JP2005353736A - プラズマx線発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空容器11と、該真空容器11内に設置され、プラズマ生成放電電極15,16間に形成されるプラズマ生成部17に供給される作動ガスGをプラズマ化してX線を発生させるプラズマX線源13と、上記プラズマ生成部17において発光有効時間を経過した残留プラズマDを排気する排気手段12と、上記プラズマ生成放電電極15から離れて形成され、プラズマ生成放電電極15より電位の低い低電圧電極とを備え、残留プラズマDを低電位電極による静電気力により加速させて高速排気するものである。
【選択図】 図1
Description
11 真空容器
12 排気手段
13 プラズマX線源
15,16 プラズマ生成放電電極
17 プラズマ生成部
18 仮想電極
19 電子放出電極
21 磁場発生手段
22 排気用パルス電圧印加手段
G 作動ガス
D 残留プラズマ
H 磁場
Claims (4)
- 真空容器と、該真空容器内に設置され、プラズマ生成放電電極間に形成されるプラズマ生成部に供給される作動ガスをプラズマ化してX線を発生させるプラズマX線源と、上記プラズマ生成部において発光有効時間を経過した残留プラズマを排気する排気手段と、上記プラズマ生成放電電極から離れて形成され、プラズマ生成放電電極より電位の低い低電圧電極とを備え、
上記残留プラズマを上記低電位電極による静電気力により加速させて高速排気することを特徴とするプラズマX線発生装置。 - 上記プラズマX線源の周囲に磁場を発生させる磁場発生手段と、電子を放出する電子放出電極とを備え、上記低電位電極は、磁場発生手段で発生させた磁場に電子放出電極から電子を放出、供給して形成される仮想電極である請求項1記載のプラズマX線発生装置。
- 上記電子放出電極は、LaB6 やタングステン或いはタングステン化合物等、熱電子を低温で熱放出可能な物質で形成された熱電子供給体である請求項2記載のプラズマX線発生装置。
- 上記電子放出電極には、発光有効時間後に残留するプラズマを排気すべく、仮想電極を形成するための排気用パルス電圧印加手段が接続される請求項2または3記載のプラズマX線発生装置。
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