JP2010036288A - 研磨用治具 - Google Patents

Abstract

【課題】研磨装置においてワークピースを保持する治具（例えばキャリア）の耐摩耗性を安価に向上させ、シリコンウェーハの研磨等工程における生産性を向上させ、研磨等されたシリコンウェーハの平坦度を高く保つことができる治具及びその治具の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハ１４の少なくとも片面を研磨する研磨装置に使用され、前記シリコンウェーハ１４を保持するワークピースキャリア１２において、前記ワークピースキャリア１２は、カーボンブラック及び／又はサーマルカーボンを０．１重量％以上含む樹脂部からなる。
【選択図】図１

Description

本発明は、両面研磨装置等の研磨装置に使用される被研磨部材を保持する研磨用キャリア若しくはホルダ、及びそれらの製造方法に関する。

一般に、シリコンウェーハは、ラッピング工程や研磨工程等を含む製造工程を経て製造されている。

このようなラッピング工程若しくは研磨工程（以下「研磨等工程」という）では、シリコンウェーハの片面若しくは両面を定盤等に固定された研磨布等に接触させ、必要に応じて研磨剤を含む研磨液を供給して、該片面若しくは両面がラッピング若しくは研磨（以下「研磨等」という）される。このとき、十分なラッピング速度若しくは研磨速度が得られ、ラップ後若しくは研磨後のシリコンウェーハの表面が所望の形状（平坦度等）や粗さを備え、不純物等によるコンタミが生じないことが望まれる。また、シリコンウェーハは、一般に薄い円板形状をしており、研磨等工程において単独で保持することが容易ではない。そのため、ワークピースキャリア、ワークピースホルダ等と呼ばれる治具により、シリコンウェーハは固定若しくは拘束されて、研磨等される。

シリコンウェーハの両面を同時に研磨等する場合、シリコンウェーハを保持するワークピースキャリアは、シリコンウェーハとほぼ同等の厚みを有し、高い平坦度を維持することにより、研磨等後のシリコンウェーハの所望の形状、平坦度、表面粗さ等を得ることができる。しかしながら、ワークピースキャリアの表面もシリコンウェーハの表面と同様、研磨等工程において、研磨布等に接触し表面が摩耗する。この摩耗速度が大きいと、研磨等工程中にワークピースキャリアの平坦度が悪くなり、被研磨等材であるシリコンウェーハの平坦度も悪化するおそれがある。また、シリコンウェーハを取り替えて何回もワークピースキャリアを使用する場合は、摩耗により平坦度等が悪くなると新しいシリコンウェーハの研磨等には使用できなくなるので、繰返し使用する回数が減り（キャリアの交換サイクルの短期化）、生産性が低下する。また、シリコンウェーハの片面を研磨等する場合でもシリコンウェーハの研磨面とワークピースキャリアの表面とが同等の高さにあり、研磨等工程中にワークピースキャリアの表面の摩耗が同様に問題となる。

このワークピースキャリアは、一般に樹脂製部材若しくは金属部材及び樹脂部材の組合せから構成されるが、樹脂は柔らかく条件により容易に摩耗し、また、樹脂中に含まれる金属や金属部材から摩耗した金属が、シリコンウェーハを汚染するおそれもある。そのため、樹脂製部材や金属部材の摩耗を抑制する材料組成、表面コーティング材等が強く望まれている。

このため、両面研磨用キャリアの母材の材質をステンレス・スチール（ＳＵＳ）とし、その表面にダイヤモンド・ライク・カーボン、窒化膜、サファイア膜、チタンナイトライド膜のうちいずれかの材質を配置することが提案されている（例えば、特許文献１）。

また、両面研磨装置でワークピースを保持するために使用されるキャリア材について、摩耗特性ではなく機械的特性を向上させる方法として、熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹脂よりなる樹脂を、金属製シートあるいはセラミックスシートからなるシート類、あるいは金属繊維、セラミックス繊維、ガラス繊維、カーボン繊維あるいは有機性の合成繊維から選ばれた素材のうち少なくとも一つよりなる布帛類を積層した積層体にて補強した複合材料の薄板よりなるものであって、前記熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹脂がコロイド状金属酸化物微粒子及び／又は無機微粉末を内添したものとすることが提案されている（例えば、特許文献２）。

そして、剛性等の機械的特性を向上させるために、鋼材を基材にする研磨キャリアにおいて、カーボンナノチューブ素材を含有させ、従来の鋼材（ブルースチィール材料）とカーボンナノチューブとの組成構造が複雑に入り込み、双方での組合せ強度を得ることが提案されている（例えば、特許文献３）。

また、研磨装置の上定盤と下定盤との間に装着して被研磨物の研磨工程に用いる研磨用保持材について、複数の繊維強化型プリプレグを積層してなる内層と、その内層の両面に形成される複数の繊維強化型プリプレグを積層してなる表面層とからなり、両表面層は、それぞれ、複数の一方向炭素繊維強化型プリプレグが、３６０度の角度範囲において、その炭素繊維の配向方向を、研磨用保持材の回転中心に対して所定の角度回転させるようにずらして積層されてなることにより、曲げ強度が高く、研磨時にキャリアが撓んだり反ったりすることがないようにすることが提案されている（例えば、特許文献４）。
国際公開ＷＯ２００６／００１３４０号公報 特開２０００−１２７０３０号公報 特開２００４−５８２５７号公報 特開２００８−４４０８３号公報

しかしながら、ステンレスにダイヤモンド・ライク・カーボンを付けたものは、キャリアを特殊な環境下で処理しなければならず、コスト高であり、生産性が低い。また、一旦ダイヤモンド・ライク・カーボンが剥離すれば、その効果はなくなってしまうおそれがある。また、熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹脂よりなる樹脂を、金属製シートあるいはセラミックスシートからなるシート類、あるいは金属繊維、セラミックス繊維、ガラス繊維、カーボン繊維あるいは有機性の合成繊維から選ばれた素材のうち少なくとも一つよりなる布帛類を積層した積層体にて補強した複合材料の薄板よりなるものでは、機械的特性は向上するが、耐摩耗性が十分とは言えず、シリコンウェーハの平坦度を十分確保することが難しい。また、鋼材（ブルースチィール材料）とカーボンナノチューブとの組成構造が複雑に入り込む構造については、具体的な製造方法が不明であり、発明の内容が明確でなく、また、剛性は向上するかもしれないが、耐摩耗性が十分とは言えず、シリコンウェーハの平坦度を十分確保することが難しい。そして、複数の繊維強化型プリプレグを積層してなる研磨用保持材では、曲げ強度が高く、研磨時にキャリアが撓んだり反ったりすることがないかもしれないが、耐摩耗性が十分とは言えず、シリコンウェーハの平坦度を十分確保することが難しい。

そこで、本発明では、研磨装置においてワークピースを保持する治具（例えばキャリア）の耐摩耗性を安価に向上させ、シリコンウェーハの研磨等工程における生産性を向上させ、研磨等されたシリコンウェーハの平坦度を高く保つことができる治具及びその治具の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明における治具は、プレート状の研磨対象物の片面若しくは両面を研磨する研磨装置に前記研磨対象物を保持するために使用され、カーボンブラック及び／又はサーマルカーボンを含む樹脂部からなることを特徴とする。より具体的には、以下のようなものを提供することができる。

（１）プレート状の研磨対象物の少なくとも片面を研磨する研磨装置に使用され、前記研磨対象物を保持する研磨用治具において、前記研磨用治具は、カーボンブラック及び／又はサーマルカーボンを０．１重量％以上含む樹脂部からなることを特徴とする研磨用治具を提供することができる。

ここで、研磨対象物としては、例えば、半導体ウェーハ、より具体的には、シリコンウェーハを含むことができる。シリコンウェーハは、ＣＺ法（ＭＣＺ法を含む）により製造されたインゴットをスライスして得ることができる。研磨対象物の大きさは特に限定されず、如何なるものにも適用可能であるが、例えば、１００〜４５０ｍｍの直径で、３００μｍから９００μｍの厚みのシリコンウェーハを研磨対象物として本発明を適用することができる。研磨用治具としては、例えば、ワークピースキャリア若しくはワークピースホルダ等を含むことができ、研磨対象物を保持する開口等を備えることができる。また更に当該研磨用治具が、他の治具に保持されてもよい。

カーボンブラックは、工業的に品質制御して製造される直径３〜５００ｎｍ程度の炭素の微粒子のことを意味することができる。炭素の微粒子として広義の用語であるススも含むことができる。化学的には一応単体の炭素として扱われるが、表面には様々な官能基が残存した複雑な組成を持ち、いわゆる無定形炭素と呼ばれるものに分類することもできる。粒子径（粒の大きさ）、ストラクチャー（粒子のつながり）、表面性状（官能基）をさまざまに変えることにより特性を変えることができるが、製造法によりある程度コントロールできる。黒度や塗料との親和性を変えたり、導電性を持たせることもできる。一般に、天然ガスや石油、クレオソート油等の炭化水素の熱分解と不完全燃焼の組合せによって得られる。通常、製法により次の３種類が知られている。第１は、チャネルブラックである。これはガス状炭化水素炎を冷チャネル鋼にぶつけて作られ、小粒子はカーボンブラックとして使用される。第２は、サーマルブラックである。これは熱分解で作られ、粒子が大きく、顔料として用いられる。第３は、ファーネスブラックである。これはファーネス炉で作られ、タイヤ等のゴム製品の補強剤、プラスチックの導電性賦与等に使用される。このようなカーボンブラックのうち、特に平均粒径が約１０ｎｍ以上のものが好ましい。より好ましくは、２０ｎｍ以上であり、更に好ましくは、５０ｎｍ以上である。また、強度、摺動性の観点から、１０００ｎｍ以下が好ましく、より好ましくは、５００ｎｍ以下で、更に好ましくは、３００ｎｍ以下である。上記樹脂部は、このようなカーボンブラックを０．１重量％以上、より好ましくは、１．０重量％以上、更に好ましくは、５．０重量％以上含む。また、多く含みすぎると強度が低下するので、３０．０重量％以下が好ましく、より好ましくは２０．０重量％以下であり、更に好ましくは１０．０重量％以下である。

なお、本明細書において、平均粒径とは、以下のように定義される。粒子径は、例えば、沈降法による測定においては沈降速度が等価な球の直径として、レーザ散乱法においては散乱特性が等価な球の直径として定義される。また、粒子径の分布を粒径（粒度）分布という。粒径分布において、ある粒子径より大きい質量の総和が、全粉体の５０％を占める場合の粒子径が、平均粒径Ｄ５０として定義される。この定義及び用語は、いずれも当業者において周知であり、例えば、ＪＩＳＺ８９０１「試験用粉体及び試験用粒子」、又は、粉体工学会編「粉体の基礎物性」（ＩＳＢＮ４−５２６−０５５４４−１）の第１章等諸文献に記載されている。このような粒径は、レーザ回折／散乱式粒子径分布測定装置、遠心式自動粒度分布測定装置（例えば、堀場製作所製の遠心式自動粒度分布測定装置ＣＡＰＡ−３００）、動的光散乱式粒径分布測定装置（例えば（株）大塚電子製ＤＬＳ−７００や、日機装（株）製ＵＰＡ−ＥＸ２５０）などによって測定される。

サーマルカーボンは、上記サーマル式で製造される特殊カーボンブラックを意味することができる。通常ゴム用に使用されるファーネス式で製造されるカーボンブラックと比較し、次のような特徴がある。精製された天然ガス１００％から製造されるため、とても純度が高い（カーボン含有量９７％以上）。粒子型が真球状になっている。ストラクチャーがないため補強性は期待出来ない反面、加工性、コンプレッションセットは改善される。粒子径が３００ｎｍ（他カーボンブラックは２０〜６０ｎｍ）、また真球のため、導電性の安定性に付与する。また大きな粒子径は気体不透過性に貢献する。

（２）前記樹脂部は、更に、ガラス繊維及び／又はナイロン繊維を１０．０重量％以上含むことを特徴とする上記（１）に記載の研磨用治具を提供することができる。

ガラス繊維（グラスファイバー、Glass fiber）は、一般に、ガラスを融解、牽引して繊維状にしたものを意味することができる。一般に、ガラス繊維は綿状や板状に加工して耐熱断熱材（商品名：グラスウール）として使われる他、スタッドレスタイヤのひっかき材としても使用されている。また、繊維としては引張強度が高いため、膜構造建築物にも利用される。その際、ガラス繊維単独では耐候性が不十分であるため、コーティングが施されることが多い。本発明で用いられるガラス繊維は、その繊維径が、１．０μｍ以上であることが好ましく、５．０μｍ以上がより好ましく、１０．０μｍ以上が更に好ましい。また、太すぎると繊維としての性能が低下するので、２００．０μｍ以下が好ましく、１００．０μｍ以下がより好ましく、５０．０μｍ以下が更に好ましい。また、繊維長は、５０．０μｍ以上であることが好ましく、１００．０μｍ以上がより好ましく、１５０．０μｍ以上が更に好ましい。また、長すぎると機械的強度が低下するので、５００．０μｍ以下が好ましく、３００．０μｍ以下がより好ましく、２００．０μｍ以下が更に好ましい。また、繊維径と繊維長の比は、１：２以上が好ましく、１：１０以上がより好ましく、１：２０以上が更に好ましい。また、同比は、１：２００以下が好ましく、１：１００以下がより好ましく、１：５０以下が更に好ましい。

ナイロン繊維として、ε−カプロラクタムの開環重合によって作られたポリマーを溶融紡糸して作るナイロン６タイプと、ヘキサメチレンジアミン及びアジピン酸の縮合重合によって作られたポリマーを溶融紡糸して作るナイロン６６タイプの２種類が知られている。ここでは、ナイロン６タイプのものがより好ましい。比重は、約１．１４で、通常は、５．０〜６．５ｇ／ｄの強度を有するが、１０ｇ／ｄの高強度のものや、１１ｇ／ｄ以上の超高強度のものもある。ナイロン６タイプのものでも、特に、ポリカプラミドからなる繊維が好ましい。通常、ポリカプラミドは原料カプロラクタムからの重合時に、低分子量成分が１０〜１２％含まれた状態で生成される。低分子量成分は昇華温度が低く気化しやすいため、これを含んだ状態では後工程で使用できない。このため、低分子量成分を熱水などで抽出除去した後、溶融紡糸などに供することができる。

以上のようなガラス繊維及び／又はナイロン繊維を、総量で、５．０重量％以上含むことが好ましく、より好ましくは、１０．０重量％以上、更に好ましくは２０．０重量％以上を含んでよい。また、強度、耐磨耗性の観点から、総量で、７０．０重量％以下であることが好ましく、より好ましくは、６０．０重量％以下、更に好ましくは５０．０重量％以下である。

（３）前記研磨対象物の厚みとほぼ同じ厚みを有する上記（１）又は（２）に記載の研磨用治具を提供することができる。

（４）前記研磨対象物は、前記樹脂部が備える開口に保持され、前記樹脂部は、金属製のキャリアが備える開口に保持され、前記樹脂部の厚み、前記金属製のキャリアの厚み、前記研磨対象物の厚みの順で大きくなることを特徴とする上記（１）から（３）のいずれかに記載の研磨用治具を提供することができる。

上述の樹脂部は、市販の合成樹脂から構成されてよい。合成樹脂は、高分子化合物からなる物質の中で、成型品や薄膜にして使用することを目的として人為的に製造されたものを意味することができる。熱可塑性若しくは熱硬化性の合成樹脂がある。熱可塑性樹脂（Thermoplastic resin）は、ガラス転移温度又は融点まで加熱することによって軟らかくなり、目的の形に成形できる。一般的に、熱可塑性樹脂は切削・研削等の機械加工がしにくい事が多く、加温し流動化したところで金型に流し込み、冷し固化させて最終製品とする射出成形加工等が広く用いられている。一方、熱硬化性樹脂（Thermosetting resin）は、加熱すると重合を起こして高分子の網目構造を形成し、硬化して元に戻らなくなる。使用に際しては、流動性を有するレベルの比較的低分子の樹脂を所定の形状に整形し、その後加熱等により反応させて硬化させる。接着剤やパテでＡ液（基剤）とＢ液（硬化剤）を混ぜて使うタイプがあるが、これは熱硬化性樹脂のエポキシ樹脂で、混合により重合反応が起こっている。熱硬化性樹脂は硬くて熱や溶剤に強いので、電気部品やテーブルといった家具の表面処理、灰皿、焼き付け塗料などに使用される。例えば、フェノール樹脂（ＰＦ）、エポキシ樹脂（ＥＰ）、メラミン樹脂（ＭＦ）、尿素樹脂（ユリア樹脂、ＵＦ）、不飽和ポリエステル樹脂（ＵＰ）、アルキド樹脂、ポリウレタン（ＰＵＲ）、熱硬化性ポリイミド（ＰＩ）等を例としてあげることができる。本発明で用いることができる樹脂は、熱可塑性樹脂であり、低粘度という性質を有する。

本発明によれば、カーボンブラック及び／又はサーマルカーボンを０．１重量％以上含む樹脂部からなる研磨用治具を備えるため、治具の摩耗が低く抑えられ、好ましい平坦度の半導体ウェーハを研磨等によって得ることができる。また、コンタミの原因となる重金属を含まないので、研磨等後の半導体ウェーハの特性を高く維持することができる。シリコンウェーハを研磨する為に用いるワークピースキャリア（ホルダ）を製作するのに用いる樹脂には、「カーボン」を添加、含有させるのが最適である。樹脂部は、樹脂製ワークピースキャリア（ホルダ）であり、金属製ワークピースキャリア（ホルダ）に用いられるインジェクション部分等の構成部分に該当する。本発明により、研磨用ワークピースキャリア（ホルダ）に構成される樹脂部は、滑り性、耐磨耗性が向上するので、研磨用ワークピースキャリアの使用ライフが長くなる。導電性が低い樹脂を用いて、研磨用ワークピースキャリアを製作、又は、導電性が低い樹脂を構成部品に用いるとＤＬＣコーティング施工をする際にＤＬＣの密着性が低い。しかし、本願の発明のワークピースキャリアでは、この密着性が向上する。即ち、樹脂部に「カーボン」を添加、含有させることにより耐磨耗性、滑り性の向上を図ることができ、ＤＬＣコーティングを行う際に、コーティングの密着力を強くすることできる。そのため、ワークピースキャリア（ホルダ）に用いられる構成部のライフ延長が可能であり、樹脂製ワークピースキャリア（ホルダ）のライフ延長が可能である。即ち、使用可能期間を延ばすことができる。

次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。各図面において同一の構成又は機能を有する構成要素及び相当部分には、同一の符号を付し、その説明は省略する。また、以下の説明では、本発明に係る実施の態様の一例を示したに過ぎず、当業者の技術常識に基づき、本発明の範囲を超えることなく、適宜変更可能である。従って、本発明の範囲はこれらの具体例に限定されるものではない。また、これらの図面は、説明のために強調されて表されており、実際の寸法とは異なる場合がある。

図１は、本発明の実施形態であるワークピースキャリアにシリコンウェーハを保持したアセンブリを示す平面図である。（ａ）は、ワークピースキャリア１２が、１枚のシリコンウェーハ１４を保持し、研磨準備体（アセンブリ）１０を構成するものの平面図である。（ｂ）は、ワークピースキャリア２２が、３枚のシリコンウェーハ２４を保持し、研磨準備体（アセンブリ）２０を構成するものの平面図である。この実施例において、ワークピースキャリア１２の径は、約５００ｍｍで、厚みは７８０μｍである。また、シリコンウェーハ１４の径は、約３０１ｍｍで、厚みは８００μｍである。このアセンブリ１０は、予め成形されたワークピースキャリア１２の開口部に、シリコンウェーハ１４を嵌め込んでもよく、或いは、シリコンウェーハ１４を配置した型内に、樹脂原料を流し込むことにより、開口部を持つワークピースキャリア１２を備えてもよい。シリコンウェーハ１４、２４は、ワークピースキャリア１２、２２のそれぞれの開口部内で回動自由にクリアランスをもって配置されてもよく、また、締まりバメのように固定されてもよい。

図２は、研磨準備体（アセンブリ）３０の平面図を示す。このアセンブリ３０は、金属製の大きなワークピースキャリア３１と、その中に設けられた開口部に樹脂製のワークピースキャリア３２が配置され、更にその中に設けられた開口部にシリコンウェーハ３４が配置されている。金属製（ＳＵＳ系）の大きなワークピースキャリア３１の径は、約５００ｍｍで、厚みは７８０μｍである。樹脂製のワークピースキャリア３２の厚みは７８０μｍで、シリコンウェーハ３４の厚みは８００μｍである。ここで、研磨対象物であるシリコンウェーハ３４は、樹脂部である樹脂製のワークピースキャリア３２が備える開口部に保持される。この開口部は、円板形状の樹脂製のワークピースキャリア３２の表面及び裏面に貫通する開口であってもよい。更に、この樹脂部であるワークピースキャリア３２は、金属製のキャリアであるより大きなワークピースキャリア３１が備える開口部に保持される。この開口部も、樹脂製のワークピースキャリア３２より大きな円板形状の金属製のワークピースキャリア３１の表面及び裏面に貫通する開口であってもよい。このとき、樹脂部であるワークピースキャリア３２の厚み、金属製のキャリアであるワークピースキャリア３１の厚み、研磨対象物であるシリコンウェーハ３４の厚みの順で大きくなることが好ましい。

図１及び２において、樹脂製のワークピースキャリア１２、２２、３２には、平均粒径が約２０ｎｍのカーボンブラックが、０．５重量％含まれる。このカーボンブラックは、ユニチカ社製のカーボンブラックである。また、樹脂製のワークピースキャリア１２、２２、３２の樹脂は、熱可塑性樹脂又はガラスエポキシ製である。

図１の（ａ）の実施例の樹脂製のワークピースキャリア１２を備えるアセンブリ１０を用いて測定したときのワークピースキャリア１２の摩耗レート（測定１３件）と、樹脂製のワークピースキャリアにおいてカーボンブラックを含まないものによるワークピースキャリアの摩耗レート（測定１件）とを比較して図３のグラフで示す。それぞれの摩耗レートは、約０．０２６６及び約０．００７４３μｍ／ｍｉｎであった。研磨条件は以下の同一の条件を用いた。

パッド ： 不織布又はウレタン製の研磨用パッドを用いる。
スラリー ： コロイダルシリカ系のスラリーを使用する。
９．０＜ｐＨ値＜１１．０ 比重≧１．０１
荷重 ： ４０〜３５０ｇ／ｃｍ^２
加工温度 ： １００度以下

このグラフから明らかなように、実施例のワークピースキャリアの摩耗レートは、比較例のそれの半分以下と低減効果が顕著である。「カーボンブラック」を添加し含有させることにより樹脂部の滑り性が向上し、耐磨耗性が向上し、比較例に比べ、ライフが３倍以上向上する。また、更にかかる樹脂製のワークピースキャリアの表面にダイヤモンド・ライク・カーボンをコーティングすることにより、耐磨耗性が飛躍的に向上する。また、「カーボンブラック」の添加によりダイヤモンド・ライク・カーボンの密着性が向上する。

樹脂製のワークピースキャリアには、更に、フィラーとして繊維を添加することができる。この繊維は、ガラス繊維のような無機物の繊維や、ナイロン繊維のような有機物の繊維を限定することなく含むことができる。本実施例では、ユニチカ社製のナイロン６、型番：Ａ１０２２ＧＦＬ１５を基材とした。Ａ１０２２ＧＦＬ１５の性状は以下の通りである。

化学名 ： ポリカプラミド／ガラス繊維
成分及び含有量： ポリカプラミド ＞７５％
： ガラス繊維 ＜２０％
： 添加剤 ＜５％
ＣＡＳ Ｎｏ．： ポリカプラミド （２５０３８−５４−４）
： ガラス繊維 （６５９９７−１７−３）

図４は、両面研磨加工装置５０の概略図を示す。上下の定盤５２のそれぞれの作用面には、研磨パッド５４が配置され、シリコンウェーハ５８の上下の両面を同時に研磨することができるようになっている。１つの定盤５２の上には、複数のワークピースキャリア５６に保持されたシリコンウェーハ５８が配置される。研磨は、上の定盤５２が矢印の方向に移動し、荷重をシリコンウェーハ５８にかけて、定盤を回転させることにより行うことができる。

図５は、枚葉研磨加工を行う装置６０の概略図を示す。下側の定盤６８の上面には研磨パッド６６が配置され、トップリング６５の下面には、バッキングパッド６１が配置され、リテーナ６２に保持されたシリコンウェーハ６４を支持する。図６に示すように、バッキングパッド６１の外径はリテーナ６２の外径よりも小さいが、リテーナ６２内に設けられたシリコンウェーハ６４を保持する開口部よりも大きく、シリコンウェーハ６４を安定的にバックアップすることができる。

図７は、シリコンウェーハとウェーハ保持部品の加工後厚み差について考察する概略図を示す。図４のような両面研磨加工においては、ワークピースキャリアの厚みと加工後ウェーハの厚みとの差が小さいほど、平坦度の向上が可能になる。一方、ワークピースキャリア内でウェーハを直接保持する部分となる図２の樹脂製のキャリア３２の部分は、磨耗し薄くなることにより、ウェーハ外周部の平坦度は悪化する。しかし、カーボンブラックをこの樹脂キャリア３２、７３に含有させる事でシリコンウェーハ３４、７４や研磨パッド６６に対して滑り性が向上し樹脂キャリア３２、７３の耐磨耗性が向上し、シリコンウェーハ３４、７４の外周部平坦度を安定させて加工する事が可能となる。また、加工後厚みとワークピースキャリアの厚みを近づける加工を行う際は、キャリア表面にＤＬＣコーティングを行うとよりその効果が顕著になるので好ましい。ここで、ＤＬＣとは、ダイヤモンド・ライク・カーボンを意味してよい。

図８は、図６のリテーナ部分の厚みと枚葉研磨加工後のウェーハの厚みの差が近いほど、シリコンウェーハ６４の平坦度の向上が可能になることを示している。トップリング６５に支持された研磨ヘッド上にさらに支持された面上のバッキングパッド６１は、枚葉研磨加工では、リテーナ６２及びシリコンウェーハ６４を共通に支持する。そのため、リテーナ６２とシリコンウェーハ６４の厚みがほぼ同じであれば、リテーナ６２と研磨パッド６６が接触する頻度が多くなり抵抗となる事で、十分な研磨が困難な状況になる。しかし、このリテーナ６２にカーボンブラックを含有させ滑り性を向上する事で、接触による抵抗を低減させ、研磨加工を安定させる事ができる。また、更に、本リテーナ６２の表面にＤＬＣコーティングを施すことで、更に安定加工が可能となる。ここで述べる「ＤＬＣコーティング」とは、プラズマイオン注入で施工するものを意味してよい。

図９は、本発明の実施例である樹脂製の研磨用治具（キャリア若しくはリテーナ等）を製造する方法を図示する。まず、樹脂材料を調製する（Ｓ１０）。一方、フィラー成分として、カーボンブラック、サーマルカーボン、有機／無機繊維等を調製する（Ｓ１２）。そして、これらを攪拌機を用いて混合し（Ｓ１４）、ほぼ均一にフィラー成分が分散した混合物を得る。次に、この流動状の混合物を型に流し込む等により成形する（Ｓ１６）。そして、加熱、二液混合等による架橋による固化若しくは硬化させ（Ｓ１８）、バリ取り等の仕上げ整形を行い最終的に使用可能な状態にする（Ｓ２０）。

以上述べて来たように、本願の発明によれば、樹脂製のキャリアの摩擦特性の向上（又は摩擦係数の低下及び安定化）が生じ、樹脂製のキャリアの摩耗レートが低下するので、このキャリアに保持されるシリコンウェーハの平坦度等の形状に関する品質が向上する。

本発明の実施形態であるワークピースキャリアを示す平面図である。（ａ）は１枚のシリコンウェーハを研磨する場合であり、（ｂ）は３枚のシリコンウェーハを研磨する場合である。 本発明の実施形態であるワークピースキャリアを示す平面図である。 摩耗レート結果を示すグラフである。 両面研磨加工装置の概略図である。 枚葉研磨加工装置の概略図である。 リテーナとバッキングパッドの関係を示す図である。 両面研磨加工でのワークピースキャリアと加工後のウェーハ厚みの差を示す図である。 枚葉研磨加工でのリテーナと加工後ウェーハ厚みの差を示す図である。（ａ）は全体図であり、（ｂ）は部分拡大図である。 本発明の実施形態である樹脂製の治具の製造方法を示すフローチャートである。

符号の説明

１０、２０、３０、５６、７２ ワークピースキャリア
１２、２２、３２ 樹脂製の治具（ワークピースキャリア）
１４、２４、３４、５８、６４、７４ シリコンウェーハ
５２、６８ 定盤
６２ リテーナ
６５ トップリング

Claims (4)

1. プレート状の研磨対象物の少なくとも片面を研磨する研磨装置に使用され、
   前記研磨対象物を保持する研磨用治具において、
   前記研磨用治具は、カーボンブラック及び／又はサーマルカーボンを０．１重量％以上含む樹脂部からなることを特徴とする研磨用治具。
2. 前記樹脂部は、更に、ガラス繊維及び／又はナイロン繊維を１０．０重量％以上含むことを特徴とする請求項１に記載の研磨用治具。
3. 前記研磨対象物の厚みとほぼ同じ厚みを有する請求項１又は２に記載の研磨用治具。
4. 前記研磨対象物は、前記樹脂部が備える開口に保持され、
   前記樹脂部は、金属製のキャリアが備える開口に保持され、
   前記樹脂部の厚み、前記金属製のキャリアの厚み、前記研磨対象物の厚みの順で大きくなることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の研磨用治具。

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