装着部(41)に接続された、弾性変形可能部位(40)を備え、前記装着部(41)は前記位置合わせ基台(3)に接続されている、条項32から37のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
前記弾性変形可能な接続部位(40)が、前記近位端に接続された剛性部位(42)と前記装着部(41)の間に延びているとともに、前記弾性変形可能部位(40)は、縮小横断面の部分を備える、条項39に記載の力生成デバイス。
前記接続部(4)が、前記近位端が変位すると、ピボット軸まわりの前記近位端のピボット運動を可能にするピボット機構を備える、条項39に記載の力生成デバイス。
前記接続部(144)が、特に、前記アームの延長に実質的に垂直な方向における、前記近位端の並進移動を可能にするように配設されている接触並進機構(140)を備える、条項34から44のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
前記弾性変形可能なアーム部位(53)が、1つまたは複数のリーフスプリング(54、55;154)を備える、条項32から42のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
弾性変形可能なアーム部位が、第1のリーフスプリングと、第2のリーフスプリングとを備え、前記第2のリーフスプリングは、前記第1のリーフスプリングに実質的に平行に配設されるとともに、前記第1のリーフスプリングの表面に実質的に垂直な方向において、前記第1のリーフスプリングから距離を空けて配設されている、条項43に記載の力生成デバイス。
前記接触部位が円筒状要素を備える、条項32から44のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
前記円筒状要素が、前記アームの前記近位端に回転可能に接続されている、条項45に記載の力生成デバイス。
位置合わせ装置(10;99;110)を使用して基板支持部材(2)上に基板(1)を位置合わせする方法において、前記位置合わせ装置は:
・基板支持部材(2)を支持するための位置合わせ基台(3;103)と、
・前記基板上に接触力(FS)を印加するように配設された、力生成デバイス(9;90;190)であって、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端(520;152)および遠位端(510;151)と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる、弾性変形可能なアーム部位(53)とを備える、アーム(5;50;150)と、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部(4;44;144)であって、前記接続部を介して前記アームは前記位置合わせ基台(3)に対して移動可能である接続部(4;44;144)と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータ(61;161)と
を備え、
前記アームの前記遠位端には、前記基板の縁端(14;101)に接触するための接触部位(6;60;106)が設けられており、
それによって、前記変位が発生すると、前記接触力(FS)が前記接触部位(6)によって前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位によって規定され、
・前記位置合わせ基台に接続されて、前記基板の前記縁端に接触するように配設された、2つの接触部材(8)を備え、
前記方法は:
・前記位置合わせ基台(3)上に基板支持部材(2)を配設するステップと、
・前記基板支持部材(2)上に前記基板を配置するステップと、
・前記アームの前記近位端の変位を生じさせるステップと、
・前記基板の前記縁端が前記2つの接触部材と前記接触部位とに接触するときに、前記アームの前記近位端の移動を終了させるステップと
を備える、方法。
基板(1;101)を位置合わせする方法において、前記方法は、
・前記基板を、位置合わせ基台(3)上、または位置合わせ基台(3)上に配置された基板支持部材(2)上に配置することと;
・接触力(FS)を前記基板の縁端(14;102)上に印加するための力生成デバイス(9;90;190)を設けることと、
ここにおいて、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端(520;152)および遠位端(510;151)と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位(53;153)とを備える、アーム(5;50;150)であって、前記アームの前記遠位端には前記基板の前記縁端に接触するための接触部位(6;60;106)が設けられている、アーム(5;50;150)と、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部(4;44;144)であって、前記接続部を介して前記アームは前記位置合わせ基台(3)に対して移動可能である、接続部(4;44;144)と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータ(61;161)であって、それによって、前記変位が発生すると、前記接触力(FS)が前記接触部位によって前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位によって規定される、アクチュエータ(61;161)と、を備え、
・前記アームの前記近位端の前記変位を生じさせ、それによって前記接触力(FS)を前記縁端に印加するとともに、位置合わせ位置への前記基板の回転および/または並進を生じさせることと
を備える、方法。
その縁端にノッチ(11)が設けられた基板に適用され、
・前記接触部位(6;60;106)の近傍に、前記ノッチ(11)を配置するステップと、
・前記アームの前記近位端の前記変位が発生すると、前記基板の回転および/または並進を作動させるために、前記ノッチを前記接触部位と係合させるステップと
を備える、条項47または48に記載の方法。
・前記接触部材(8)を第1の位置に設置するステップであって、前記第1の位置は第2の位置から遠隔にある、前記接触部材(8)を第1の位置に設置するステップと、
・基板を前記基板支持部材上に配置するステップと、
・前記2つの接触部材を前記第2の位置まで移動させ、それによって前記接触部材を前記基板に向かう方向に移動させるステップと、
・前記接触部位が前記基板の前記縁端に接触するように、前記近位端の変位を生じさせるステップと
を備える、条項47から49のいずれか一項に記載の方法。
特に前記変位の前に、前記2つの接触部材に対して前記力生成デバイスの位置を調節するステップを備える、条項47から50のいずれか一項に記載の方法。
前記変位および/または前記接触力(FS)が、前記基板の表面によって画定される面内、またはそれに平行な方向に向けられている、条項47から51のいずれか一項に記載の方法。
前記基板の前記縁端が接触部位と2つの接触部材とに接触すると、アームの近位端の移動が終了され、前記接触部位と前記接触部材は前記基板のさらなる移動を拘束する、条項47から52のいずれか一項に記載の方法。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
[1] リソグラフィ装置と、基板位置合わせステーションとを備える、リソグラフィシステム(700)において、前記位置合わせステーションは、前記リソグラフィ装置に基板(1)を導入する前に、前記基板を位置合わせするための位置合わせ装置(10)を備え、前記位置合わせ装置は:
・前記基板(1)および/または基板支持部材(2)を支持するための位置合わせ基台(3)と、
・前記基板に接触力(FS)を印加するために配設された力生成デバイス(9;90;190)と
を備え、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端(520;152)および遠位端(510;151)と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位(53;153)とを備える、アーム(5;50;150)と、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部(4;44;144)であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台(3)に対して移動可能である、接続部(4;44;144)と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータ(61;161)と を備え、
前記アームの前記遠位端には、前記基板の縁端(14;102)に接触するための接触部位(6;60)が設けられており、
それによって、前記変位が発生すると、前記接触部位によって前記接触力(FS)が前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位と、前記変位とによって決定される、リソグラフィシステム。
[2] 前記弾性変形可能なアーム部位が、前記近位端の前記変位の方向に垂直に延びるように配設されているとともに、前記基板の前記縁端に正接して配向されている、[1]に記載のシステム。
[3] 前記位置合わせ装置が、前記近位端の前記変位を制限するための、変位止め(65)を備える、[1]または[2]に記載のシステム。
[4] 前記位置合わせ基台に接続されて、前記基板の前記縁端に接触するように配設された、2つの接触部材(8)を備える、[1]から[3]のいずれか一項に記載のシステム。
[5] 前記接続部(4;44)が、第1の端部において前記近位端に、第2の端部において装着部(41)に接続された弾性変形可能な接続部位(40)を備え、前記装着部(41)は、前記位置合わせ基台(3)に接続されている、[1]から[4]のいずれか一項に記載のシステム。
[6] 装着プレート(91;191)を備え、前記アクチュエータ(61;161)および前記接続部(4;44;144)が、前記装着プレート(91;191)に接続されており、前記装着プレート(91;191)は、位置合わせ並進機構(92;192)によって前記位置合わせ基台に接続されており、前記位置合わせ並進機構は、前記アームの延長に平行な方向に、前記アームの並進移動を与えるように配設されている、[1]から[5]のいずれか一項に記載のシステム。
[7] 前記基板を支持するための基板支持部材(2)を備え、前記基板を前記基板支持部材上に位置合わせするように構成され、前記基板支持部材(2)が、運動学的マウント(21、31)を介して前記位置合わせ基台(3)上に配置されている、[1]から[6]のいずれか一項に記載のシステム。
[8] 前記位置合わせ装置が、その縁端(14)にノッチ(11)を設けられた基板を位置合わせするように配設され、前記接触部位(6;60;106)が、前記ノッチを係合するように配設されている、[1]から[7]のいずれか一項に記載のシステム。
[9] 前記位置合わせ装置が、その縁端(102)にオリエンテーションフラット(101)を設けられた基板を位置合わせするように配設されているとともに、前記オリエンテーションフラットに接触するように配設された第3の接触部材(98)を備え、前記接触部位(60;106)は、前記オリエンテーションフラットに接触するように配設されている、[1]から[8]のいずれか一項に記載のシステム。
[10] 基板(1;100)を位置合わせするための位置合わせ装置であって、
・前記基板(1)および/または基板支持部材(2)を支持するための位置合わせ基台(3)と、
・前記基板に接触力(FS)を印加するように配設された、力生成デバイス(9;90;190)と
を備え、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端(520)および遠位端(510)と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる、弾性変形可能なアーム部位(53)とを備える、アーム(5;50;150)と、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部(4;44;144)であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台(3)に対して移動可能である、接続部(4;44;144)と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータ(61;161)と を備え、
前記アームの前記遠位端には、前記基板の縁端に接触するための接触部位(6;60;160)が設けられており、
それによって、前記変位によって、前記接触力(FS)が前記接触部位によって前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位と、前記変位とによって規定される、位置合わせ装置。
[11] 前記位置合わせ基台に接続されて、前記基板の前記縁端に接触するように配設された、2つの接触部材(8)を備える、[10]に記載の位置合わせ装置。
[12] 前記近位端の前記変位が、前記2つの接触部材(8)を相互接続する相互接続線(117)に対して垂直方向に向けられている、[11]に記載の位置合わせ装置。
[13] 前記アームが、前記2つの接触部材(8)の間の相互接続線(117)に平行な方向に延びるように配設されている、[11]または[12]に記載の位置合わせ装置。
[14] 前記接触部材(8)が、前記接触部材(8)と前記接触部位(6;60)とによって画定される領域の中心(114)に向かって、およびそれから離れて移動可能であるように配設されている、[11]から[13]のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
[15] 前記接続部(4;44)が、第1の端部において前記近位端に、第2の端部において装着部(41)に接続された弾性変形可能な接続部位(40)を備え、前記装着部(41)は、前記位置合わせ基台(3)に接続されている、[10]から[14]のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
[16] 前記弾性変形可能な接続部位(40)が、縮小横断面の部分を備える、[15]に記載の位置合わせ装置。
[17] 装着プレート(91;191)を備え、前記アクチュエータ(61;161)と前記接続部(4;44;144)とが、前記装着プレート(91;191)に接続されており、 前記装着プレート(91;191)は、位置合わせ並進機構(92;192)によって前記位置合わせ基台に接続されており、前記位置合わせ並進機構は、前記アームの延長に平行な方向に、前記アームの並進移動を与えるように配設されている、[10]から[16]のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
[18] その縁端(14)にノッチ(11)を設けられた基板を位置合わせするように配設され、ここにおいて、前記接触部位(6;60;106)が前記ノッチを係合するように配設されている、または、その縁端(102)にオリエンテーションフラット(101)を設けられた基板を位置合わせするように配設されるとともに、前記オリエンテーションフラットに接触するように配設された第3の接触部材(98)を備え、ここにおいて、前記接触部位(60;106)が前記オリエンテーションフラットに接触するように配設されている、[10]から[17]のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
[19] 事前定義された接触力(FS)を対象物に印加するための、力生成デバイス(9;90;190)であって、前記力生成デバイスは、
・剛性のある近位端(520)および遠位端(510)と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位(53)と、を備える、アーム(5;50;150)と、
・前記近位端を前記装着部(41;141)に接続する接続部(4;44;144)であって、前記接続部(4)を介して前記アームが装着部に対して移動可能であるようにされている、接続部(4;44;144)と、
・前記装着部に対する前記近位端の変位を生じさせるように配設された、アクチュエータ(61;161)と
を備え、
前記アームの前記遠位端には、前記対象物に接触するための接触部位(6;60;106)が設けられており、
それによって、前記変位によって、接触力(FS)が前記接触部位によって前記対象物に印加され、前記力は、前記弾性変形可能なアーム部位と、前記変位とによって規定される、力生成デバイス。
[20] 前記遠位端に対する前記近位端の前記変位が所定の区間内であるときに、前記接触力が一定である、[19]に記載の力生成デバイス。
[21] 前記弾性変形可能なアーム部位が、前記近位端の前記変位の方向に垂直に延びている、[19]または[20]のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
[22] 前記近位端の前記変位を制限するための変位止め(65)を備える、[19]から[21]のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
[23] 前記変位と反対方向に向けられた偏倚力(FB)を生成するように配設された、偏倚機構を備える、[19]から[22]のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
[24] 前記接続部(4;44)が、第1の端部において前記近位端に、第2の端部において前記装着部(41)に接続された、弾性変形可能な接続部位(40)を備える、[19]から[23]のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
[25] 前記弾性変形可能な接続部位(40)が、前記近位端に接続された剛性部位(42)と、前記装着部(41)の間に延びるとともに、前記弾性変形可能な接続部位(40)が、縮小横断面の部分を備える、[24]に記載の力生成デバイス。
[26] 基板(1;101)を位置合わせする方法であって、前記方法は、
・前記基板を、位置合わせ基台(3)上、または位置合わせ基台(3)上に配置された基板支持部材(2)上に配置することと;
・接触力(FS)を前記基板の縁端(14;102)上に印加するための力生成デバイス(9;90;190)を設けることと、を備え、
ここにおいて、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端(520;152)および遠位端(510;151)と、前記近位端と前記遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位(53;153)とを備える、アーム(5;50;150)であって、前記アームの前記遠位端には前記基板の前記縁端に接触するための接触部位(6;60;106)が設けられている、アーム(5;50;150)と、
・前記近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部(4;44;144)であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台(3)に対して移動可能である、接続部(4;44;144)と、
・前記近位端の変位を生じさせるように配設されたアクチュエータ(61;161)であって、それによって、前記変位によって、前記接触力(FS)が前記接触部位によって前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位によって規定される、アクチュエータ(61;161)と、を備え、
・前記アームの前記近位端の前記変位を生じさせ、それによって前記接触力(FS)を前記縁端に印加するとともに、位置合わせ位置への前記基板の回転および/または並進を生じさせることと
を備える、方法。
[27] 前記変位および/または前記接触力(FS)が、前記基板の表面によって画定される面内、またはそれに平行な方向に向けられている、[26]に記載の方法。
[28] 前記アームの前記近位端の前記変位が、前記基板の前記縁端が前記接触部位と2つの接触部材とに接触するときに終了され、前記接触部位および前記接触部材は、前記基板の移動を拘束する、[26]または[27]に記載の方法。
[29] その縁端にノッチ(11)が設けられた基板に適用され、
・前記接触部位の近傍に前記ノッチを配置するステップと、
・前記接触部位と前記ノッチを係合させ、それによって前記アームの前記近位端が変位させられるときに、前記基板の回転および/または並進を作動させるステップと
を備える、[28]に記載の方法。
[30] 前記接触部材を第1の位置に設置するステップであって、前記第1の位置は第2の位置から遠隔である、前記接触部材を第1の位置に設置するステップと、
前記基板を前記基板支持部材上に配置するステップと、
前記接触部材を前記第2の位置まで移動させ、それによって前記接触部材を前記基板に向かう方向に移動させるステップと、
前記接触部位および前記接触部材が前記基板の前記縁端に接触するように、前記近位端の変位を生じさせるステップと、
を備える、[28]または[29]に記載の方法。
[31] 前記接触部材に対して前記力生成デバイスの位置を調節するステップを備える、[26]から[30]のいずれか一項に記載の方法。
Claims (30)
- 基板(1;100)を位置合わせするための位置合わせ装置であって、
・前記基板(1)及び/又は基板支持部材(2)を支持するための位置合わせ基台(3)と、
・前記基板に接触力(FS)を印加するように配設された、力生成デバイス(9;90;190)と
を備え、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端(520)、剛性のある遠位端(510)、及び前記剛性のある近位端と前記剛性のある遠位端の間に延びる、弾性変形可能なアーム部位(53)とを備える、アーム(5;50;150)と、
・前記剛性のある近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部(4;44;144)であって、前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台(3)に対して移動可能である、接続部(4;44;144)と、
・前記剛性のある近位端に変位を生じさせるべく前記剛性のある近位端上で作動するように配設されたアクチュエータ(61;161)と を備え、
前記アームの前記剛性のある遠位端には、前記基板の縁端に接触するための接触部位(6;60;160)が設けられており、
前記剛性のある近位端の変位によって、前記接触力(FS)が前記接触部位により前記基板に印加され、前記接触力が、前記弾性変形可能なアーム部位と、前記変位とによって規定される、位置合わせ装置。 - 前記位置合わせ基台に接続されて、前記基板の前記縁端に接触するように配設された、2つの接触部材(8)を備える、請求項1に記載の位置合わせ装置。
- 前記剛性のある近位端の前記変位が、前記2つの接触部材(8)を相互接続する相互接続線(117)に対して垂直方向に向けられている、請求項2に記載の位置合わせ装置。
- 前記アームが、前記2つの接触部材(8)の間の相互接続線(117)に平行な方向に延びるように配設されている、請求項2又は3に記載の位置合わせ装置。
- 前記接触部材(8)が、前記接触部材(8)と前記接触部位(6;60)とによって画定される領域の中心(114)に向かって、及びそれから離れて移動可能であるように配設されている、請求項2から4のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
- 前記弾性変形可能なアーム部位が、前記剛性のある近位端の前記変位の方向に垂直に延びるように配設されているとともに、前記基板の前記縁端に正接して配向されている、請求項1から5のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
- 前記弾性変形可能なアーム部位が、1つ又は複数のリーフスプリングを備える、請求項1から6のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
- 前記弾性変形可能なアーム部位が、第1のリーフスプリングと、第2のリーフスプリングとを備え、第2のリーフスプリングは、第1のリーフスプリングに実質的に平行に配設されるとともに、第1のリーフスプリングの表面に実質的に垂直な方向において、第1のリーフスプリングから距離を空けて配設されている、請求項7に記載の位置合わせ装置。
- 前記位置合わせ装置が、前記剛性のある近位端の前記変位を制限するための、変位止め(65)を備える、請求項1から8のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
- 前記接続部(4;44)が、第1の端部において前記剛性のある近位端に、第2の端部において装着部(41)に接続された弾性変形可能な接続部位(40)を備え、前記装着部(41)は、前記位置合わせ基台(3)に接続されている、請求項1から9のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
- 前記弾性変形可能な接続部位(40)が、縮小横断面の部分を備える、請求項10に記載の位置合わせ装置。
- 装着プレート(91;191)を備え、前記アクチュエータ(61;161)と前記接続部(4;44;144)とが、前記装着プレート(91;191)に接続されており、 前記装着プレート(91;191)は、位置合わせ並進機構(92;192)によって前記位置合わせ基台に接続されており、前記位置合わせ並進機構は、前記アームの延長に平行な方向に、前記アームの並進移動を与えるように配設されている、請求項1から11のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
- その縁端(14)にノッチ(11)を設けられた基板を位置合わせするように配設され、ここにおいて、前記接触部位(6;60;106)が前記ノッチを係合するように配設されている、又は、その縁端(102)にオリエンテーションフラット(101)を設けられた基板を位置合わせするように配設されるとともに、前記オリエンテーションフラットに接触するように配設された第3の接触部材(98)を備え、ここにおいて、前記接触部位(60;106)が前記オリエンテーションフラットに接触するように配設されている、請求項1から12のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
- 前記基板を支持するための基板支持部材(2)と運動学的マウント(21、31)を備え、前記位置合わせ装置が、前記基板を前記基板支持部材上に位置合わせするように構成され、前記基板支持部材(2)が、前記運動学的マウント(21、31)を介して前記位置合わせ基台(3)上に配置されている、請求項1から13のいずれか一項に記載の位置合わせ装置。
- 基板処理装置と、基板位置合わせステーションとを備える、基板処理システム(700)であって、前記基板位置合わせステーションは、前記基板処理装置に基板(1)を導入する前に、前記基板を位置合わせするための請求項1から14のいずれか一項に記載の位置合わせ装置(10)を備える、基板処理システム。
- 請求項1から14のいずれか一項に記載の位置合わせ装置に使用するための力生成デバイス(9;90;190)であり、対象物を位置合わせするために事前に規定された接触力(FS)を前記対象物に印加するための、力生成デバイス(9;90;190)であって、前記力生成デバイスは、
・剛性のある近位端(520)、剛性のある遠位端(510)、及び前記剛性のある近位端と前記剛性のある遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位(53)と、を備える、アーム(5;50;150)と、
・前記剛性のある近位端を装着部(41;141)に接続する接続部(4;44;144)であって、前記接続部(4)を介して、前記剛性のある近位端を含む前記アームが前記装着部に対して移動可能であるようにされている、接続部(4;44;144)と、
・前記装着部に対して、前記剛性のある近位端に変位を生じさせるべく前記剛性のある近位端上で動作するように配設された、アクチュエータ(61;161)と
によって特徴づけられ、
前記アームの前記剛性のある遠位端には、前記対象物に接触するための接触部位(6;60;106)が設けられており、
前記剛性のある近位端の変位によって、接触力(FS)が前記接触部位によって前記対象物に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位と、前記剛性のある近位端の変位とによって規定される、力生成デバイス。 - 前記剛性のある遠位端に対する前記剛性のある近位端の前記変位が所定の区間内であるときに、前記接触力が一定である、請求項16に記載の力生成デバイス。
- 前記弾性変形可能なアーム部位が、前記剛性のある近位端の前記変位の方向に垂直に延びており、及び/又は前記接触部位は円筒状要素を備える、請求項16又は17に記載の力生成デバイス。
- 前記弾性変形可能なアーム部位が、1つ又は複数のリーフスプリングを備える、請求項16から18のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
- 弾性変形可能なアーム部位が、第1のリーフスプリングと、第2のリーフスプリングとを備え、前記第2のリーフスプリングは、前記第1のリーフスプリングに実質的に平行に配設されるとともに、前記第1のリーフスプリングの表面に実質的に垂直な方向において、前記第1のリーフスプリングから距離を空けて配設されている、請求項19に記載の力生成デバイス。
- 前記剛性のある近位端の前記変位を制限するための変位止め(65)を備える、請求項16から20のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
- 前記変位と反対方向に向けられた偏倚力(FB)を生成するように配設された、偏倚機構を備える、請求項16から21のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
- 前記接続部(4;44)が、第1の端部において前記剛性のある近位端に、第2の端部において前記装着部(41)に接続された、弾性変形可能な接続部位(40)を備える、請求項16から22のいずれか一項に記載の力生成デバイス。
- 前記弾性変形可能な接続部位(40)が、前記剛性のある近位端に接続された剛性部位(42)と、前記装着部(41)の間に延びるとともに、前記弾性変形可能な接続部位(40)が、縮小横断面の部分を備える、請求項23に記載の力生成デバイス。
- 基板(1;101)を位置合わせする方法であって、前記方法は、
・前記基板を、位置合わせ基台(3)上、又は位置合わせ基台(3)上に配置された基板支持部材(2)上に配置することと;
・接触力(FS)を前記基板の縁端(14;102)上に印加するための力生成デバイス(9;90;190)を設けることと;
ここにおいて、前記力生成デバイスは:
・剛性のある近位端(520;152)、剛性のある遠位端(510;151)、及び前記剛性のある近位端と前記剛性のある遠位端の間に延びる弾性変形可能なアーム部位(53;153)とを備える、アーム(5;50;150)であって、前記アームの前記剛性のある遠位端には前記基板の前記縁端に接触するための接触部位(6;60;106)が設けられている、アーム(5;50;150)と、
・前記剛性のある近位端を前記位置合わせ基台に接続する接続部(4;44;144)であって、前記剛性のある近位端を含む前記アームは前記接続部を介して前記位置合わせ基台(3)に対して移動可能である、接続部(4;44;144)と、
・前記剛性のある近位端の変位を生じさせ、作動するように配設されたアクチュエータ(61;161)であって、前記剛性のある近位端の変位によって、前記接触力(FS)が前記接触部位によって前記基板に印加され、前記接触力は、前記弾性変形可能なアーム部位と前記剛性のある近位端を含む変位によって規定される、アクチュエータ(61;161)と、を備えるものであり、及び
・前記剛性のある近位端上で作動する前記アクチュエータを起動し、それによって前記アームの前記剛性のある近位端の前記変位を生じさせ、それによって、前記接触力(FS)を前記縁端に印加するとともに、位置合わせ位置への前記基板の回転及び/又は並進を生じさせることと を備える、方法。 - 前記変位及び/又は前記接触力(FS)が、前記基板の表面によって画定される面内、又はそれに平行な方向に向けられている、請求項25に記載の方法。
- その縁端にノッチ(11)が設けられた基板に適用され、
・前記接触部位の近傍に前記ノッチを配置するステップと、
・前記接触部位と前記ノッチを係合させ、それによって前記アームの前記剛性のある近位端が変位させられるときに、前記基板の回転及び/又は並進を作動させるステップと
を備える、請求項25又は26に記載の方法。 - 前記アームの前記剛性のある近位端の前記変位が、前記基板の前記縁端が前記接触部位と2つの接触部材とに接触するときに終了され、前記接触部位及び前記接触部材は、前記基板の移動を拘束する、請求項25から27のいずれか一項に記載の方法。
- 前記接触部材を第1の位置に設置するステップであって、前記第1の位置は第2の位置から遠隔である、前記接触部材を第1の位置に設置するステップと、
前記基板を前記基板支持部材上に配置するステップと、
前記接触部材を前記第2の位置まで移動させ、それによって前記接触部材を前記基板に向かう方向に移動させるステップと、
前記接触部位及び前記接触部材が前記基板の前記縁端に接触するように、前記剛性のある近位端の変位を生じさせるステップと、
を備える、請求項28に記載の方法。 - 前記接触部材に対して前記力生成デバイスの位置を調節するステップを備える、請求項28又は29のいずれか一項に記載の方法。
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