JPH0671556A - ラッピング装置 - Google Patents
ラッピング装置Info
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- JPH0671556A JPH0671556A JP24857292A JP24857292A JPH0671556A JP H0671556 A JPH0671556 A JP H0671556A JP 24857292 A JP24857292 A JP 24857292A JP 24857292 A JP24857292 A JP 24857292A JP H0671556 A JPH0671556 A JP H0671556A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- workpiece
- lapping
- thickness
- main surface
- Prior art date
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 長期間にわたって、効率よく、被加工物を所
定の寸法（厚み）に高精度にラッピング加工することを
可能にする。 【構成】 キャリア３の両主面の少なくとも一部を耐摩
耗性材料から構成するとともに、キャリア３の厚みを被
加工物６の目標とする厚みと実質的に同一にする。また
は、キャリアの複数の位置に、キャリアをその一方の主
面側から他方の主面側に貫通するとともに、一方の主面
側から他方の主面側までの長さが少なくともキャリアの
厚みと同一以上で、被加工物の目標とする厚みと実質的
に同一である耐摩耗性材料からなるスペーサを配設す
る。
定の寸法（厚み）に高精度にラッピング加工することを
可能にする。 【構成】 キャリア３の両主面の少なくとも一部を耐摩
耗性材料から構成するとともに、キャリア３の厚みを被
加工物６の目標とする厚みと実質的に同一にする。また
は、キャリアの複数の位置に、キャリアをその一方の主
面側から他方の主面側に貫通するとともに、一方の主面
側から他方の主面側までの長さが少なくともキャリアの
厚みと同一以上で、被加工物の目標とする厚みと実質的
に同一である耐摩耗性材料からなるスペーサを配設す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、圧電基板や半導体基
板などをラッピング加工するためのラッピング装置に関
し、詳しくは、上プレートと下プレートとの間に配設さ
れたキャリアに被加工物を装着し、被加工物と上下の各
プレートを互に当接させた状態で、上下のプレートとキ
ャリアとを相対移動させることにより被加工物をラッピ
ングするラッピング装置に関する。
板などをラッピング加工するためのラッピング装置に関
し、詳しくは、上プレートと下プレートとの間に配設さ
れたキャリアに被加工物を装着し、被加工物と上下の各
プレートを互に当接させた状態で、上下のプレートとキ
ャリアとを相対移動させることにより被加工物をラッピ
ングするラッピング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、圧電基板や半導体基板などをラ
ッピング加工する場合に用いられるラッピング装置とし
ては、例えば、図５に示すようなラッピング装置があ
る。
ッピング加工する場合に用いられるラッピング装置とし
ては、例えば、図５に示すようなラッピング装置があ
る。
【０００３】この従来のラッピング装置は、上プレート
５１及び下プレート５２の間に、図６に示すように、被
加工物５６を装着するための装着孔５３ａが形成され、
かつ、外周に歯車５３ｂが形成された複数のキャリア５
３を配設し、太陽歯車（サンギア）５４及び内歯歯車
（インターナルギア）５５に、キャリア５３の外周に形
成された歯車５３ｂを噛合させ、太陽歯車５４を回転さ
せることにより、キャリア５３を回転させ、上下の各プ
レート５１，５２とキャリア５３とを相対移動させるよ
うに構成されている（図５）。
５１及び下プレート５２の間に、図６に示すように、被
加工物５６を装着するための装着孔５３ａが形成され、
かつ、外周に歯車５３ｂが形成された複数のキャリア５
３を配設し、太陽歯車（サンギア）５４及び内歯歯車
（インターナルギア）５５に、キャリア５３の外周に形
成された歯車５３ｂを噛合させ、太陽歯車５４を回転さ
せることにより、キャリア５３を回転させ、上下の各プ
レート５１，５２とキャリア５３とを相対移動させるよ
うに構成されている（図５）。
【０００４】そして、このラッピング装置を用いて圧電
基板や半導体基板などの被加工物をラッピング加工する
場合、キャリア５３の装着孔５３ａに被加工物５６を装
着した後、被加工物５６の両面に上下の各プレート５
１，５２を当接させた状態で、外部からラップ剤（砥石
粒）を含有させたラップ液（図示せず）を供給しながら
太陽歯車５４を回転させ、上下のプレート５１，５２と
キャリア５３とを相対移動させる（すなわち、キャリア
５３を上下のプレート５１，５２間で自・公転させる）
ことにより、被加工物５６のラッピングが行われる。
基板や半導体基板などの被加工物をラッピング加工する
場合、キャリア５３の装着孔５３ａに被加工物５６を装
着した後、被加工物５６の両面に上下の各プレート５
１，５２を当接させた状態で、外部からラップ剤（砥石
粒）を含有させたラップ液（図示せず）を供給しながら
太陽歯車５４を回転させ、上下のプレート５１，５２と
キャリア５３とを相対移動させる（すなわち、キャリア
５３を上下のプレート５１，５２間で自・公転させる）
ことにより、被加工物５６のラッピングが行われる。
【０００５】そして、このラッピングは、被加工物５６
が、最終的にキャリア５３の厚みと同じか、またはキャ
リア５３の厚み以上の所定の厚みになるまで行われる。
が、最終的にキャリア５３の厚みと同じか、またはキャ
リア５３の厚み以上の所定の厚みになるまで行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の工程を
繰返して行った場合、キャリア５３が徐々に摩耗し、被
加工物の仕上げ精度にばらつきが生じるという問題点が
ある。
繰返して行った場合、キャリア５３が徐々に摩耗し、被
加工物の仕上げ精度にばらつきが生じるという問題点が
ある。
【０００７】また、上記のような仕上げ精度のばらつき
を防止するためには、ラッピング加工のラッピング作業
を中断して被加工物の寸法を測定しながら最終寸法（目
標寸法）になるまでラッピングを行うことが必要にな
る。そのため、ラッピングに要する時間（加工時間）が
長くなり、効率が低下するという問題点がある。
を防止するためには、ラッピング加工のラッピング作業
を中断して被加工物の寸法を測定しながら最終寸法（目
標寸法）になるまでラッピングを行うことが必要にな
る。そのため、ラッピングに要する時間（加工時間）が
長くなり、効率が低下するという問題点がある。
【０００８】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、長期間にわたって、効率よく、被加工物を所定の
寸法（厚み）に高精度にラッピング加工することが可能
なラッピング装置を提供することを目的とする。
あり、長期間にわたって、効率よく、被加工物を所定の
寸法（厚み）に高精度にラッピング加工することが可能
なラッピング装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願第１の発明のラッピング装置は、上プレートと
下プレートとの間に配設されたキャリアに被加工物を装
着し、被加工物と上下の各プレートを互に当接させた状
態で、上下のプレートとキャリアとを相対移動させるこ
とにより被加工物をラッピングするラッピング装置にお
いて、キャリアの両主面の少なくとも一部を耐摩耗性材
料から構成するとともに、キャリアの厚みを被加工物の
目標とする厚みと実質的に同一にしたことを特徴とす
る。
に、本願第１の発明のラッピング装置は、上プレートと
下プレートとの間に配設されたキャリアに被加工物を装
着し、被加工物と上下の各プレートを互に当接させた状
態で、上下のプレートとキャリアとを相対移動させるこ
とにより被加工物をラッピングするラッピング装置にお
いて、キャリアの両主面の少なくとも一部を耐摩耗性材
料から構成するとともに、キャリアの厚みを被加工物の
目標とする厚みと実質的に同一にしたことを特徴とす
る。
【００１０】また、本願第２の発明のラッピング装置
は、上プレートと下プレートとの間に配設されたキャリ
アに被加工物を装着し、被加工物と上下の各プレートを
互に当接させた状態で、上下のプレートとキャリアとを
相対移動させることにより被加工物をラッピングするラ
ッピング装置において、キャリアの複数の位置に、キャ
リアをその一方の主面側から他方の主面側に貫通すると
ともに、一方の主面側から他方の主面側までの長さが少
なくともキャリアの厚みと同一以上で、被加工物の目標
とする厚みと実質的に同一である耐摩耗性材料からなる
スペーサを配設したことを特徴とする。
は、上プレートと下プレートとの間に配設されたキャリ
アに被加工物を装着し、被加工物と上下の各プレートを
互に当接させた状態で、上下のプレートとキャリアとを
相対移動させることにより被加工物をラッピングするラ
ッピング装置において、キャリアの複数の位置に、キャ
リアをその一方の主面側から他方の主面側に貫通すると
ともに、一方の主面側から他方の主面側までの長さが少
なくともキャリアの厚みと同一以上で、被加工物の目標
とする厚みと実質的に同一である耐摩耗性材料からなる
スペーサを配設したことを特徴とする。
【００１１】
【作用】本願第１の発明のラッピング装置においては、
キャリアの厚みが被加工物の目標とする厚み（目標寸
法）と実質的に同一であることから、上下のプレートが
キャリアの両主面に当接する（すなわち、被加工物表面
とキャリアの両主面とで上下のプレートの面圧を受け
る）までラッピングを行うことにより、被加工物を目標
寸法にまで確実にラッピングすることができるととも
に、キャリアの両主面の少なくとも一部が耐摩耗性材料
から構成されているため、キャリアの摩耗が抑制され、
長期間にわたって安定した加工精度を保持することが可
能になる。
キャリアの厚みが被加工物の目標とする厚み（目標寸
法）と実質的に同一であることから、上下のプレートが
キャリアの両主面に当接する（すなわち、被加工物表面
とキャリアの両主面とで上下のプレートの面圧を受け
る）までラッピングを行うことにより、被加工物を目標
寸法にまで確実にラッピングすることができるととも
に、キャリアの両主面の少なくとも一部が耐摩耗性材料
から構成されているため、キャリアの摩耗が抑制され、
長期間にわたって安定した加工精度を保持することが可
能になる。
【００１２】また、本願第２の発明のラッピング装置に
おいては、キャリアの複数の位置に、キャリアをその一
方の主面側から他方の主面側に貫通するとともに、一方
の主面側から他方の主面側までの長さが少なくともキャ
リアの厚みと同一以上で、被加工物の目標とする厚みと
実質的に同一のスペーサが配設されているため、上下の
プレートが該スペーサの両端に当接するまでラッピング
することにより、被加工物を目標寸法にまで確実にラッ
ピングすることができるとともに、該スペーサが耐摩耗
性材料から構成されているため、その摩耗が抑制され、
長期間にわたって安定した加工精度を保持することが可
能になる。また、スペーサが寸法精度及び耐摩耗性を向
上させる機能を果すため、キャリア自体の寸法精度や、
材質などについて制約を受けることがなく、設計の自由
度を向上させることができるとともに、全体としてのコ
ストの低減を図ることが可能になる。
おいては、キャリアの複数の位置に、キャリアをその一
方の主面側から他方の主面側に貫通するとともに、一方
の主面側から他方の主面側までの長さが少なくともキャ
リアの厚みと同一以上で、被加工物の目標とする厚みと
実質的に同一のスペーサが配設されているため、上下の
プレートが該スペーサの両端に当接するまでラッピング
することにより、被加工物を目標寸法にまで確実にラッ
ピングすることができるとともに、該スペーサが耐摩耗
性材料から構成されているため、その摩耗が抑制され、
長期間にわたって安定した加工精度を保持することが可
能になる。また、スペーサが寸法精度及び耐摩耗性を向
上させる機能を果すため、キャリア自体の寸法精度や、
材質などについて制約を受けることがなく、設計の自由
度を向上させることができるとともに、全体としてのコ
ストの低減を図ることが可能になる。
【００１３】
【実施例】以下、本願発明の実施例を図に基づいて説明
する。なお、本願発明のラッピング装置の全体的な構造
は、前述の図５に示すラッピング装置と同様であるた
め、図５及び前述の従来の技術の欄における該当部分の
記述を援用して、その説明を省略し、ここでは、本願発
明の特徴部分であるキャリアの構造を中心として説明を
行う。
する。なお、本願発明のラッピング装置の全体的な構造
は、前述の図５に示すラッピング装置と同様であるた
め、図５及び前述の従来の技術の欄における該当部分の
記述を援用して、その説明を省略し、ここでは、本願発
明の特徴部分であるキャリアの構造を中心として説明を
行う。
【００１４】［実施例１］図１は、本願第１の発明の一
実施例にかかるラッピング装置を構成するキャリア３を
示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図であ
る。
実施例にかかるラッピング装置を構成するキャリア３を
示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図であ
る。
【００１５】図１に示すように、キャリア３には、被加
工物６を装着するための装着孔３ａが９０°おきに形成
され（４箇所）、かつ、外周に太陽歯車５４（図５）及
び内歯歯車５５（図５）と噛合する歯車３ｂが形成され
ている。
工物６を装着するための装着孔３ａが９０°おきに形成
され（４箇所）、かつ、外周に太陽歯車５４（図５）及
び内歯歯車５５（図５）と噛合する歯車３ｂが形成され
ている。
【００１６】なお、装着孔３ａの形状、配設位置、配設
数などはこれに限定されるものではない。
数などはこれに限定されるものではない。
【００１７】このキャリア３の本体は、例えばＳＫ材な
どの材料から構成されており、また、その両主面側の表
面層７は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジルコニア（ＺｒＯ
2）、炭化タングステン（ＷＣ）などの耐摩耗性材料か
ら構成されている。
どの材料から構成されており、また、その両主面側の表
面層７は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジルコニア（ＺｒＯ
2）、炭化タングステン（ＷＣ）などの耐摩耗性材料か
ら構成されている。
【００１８】さらに、キャリア３は、その厚みＴが、被
加工物の目標とする厚みと同一になるように構成されて
いる。
加工物の目標とする厚みと同一になるように構成されて
いる。
【００１９】このように構成されたキャリア３を使用し
たラッピング装置においては、キャリア３の厚みが被加
工物６の目標とする厚みと実質的に同一であることか
ら、図２に示すように、上下のプレート５１，５２がキ
ャリア３の両主面に当接する（すなわち、被加工物表面
とキャリアの両主面とで上下のプレートの面圧を受け
る）までラッピングを行うことにより、被加工物を目標
とする厚みにまで確実にラッピング加工することができ
るとともに、キャリア３の両主面の表面層７が耐摩耗性
材料から構成されているため、キャリア３の摩耗が抑制
され、長期間にわたって安定した加工精度を保持するこ
とが可能になる。
たラッピング装置においては、キャリア３の厚みが被加
工物６の目標とする厚みと実質的に同一であることか
ら、図２に示すように、上下のプレート５１，５２がキ
ャリア３の両主面に当接する（すなわち、被加工物表面
とキャリアの両主面とで上下のプレートの面圧を受け
る）までラッピングを行うことにより、被加工物を目標
とする厚みにまで確実にラッピング加工することができ
るとともに、キャリア３の両主面の表面層７が耐摩耗性
材料から構成されているため、キャリア３の摩耗が抑制
され、長期間にわたって安定した加工精度を保持するこ
とが可能になる。
【００２０】また、被加工物６の表面とキャリア３の表
面とで上下のプレート５１，５２の面圧を受けた時点を
検出することにより、ラッピング完了時を確実に検出す
ることが可能になり、厚み（寸法）を測定するために加
工を途中で中断する必要がなくなるため、加工工程を短
縮化することができる。
面とで上下のプレート５１，５２の面圧を受けた時点を
検出することにより、ラッピング完了時を確実に検出す
ることが可能になり、厚み（寸法）を測定するために加
工を途中で中断する必要がなくなるため、加工工程を短
縮化することができる。
【００２１】なお、上記実施例では、キャリア３の両主
面の表面全体を耐摩耗性材料で構成した場合について説
明したが、表面全体ではなく、その一部に、例えば、図
３に示すように、リング状の耐摩耗性材料からなる層７
ａ，７ｂを配設することにより上記実施例とほぼ同等の
効果を得ることも可能である。
面の表面全体を耐摩耗性材料で構成した場合について説
明したが、表面全体ではなく、その一部に、例えば、図
３に示すように、リング状の耐摩耗性材料からなる層７
ａ，７ｂを配設することにより上記実施例とほぼ同等の
効果を得ることも可能である。
【００２２】また、上記実施例では、キャリア３の両主
面の表面だけを耐摩耗性材料で構成した場合について説
明したが、キャリア３全体をアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジ
ルコニア（ＺｒＯ2）、炭化タングステン（ＷＣ）など
の耐摩耗性材料で構成することも可能である。
面の表面だけを耐摩耗性材料で構成した場合について説
明したが、キャリア３全体をアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジ
ルコニア（ＺｒＯ2）、炭化タングステン（ＷＣ）など
の耐摩耗性材料で構成することも可能である。
【００２３】［実施例２］図４は、本願第２の発明にか
かるキャリア１３を示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は要部を示す斜視図、（ｃ）は要部を示す断面図
である。
かるキャリア１３を示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は要部を示す斜視図、（ｃ）は要部を示す断面図
である。
【００２４】このキャリア１３には、被加工物６を装着
するための装着孔３ａが９０°おきに形成され（４箇
所）、かつ、外周には歯車３ｂが形成されている。ま
た、キャリア１３には、９０°の間隔をおいて４箇所
に、一方の主面側から他方の主面側に貫通する、アルミ
ナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジルコニア（ＺｒＯ2）、炭化タング
ステン（ＷＣ）などの耐摩耗性材料からなるスペーサ１
４が配設されている。このスペーサ１４の、一方の主面
側から他方の主面側までの長さＬは、被加工物６の目標
とする厚みと実質的に同じに構成され、また、スペーサ
１４の両端面（上下面）は互に平行になるように構成さ
れている。
するための装着孔３ａが９０°おきに形成され（４箇
所）、かつ、外周には歯車３ｂが形成されている。ま
た、キャリア１３には、９０°の間隔をおいて４箇所
に、一方の主面側から他方の主面側に貫通する、アルミ
ナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジルコニア（ＺｒＯ2）、炭化タング
ステン（ＷＣ）などの耐摩耗性材料からなるスペーサ１
４が配設されている。このスペーサ１４の、一方の主面
側から他方の主面側までの長さＬは、被加工物６の目標
とする厚みと実質的に同じに構成され、また、スペーサ
１４の両端面（上下面）は互に平行になるように構成さ
れている。
【００２５】このような構成を有するキャリア１３を使
用したラッピング装置（特に図示せず）においては、上
下のプレートがスペーサ１４の両端に当接するまでラッ
ピング加工を行うことにより、被加工物６が目標とする
厚みになるまで確実にラッピングすることができるとと
もに、スペーサが耐摩耗性材料から構成されているた
め、その摩耗が抑制され、長期間にわたって安定した加
工精度を保持することが可能になる。
用したラッピング装置（特に図示せず）においては、上
下のプレートがスペーサ１４の両端に当接するまでラッ
ピング加工を行うことにより、被加工物６が目標とする
厚みになるまで確実にラッピングすることができるとと
もに、スペーサが耐摩耗性材料から構成されているた
め、その摩耗が抑制され、長期間にわたって安定した加
工精度を保持することが可能になる。
【００２６】また、本願第１の発明にかかる上記実施例
１と同様に、被加工物６の表面とスペーサ１４の両端面
とで上下のプレートの面圧を受けた時点を検出すること
により、ラッピング完了時を確実に検出することが可能
になり、厚み（寸法）を測定するために加工を途中で中
断する必要がなくなるため、加工工程を短縮化すること
ができる。
１と同様に、被加工物６の表面とスペーサ１４の両端面
とで上下のプレートの面圧を受けた時点を検出すること
により、ラッピング完了時を確実に検出することが可能
になり、厚み（寸法）を測定するために加工を途中で中
断する必要がなくなるため、加工工程を短縮化すること
ができる。
【００２７】さらに、スペーサ１４が寸法精度及び耐摩
耗性を向上させる機能を果すため、キャリア１３自体の
寸法精度や材質などについての制約がなくなり、設計の
自由度が向上するとともに、全体としてのコストの低減
を図ることが可能になる。
耗性を向上させる機能を果すため、キャリア１３自体の
寸法精度や材質などについての制約がなくなり、設計の
自由度が向上するとともに、全体としてのコストの低減
を図ることが可能になる。
【００２８】なお、本願第２の発明にかかるキャリア１
３（図４）においては、スペーサ１４の長さＬはキャリ
ア１３の厚みＴ以上であればよいが、キャリア１３と上
下のプレートとの無用の接触を避けるために、キャリア
１３の厚みをスペーサ１４の長さＬより小さくすること
が望ましい。
３（図４）においては、スペーサ１４の長さＬはキャリ
ア１３の厚みＴ以上であればよいが、キャリア１３と上
下のプレートとの無用の接触を避けるために、キャリア
１３の厚みをスペーサ１４の長さＬより小さくすること
が望ましい。
【００２９】また、スペーサ１４の配設位置は特に制約
されるものではないが、少なくとも３箇所に、できれば
等間隔に配設することが望ましい。
されるものではないが、少なくとも３箇所に、できれば
等間隔に配設することが望ましい。
【００３０】なお、スペーサの具体的形状に特別の制約
はなく、上記実施例のような円柱状のスペーサ１４に限
らず、三角柱や四角柱などの種々の形状のスペーサを用
いることが可能である。
はなく、上記実施例のような円柱状のスペーサ１４に限
らず、三角柱や四角柱などの種々の形状のスペーサを用
いることが可能である。
【００３１】なお、本願発明は、上記実施例に限定され
るものではなく、ラッピング装置を構成する上下のプレ
ートの構造や、上プレートの支持方法、キャリアの駆動
方法などに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の
応用、変形を加えることが可能である。
るものではなく、ラッピング装置を構成する上下のプレ
ートの構造や、上プレートの支持方法、キャリアの駆動
方法などに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の
応用、変形を加えることが可能である。
【００３２】
【発明の効果】上述のように、本願第１の発明のラッピ
ング装置は、キャリアの両主面の少なくとも一部を耐摩
耗性材料から構成するとともに、キャリアの厚みを被加
工物の目標とする厚みと実質的に同一にし、また、本願
第２の発明のラッピング装置は、キャリアの複数の位置
に、キャリアをその一方の主面側から他方の主面側に貫
通するとともに、一方の主面側から他方の主面側までの
長さが少なくともキャリアの厚みと同一以上で、被加工
物の目標とする厚みと実質的に同一である耐摩耗性材料
からなるスペーサを配設しているので、上下のプレート
がキャリアの両主面またはスペーサの両端面に当接する
（すなわち、被加工物表面とキャリアの両主面またはス
ペーサの両端面とで上下のプレートの面圧を受ける）ま
でラッピングを行うことにより、被加工物を目標とする
厚みにまで確実にラッピングすることができるととも
に、長期間にわたって安定した加工精度を保持すること
が可能になる。
ング装置は、キャリアの両主面の少なくとも一部を耐摩
耗性材料から構成するとともに、キャリアの厚みを被加
工物の目標とする厚みと実質的に同一にし、また、本願
第２の発明のラッピング装置は、キャリアの複数の位置
に、キャリアをその一方の主面側から他方の主面側に貫
通するとともに、一方の主面側から他方の主面側までの
長さが少なくともキャリアの厚みと同一以上で、被加工
物の目標とする厚みと実質的に同一である耐摩耗性材料
からなるスペーサを配設しているので、上下のプレート
がキャリアの両主面またはスペーサの両端面に当接する
（すなわち、被加工物表面とキャリアの両主面またはス
ペーサの両端面とで上下のプレートの面圧を受ける）ま
でラッピングを行うことにより、被加工物を目標とする
厚みにまで確実にラッピングすることができるととも
に、長期間にわたって安定した加工精度を保持すること
が可能になる。
【００３３】また、被加工物の表面とキャリアの表面ま
たはスペーサの両端面とで上下のプレートの面圧を受け
た時点を検出することにより、ラッピング完了時を確実
に検出することが可能になり、厚み（寸法）を測定する
ために加工を途中で中断する必要がなくなるため、加工
工程を短縮化することができる。
たはスペーサの両端面とで上下のプレートの面圧を受け
た時点を検出することにより、ラッピング完了時を確実
に検出することが可能になり、厚み（寸法）を測定する
ために加工を途中で中断する必要がなくなるため、加工
工程を短縮化することができる。
【図１】本願第１の発明の一実施例にかかるラッピング
装置のキャリアを示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は断面図である。
装置のキャリアを示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は断面図である。
【図２】本願第１の発明の一実施例にかかるラッピング
装置を用いたラッピング加工の一工程を示す断面図であ
る。
装置を用いたラッピング加工の一工程を示す断面図であ
る。
【図３】本願第１の発明の他の実施例にかかるキャリア
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図４】本願第２の発明にかかるラッピング装置のキャ
リアを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は要部を
示す斜視図、（ｃ）は要部を示す断面図である。
リアを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は要部を
示す斜視図、（ｃ）は要部を示す断面図である。
【図５】従来のラッピング装置を示す断面図である。
【図６】従来のラッピング装置のキャリアを示す平面図
である。
である。
３，１３ キャリア ３ａ 装着孔 ３ｂ キャリアの外周部の歯車 ６ 被加工物 ７ 耐摩耗性材料からなる表面層 １４ スペーサ ５１ 上プレート ５２ 下プレート
Claims (2)
- 【請求項１】 上プレートと下プレートとの間に配設さ
れたキャリアに被加工物を装着し、被加工物と上下の各
プレートを互に当接させた状態で、上下のプレートとキ
ャリアとを相対移動させることにより被加工物をラッピ
ングするラッピング装置において、キャリアの両主面の
少なくとも一部を耐摩耗性材料から構成するとともに、
キャリアの厚みを被加工物の目標とする厚みと実質的に
同一にしたことを特徴とするラッピング装置。 - 【請求項２】 上プレートと下プレートとの間に配設さ
れたキャリアに被加工物を装着し、被加工物と上下の各
プレートを互に当接させた状態で、上下のプレートとキ
ャリアとを相対移動させることにより被加工物をラッピ
ングするラッピング装置において、キャリアの複数の位
置に、キャリアをその一方の主面側から他方の主面側に
貫通するとともに、一方の主面側から他方の主面側まで
の長さが少なくともキャリアの厚みと同一以上で、被加
工物の目標とする厚みと実質的に同一である耐摩耗性材
料からなるスペーサを配設したことを特徴とするラッピ
ング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24857292A JPH0671556A (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | ラッピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24857292A JPH0671556A (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | ラッピング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0671556A true JPH0671556A (ja) | 1994-03-15 |
Family
ID=17180138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24857292A Withdrawn JPH0671556A (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | ラッピング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0671556A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10249719A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-22 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 繊維強化プラスチック製キャリアプレート |
| JP2001328063A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 研磨装置及びその装置を用いた研磨方法 |
| JP2006026760A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Speedfam Co Ltd | 被研磨物保持用キャリア |
| JP2010115731A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
-
1992
- 1992-08-24 JP JP24857292A patent/JPH0671556A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10249719A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-22 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 繊維強化プラスチック製キャリアプレート |
| JP2001328063A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 研磨装置及びその装置を用いた研磨方法 |
| JP2006026760A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Speedfam Co Ltd | 被研磨物保持用キャリア |
| JP2010115731A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991102 |