JP2006023134A - 検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】極めて安価且つ簡易な構成で、シート体に形成された切り欠き部を確実に検出することができる検出装置を提供する。
【解決手段】検出部６０ａ、６０ｂを構成するレーザダイオード３９から出力されたレーザビームＬＢは、フイルム湾曲ローラ５８によって検出部６０ａ、６０ｂ側に湾曲され拡開されたハーフカット部２７ａ、２７ｂに照射されると、その反射光の一部が光量検出センサ４５に導入されて検出される。一方、ハーフカット部２７ａ、２７ｂ以外の感光性シートフイルム１２に照射されたレーザビームＬＢは、光量検出センサ４５の受光域外に反射されるため、光量検出センサ４５によって検出されることがない。
【選択図】図５

Description

本発明は、シート体に形成された切り欠き部を検出する検出装置に関する。

例えば、感光性積層体製造装置を用いて、透光性ベースフイルム（支持体）に塗布された感光性顔料分散液（感光材料層）をガラス基板や樹脂基板に圧着することで感光性積層体が製造される。感光材料層が転写されたガラス基板等の感光性積層体は、支持体が剥離された後、フォトリソグラフィ法により所定のパターンで露光・現像され、次いで、同様の処理が異なる色の感光材料層を備えた感光性フイルム毎に行われることにより、液晶パネルや有機ＥＬパネル用のカラーフィルタ基板が製造される。

ところで、このような感光性積層体を連続的に製造する場合、例えば、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが積層された長尺状感光性ウエブを供給し、ガラス基板のサイズに基づく所定の間隔で、支持体を残して保護フイルムを幅方向に切断した後、ガラス基板に対応する部分の保護フイルムをこの切断部分（ハーフカット部）から剥離し、感光材料層を露出させてガラス基板に加熱圧着させることにより、複数の連続する感光性積層体を製造し、次いで、支持体を感光材料層から剥離して各感光性積層体を分離する方式が採用されている（特許文献１、２参照）。

この場合、高品質な感光性積層体を製造するためには、保護フイルムを剥離するためのハーフカット部を基準として、ガラス基板の所定の位置に感光材料層を正確に圧着させなければならない。従って、ハーフカット部を事前に検出し、感光材料層をガラス基板に圧着させるタイミングを高精度に制御する必要がある。

特開平１１−３４２８０号公報 特開平１１−１８８８３０号公報

しかしながら、ハーフカット部は、鋭利なカッタを用いて形成されているため、通常の光検出センサやＣＣＤカメラ等で検出することは極めて困難である。高感度なセンサ等を用いることも考えられるが、その場合、設備に要する費用が著しく高騰してしまう。

なお、特許文献１、２では、ハーフカット部を形成するカッタに長尺状感光性ウエブを供給するローラの回転数をロータリエンコーダで検出し、ハーフカット部がガラス基板に到達するタイミングをローラの回転数から推測して制御している。

しかしながら、例えば、長尺状感光性ウエブのたるみ、振動、摩擦力の変動等の影響により、長尺状感光性ウエブとそれを供給するローラとの間にすべりが生じると、ロータリエンコーダにより検出されたローラの回転数に基づく長尺状感光性ウエブの送り量の精度が低下し、ガラス基板の所定部位にハーフカット部を高精度に位置決めすることができなくなってしまう。

本発明は、前記の不具合を解消するためになされたものであり、極めて安価且つ簡易な構成で、シート体に形成された切り欠き部を確実に検出することができる検出装置を提供することを目的とする。

本発明の検出装置では、シート体を変形させることで、前記切り欠き部を拡開し、その状態において、照明手段によりシート体に照明光を照射し、反射された照明光を受光手段で受光して処理する。

この場合、反射状態がシート体の他の部位と異なる切り欠き部が拡開された状態に設定されるため、狭小な切り欠き部であっても、受光手段により受光した照明光から切り欠き部を確実に検出することができる。

なお、切り欠き部を拡開させる拡開手段としては、一方の面から切り欠き部が形成されたシート体の他方の面を押圧し、シート体を前記一方の面に向かって湾曲又は折曲させることで切り欠き部を拡開させるローラ部材、折曲部材等の変形手段や、シート体を引張して切り欠き部を拡開させる引張機構を用いることができる。ローラ部材や折曲部材等の変形手段を用いた場合、シート体を搬送しながら切り欠き部を検出することができる。この場合、ローラ部材の径を小さく設定するとともに、ローラ部材に摺接するシート体の範囲を大きく設定することにより、切り欠き部の拡開される幅を大きくすることができ、これによって切り欠き部の検出精度をさらに向上させることができる。

本発明の検出装置では、複数のシート層を積層して構成される積層体の一部を切り欠いて形成されるハーフカット部やシート体に形成したミシン目等を高精度に検出することができる。

照明手段としてレーザを用い、レーザから出力されたレーザビームをシート体に照射する一方、レーザビームの受光手段を、切り欠き部を除くシート体からのレーザビームの正反射光の受光域から所定量オフセットした位置に配設することにより、ノイズの少ない状態で切り欠き部を検出することができる。なお、シート体に照射されるレーザビームのビーム径を可能な限り小さく設定することにより、切り欠き部の位置検出精度を向上させることができる。

受光手段としては、シート体により反射された照明光の光量を検出する光量検出センサ、シート体により反射された切り欠き部からの照明光の入射位置を検出する位置検出センサ、シート体により反射された照明光に基づく画像情報を取得する一次元又は二次元のＣＣＤセンサ等を用いることができる。

また、着色層を切り欠いて切り欠き部が形成されるシート体においては、切り欠き部とそれ以外の部位との光量差がより大きくなるため、一層確実に切り欠き部を検出することができる。

本発明の検出装置では、シート体を変形させて切り欠き部を拡開させているため、狭小な切り欠き部であっても、極めて安価且つ簡易な構成で、切り欠き部を確実に検出することができる。

図１は、本発明の検出装置が適用される感光性積層体製造装置１０の概略構成を示す。この感光性積層体製造装置１０には、図２に示す積層構造からなる感光性シートフイルム１２（シート体）とガラス基板１４とが供給され、図３に示すように、これらが加熱圧着されることで液晶パネルや有機ＥＬパネル用のカラーフィルタ基板が製造される。

感光性シートフイルム１２は、ベースフイルム１６と、所定の色、例えば、赤、緑、青、黒のいずれか１色に着色された感光性樹脂層１８と、保護フイルム２０とからなるシート体を積層した積層体として構成される。ベースフイルム１６は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）を素材とし、その外表面に帯電防止剤を含むアクリル系下塗剤が塗布されている。感光性樹脂層１８は、後述する圧着ローラにより８０〜１５０℃の範囲で加熱溶融され、ガラス基板１４に転写される。なお、感光性シートフイルム１２には、後述する丸刃により所定間隔でハーフカット部２７ａ、２７ｂが形成される。

感光性積層体製造装置１０には、上流側から、感光性シートフイルム１２を供給するフイルムロール２２と、供給された感光性シートフイルム１２の保護フイルム２０及び感光性樹脂層１８の所定部位を、ベースフイルム１６を残して幅方向に切断することでハーフカット部２７ａ、２７ｂを形成する加工機構２６とが配設される。

加工機構２６は、感光性シートフイルム１２の幅方向に走行する丸刃２４を有し、図２〜図４に示すように、保護フイルム２０ａが除去されてガラス基板１４に感光性樹脂層１８が転写される長さＬの範囲と、ガラス基板１４間に残存させる保護フイルム２０ｂの幅Ｍの範囲とに対応した間隔で、保護フイルム２０及び感光性樹脂層１８にハーフカット部２７ａ、２７ｂを形成する。なお、感光性樹脂層１８は、ガラス基板１４の端部から所定の隙間δだけシフトさせた位置よりガラス基板１４に転写されるものとする。

加工機構２６の下流側には、保護フイルム２０ｂを介して隣接する保護フイルム２０ａに両端部が接着する一方、中間部が保護フイルム２０ｂに対して非接着状態に形成された図示しないラベルを吸着する吸着パッド３２を有し、このラベルを保護フイルム２０ａに接着させるラベル接着機構３４が配設される。

ラベル接着機構３４のさらに下流側には、感光性シートフイルム１２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構３６と、感光性シートフイルム１２から保護フイルム２０ａを剥離させる剥離機構３８と、感光性シートフイルム１２に対して所定のテンションを付与するテンション制御機構４０と、加工機構２６により感光性シートフイルム１２に形成されたハーフカット部２７ａ、２７ｂを検出する検出機構４２と、感光性シートフイルム１２の感光性樹脂層１８をガラス基板１４に対して加熱圧着させる圧着機構４４とが順に配設される。

リザーバ機構３６は、上流側の感光性シートフイルム１２のタクト搬送と、下流側の感光性シートフイルム１２の連続搬送との速度差を吸収するため、上下に揺動自在なローラ４６を有する。剥離機構３８は、感光性シートフイルム１２のテンション変動を低減するサクションドラム４８を有し、サクションドラム４８の近傍に剥離ローラ５０が配置される。この剥離ローラ５０を介して感光性シートフイルム１２から保護フイルム２０ａが連続的に剥離され、巻き取り部５２に巻き取られる。テンション制御機構４０は、シリンダ５４を備え、このシリンダ５４の駆動作用下にテンションダンサ５６が揺動変位することで、感光性シートフイルム１２のテンションが調整可能である。

検出機構４２は、本実施形態の検出装置を構成するものであり、テンション制御機構４０と圧着機構４４との間に配設され、感光性シートフイルム１２を保護フイルム２０側に湾曲させるフイルム湾曲ローラ５８（拡開手段）と、フイルム湾曲ローラ５８に対向し、感光性シートフイルム１２に形成したハーフカット部２７ａ、２７ｂを検出する２組の検出部６０ａ、６０ｂとを備える。

２組の検出部６０ａ、６０ｂは、感光性シートフイルム１２の幅方向であるハーフカット部２７ａ、２７ｂの延在方向に配列されており、図５に示すように、レーザビームＬＢを出力するレーザダイオード３９（照明手段）と、レーザダイオード３９から出力されたレーザビームＬＢをコリメートするコリメータレンズ４１と、感光性シートフイルム１２によって反射されたレーザビームＬＢを集光する集光レンズ４３と、集光されたレーザビームＬＢを受光し、その受光光量を検出する光量検出センサ４５とから構成され、発熱部である圧着機構４４からの熱の影響を回避すべく、断熱ケース３７に収納される。なお、検出部６０ａ、６０ｂは、熱の影響を回避するため、さらに水冷又は空冷するようにしてもよい。

検出部６０ａ、６０ｂは、感光性シートフイルム１２の表面による正反射光が光量検出センサ４５に入射しないよう、フイルム湾曲ローラ５８により湾曲される感光性シートフイルム１２のラップ角度θ（感光性シートフイルム１２が当接するローラ５８の中心角度）を大きく設定するとともに、感光性シートフイルム１２に入射するレーザビームＬＢの光軸を、フイルム湾曲ローラ５８からテンション制御機構４０側に所定距離ＯＦＦだけオフセットして設定する。なお、オフセットの方向は、圧着機構４４側であってもよい。

検出機構４２の下流側に配設される圧着機構４４は、基板搬送機構６２から供給されるガラス基板１４の上面部に対して感光性シートフイルム１２の感光性樹脂層１８を加熱圧着させるための圧着ローラ６４ａ、６４ｂを備える。なお、ガラス基板１４を供給する基板搬送機構６２は、ガラス基板１４を挟持するように配設される基板加熱部６６と、ガラス基板１４を搬送する搬送部６８とを有する。

圧着機構４４を構成する圧着ローラ６４ａ、６４ｂは、感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４を圧着させ、８０〜１５０℃の範囲で加熱する加熱ローラであり、その外周部にはゴム層が形成されている。圧着ローラ６４ａ、６４ｂには、バックアップローラ７０ａ、７０ｂが摺接する。下部に配設されるバックアップローラ７０ｂは、加圧シリンダ７２により上部のバックアップローラ７０ａ側に押圧される。

圧着機構４４の下流側には、運転開始時において感光性シートフイルム１２の先端部を切断する先端切断機構７４と、ガラス基板１４間の感光性シートフイルム１２を切断する基板間切断機構７６とが配設される。また、圧着ローラ６４ａ、６４ｂと先端切断機構７４との間には、運転開始時において感光性シートフイルム１２を引き出すためのフイルム搬送ローラ７８が配設され、先端切断機構７４の下流側には、感光性シートフイルム１２が圧着されたガラス基板１４を搬送する基板搬送ローラ８０が配設される。

本実施形態の感光性積層体製造装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。

フイルムロール２２から供給された感光性シートフイルム１２は、加工機構２６に搬送され、ベースフイルム１６を残して保護フイルム２０及び感光性樹脂層１８が丸刃２４により所定長毎に切断される。すなわち、感光性シートフイルム１２には、加工機構２６により、図４に示すように、ガラス基板１４に圧着される感光性樹脂層１８の長さＬと、ガラス基板１４間に残存させる保護フイルム２０ｂの幅Ｍとに対応した間隔で、スリット状のハーフカット部２７ａ、２７ｂが形成される（図２参照）。

次いで、ラベル接着機構３４において、ハーフカット部２７ａ、２７ｂが形成された感光性シートフイルム１２の保護フイルム２０に対して、吸着パッド３２に吸着されたラベルが接着される。この場合、ラベルは、中間部が保護フイルム２０ｂに対して非接着状態で、両端部が感光性シートフイルム１２から剥離される保護フイルム２０ａに接着される。

ラベルが接着された感光性シートフイルム１２は、リザーバ機構３６を構成するローラ４６を介して剥離機構３８に供給される。剥離機構３８では、感光性シートフイルム１２のベースフイルム１６がサクションドラム４８によって吸着される一方、ラベルによって連結された保護フイルム２０ａが剥離ローラ５０を介して巻き取り部５２により巻き取られる。この結果、感光性シートフイルム１２からは、ガラス基板１４間に対応する幅Ｍの保護フイルム２０ｂを残存させた状態で保護フイルム２０ａが連続的に剥離される。

保護フイルム２０ａが剥離され、感光性樹脂層１８が部分的に露出した感光性シートフイルム１２は、テンション制御機構４０を構成するテンションダンサ５６と、検出機構４２を構成するフイルム湾曲ローラ５８とを介して、離間状態にある圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間に供給される。なお、感光性シートフイルム１２の頭出し時（運転開始時）においては、感光性シートフイルム１２の先端部を圧着ローラ６４ａ、６４ｂの下流側に配設されたフイルム搬送ローラ７８で挟持して搬送する。

一方、ガラス基板１４は、基板搬送機構６２を構成する基板加熱部６６において所定温度まで加熱され、離間状態にある圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間に後述するタイミングで供給される。

検出機構４２により検出された感光性シートフイルム１２のハーフカット部２７ｂが圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間の所定の位置に臨入するとともに、ガラス基板１４の先端部が圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間の所定の位置に臨入すると、加圧シリンダ７２によりバックアップローラ７０ｂが押圧されて圧着ローラ６４ｂが上昇し、上部の圧着ローラ６４ａと共同して感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４が挟持される。次いで、前記の状態から、感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４が圧着ローラ６４ａ、６４ｂにより加圧加熱されながら搬送されることにより、保護フイルム２０ａの剥離された部分の感光性樹脂層１８がガラス基板１４の所定位置に圧着される。

なお、感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４が圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間の所定の位置に配置された後、一旦停止状態とされ、次いで、感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４を圧着ローラ６４ａ、６４ｂが挟持して圧着搬送するようにしてもよい。

圧着ローラ６４ａ、６４ｂにより感光性樹脂層１８が転写された最初のガラス基板１４の先端部がフイルム搬送ローラ７８に接近すると、フイルム搬送ローラ７８が感光性シートフイルム１２から離間し、ガラス基板１４から前方に突出する感光性シートフイルム１２の先端部が先端切断機構７４により切断される。次いで、感光性樹脂層１８が転写されたガラス基板１４は、先端切断機構７４の下流に配設された基板搬送ローラ８０によって挟持搬送される。

なお、以上のようにして感光性樹脂層１８が転写されて連続的に搬送されるガラス基板１４とそれに続くガラス基板１４との間の感光性シートフイルム１２は、基板搬送ローラ８０の下流側に配設されている基板間切断機構７６によって切断されることで分離される。

感光性樹脂層１８が転写されたガラス基板１４である感光性積層体は、ベースフイルム１６が剥離された後、フォトリソグラフィ法により所定のパターンで露光・現像され、次いで、異なる色の感光性樹脂層１８を前記感光性積層体に同様にして転写させる処理を繰り返すことで、所望のカラーフィルタ基板が製造される。

ここで、本実施形態では、図４に示す位置関係でガラス基板１４の所定位置に感光性樹脂層１８を正確に転写させるため、圧着ローラ６４ａ、６４ｂの上流側近傍に配設した検出部６０ａ、６０ｂを用いてハーフカット部２７ａ、２７ｂを確実に検出することができる。

すなわち、剥離機構３８においてハーフカット部２７ａ、２７ｂから保護フイルム２０の一部である保護フイルム２０ａが剥離された感光性シートフイルム１２は、検出部６０ａ、６０ｂを構成するフイルム湾曲ローラ５８に供給される。このとき、感光性シートフイルム１２は、フイルム湾曲ローラ５８によって搬送方向が変更されることにより湾曲する。

そこで、検出部６０ａ、６０ｂは、レーザダイオード３９を駆動し、レーザビームＬＢをコリメータレンズ４１を介して感光性シートフイルム１２に照射する。この場合、レーザダイオード３９から出力されるレーザビームＬＢの光軸は、図５に示すように、フイルム湾曲ローラ５８から上流のテンション制御機構４０側に所定距離ＯＦＦだけオフセットされ、光量検出センサ４５に対して感光性シートフイルム１２の表面による正反射光が導かれないように設定されている。

従って、図６に示すように、感光性シートフイルム１２に残存する保護フイルム２０ｂ、あるいは、保護フイルム２０ａが剥離されて感光性樹脂層１８が露出している部分がレーザビームＬＢの光軸上を通過する場合、レーザビームＬＢの感光性シートフイルム１２による正反射光は、光量検出センサ４５に導入されることがない。なお、感光性シートフイルム１２を透過してフイルム湾曲ローラ５８の表面で反射されたレーザビームＬＢも、同様にして、光量検出センサ４５に導入されることがない。

一方、図７に示すように、感光性シートフイルム１２に形成したハーフカット部２７ａ、２７ｂがレーザビームＬＢの光軸上を通過する場合、レーザビームＬＢは、ハーフカット部２７ａ、２７ｂによって拡散反射され、その一部が集光レンズ４３を介して光量検出センサ４５に導入される。しかも、感光性シートフイルム１２は、フイルム湾曲ローラ５８によって検出部６０ａ、６０ｂ側に突出するように湾曲されているため、狭小なハーフカット部２７ａ、２７ｂが大きく拡開され、その拡開されたハーフカット部２７ａ、２７ｂにより拡散反射されたレーザビームＬＢの一部が光量検出センサ４５に導入される。従って、検出部６０ａ、６０ｂは、ハーフカット部２７ａ、２７ｂがフイルム湾曲ローラ５８の所定位置を通過したことを確実に検出することができる。

図８は、レーザビームＬＢの光軸のオフセット量である所定距離ＯＦＦを３ｍｍ、フイルム湾曲ローラ５８の直径を４０ｍｍ、直線状の感光性シートフイルム１２に形成したハーフカット部２７ａ、２７ｂの幅を２０μｍ、レーザビームＬＢの波長を６８５ｎｍとした場合において、光量検出センサ４５により検出された感光性シートフイルム１２による反射光の光量の測定値を示す。この場合、ハーフカット部２７ａ、２７ｂにおいて鋭いピークＰ１、Ｐ２が得られている。従って、フイルム湾曲ローラ５８及び検出部６０ａ、６０ｂを図５に示す状態に設定することにより、ノイズが極めて少ない状態でハーフカット部２７ａ、２７ｂを確実に検出できることが了解される。なお、レーザビームＬＢのオフセット量、フイルム湾曲ローラ５８の直径は、条件によって変わるものであり、上記の値に限定されるものではない。

次に、検出部６０ａ、６０ｂによりハーフカット部２７ａ、２７ｂを検出し、その検出信号に基づいてガラス基板１４に感光性シートフイルム１２の感光性樹脂層１８を転写させる場合の制御について説明する。

フイルム湾曲ローラ５８に沿って配設された２組の検出部６０ａ、６０ｂは、それぞれの光量検出センサ４５により検出した光量信号を所定の閾値ＴＨ１（図８参照）と比較し、両方の光量検出センサ４５からの光量信号が閾値ＴＨ１よりも大きい場合、ハーフカット部２７ａ、２７ｂを正常に検出したことを示すハーフカット検出信号を出力する。

なお、光量検出センサ４５により検出される光量信号のレベルは、例えば、図９に示すように、感光性シートフイルム１２を構成する感光性樹脂層１８の色によって異なるため、閾値ＴＨ１を感光性シートフイルム１２の色に応じた閾値ＴＨ２に切り替えるようにすると好適である。また、色に応じて閾値を切り替える代わりに、例えば、赤色の感光性樹脂層１８に対しては青色のレーザビームＬＢを照射し、青色の感光性樹脂層１８に対して赤色のレーザビームＬＢを照射するよう、レーザダイオード３９自体を切り替えるようにしてもよい。

一方、いずれか一方の光量検出センサ４５からの光量信号のみが閾値ＴＨ１（又は閾値ＴＨ２）よりも大きい場合、検出部６０ａ、６０ｂの状態が異常であるか、あるいは、感光性シートフイルム１２の一部に塵等の異物が付着しているものと判断し、異常検出信号を出力してモニタに異常状態を表示し、警報を報知し、後工程での不良品抜き取り情報を作成し、あるいは、感光性積層体製造装置１０の動作を緊急停止させる等の異常処理を行うことにより、不良品の発生を事前に回避することが可能である。

ハーフカット部２７ａ、２７ｂを正常に検出した場合、ハーフカット部２７ａ、２７ｂがフイルム湾曲ローラ５８から圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間の所定位置に到達するまでの所要時間に応じてガラス基板１４の供給タイミングを調整し、ガラス基板１４を圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間に供給する。この結果、ハーフカット部２７ａ、２７ｂを基準として、保護フイルム２０ａが剥離された感光性シートフイルム１２の感光性樹脂層１８をガラス基板１４の所定位置に正確に転写させることができる。

なお、ガラス基板１４を圧着ローラ６４ａ、６４ｂに供給するタイミングをハーフカット部２７ａ、２７ｂの検出時点を基準として調整する代わりに、ハーフカット部２７ａ、２７ｂを検出してから感光性シートフイルム１２を一定量搬送し、ハーフカット部２７ａ、２７ｂを圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間の所定位置に位置決め停止させた後、ガラス基板１４を圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間に供給して転写処理を行うようにしてもよい。

また、検出部６０ａ、６０ｂからのハーフカット部２７ａ、２７ｂの検出信号に基づき、以下に示す２種類の計測を行うことができる。

すなわち、第１の計測は、圧着ローラ６４ａ、６４ｂでガラス基板１４をクランプし、前記圧着ローラ６４ａ、６４ｂの回転開始からの基板送り量を、圧着ローラ駆動用モータ（図示せず）に付随したエンコーダで計測したパルス数と設定上のハーフカット部位検出タイミングのパルス数とで比較し、先端部のハーフカット部２７ｂのズレを計測する。設定上の検出タイミングのパルス数に到達するよりも早くハーフカット部２７ｂを検出した場合、ハーフカット部２７ｂは、早い分のパルス数だけガラス基板１４の所定の位置より前方にずれていると判断できる。逆に検出が遅い場合、ハーフカット部２７ｂは、ガラス基板１４の所定の位置より後方にずれていると判断できる。

一方、第２の計測は、先端部のハーフカット部２７ｂの検出から後端部のハーフカット部２７ａの検出までの圧着ローラ駆動用モータに付随したエンコーダのパルス数を計測し、ラミネート長（長さＬ）を計測する。通常設定条件での長さＬに相当する設定パルス数と実際のパルス数とを比較し、パルス数が多ければその多いパルス数分だけ加熱等の影響で感光性シートフイルム１２が余計に延びていることが判断できる。逆にパルス数が少ない場合、感光性シートフイルム１２が通常よりも短いことが判断できる。

上記第１の計測結果に基づき、例えば、ガラス基板１４の接合範囲に対して感光性樹脂層１８の先端位置が前方にずれる（進む）ことが検出されると、前記ガラス基板１４と感光性シートフイルム１２のハーフカット部２７ｂとの相対位置が調整される。

すなわち、検出部６０ａ、６０ｂにより検出されたハーフカット部２７ｂの位置が、所定位置よりも進んでいると判断されると、フイルム搬送ローラ７８によるガラス基板１４に接合しない部分の感光性シートフイルム１２の送りで、送り量をその設定量よりもズレ分を差し引いた量で送る。この結果、ハーフカット部２７ｂは、位置調整されて圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間の所定の位置に一旦配置される。その後、ガラス基板１４は、定常の送り制御によって圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間に送られ、このガラス基板１４に感光性樹脂層１８が正しい位置、すなわち、ガラス基板１４の所定の接合範囲に感光性樹脂層１８が接合される。

一方、検出部６０ａ、６０ｂにより検出されたハーフカット部２７ｂの位置が、ガラス基板１４の接合範囲に対して遅れると判断されると、圧着後の基板搬送ローラ８０によるガラス基板１４に接合しない部分の感光性シートフイルム１２の送りで、送り量をその設定量よりもズレ分を足した量で送る。

なお、基板搬送ローラ８０によるガラス基板１４の送り量を調整する方法の他、基板搬送機構６２を制御してガラス基板１４の停止位置をズレ分だけ前後させて調整する方法を採用してもよい。

上記第２の計測結果に基づき、検出部６０ａ、６０ｂにより検出されたハーフカット部２７ａ、２７ｂ間の距離、すなわち、ガラス基板１４に接合される感光性樹脂層１８の長さＬを計測する。長さＬが長い場合、加工機構２６により長い分だけハーフカット間長を短くする一方、前記長さＬが短い場合、短い分だけハーフカット間長を長くするようにハーフカット部２７ａ、２７ｂの加工位置を変更する。これにより、感光性樹脂層１８の長さＬを所定の長さに調整することができる。

なお、テンション制御機構４０を構成するテンションダンサ５６による感光性シートフイルム１２へのテンションを調整することによって、感光性シートフイルム１２の伸び量を変更させることも可能である。

このため、感光性シートフイルム１２のハーフカット部２７ａ、２７ｂを接合位置に対して高精度に位置決めすることができ、前記感光性シートフイルム１２の感光性樹脂層１８をガラス基板１４の所望の部位に対し正確に接合することが可能になる。これにより、簡単な工程及び構成で、高品質な感光性積層体を効率的に得ることができるという効果が得られる。

上述した実施形態では、感光性シートフイルム１２をフイルム湾曲ローラ５８を介することで検出部６０ａ、６０ｂ側に湾曲させ、狭小なハーフカット部２７ａ、２７ｂを拡開させることにより、ハーフカット部２７ａ、２７ｂを確実に検出できるようにしているが、例えば、感光性シートフイルム１２を角部を有する折曲部材を介して検出部６０ａ、６０ｂ側に折曲させてハーフカット部２７ａ、２７ｂを拡開させるようにしてもよい。また、検出部６０ａ、６０ｂの近傍において、感光性シートフイルム１２を引張してハーフカット部２７ａ、２７ｂを拡開させることも可能である。

また、ハーフカット部２７ａ、２７ｂを検出するための照明手段及び受光手段として、レーザビームＬＢを出力するレーザダイオード３９と、レーザビームＬＢの光量を検出する光量検出センサ４５とを用いている。これに代えて、例えば、ローラ５８により湾曲された感光性シートフイルム１２を一様に照明する照明手段と、照明された感光性シートフイルム１２の湾曲部分の画像情報を取得する一次元又は二次元ＣＣＤカメラ等の画像取得手段とを配置し、取得した感光性シートフイルム１２の画像情報におけるハーフカット部２７ａ、２７ｂの位置を算出するようにしてもよい。

この場合、感光性シートフイルム１２が光透過性材料からなるとき、フイルム湾曲ローラ５８の表面によって反射された照明光が直接画像取得手段に入射しないよう、フイルム湾曲ローラ５８の表面を拡散反射面とすれば、光量検出センサ４５のダイナミックレンジを十分に確保してハーフカット部２７ａ、２７ｂを検出することができる。また、拡散反射面に代えて、ローラ２８の表面を照明光を吸収する黒色等の光吸収面としてもよい。

本実施形態の感光性積層体製造装置の概略構成図である。 感光性シートフイルムの断面構造図である。 ガラス基板に対して感光性シートフイルムを転写させた状態の断面構造図である。 ハーフカット部が形成された感光性シートフイルムの平面説明図である。 本実施形態の感光性積層体製造装置におけるハーフカット部を検出する検出部の説明図である。 本実施形態の感光性積層体製造装置におけるハーフカット部を検出する説明図である。 本実施形態の感光性積層体製造装置におけるハーフカット部を検出する説明図である。 検出部により検出されたハーフカット部からの検出光量の説明図である。 検出部により検出されたハーフカット部からの検出光量の説明図である。

符号の説明

１０…感光性積層体製造装置 １２…感光性シートフイルム
１４…ガラス基板 １６…ベースフイルム
１８…感光性樹脂層 ２０、２０ａ、２０ｂ…保護フイルム
２６…加工機構 ２７ａ、２７ｂ…ハーフカット部
３９…レーザダイオード ４４…圧着機構
４５…光量検出センサ ５８…フイルム湾曲ローラ
６０ａ、６０ｂ…検出部 ６２…基板搬送機構
６４ａ、６４ｂ…圧着ローラ

Claims (7)

1. シート体に形成された切り欠き部を検出する検出装置において、
   前記シート体を変形させ、前記切り欠き部を拡開させる拡開手段と、
   前記拡開手段により前記切り欠き部が拡開された前記シート体に照明光を照射する照明手段と、
   前記シート体により反射された前記照明光を受光する受光手段と、
   を備え、前記受光手段により受光した前記照明光に基づいて前記切り欠き部を検出することを特徴とする検出装置。
2. 請求項１記載の装置において、
   前記拡開手段は、一方の面から前記切り欠き部が形成された前記シート体の他方の面を押圧し、前記シート体を前記一方の面に向かって湾曲又は折曲させて変形させる変形手段からなり、
   前記照明手段は、前記シート体を前記一方の面から照明し、
   前記受光手段は、前記一方の面により反射された前記照明光を受光することを特徴とする検出装置。
3. 請求項２記載の装置において、
   前記変形手段は、前記シート体を前記切り欠き部に沿って押圧するローラ部材からなることを特徴とする検出装置。
4. 請求項１記載の装置において、
   前記シート体は、複数のシート層を積層して構成される積層体からなり、前記切り欠き部は、前記シート層の少なくとも１層を残し、残りの前記シート層を切り欠いて形成されるハーフカット部からなることを特徴とする検出装置。
5. 請求項１記載の装置において、
   前記照明手段は、レーザビームを前記シート体に照射するレーザからなり、前記受光手段は、前記切り欠き部を除く前記シート体からの前記レーザビームの正反射光の受光域から所定量オフセットした位置に配設されることを特徴とする検出装置。
6. 請求項１記載の装置において、
   前記受光手段は、前記シート体の画像情報を取得する画像取得手段からなり、前記画像情報から前記切り欠き部を検出することを特徴とする検出装置。
7. 請求項１記載の装置において、
   前記シート体は、着色層を有し、前記切り欠き部は、前記着色層を切り欠いて形成されることを特徴とする検出装置。

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