JP2006019478A - 描画システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一連の分割パターンデータそれぞれを、隣接する走査バンドのデータを一部オーバラップするように生成し、独立してラスタデータに変換するとともに、描画データとして出力する。露光ヘッド12A〜12Hの位置決め誤差に起因するパターンの描画位置ずれを修正するため、ΔSだけ読み出すアドレス領域をシフトさせてラスタデータをビットマップメモリから読み出す。
【選択図】 図8
Description
BW=HP+2×SP ・・・(1)
ここでは、分割パターンデータのバンドピッチBPが、分割パターンデータPD1の最下端を基準として計測される。また、バンドピッチBPは走査バンド幅HPに等しい。調整領域SRの幅SPは、パターンの位置決め精度に従って定められる。
14 パターンデータ処理部(データ生成手段)
CR1〜CR3 搬送ローラ(走査手段)
13A〜13H DMD(光変調ユニット)
16A〜16H イメージ生成処理部(シフト手段)
Claims (2)
- パターン形成のため光を放射する光源と、
それぞれ複数の光変調素子が規則的に配列され、基板の長手方向に沿って規定される複数の走査バンドに沿って、前記複数の光変調素子を制御してパターンに応じた光を前記基板へ投影する複数の光変調ユニットと、
前記複数の光変調ユニットの照射領域である複数の露光エリアを前記複数の走査バンドに沿って相対移動させる走査手段と、
前記複数の走査バンドに従い、パターンデータを分割した一連の分割パターンデータを生成するデータ生成手段と、
前記一連の分割パターンデータに基づき、前記複数の光変調ユニットをそれぞれ制御する描画手段と、
前記基板のパターン位置を走査バンドに垂直な方向に沿ってシフトさせるシフト手段とを備え、
前記データ生成手段が、一部データが互いに重複するように、それぞれ走査バンド幅を超えるデータバンド幅を有する前記一連の分割パターンデータを生成し、
前記描画手段が、各分割パターンデータの中で走査バンド幅に応じたバンド幅描画データに基づいて対応する光変調ユニットを制御し、
前記シフト手段が、各分割パターンデータのうち、シフト量だけずれた走査バンド幅分のデータをバンド幅描画データと定めることを特徴とする描画システム。 - パターン形成のため光を放射する光源と、
複数の光変調素子が規則的に配列され、基板の長手方向に沿って規定される複数の走査バンドに沿って、前記複数の光変調素子を制御してパターンに応じた光を前記基板へ投影する光変調ユニットと、
前記光変調ユニットの照射領域である露光エリアを、前記複数の走査バンドに沿って相対移動させる走査手段と、
前記複数の走査バンドに従い、パターンデータを分割した一連の分割パターンデータを生成するデータ生成手段と、
前記一連の分割パターンデータそれぞれに基づいて、前記光変調ユニットをそれぞれ制御する描画手段と、
前記基板のパターン位置を走査バンドに垂直な方向に沿ってシフトさせるシフト手段とを備え、
前記データ生成手段が、一部データが互いに重複するように、それぞれ走査バンド幅を超えるデータバンド幅を有する前記一連の分割パターンデータを生成し、
前記描画手段が、各分割パターンデータの中で走査バンド幅に応じたバンド幅描画データに基づいて前記光変調ユニットを制御し、
前記シフト手段が、各分割パターンデータのうち、シフト量だけずれた走査バンド幅分のデータをバンド幅描画データと定めることを特徴とする描画システム。
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JP2004195346A JP2006019478A (ja) | 2004-07-01 | 2004-07-01 | 描画システム |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20070114629A (ko) * | 2006-05-29 | 2007-12-04 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 묘화 시스템 |
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JP2005332987A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Pentax Corp | 描画システム |
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2004
- 2004-07-01 JP JP2004195346A patent/JP2006019478A/ja active Pending
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