JP2005254351A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. キャリア基材の全表面がダイヤモンドライクカーボンで被覆されていることを特徴とする被研磨物保持用キャリア。
2. 研磨布を貼付した上下定盤の間に被研磨物を挟持し圧接しながら、該上下定盤および該被研磨物の少なくとも一つを回転させ該被研磨物の両面を同時に研磨する両面研磨装置に用いることを特徴とする、請求項第１項に記載の被研磨物保持用キャリア。
3. ダイヤモンドライクカーボン膜の厚みが０．１０μｍから２０μｍであることを特徴とする請求項第１項または、請求項第２項に記載の被研磨物保持用キャリア。
4. 基材が、ステンレス、鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、樹脂、繊維強化樹脂のいずれか、あるいはその複合物であることを特徴とする請求項第1項ないし第３項のいずれかに記載の被研磨物保持用キャリア。
5. 被覆前のキャリア基材がラッピング及び／またはポリッシングにより厚みが調整されたものであることを特徴とする請求項第１項ないし第４項のいずれかに記載の被研磨物保持用キャリア。
6. 被覆前のキャリア基材の厚みが、厚みの標準偏差が０．４％以内になるように加工されたものであることを特徴とする請求項第５項に記載の被研磨物保持用キャリア。
7. 減圧可能なチャンバーの中に対向するアノード電極とカソード電極を施し、該アノード電極と該カソード電極の間にキャリア基材を配し、原料ガスを供給しながら該アノード電極と該カソード電極の間に高周波電力を印加して基材表面にダイヤモンドライクカーボン膜を生成させるプラズマＣＶＤ法による表面被覆装置を用い、該アノード電極と該カソード電極の間に基材を配し、ダイヤモンドライクカーボン膜生成中もしくは生成の間に基材の支持個所を移動させることを特徴とする請求項第１項ないし第６項のいずれかに記載の被研磨物保持用キャリアの製造方法。
8. キャリア基材の厚みを均一にした後、基材の表面にダイヤモンドライクカーボンを被覆することを特徴とする請求項第７項に記載の被研磨物保持用キャリアの製造方法。
9. 研磨布を貼付した該上下定盤の間に請求項第１項ないし第６項のいずれかに記載の被研磨物保持用キャリアを装着し、該被研磨物保持用キャリア内の保持孔に被研磨物を保持した後、加工面に研磨スラリを供給しつつ該上下定盤および該被研磨物の少なくとも一つを回転させ該被研磨物の両面を鏡面研磨する研磨方法において、研磨布がスエード調合成皮革、ポリウレタンもしくは、不織布をポリウレタンで結合した複合物より選ばれる一つであることを特徴とする該被研磨物の研磨方法。