JP2006019363A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体装置10Aは、外部電極14が下面に設けられた半導体素子11と、外部電極14を露出させて半導体素子11を被覆する封止樹脂12とを具備する構成となっている。半導体素子11の表面には電気回路が形成されており、そしてその裏面には外部電極14が形成されている。半導体素子11の表面に形成された電気回路と外部電極14とは、貫通電極13を介して電気的に接続されている。貫通電極13は、半導体素子11を厚み方向に貫通して形成された電極である。
【選択図】 図1
Description
図1から図2を参照して、本形態の半導体装置10Aおよびその製造方法を説明する。図1(A)は半導体装置10Aの斜視図であり、図1(B)はその断面図であり、図1(C)は裏面図である。図1(D)および図1(E)は他の形態の半導体装置10Aの断面図である。
図3および図4を参照して、半導体装置10Bおよびその製造方法を説明する。本形態にて説明する半導体装置10Bでは、半導体素子11の表面に、受光部または発光部を含む電気回路が形成されている。少なくとも発光面または受光面には、ガラス等の透明な被覆層15が配置されている。また透明樹脂を被覆しても良い。この被覆層15は、表面を除いて、光を遮断する通常の封止樹脂12で封止されている。
図5および図6を参照して、本形態の半導体装置10Cおよびその製造方法を説明する。本形態の半導体装置10Cでは、内蔵される半導体素子11の表面に第1の電極11Aが形成され、更に裏面には第2の電極11Bが形成されている。ここでは、電気回路が形成される面と同一の面に形成される電極を第1の電極11Aと呼ぶ。また、電気回路が形成される面とは反対の面に形成される電極を、第2の電極11Bと呼ぶ。
図7および図8を参照して、本形態の半導体装置10Dおよびその製造方法を説明する。本形態の半導体装置10Dの基本的な構成は、第3の実施の形態にて説明した半導体装置10Cと同様であり、相違点は被覆層15を有する点である。この相違点を中心に以下の説明を行う。
本形態では、図9から図13を参照して、フレーム22を用いて多数個の半導体装置を製造する製造方法を説明する。尚、本形態の製造方法は、上述した各実施の形態に適用可能である。
本実施の形態では、図14から図16を参照して、他の形態の半導体装置10Eおよびその製造方法を説明する。
11 半導体素子
12 封止樹脂
13 貫通電極
14 外部電極
15 被覆層
16 パッド
17 金属細線
19 ユニット
20A 上金型
20B 下金型
21 分割線
22 フレーム
23 ブロック
24 スリット
25 ガイドホール
26 載置領域
27 リード
28 第1の連結部
29 第2の連結部
30 レジスト
31 半田電極
32 導電箔
33 レジスト
34A 第1の分離溝
34B 第2の分離溝
35 接着樹脂
36 シート
Claims (25)
- 電気回路が一主面に形成され、前記一主面に対向する他の主面に前記電気回路と電気的に接続された電極が設けられた半導体素子と、
前記電極を露出させて前記半導体素子を被覆する封止樹脂とを具備することを特徴とする半導体装置。 - 受光部または発光部を含む電気回路が一主面に形成され、前記一主面に対向する他の主面に前記電気回路と電気的に接続された電極が設けられた半導体素子と、
前記一主面を被覆する被覆層と、
前記電極および前記被覆層を露出させて、前記半導体素子と前記被覆層との境界を被覆する被覆樹脂とを具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体素子の前記電気回路と前記電極とは、前記半導体素子を厚み方向に貫通して接続されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置。
- 前記被覆層は、前記受光部が受光する光または前記発光部が発光する光に対して透明な材料から成ることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 一主面およびそれに対向する他の主面の両方に、内蔵された電気回路と電気的に接続された第1の電極および第2の電極を有する半導体素子と、
接続手段を介して前記第1の電極と電気的に接続される導電部材と、
前記第2の電極および前記導電部材の両方を露出させた状態で前記半導体素子を封止する封止樹脂とを具備することを特徴とする半導体装置。 - 一主面およびそれに対向する他の主面の両方に、前記一主面に形成されて受光部または発光部を含む電気回路と電気的に接続された第1の電極および第2の電極を有する半導体素子と、
接続手段を介して前記第1の電極と電気的に接続される導電部材と、
前記一主面を被覆する被覆層と、
前記被覆層、前記第2の電極および前記導電部材を露出させた状態で前記半導体素子を封止する封止樹脂とを具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体素子の前記電気回路と前記第2の電極とは、前記半導体素子を厚み方向に貫通して接続されることを特徴とする請求項5または請求項6記載の半導体装置。
- 前記封止樹脂は、前記第2の電極を外部に露出させた状態で、前記半導体素子の他の主面を被覆することを特徴とする請求項5記載の半導体装置。
- 前記第2の電極と前記導電部材とは、前記封止樹脂の同一の面から露出することを特徴とする請求項5または請求項6記載の半導体装置。
- 前記導電部材は、前記半導体素子を囲むように配置されることを特徴とする請求項5または請求項6記載の半導体装置。
- 前記被覆層は、前記受光部が受光する光または前記発光部が発光する光に対して透明な材料から成ることを特徴とする請求項6記載の半導体装置。
- 半導体素子の電極が形成された主面を、シートの表面に貼り付ける工程と、
前記シートの表面に封止樹脂を形成し、前記電極を前記封止樹脂から露出させた状態で前記半導体素子を被覆する工程とを具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体素子およびそれに一端が接近する導電部材を、シートの表面に貼り付ける工程と、
前記半導体素子の表面に設けられた電極と前記導電部材とを電気的に接続する工程と、
前記シートの表面に封止樹脂を形成し、前記導電部材を前記封止樹脂から露出させた状態で前記半導体素子を被覆する工程とを具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 複数個の前記半導体素子を前記シートに貼り付けて、
前記封止樹脂を形成した後に、前記封止樹脂を分離することで各前記半導体素子を分離することを特徴とする請求項12または請求項13記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子は離間されてマトリックス状に配置されることを特徴とする請求項12または請求項13記載の半導体装置の製造方法。
- 前記電極を前記半導体素子の前記主面から突出させ、
突出する前記電極を前記シートに貼り付けた状態で前記封止樹脂を形成することで、前記電極を前記封止樹脂から露出させた状態で、前記半導体素子の前記主面を前記封止樹脂で覆うことを特徴とする請求項12または請求項13記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子の一主面には受光部または発光部を含む電気回路が形成され、
前記一主面を被覆する被覆層の上面を前記シートとは異なるシートにて被覆した状態で前記封止樹脂による封止を行い、
前記被覆層を前記封止樹脂から露出させることを特徴とする請求項12または請求項13記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子は、一主面およびそれに対向する他の主面の両方に、内蔵された電気回路と電気的に接続された第1の電極および第2の電極を有し、
前記第1の電極は接続手段を介して前記導電部材と電気的に接続され、
前記第2の電極は、前記シートに貼り付けられた状態で封止されることで前記封止樹脂から露出することを特徴とする請求項12または請求項13記載の半導体装置の製造方法。 - 半導体素子が載置される予定の載置領域に一端が接近するように配置された複数のリードから構成されるユニットが複数個形成されたフレームを用意する工程と、
前記フレームをシートの表面に貼着し、前記載置領域に対応する領域の前記シートの表面に前記半導体素子を貼着する工程と、
前記半導体素子と前記リードとを電気的に接続する工程と、
前記半導体素子および前記リードが封止されるように前記シートの表面に封止樹脂を形成する工程と、
前記各ユニットの外周部の前記封止樹脂を切断することにより各前記ユニットを分離することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記フレームには、マトリックス状に配置された複数個の前記ユニットから成るブロックが、列状に複数個が配置されることを特徴とする請求項19記載の半導体装置の製造方法。
- 前記リードは、格子状に延在する第1の連結部および第2の連結部から、前記載置領域に接近するように延在することを特徴とする請求項19記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体素子の一主面には受光部または発光部を含む電気回路が形成され、
前記一主面を被覆する被覆層の上面を前記シートとは異なるシートにて被覆した状態で前記封止樹脂による封止を行い、
前記被覆層を前記封止樹脂から露出させることを特徴とする請求項19記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子は、一主面およびそれに対向する他の主面の両方に、内蔵された電気回路と電気的に接続された第1の電極および第2の電極を有し、
前記第1の電極は、接続手段を介して前記導電部材と電気的に接続され、
前記第2の電極は、前記シートに貼り付けられた状態で封止されることで前記封止樹脂から露出することを特徴とする請求項19記載の半導体装置の製造方法。 - 第1の分離溝と、載置予定の半導体素子よりも平面的に大きく形成される第2の分離溝と、前記両分離溝が形成されることにより凸状に厚み方向に突出したパッドが表面に形成された導電箔を用意する工程と、
一主面およびそれに対向する他の主面の両方に、内蔵された電気回路と電気的に接続された第1の電極および第2の電極を有する前記半導体素子を、前記第1の電極が前記第2の分離溝の底部に当接するように、前記第2の分離溝に配置する工程と、
前記半導体素子の上面に位置する第2の電極と、前記パッドとを電気的に接続する工程と、
前記半導体素子が封止され且つ前記分離溝が充填されるように封止樹脂を形成する工程と、
前記分離溝に充填された前記封止樹脂および前記半導体素子の前記第1の電極が露出するまで、前記導電箔を裏面から除去する工程とを具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子の一主面には受光部または発光部を含む電気回路が形成され、
前記一主面を被覆する被覆層の上面を前記シートとは異なるシートにて被覆した状態で前記封止樹脂による封止を行い、
前記被覆層を前記封止樹脂から露出させることを特徴とする請求項24記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004193293A JP4522167B2 (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 半導体装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004193293A JP4522167B2 (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 半導体装置およびその製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009164660A Division JP2009283957A (ja) | 2009-07-13 | 2009-07-13 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006019363A true JP2006019363A (ja) | 2006-01-19 |
JP4522167B2 JP4522167B2 (ja) | 2010-08-11 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004193293A Expired - Fee Related JP4522167B2 (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4522167B2 (ja) |
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---|---|
JP4522167B2 (ja) | 2010-08-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |