JP2006019436A - 荷電粒子線露光装置、荷電粒子線露光方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 荷電粒子線源1と荷電粒子線レンズ2と、荷電粒子線偏向器5,6と、上記荷電粒子線源から発生した荷電粒子ビームを複数本のビーム16に分割する分割手段3とを有し、前記複数本のビームのうち所定のビームが露光対象であるウエハ14上に転写できない際に、代替ビームを用いてウエハ14上に所望のパターンを転写する手段を設け、上記分割成形された複数本のビームをウエハ14上に転写する。
【選択図】 図1
Description
ることを特徴としている。
以下、本発明の実施例1を説明する。図1は本発明の実施例に係る電子ビーム露光装置の要部概略図である。
レイ4は12行12列のアレイ状の静電レンズ群である。
しかしながら、レンズアレイ4のレンズ群のうち、1つのレンズが製作ミス、ごみの付着等により不良になった場合を考えると、10×10即ち100個のレンズのうち、99個のレンズしか使用することができない。これは不良となった1レンズ分のパタン不良を引き起こす。また、パタン不良を避けるために、正常な99レンズのうちの1個のレンズを使用して不良レンズの本来描画すべきパタンを描画すると、スループットの低下が避けられない。そこで、本実施例では以下の方法を用いて、スループットの低下を招かずに所望のパタンを描画可能とした。
常描画に使用するビーム領域22の外側に代替ビーム領域を設け、欠陥ビームに従って代替ビームを、マルチ偏向器を用いて矢印に示すように1ビーム分シフトさせることによって、代替ビームを作成することができる。
24,25を使用して同行、もしくは同列のビーム19を1開口分ずらすことによって、代替ビームを作成して正常な描画を行うことができる。
Claims (8)
- 荷電粒子線源と、荷電粒子線レンズと、荷電粒子線偏向器と、前記荷電粒子源から発生した荷電粒子ビームを複数本のビームに分割する分割手段とを有し、前記分割された複数本のビームを露光対象上に転写する荷電粒子線露光装置であって、前記複数本のビームのうち所定のビームが前記露光対象上に転写できない際に、代替ビームを用いて前記露光対象上に所望のパターンを転写することを特徴とする荷電粒子線露光装置。
- 露光に用いられるビームはm行n列のアレイ状であり、前記分割手段はm行n+1列以上の開口アレイと、m行n+1列以上のアレイ状偏向器群を有することを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線露光装置。
- m行n+1列以上のアレイ状ビームのうちx行y列のビームが露光対象上に転写できない際に、x+1行y列のビームがx行y列のビームの本来転写すべきパターンを転写し、x+2行y列のビームがx+1行y列のビームの本来転写すべきパターンを転写することを特徴とする請求項2に記載の荷電粒子線露光装置。
- m行n+1列以上のアレイ状ビームのうち転写できないビームを補完するように前記転写できないビームと同じ行のビーム群を少なくとも1列マイナス側にシフトする手段、前記転写できないビームと同じ行のビームを少なくとも1列プラス側にシフトする手段、前記転写できないビームと同じ列のビームを少なくとも1行プラス側にシフトする手段及び前記転写できないビームと同じ列のビームを少なくとも1行マイナス側にシフトする手段のうちの少なくとも1つの手段を有することを特徴とする請求項2に記載の荷電粒子線露光装置。
- 前記分割手段にて分割された複数本のビームを個別に偏向する手段及び前記複数本のビームを個別に収束する手段の少なくとも1つの手段を有することを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線露光装置。
- ビームを露光対象上に照射して所望のパターンを露光する荷電粒子線露光装置であって、
荷電粒子線源と、
m行n列に配置された複数の開口とその外側に配置された少なくとも1つの開口を有し、前記荷電粒子線源からの荷電粒子線ビームを複数本のビームに分割するアパーチャアレイと、
前記m行n列に配置された複数の開口からの複数本のビームのうち所定のビームが前記露光対象上に照射されない際に、前記所定のビームの代替ビームとして、前記その外側に配置された少なくとも1つの開口からのビームを用いるためのビーム偏向器と、を備えることを特徴とする荷電粒子線露光装置。 - 荷電粒子線源と、荷電粒子線レンズと、荷電粒子線偏向器と、前記荷電粒子源から発生した荷電粒子ビームを複数本のビームに分割する分割手段とを有し、前記分割された複数本のビームを露光対象上に転写する荷電粒子線露光装置を用いる荷電粒子線露光方法であって、前記複数本のビームのうち所定のビームが露光対象上に転写できない際に、代替ビームを用いて露光対象上に所望のパターンを転写する工程を含むことを特徴とする荷電粒子線露光方法。
- 請求項1〜6のいずれか1つに記載の荷電粒子線露光装置を用いて露光対象を露光する工程と、露光された前記露光対象を現像する工程と、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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