JP2005504953A - 反応ホウケイ酸混合物を用いた結合構造 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
【0001】
本出願は、本発明者により1999年5月21日及び2000年8月28日にそれぞれ出願された米国特許出願シリアル番号09/316239及び09/645383に関連する。
本発明はセラミック、半導体及び金属材料を互いに結合、ボンディングする技術に関し、特に環境センサアレー及び関連リード線を共通の基板に固定する技術に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体や液晶ディスプレイ(LCD)の製造等の用途では、与えられた表面領域上の温度や、放射、あるいはガス組成やガス濃度等の環境因子についてその絶対値及び均一性を検出する必要がある。このために、複数のセンサを基板の所望エリアにおいて検出が必要な場所に配置する。各センサは、通常、検出量の各値を適切に関係づけるように予め較正されており、リード線を介して遠隔の検出出力応答設備に接続され、出力応答設備からは検出環境特性の計測情報が出力され、あるいは製造工程における他の要素が制御される。
【0003】
半導体やLCDを製造する際に、処理装置における絶対温度及び温度均一性は製造歩留まりを達成する上で重要な変数である。この種の処理装置には、炉(例えば、急速加熱処理(RTP)を行うチューブやベルトやトレイの構造を有する炉)、真空スパッタリング及び蒸着装置、化学的気相成長(CVD)反応器、プラズマ、反応性イオン及びウェット化学エッチング装置、スピナー、チルプレート、ホットプレート及びストリッパによるフォトレジスト及びフォトガラスの塗布及び剥離、及びデバイスや集積回路(IC)の試験に用いられるウエハ及びプレートチャック等が含まれる。
【0004】
温度センサは、代表的にK、R、又はSタイプの熱電対(TC)あるいは薄膜白金抵抗温度検出器(TFRTD)である。TC接合又はTFRTDは代表的に基板の空胴内に埋め込まれ、空胴内で接合材により固定される。TC用接合材は一般にSiO2とAl2O3の混合物であり、代表的にSiO2は60重量%、Al2O3は40重量%である。TFRTDセンサは代表的に2つの空胴を必要とし、1つはセンサ用、もう1つはリード線接合強化用であり、両空胴用接合材は代表的にエポキシである。
【0005】
センサ用リード線は、最高温度定格1100℃の石英マイクロチューブ又はシリカ編みスリーブ、あるいは最高定格温度250℃のテフロン(登録商標)スリーブに被覆される。リード線は各センサから引き出され、基板上又は外部で共通に束ねられる。
【0006】
空胴はTCの正確な温度較正のために必要であり、その理由はTC接合点及びTC接合点から少なくとも約2.5cm分のリード線は高精度測定のために温度測定容積内部に設けなければならないからである。TFRTD等の面センサについては対象と密に接触することで高精度温度測定ができるので正確な温度較正のために空胴を設ける必要はない。しかしながら、TFRTDのケースでも、取付を安定にするために空胴を用いるのが一般的である。
【0007】
センサ用として代表的に使用される基板はガラス、セラミック、及び半導体ウエハ等であり、かなり脆弱である。さらに、半導体ウエハは概して単結晶であり、機械的な侵入により破損しやすい。したがって、基板に空胴を形成することによりそうでない場合に比べ遙かに脆くなり、製造歩留まりが低下する。
【0008】
もう1つの問題として、センサと基板との機械的接合がしばしば壊れやすい。この理由は、現在採用している接合材によるボンディングは閉じ込め又は重合体付着によってなされており、また、各リード線は基板に一箇所か二箇所で結合しているだけでリード線に応力が掛かるとセンサが空胴から簡単に外れるからである。結果として、基板に5個以上のセンサを設けたシステムでは一回使用しただけで1以上のセンサが弛んだり、外れたりすることが少なくない。
【0009】
リード線は他のリード線との接触による短絡を防止するとともに、基板との化学反応を防止するために被覆する必要がある。しかしながら、現在利用できる被覆材はリード線を重くする一方で、高温プロセス環境が粒子で汚染される原因になる。
【0010】
代表的に温度が一番高くなる基板表面に配線されるリード線は周囲の環境と反応しやすい。すなわち、特定の構造が損傷なしに機能できる環境はリード線材が環境との反応に対して有する抵抗や環境の浸透により制約される。例えば、タイプKのTC線は500℃以上では不活性な水素環境下でのみ安定し、タイプSのTC線は700℃を超えると不活性な酸化性雰囲気にのみ安定している。さらに、いずれのTC線も反応性プロセスガス環境下では安定しない。
【0011】
センサを基板にボンディングするのに使用するAl2O3/SiO2混合体はつや出しのみを生じがちであり、シリコン、ガリウム砒素ウエハ等のほとんどの酸化性表面との反応は概して活発でない。このため、センサを基板に固定する接合は弱くなりやすい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0012】
本発明の目的は高温下でも本体を基板に確実に保持でき、本体及び関連するリード線を有害な環境から保護するためにカプセル化可能なパッケージングシステムを提供することである。本発明は、一般に、酸化性基板に取り付けた際、高温(少なくとも約460℃)下にさらされる本体に適用可能であるが、特に、温度その他の環境センサ及び関連するリード線を半導体ウエハに固定するのに有効である。
【課題を解決するための手段】
【0013】
反応ホウケイ酸混合物(RBM)は少なくとも部分的に本体をカプセル化し、高温反応プロセス中にRBMと基板間に形成される酸化インターフェースを介して本体を基板に固定する。本体は非酸化性であってよく、その場合、本体はRBMによりカプセル化され、RBMと本体側の基板との間に形成される酸化インターフェースを介して固定される。本体自体が酸化性の場合、酸化インターフェースはRBMと本体間にも形成され、ボンディングが増強される。
【0014】
RBMは基板と直に接触する本体上に広がってよく、あるいは本体をRBMで完全にカプセル化するようにしてもよい。RBMを温度センサの上下に形成した構造の場合、センサ下側のRBM層は基板とセンサ間の熱伝導が十分確保される程度に薄くする。RBMとしてはB2O3/SiO2混合体が好ましく、B2O3の含有量が反応温度、所望接合力及び粘度に依存する。
【0015】
環境センサ用リード線はその長さの少なくとも一部に沿ってリード線をRBMでカプセル化することにより、基板に固定してもよい。RBMはリード線を互いに電気的に絶縁するので、リード線を外装する必要がなくなる。またこれにより、基板に対して単一の共通レベルあるいは多層の束による多数リード線構成が容易になる。
【0016】
本発明の他の特徴及び利点は図面を参照してなされる以下の説明から当業者には明らかになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0017】
図1は本発明の一実施形態を示すもので、環境センサ2のアレーが半導体ウエハ4等の基板表面に配置されて所望の環境変数、例えば温度、放射、圧力、ガス組成又はガス濃度を検出する。用語「基板」は図1において半導体ウエハを指しているが、このタイプの構造には限定されず、一般には、後述するように他の本体が固定される任意種類の本体を包含する。
【0018】
センサはウエハ上に配線される各リード線により出力装置8、例えば各種センサの値を視覚的に表示する表示器に電気的に接続される。図1に示す各リード線6は複数のリード線を表しており、線数はセンサの種類に応じて通常2、3又は4本である。リード線6はウエハから個別に取り出され、あるいは束10に集められ、例えば図示のように17個のセンサシステム用として、多層スタックに重ねられたリード線を構成する。多数のセンサを使用する場合、リード線はウエハ上又は外に置かれる端子ブロック12に接続され、端子ブロック12からの出力線14によりリード線は出力装置8に接続される。また、適当なリード線によりセンサに対する入力刺激又は駆動を行うことができる。
【0019】
17個のセンサを図示するが、例示にすぎず、より多数、又は少数のセンサを使用してもよい。リード線の経路やリード線束10の位置はリード線数と同様に設計の選択事項にすぎない。円形の基板を図示しているが任意の所望形状、サイズでよい。
【0020】
センサを基板に固定する1つの方法を図2に示す。この具体例において、センサはSiC検出素子(図示せず)を搭載したAlNチップ16として構成される。この種のセンサは2000年11月30日公開の、本発明者によるPCT特許出願PCT/US00/07557号に記載されており、この文献の内容をリファレンスとして本書に組み込む。センサはSiO2とB2O3の反応ホウケイ酸混合物(RBM)を介してウエハ4に固定される。図2に示すRBMは2ステップで形成される。ウエハ面上の第一の層18はAlNチップ16の下領域からチップ16外側のウエハ4まで広がり、第二の層20はチップ16の上領域からチップ16外側の第一のRBM層18上に広がる。RBMの組成及び処理について以下詳しく説明する。第一のRBM層18は、代表的に1000Å以下の厚の酸化インターフェース22を形成することによりウエハ4と化学結合する。このRBM層18はチップ16をウエハ4から化学的かつ電気的に絶縁するが、温度センサのケースでは基板からウエハに熱が十分に伝導される程度に薄くする。
【0021】
両RBM層18及び20はRBMの反応中にチップ16に対する酸化インターフェース24を形成することによりチップ16と化学結合する。上層RBM20は、下層RBM18を超えて外側のウエハ4面と接する部分において、反応プロセス中にウエハ4との間に酸化インターフェースを形成し、RBM/ウエハ間の酸化インターフェース22を広げる。Si、GaAs等で構成されるウエハ4との間に形成される酸化インターフェースはこのようなウエハ材より酸化しにくいAlNチップ16との間に形成される酸化インターフェースより厚い。このようにごく一部のウエハ材のみが費やされるため検出能力に影響はほとんどない。
【0022】
図2に示す構成はTC接合に適している。ウエハからの熱伝導を増大したいのであれば、図示のようにTC接合をウエハの空胴内に配置し、RBM層で固定するとよい。
酸化インターフェースはチップをウエハに強固に固定する。チップ保持は従来のエポキシ及びボンディング技術に比べ著しく強化される。ある種のセンサについては熱伝導を高めるためにウエハの空胴内に配置するのが好ましいが、空胴はセンサやリード線を機械的に付着する上で必要なく、この目的のためには完全に削除してよい。
【0023】
RBMはチップ16の小部分を酸化するが、チップを有効に封入することにより、そうしなかったときに高温下の酸化性環境(環境)でチップが広範に酸化されるのを防止する。例えばタングステンのように非常に酸化されやすい素材は加熱下の環境により完全に酸化されてしまうが、RBMでこれを保護するようにすれば、RBMを形成するために、熱反応プロセス中に素材の小部分のみが酸化されるのに留まる。
【0024】
本発明の他の実施形態を図3に示す。このケースでは、センサチップ16aは金や白金のような非酸化性材質から形成される。チップ16aはウエハ4と直に接触し、単層のRBM26がコーティングされ、この単層RBM26はチップ16aの外側のウエハ4まで広がっている。反応時にチップの外側のRBMはウエハ4との間に薄膜の酸化インターフェースを形成するが、チップ16aとの間には酸化物を形成しない。このケースにおいて、チップ16aはRBMに捕捉されており、RBMはRBM/ウエハ間酸化インターフェースを介してウエハ4にチップ16aを確実に固定し、環境からチップを保護する。
【0025】
これまでのところ、下側ウエハに固定される環境センサについて本発明を説明してきたが、一般に本発明は任意の種類の本体を酸化性基板に固定するのに適用できる。本体自体が酸化性であれば、RBMは本体と基板の双方と化学結合するので非常に強い付着構造が得られる。基板のみが酸化性である場合、本体は捕捉により支持されるため、一般に基板と本体の双方と結合する構成には及ばないが、従来のエポキシやSiO2/Al2O3によるボンディングと比較すると相当強力なものになる。
【0026】
図4は別の実施形態を表し、環境ガスや放射測定等のためにセンサチップ16bを環境に露出させている。このケースにおいて、RBM30は基板4の表面からチップ16bの縁を経てチップ表面のかなりの長さまで広がってチップを基板に固定する。しかしながら、RBMはチップ16bの途中で終わっており、チップ表面の一部32は環境に露出している。RBMは反応時に基板との間に保持用の酸化インターフェースを形成するとともに、チップが酸化性の材質の場合はチップとの間にも酸化インターフェースを形成する。図4は非酸化性チップのケースであるためチップ/RBM間の酸化インターフェースは示されない。
【0027】
センサチップ等の本体を基板に保持すること以外に、RBMを使用するとセンサに関連するリード線を基板に保持できて都合がよい。これを図5に、単層、4線の束のリード線36について示す。リード線36はRBM内において互いに間隔をあけられて完全に封じ込まれており、RBMは反応時に下側の基板4との間に酸化インターフェース40を形成する。RBMはリード線に間隔をつけて互いに絶縁させるとともに基板に対して保持する。図のRBMは反応後のものであるが、反応プロセス中にリード線の間隔を保ち、正しい位置にリード線を保持するのに用いるフォーム42を破線で示す。この目的のためにフォーム42に設けた、下方を向いた刃先状突起44はリード線の各上方部に沿って延びる。フォームは反応プロセス中、RBM、リード線及び基板上の所定位置で固定され、その後、取り外される。
【0028】
図6に示すように、多層の束にすると多数のリード線を好都合に収納できる。32本のリード線46を図示してあるが、これは図1における17個のセンサ構成においてセンサ毎のリード線数を2本とした場合に対応する。なお、センサの種類が異なればリード線数も変わり得る。リード線は4層48a、48b、48c及び48dで構成される。上側各層は直ぐ下の層よりリード線数が少なく、リード線の位置は層間で互い違いにずらして配置されてより保全性構造になっている。図6の具体例において、線束の下から数えて第一層、第二層、第三層、第四層のリード線数はそれぞれ10、9、8、7本である。全てのリード線は互いに離され、基板に対して定位置に保持されており、これを行うRBM50は各リード線の長さの少なくとも一部を封入し、RBMの反応中に基板4との間で形成される酸化インターフェースを介して基板4に固定される。
【0029】
リード線46をカプセル化することで、RBM50はリード線の被覆を不要にすることができる。これにより装置の全重量が軽減されるとともに、高温下で被覆から発生する粒子状汚染を防止することができる。
【0030】
RBM50がリード線46と化学結合するかしないかはリード線46が酸化性かどうかに依存する。リード線との化学的な結合が実際に発生する場合、形成される酸化インターフェースは一般に1000Å以下の厚さであるので、リード線の大部分は導電用としてそのまま利用できる。
【0031】
ここに記載したRBMは一般に2以上の酸化性本体を付着するのに利用できる。一例として、図7に温度センサ構造56を搭載したプロセス温度センサ搭載ウエハ(PTIW)52を示す。PTIW52には温度センサを機械的ストレス及び放射から保護するとともにデバイス全体の強度を増す第二の半導体ウエハ58が被せられる。2枚のウエハ54及び58の対向面に接して温度センサ56を囲むRBM層60を介して両ウエハ54、58は互いに付着される。RBM60は高温下の反応時にウエハ54及び58との間にそれぞれ酸化インターフェース62及び64を形成して両ウエハをボンディングする。熱は両ウエハを通ってセンサに伝わる。センサの有無にかかわらず、2以上の酸化性ウエハ又はその他の本体はRBMを介して互いに付着される。両ウエハは、例えばSi/Si、GaAs/GaAs、GaAs/Siのように同様あるいは異なる材質でよい。所望であれば、RBMは全構造の全体又は所望の一部を封入するように広げてよい。
【0032】
伝統的にホウケイ酸組成は商業用ガラスやうわ塗りとして、例えばビーカー等に用いられるパイレックス(登録商標)ガラスや、クラウンガラス、フリントガラス等で利用されてきた。しかしながら、本発明が提案するような高温保持の目的に使用されたことはない。
【0033】
適切に選択したRBM材質及び製造技術により、想定される環境下で劣化しやすいセンサ、他の本体及び関連するリード線に対する環境障壁としてRBMを構成することができる。適切に構成したRBMは、SiO2をエッチングすることで知られるHFを除く全ての気体又は液体環境から対象材質を保護することができる。
【0034】
判明した点として、適切な混合比のB2O3を用いたSiO2/B2O3混合物であるRBMは、環境劣化を受けやすいTC接合、白金RTDチップ等のセンサや関連するリード線に対する環境障壁になる、また、この種のRBMは、普通使用される材質について、低速又は急速加熱サイクル時にリード線、センサとこれらが取り付けられる基板との間で発生する熱膨張率の違いに対応することができる、また、RBMを形成するのに要する熱エネルギーはセンサ、リード線、基板に損傷を与えない。RBMは少なくとも1300℃まで電気的絶縁体として機能し、1300℃以上の温度領域で化学的かつ機械的に安定である。また、RBMは少なくとも1200℃の温度領域における熱反応時に形成される酸化インターフェースを介して酸化性材質に対する強力な付着を保持する。
【0035】
この目的のために重要なB2O3とSiO2の性質を以下に示す。
・結晶質融点はB2O3が460℃、SiO2が1610℃である。
・ガラス軟化点はSiO2が1665℃である。
【0036】
・両材質とも優れた電気絶縁体であり、連続置換型ガラス混合物を形成する。
・SiO2とB2O3の混合比を適当に選択することにより、RBMの熱膨張係数(TCE)を特定の材質のセンサ及び基板に整合させることができる。
【0037】
・両者を混合し、ドライパウダーとして表面に付けて表面とバルクで同時に反応させることができる。あるいは、ペーストとして塗布することもできるが、スピッティングを避けるため反応前に乾燥させる。
【0038】
・結晶質分子量はB2O3が69.62グラム/モル、がSiO260.08グラム/モルである。
図8にRBMのTCEをSiO2/B2O3の平均配位数の関数として示す。「平均配位数」はRBMにおけるSiO2とB2O3のモル比率の尺度であり、3.0が100%のB2O3に対応し、4.0が100%のSiO2に対応し、中間の平均配位数はモル比率の線形関数である。図示のように、TCEはB2O3の比率の増加に対して指数的に増大する。
【0039】
限定する意味でないが、代表的なセラミック基板には、Al2O3、ケイ酸アルミナ、ホウケイ酸アルミナ、AlN、BeO、B4C、BN、C、多孔質セラミック、ガラスセラミック、マイカ、SiO2(ガラス及び水晶)、SiC、Si3N4、SrO、TiB2、TiOX、(WC)94、Co6、Y2O3、マグネシア安定化ZrO2、イットリア安定化ZrO2、及びZrO2が含まれる。また、限定する意味でないが、代表的な半導体基板には、Ge、Si、GaAs、InP、InSb、InAs、CdTe、CdInTe、HgCdTe、及びSiCが含まれる。
【0040】
リード線のTCEは、金属性基板を除けば、一般に基板のTCEより大きい。例えば、タイプKのTCは90重量%Ni/10重量%Crのワイヤと95重量%Ni/5重量%AlSiのワイヤとから構成される。各ワイヤのTCEはNiのTCEにほぼ等しく、500℃で約16×10-6/°Kである。一方、SiのTCEは500℃で約4.1×10-6/°Kである。したがって、RBMは加熱サイクル中に発生する基板とワイヤ間の熱膨張率の違いに対応する必要がある。このため、RBMの軟化温度は低いのがよく、軟化によって急速加熱サイクル中における熱膨張率の違いを吸収して自ら「治癒」することができる。したがってRBMとしては70重量%以上のB2O3を含有するものが求められる。
【0041】
RBMの出発材料であるB2O3及びSiO2は粉末、粒又は結晶である。付着や捕捉用途としては、個別に細かく磨りつぶした後で混合する。環境障壁用途では、B2O3とSiO2を最初に混合し、混合物を細かい粉に挽く。いずれの場合も、粉砕後の粒子の大きさは500ミクロン以下であるのが好ましく、小さい程よい。混合物はセンサと基板の表面に乾燥したドライパウダーとして、あるいは有機溶剤に分散して与えることができるが、スピッティングを防止するため反応前に乾燥させる。
【0042】
反応はB2O3/SiO2混合体及びこれが載せられたコンポーネントを、好ましくは酸化性環境あるいは不活性(Ar又はN2)環境において、少なくとも460℃で加熱することにより生じる。反応温度は1300℃を超えないようにする。加熱は慣用の急速加熱処理により達成される。コンポーネントが極力高速にB2O3の融点を通過する場合に反応の進行が最適になる。好ましい加熱方式としてIR加熱を利用した急速加熱アニール処理が考えられる。
【0043】
一般に、反応温度が高いと反応は活発になりやすい。したがって、SiO2とB2O3の混合を十分に行っていなかったり、十分に小さな粒子サイズにまで粉砕していなかった場合に反応処理後に残る未反応B2O3の残留を低減することができる。また、高い反応温度はRBMガラスの形成を促進する。このRBMガラスは、グレーズとして機能するのではなく、RBMが適用された本体を完全にカプセル化する。反応温度が低いときは、混合物中のB2O3の比率を増やしてRBMと本体間の付着特性を良好に保つようにするとよい。
【0044】
反応温度はRBMが適用される材質の熱容量による制約を受けることが少なくない。例えば、GaAsは概ね約900℃以上で加熱すべきでなく、またデバイス構造を搭載したシリコン基板は約1100℃以上で加熱すべきでなく、行うとしてもごく短時間に限られる。
【0045】
混合体のSiO2/B2O3混合比に影響を及ぼす因子として、反応温度以外にRBMの所望ボンディング力及び粘度が含まれる。B2O3の比率を下げるとRBMの粘度が増すので、ボンディング力も強化される。一方で、粘度が高いためにRBMのTCEが低下し、流れにくくなる。したがって、材質間のTCEにかなりの違いがあるような場合、広い温度範囲に亘る動作により材質間に深刻な膨張の相違が発生するため、この種の材質の組合せに対するボンディング許容度は低下する。一般的にいって、SiO2/B2O3混合比の選定は反応温度、所望ボンディング力及び粘度間のバランスに配慮して行う。
【0046】
図9にセンサをウエハ基板に実装する実装方法を示す。この方法は図2に示す構造を形成するのに利用できる。最初のステップ66で、ウエハをマスクしてRBM形成用の領域のみ露出させる。代わりに、ウエハ全体にRBMを適用してもよく、特にセンサ及び関連するリード線専用のウエハを用いる場合に行われる。次のステップ68において、所望のホウケイ酸混合物(BM)を、マスク有りの場合はウエハ露出面に、マスク無しの場合はウエハ全面に付ける。このBM層の厚さは0.1mm〜10mmの範囲内であり、この範囲の下限値は温度センサに用いると良くウエハ/センサ間の熱伝導が損なわれない。
【0047】
次のステップ70において、センサ及びリード線を未反応BM層上に敷設し、リード線がセンサからウエハの外まで(あるいはウエハ上の端子ブロックまで)配線されるようにする。ついで未反応BM粉末(ウェット又はドライ)の第二層をセンサ、リード線及び最初のBM層の上に形成し、続いて図5に示すようなフォーム(型)をリード線上に取り付けてスペースをリード線間に確保した状態でリード線及びセンサを最初の未反応BM層に対して保持する(ステップ74)。
【0048】
次にこの組立体をオーブン又は炉に入れて少なくとも15秒間、少なくとも500℃に達するまで加熱ランプ波形がB2O3の融点460℃を極力急速に通過するようにして加熱する(ステップ76)。この加熱よってBMは硬化し、薄膜の酸化物層を介して下側の酸化面と化学結合し、RBMと結合材質との間に強力な機械的接合が得られる。最初のセンサのための手順は、フォームを取り外し、要素の検査、品質評価を行うと完了する。
【0049】
リード線が単層でウエハに配線可能な限り、この方法により多数のセンサを同時にウエハに実装することができる。多層のリード線束が求められる場合、上述したようにして最下層の全センサ及びリード線を実装してからマスクを取り外す。ついで新しいマスクを付けて、最初のリード線層上のRBMと、次の組のセンサ及び関連するリード線が占めることになるウエハ領域を露出させる。第二層のリード線は関連するセンサからウエハ面上を経て、最初のリード線層に達した箇所で図6に示すように最初のリード線層を覆っているRBMの上面にクロスオーバーする。次に同様にして、第二組のセンサ及びリード線にBM層をコーティングし、未反応BMを硬化させる。ステップ80に示すようにこのプロセスを後続するリード線層及び関連するセンサ毎に反復する。
【0050】
本発明は、種々のチップをセラミック及び半導体面に実装した様々な試験において有効に実証された。
【実施例1】
【0051】
SiC温度センサを搭載したAlNチップを上述した方法で、B2O3の重量%が50〜75のRBMを利用してSiウエハに実装した。得られた構造体を環境のチューブ炉に導入し、600℃、800℃、1000℃及び1200℃で加熱した。各試験において構造体を炉に5分間放置してから取り出し、金属製コールドプレートに載せたが、炉から取り出してコールドプレートに移すまでの最大時間は30秒とした。全ケースでチップがウエハに付着したままであった。しかしながら、600℃の試験を除き、コールドプレートに載置したときの熱ショックでウエハに亀裂が入った。
【実施例2】
【0052】
試験1のものと同種のチップを上記RBMによりGaAsウエハに実装した。得られた構造体を不活性環境のチューブ炉に導入し、試験1と同様に加熱、冷却した(ただし、1200℃の試験はGaAsの融点を超えることから行わなかった)。全チップともGaAsウエハに付着したままになり、コールドプレートに載置したときの熱ショックで全GaAsウエハに亀裂(割れ)が生じた。
【実施例3】
【0053】
白金TFRTDの表面実装をエミュレートするために、SiO2/B2O3のRBMによりAl2O3セラミックチップをSiウエハに実装し、試験1と同様の試験を行った。RBMに占めるB2O3の重量%が少なくとも75%ある全ケースでチップはウエハに付着したままになったが、それより低い重量%では付着しなかった。600℃の試験を除き、コールドプレートに載置したときの熱ショックで全ウエハに亀裂が入った。
【実施例4】
【0054】
RBMにより小さなSi、GaAs、SiC、及びAlNチップをAl2O3セラミックダイに実装し、試験1の手順で試験を行った。RBMに占めるB2O3の重量%が少なくとも75%ある全ケースでチップはセラミックダイに付着したままになったが、それより低い重量%では付着しなかった。コールドプレートに載置したときの熱ショックで全てのセラミックダイに亀裂が入った。
【実施例5】
【0055】
RBMによりSi、GaAs、SiC、Al2O3、及びAlNチップを熱分解窒化ホウ素(PBN)ダイに実装し、試験1と同様の試験を行った。Al2O3以外ではRBMに占めるB2O3の重量%が少なくとも70%ある全ケースで、Al2O3ではRBMに占めるB2O3の重量%が少なくとも75%あるケースで、チップはPBNダイに付着したままになった。
【実施例6】
【0056】
RBMによりSi、GaAs、SiC、Al2O3、PBN、及びAlNチップを黒鉛に実装し、試験1と同様の試験を行った。結果は試験5と同様であった。
【実施例7】
【0057】
RBMによりSi、GaAs、SiC、Al2O3、PBN、AlN、及び黒鉛チップを溶融石英(SiO2ガラス)に実装し、試験1と同様の試験を行った。Al2O3以外ではRBMに占めるB2O3の重量%が少なくとも70%ある全ケースで、Al2O3ではRBMに占めるB2O3の重量%が少なくとも75%あるケースで、チップは溶融石英に付着したままになった。コールドプレートに載置したときの熱ショックで全ての溶融石英(ガラス)基板に亀裂が入った。
【実施例8】
【0058】
RBMによりSi、GaAs、SiC、Al2O3、及びAlNチップを結晶性SiO2に実装し、試験1と同様の試験を行った。結果は試験7と同様であった。
RBMは非酸化物材質上で最適に機能することが判明した。酸化物のケース、特にAl2O3やSiO2について、付着力は非酸化物基板の場合より弱かった。しかしながら、SiO2に対する付着力は結晶質Al2O3に対するものより強かった。
【実施例9】
【0059】
RBMが高温下で有する熱カプセル化容量を検査するために、膜厚約1000Åのタングステン薄膜をAlNセラミックダイ上に形成し、B2O3重量%が50%以上の未反応B2O3/SiO2粉末を部分的にコーティングした。この構造体を環境のチューブ炉に導入し、1000℃で5分間加熱してから取り出し、空気中に放置して自然冷却した。RBMで覆われていない部分のタングステンは、黄色に変色し、電気的検査で絶縁体として示されたことから明らかなように、完全に酸化した。RBMはHFによりタングステンのコーティング部からエッチングされた。しかしながら、前にコーティングしてあったタングステンは依然として原状を保ち、その導電率はコーティング及び加熱処理前の値と変わらなかった。タングステンの酸化は空気中で急速に進むものであるので、この試験からRBMの機能(ability)としてRBMの形成中及び形成後において金属の酸化を防止することが明らかになるとともに、混合粉末からRBMへの反応速度が非常に速いことが強く示唆される。
【産業上の利用可能性】
【0060】
以上、本発明の様々な実施形態について図示し、説明してきたが、当業者には種々の変更、代替形態が想到し得る。したがって、本発明は特許請求の範囲にのみ基づいて制限されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【0061】
【図1】共通基板上に配置される環境センサアレー及び関連するリード線の平面図である。
【図2】RBMにより完全に包み込まれ、基板に付着された酸化性センサチップの断面図である。
【図3】RBMを被せることにより基板に対して封入された非酸化性センサチップの断面図である。
【図4】RBMにより部分的に封入され基板に付着されたセンサの断面図である。
【図5】RBMにより基板に付着され互いに絶縁された単層のリード線の断面図である。
【図6】RBMにより基板に付着され互いに絶縁された多層のリード線の断面図である。
【図7】RBMによりキャップウエハに付着されたプロセス温度計測用ウエハの断面図である。
【図8】SiO2/B2O3のRBMについて各成分の比含有量に対する熱膨張係数を示すグラフである。
【図9】本発明に基づいて本体を基板に固定する方法を示すフローチャートである。
Claims (10)
- 酸化性の基板(4)と、
上記基板に固定すべき本体(16)と、
上記基板に対する酸化インターフェース(22)を介して上記基板に上記本体を固定する反応ホウケイ酸混合物(RBM)(18、20)と、
を含むパッケージングシステム。 - 上記RBMは上記本体と上記基板の間に広がることを特徴とする、請求項1記載のパッケージングシステム。
- 上記本体は酸化性であり、酸化インターフェース(24)により上記RBMを上記本体に固定することを特徴とする、請求項1又は2記載のパッケージングシステム。
- 基板(4)と、
少なくとも1つの導電性リード線(36)と、
少なくとも一部の長さに亘り上記リード線の各々を上記基板に固定する反応ホウケイ酸混合物(RBM)(38)と、
を含むリード線システム。 - 基板(4)と、
環境センサ(16)と、
上記センサ上及び上記基板の少なくとも上記センサに隣接する部分上に広がり、上記センサを上記基板に固定する反応ホウケイ酸混合物(RBM)(18、20)と、
を含む環境検出システム。 - さらに、
上記センサからの信号に応答する出力装置(8)と、
上記センサを上記出力装置に接続する少なくとも1つのリード線(6)とを有し、
上記RBMは上記リード線を少なくとも部分的に封入して上記基板に固定することを特徴とする、請求項5記載の環境検出システム。 - 上記基板は酸化性であり、上記RBMは上記基板に対する酸化インターフェースを介して上記基板に上記センサを固定することを特徴とする、請求項5又は6記載の環境検出システム。
- さらに、RBMにより、少なくとも部分的にカプセル化され、上記基板に固定された付加的センサのアレー(2)と、上記付加的センサ用の個々のリード線(6)であって、個々のセンサを上記出力装置に接続するとともに、その長さの少なくとも一部に沿ってリード線RBM(38)によりカプセル化されて上記基板に固定されたリード線とを有することを特徴とする、請求項6記載の環境検出システム。
- 酸化性の本体(16)と、
上記本体をカプセル化して上記本体が酸化性環境と反応するのを防止する反応ホウケイ酸混合物(RBM)(18、20)と、を含むカプセル化パッケージ。 - 上記RBMはB2O3及びSiO2の反応混合物であって上記B2O3が当該混合物の少なくとも70重量%であることを特徴とする、請求項1、2、4、5、6、8、9のいずれか1項記載の構造。
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