JP2006026760A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 内縁部に樹脂製の枠を設けた被研磨物保持孔を１つまたはそれ以上有する被研磨物保持用キャリアであって、該被研磨物保持用キャリアの、金属よりなる部分のキャリア基材の表面に、該キャリア基材と同一もしくはより硬度の高い材料で被覆を施したことを特徴とする被研磨物保持用キャリア。
2. 該被研磨物保持用キャリアの面内の厚みの標準偏差が５μｍ以下であることを特徴とする請求項第１項に記載の被研磨物保持用キャリア。
3. 該キャリア基材の表面を被覆する高硬度材料が周期律表の４Ａ族、５Ａ族に属する金属、あるいはその窒化物またはその炭化物あるいはその複合物、もしくはダイヤモンドライクカーボンであることを特徴とする請求項第１項ないし第２項のいずれかに記載の被研磨物保持用キャリア。
4. 被覆前のキャリア基材がラッピング及び／またはポリッシングにより厚みが調整されたものであることを特徴とする請求項第１項ないし第３項のいずれかに記載の被研磨物保持用キャリア。
5. 金属よりなる部分のキャリア基材表面を、該キャリア基材と同一もしくはより硬度の高い材料で被覆を施し、かつ被研磨物保持用キャリアの面内の厚みの標準偏差が５μｍ以下である被研磨物保持用キャリアであって、使用により被覆層の厚みが減少した被研磨物保持用キャリアの表面に、再び該キャリア基材と同一もしくはより硬度の高い材料で被覆を施すことにより厚みを付与したことを特徴とする再生被研磨物保持用キャリア。
6. 研磨布を貼付した該上下定盤の間に請求項第１項ないし第５項のいずれかに記載の該被研磨物保持用キャリアを装着し、該被研磨物保持用キャリア内の保持孔に被研磨物を保持した後、加工面に研磨スラリを供給しつつ研磨布を貼付した該上下定盤および該被研磨物の少なくとも一つを回転させ該被研磨物の両面を鏡面研磨する研磨方法。
7. 被覆前のキャリア基材をラッピング及び／またはポリッシングにより厚みが均一になるように加工を行ない、さらにその表面に該キャリア基材と同一もしくはより硬度の高い材料を被覆することを特徴とする請求項４あるいは請求項５に記載の被研磨物保持用キャリアを製造する方法。