JP2005352378A - 波長板・波長板の作製方法・立体画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】波長板の各領域には溝11が微細周期で形成されている。各領域の溝11の幅及び深さは同じであるが、溝11を形成する周期を変えてある。RR領域はRL領域と同じ形状の溝11を同じ周期で形成してあるが、RR領域とRL領域では溝の形成している方向が異なるように形成してある。同様に、GL領域はGR領域と同じ形状の溝11を同じ周期で形成してあるが、GL領域とGR領域では溝11の形成している方向が異なるように形成し、BL領域はBR領域と同じ形状の溝11を同じ周期で形成してあるが、BL領域とBR領域では溝11の形成している方向が異なるように形成してある。
【選択図】 図2
Description
特開平10−161108号公報には、図11に示した波長板を用いた立体表示装置が記載されている。これを図12に概略的に示す。波長板Mを用いることで、画素によって偏光方向の異なる光となるので、観察者は偏光メガネを装着することで立体画像を観察することができる。
図13は、図12で示した立体表示装置における位相差素子、偏光フィルム、配向膜の配置関係を示す図である。
また、特開平10−160933号公報には、図15に示すような作製方法による波長板が記載されている。ここでは、別々の基板に位相差フィルムを光学軸の向きが異なるように貼り付けて(a)、(d)、それぞれダイシングソーで部分的に除去した後(b)(c)、(e)、(f)、それぞれの基板の位相差フィルムが重ならないように貼り合わせ(g)、一方の基板を除去することにより(h)、光学軸の異なる領域を有する波長板を構成している。
先に述べた従来の波長板同様、遅延量の異なる領域が複数あり、且つ、各領域でさらに光学軸の異なる領域を有する波長板についても、遅延量の異なる複数の位相差フィルムを用いて図14又は図15に示した工程を繰り返し行うことで構成することができる。
さらに、上述の波長板同様、図14又は図15に示した波長板を用いて立体表示装置を構成して立体画像を観察することができる。
また、2回目の位相差フィルムを部分的に除去する工程では、先に貼り付け及び部分的な除去を行った位相差フィルムとの位置合わせ工程が必要である。
遅延量の異なる領域が3種類で、且つ、各領域で光学軸が互いに異なる領域が2種類の合計6種類の領域を設けるためには、位相差フィルムを貼り付け、部分的に除去する工程を6回行う必要があり、2回目以降の位相差フィルムを部分的に除去する工程では位置合わせ工程が必要であり、工程が非常に煩雑で、コストアップにつながるという問題があった。
したがって、位相差片の間には若干の隙間が生じることになり、位相差片のサイズを小さくしていった場合サイズに早期に限界が生じる。
表示画素密度が低い場合にはあまり問題とならないが、高画質化に伴い表示画素密度が高くなった場合には、位相差片のサイズの早期限界は重大な問題となる。
基板を貼り合せる場合にも、位相差片間の隙間が全く無いようにするのは非常に困難で、基板貼り合わせの際に互いの位相差フィルムが重ならないように位相差フィルムを部分的に除去する際の位置精度及び基板貼り合わせの位置精度のマージンをとる必要があるため、位相差片の間には若干の隙間が生じ、位相差片のサイズを小さくしていった場合サイズに早期に限界が生じる。
図11及び図14で示した従来の波長板と同様に、表示画素密度が低い場合にはあまり問題とならないが、高画質化に伴い表示画素密度が高くなった場合には、位相差片のサイズの早期限界は重大な問題となる。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、製造が容易な波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で3つの遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において2つの光学軸が互いに直交する領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、製造が容易な波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、3つの遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において2つの光学軸が互いに直交する領域を有し、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、さらに、それぞれの波長の異なる光に対して各領域での位相差が波長の1/4、製造が容易な波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、3つの遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において2つの光学軸が互いに直交する領域を有し、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、さらに、各領域で波長が440nm付近の光又は波長が520nm付近の光又は波長が660nm付近の光のいずれかの光に対して位相差が波長の1/4、製造が容易な波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、製造が容易な波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、さらに製造が容易な波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、さらに製造が容易な波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、且つ、製造が容易な波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、且つ、製造が容易な波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、製造が容易で、反射の少ない波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、製造が容易で、反射の少ない波長板を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、さらに製造が容易な波長板の作製方法を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、且つ、製造工程が簡素な波長板の作製方法を提供することを目的としている。
ここでは特に、同一基板上で少なくとも2つ以上の遅延量の異なる領域を有し、且つ、各領域において少なくとも2つ以上の光学軸の異なる領域を有し、さらに、これらの領域を高密度で隙間なく配置でき、且つ、製造工程が簡素な波長板の作製方法を提供することを目的としている。
ここでは特に、画素密度が高く、製造が容易な立体画像表示装置を提供することを目的としている。
よって、同一基板上で微細に分割された領域毎に遅延量及び偏光状態が変えられる高品質の波長板を安価に実現することができる。
図1は、本実施形態における波長板10の上面図である。図1に示した波長板10は、R領域、G領域、B領域の3つの領域が交互に配置されており、さらに、R領域はRL領域とRR領域に分けられ、同様にG領域はGL領域とGR領域に、B領域はBL領域とBR領域に分けられている。
図2は、図1に示した波長板10の断面図であり、(a)はRL領域の、(b)はGL領域の、(c)はBL領域の断面図である。各領域には溝11が微細周期で形成されており、図2は溝11に垂直な面での断面図である。
図2に示すように、各領域の溝11の幅及び深さは同じであるが、溝11を形成する周期を変えてある。RL領域の溝11の周期はC1、GL領域の溝11の周期はC2、BL領域の溝11の周期はC3で、C1>C2>C3である。
図3に示すように、本来複屈折特性を持たない屈折率の異なる誘電体平板12を光の波長より十分小さい(<λ/2)周期で並べた微細周期構造は、複屈折特性を発生することが知られている(Principle of Optics、 Max Born and Emil Wolf、 PERGAMON PRESS LTD.)。
図2に示すように、基板13に微細周期で溝を形成した場合にも、屈折率の異なる誘電体平板12を微細周期で並べた構造と同じ構成となり、複屈折特性が発生し、偏光方向が誘電体平板12に平行な光の屈折率n//と、垂直な光の屈折率n⊥はそれぞれ
t=w1/(w1+w2)
である。また、位相差(遅延量)Reは、構造複屈折の高さ(溝11の深さ)をdとすると、
Re=(n//−n⊥)d
となり、基板の材質(屈折率)や溝11を埋める材質(屈折率)、微細周期構造のduty比及び構造複屈折の高さ(溝11の深さ)で位相差(遅延量)を制御することもできる。
さらに、誘電体平板12の並べる方向(溝11を形成する方向)によって光学軸(遅相軸及び進相軸)の方向を任意に決めることができ、誘電体平板12に平行な方向(溝11と平行な方向)が遅相軸となり、誘電体平板12に垂直な方向(溝11と垂直な方向)が進相軸となる。
したがって、同一基板上に領域によって溝11の形状や形成する周期及び溝11を形成する方向が異なるよう形成することで、容易に遅延量及び光学軸の異なる領域を設けることができ、さらに、各領域の遅延量及び光学軸は任意に決めることができる。
したがって、R領域に入射した光はRL領域とRR領域のいずれを透過した光も円偏光となるが、RL領域を透過した光と、RR領域を透過した光とでは、円偏光の回転方向が逆転することになる。
同様に、G領域は波長がλGの光に対して位相差が波長の1/4となる溝形状及び周期で、且つ、GL領域とGR領域とで溝11の方向が直交するように形成して光学軸が直交するようにした場合、G領域に波長がλGの直線偏光の光を入射した際、GL領域の光学軸に対して偏光方向が+45°となるように入射すると、GR領域の光学軸に対して偏光方向が−45°で入射され、G領域に入射した光はGL領域とGR領域のいずれを透過した光も円偏光となるが、GL領域を透過した光と、GR領域を透過した光とでは、円偏光の回転方向が逆転することになる。
図4は、石英ガラス基板13に微細周期構造を形成するプロセスを示す図である。まず、石英ガラス基板13上に樹脂材料でライン・アンド・スペース・パターンを形成する(a)。次に、金属膜を真空蒸着で成膜し(b)、樹脂を溶解する薬液に浸しリフトオフ法で金属膜パターンを形成する(c)。
金属膜パターンを形成した石英ガラスをCF4やC4F8、CHF3などのフロロカーボンガスを用いてドライエッチングを行い、微細周期構造を形成する(d)。最後に金属膜を除去し、波長板10が完成する(e)。
ドライエッチング装置は、本実施形態ではECRエッチング装置を用いているが、ICPエッチング装置など他のエッチング装置でも構わない。
R領域、G領域及びB領域において、任意の遅延量にするために溝11の幅や溝11の深さを変えて実現することも可能であるが、本実施形態では、いずれの領域でも溝11の幅と溝11の深さは同じとし、溝11を形成する周期を変えて遅延量を各領域で変えており、先に述べた作製方法で形成する場合には、すべての領域で溝11の形状が同じである方が精度よく形成することができるため望ましい。
図5に、インプリントリソグラフィによるライン・アンド・スペース・パターン形成プロセスを示す。まず、石英ガラス基板13上にPMMA樹脂を配置し(a)、PMMA樹脂のガラス転移温度以上に加熱したモールド14をPMMA樹脂に高圧で押し付け、モールド14の形状をPMMA樹脂に転写する(b)。次にPMMA樹脂のガラス転移温度より低い温度に冷却して、モールド14を離す(c)。
最後に、パターンのスペース部分に残ったPMMA樹脂の膜がなくなるまでドライエッチングを行い、ライン・アンド・スペース・パターンが完成する(d)。
短時間で微細周期のライン・アンド・スペース・パターンを形成する方法としては、EBステッパー、極紫外及び真空紫外ステッパー、X線ステッパー等があるが、これらは設備コスト及び運用コストが非常に高い。インプリントリソグラフィは装置構成も非常に簡単で、設備コスト及び運用コストを非常に低く抑えることができる。
また、インプリントリソグラフィで形状形成が可能で透明な樹脂又はガラスを用いることで、直接インプリントリソグラフィで微細周期の溝11を形成することができるので、大幅に製造工程を簡素化でき、低コストで波長板10を作製することができる。
本実施形態では、図1に示すように領域をデルタ配列しているが、図6に示すようにモザイク配列したものでも、どのような形状に配列したものでも上述した作製方法で作製することができる。
なお、上記実施形態と同一部分は同一符号で示し、特に必要がない限り既にした構成上及び機能上の説明は省略して要部のみ説明する(他の実施形態において同じ)。
本実施形態における波長板も第1の実施形態の波長板10と同様に、同一基板上で光学軸の異なる領域が2つ以上あり、各領域に微細周期で溝が形成されている。
溝11Aは、その上部で表面方向に向かって該溝11Aの幅が徐々に広がるように形成されている。図7に示す形状にすると、光の入射方向で屈折率の変化を見た場合に、波長板表面付近での屈折率が緩やかに変化するように構成することができるので、波長板表面での反射を抑えることができる。
図8に示すように、溝11Bの底部で基板方向に向かって該溝11Bの幅が徐々に狭まるように形成してもよい(第3の実施形態)。図8に示した形状にすると、光の入射方向で屈折率の変化を見た場合に、微細周期構造の底部での屈折率が緩やかに変化するように構成することができるので、微細周期構造の底部での反射を抑えることができる。
第2〜第4の実施形態においても、第1の実施形態で説明した作製方法と同様の方法で作製することができる。また、第1の実施形態と同様にインプリントリソグラフィで直接作製することができる。
なお、図10では、赤色(波長660nm)を表示する左眼用画素及び右眼用画素の各1画素のみ図示してある。赤色を表示する画素において、波長板10の赤色左眼用領域は液晶表示部の左眼用赤色画素に、赤色右眼用領域は右眼用赤色画素に重なるように構成されている。
通常の液晶表示部は、最後に全画素で同一の検光子(偏光板)を透過させており、各画素からの光は偏光方向がすべて同一の直線偏光となっている。次に、液晶表示部の各画素からの光は波長板10を透過し、円偏光又は楕円偏光となる。
このとき、波長板10の左眼用領域を透過した光と右眼用領域を透過した光とでは、偏光の回転方向が逆向きとなる。
観察者が図10に示した偏光メガネのように、左眼と右眼で透過軸が90°異なり、立体画像表示装置15の左眼用画素からの光が、波長板10、通常の1/4波長板を経てでてきた直線偏光の光の偏光方向と透過軸が一致するように、且つ、右眼用画素からの光が、波長板10、通常の1/4波長板を経てでてきた直線偏光の光の偏光方向と透過軸が一致するように、偏光板を配置したメガネを装着し、立体画像表示装置15に表示された画像を観察すると、左眼用画素からの光は観察者の右眼には達せず左眼のみに達し、右眼用画素からの光は観察者の左眼には達せず右眼のみに達することになる。
なお、本実施形態では、通常の1/4波長板を立体画像表示装置15に配置したが、偏光メガネに配置しても良い。
本実施形態で使用する波長板10の領域の分割は、第1の実施例で示したいずれの分割態様(図1、図6)でもよく、それ以外の分割でもよい。ただし、波長板10の領域分割と、画像表示部の左眼用画素と右眼用画素の領域は一致させる必要がある。
11 溝
12 誘電体平板
13 基板
R、G、B 領域
Claims (15)
- 光の偏光状態を変化させる波長板において、
誘電体平板が微細周期で配置された微細周期構造で形成され、同一基板上で微細周期構造を形成する誘電体平板の厚さ、誘電体平板の高さ、誘電体平板の配置される周期のうち少なくとも1つが異なる領域が2つ以上あり、且つ、各領域において、さらに光学軸の向きが異なる領域が少なくとも2つ以上あることを特徴とする波長板。 - 光の偏光状態を変化させる波長板において、
誘電体平板が微細周期で配置された微細周期構造で形成され、同一基板上で微細周期構造を形成する誘電体平板の厚さ、誘電体平板の高さ、誘電体平板の配置される周期のうち少なくとも1つが異なる領域が3つあり、且つ、各領域において、さらに光学軸の向きが互いに直交する領域が2つあることを特徴とする波長板。 - 光の偏光状態を変化させる波長板において、
誘電体平板が微細周期で配置された微細周期構造で形成され、同一基板上で微細周期構造を形成する誘電体平板の厚さ、誘電体平板の高さ、誘電体平板の配置される周期のうち少なくとも1つが異なる領域が3つあり、各領域はそれぞれ波長の異なる3つの光のうちいずれかの光に対して位相差が波長の1/4であり、且つ、各領域において、光学軸の向きが互いに直交する領域が2つあることを特徴とする波長板。 - 光の偏光状態を変化させる波長板において、
誘電体平板が微細周期で配置された微細周期構造で形成され、同一基板上で微細周期構造を形成する誘電体平板の厚さ、誘電体平板の高さ、誘電体平板の配置される周期のうち少なくとも1つが異なる領域が3つあり、それぞれ波長が440nm付近の光、520nm付近の光、660nm付近の光のいずれかの光に対して位相差が波長の1/4であり、且つ、各領域において、光学軸の向きが互いに直交する領域が少なくとも2つあることを特徴とする波長板。 - 請求項1乃至4のうちのいずれかに記載の波長板において、
上記微細周期構造が、基板上に微細周期で形成された溝であることを特徴とする波長板。 - 請求項5記載の波長板において、
各領域に形成する上記溝の幅及び深さは同一であり、上記溝の形成する周期又は方向が異なっていることを特徴とする波長板。 - 請求項5又は6記載の波長板において、
エッチングマスク形成工程と、ドライエッチング工程と、エッチングマスク除去工程とから作製され、各領域を一度の工程で同時に作製したことを特徴とする波長板。 - 請求項7記載の波長板において、
上記エッチングマスク形成工程は、リソグラフィ工程と、金属膜成膜工程と、リフトオフ工程とからなり、又は、金属膜成膜工程と、リソグラフィ工程と、エッチング工程とからなり、上記リソグラフィ工程がインプリントリソグラフィであることを特徴とする波長板。 - 請求項5又は6記載の波長板において、
インプリントリソグラフィで直接基板に微細周期で上記溝を形成したことを特徴とする波長板。 - 請求項5又は6記載の波長板において、
上記溝の上部で表面方向に向かって該溝の幅が広がっていることを特徴とする波長板。 - 請求項5又は6記載の波長板において、
上記溝の底部で基板方向に向かって該溝の幅が狭まっていることを特徴とする波長板。 - 請求項5又は6記載の波長板の作製方法において、
エッチングマスク形成工程と、ドライエッチング工程と、エッチングマスク除去工程とからなり、各領域を一度の工程で同時に作製することを特徴とする波長板の作製方法。 - 請求項12記載の波長板作製方法において、
上記エッチングマスク形成工程は、リソグラフィ工程と、金属膜成膜工程と、リフトオフ工程とからなり、又は、金属膜成膜工程と、リソグラフィ工程と、エッチング工程とからなり、上記リソグラフィ工程がインプリントリソグラフィであることを特徴とする波長板の作製方法。 - 請求項5又は6記載の波長板の作製方法において、
インプリントリソグラフィで直接基板に微細周期で上記溝を形成することを特徴とする波長板の作製方法。 - 請求項1乃至11のうちのいずれかに記載の波長板と、画像表示部と、請求項1乃至11のうちのいずれかに記載の波長板の微細周期構造の形状が異なる領域に対応した領域で遅延量が異なり、且つ、領域内では光学軸が同一方向の波長板とで構成されていることを特徴とする立体画像表示装置。
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JP2011137853A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-14 | Nitto Denko Corp | 立体映像表示用位相差板、偏光素子およびそれらの製造方法、ならびに立体映像表示装置 |
JP2012198353A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Mitsubishi Plastics Inc | 光学素子構造体 |
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2004
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