JP2005350347A - 軸方向長さの関数としてメルト−固体界面形状を制御することによってシリコン結晶を成長させる装置及び方法 - Google Patents
軸方向長さの関数としてメルト−固体界面形状を制御することによってシリコン結晶を成長させる装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005350347A JP2005350347A JP2005166791A JP2005166791A JP2005350347A JP 2005350347 A JP2005350347 A JP 2005350347A JP 2005166791 A JP2005166791 A JP 2005166791A JP 2005166791 A JP2005166791 A JP 2005166791A JP 2005350347 A JP2005350347 A JP 2005350347A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- melt
- solid interface
- crystal
- ingot
- shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/20—Controlling or regulating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/20—Controlling or regulating
- C30B15/22—Stabilisation or shape controlling of the molten zone near the pulled crystal; Controlling the section of the crystal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
- Y10T117/10—Apparatus
- Y10T117/1004—Apparatus with means for measuring, testing, or sensing
- Y10T117/1008—Apparatus with means for measuring, testing, or sensing with responsive control means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
- Y10T117/10—Apparatus
- Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
- Y10T117/1032—Seed pulling
- Y10T117/1052—Seed pulling including a sectioned crucible [e.g., double crucible, baffle]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
望ましくない程度又は大きさの凝集した欠陥を実質的に有さない半導体級単結晶を製造するための方法及びシステムの提供。
【解決手段】
空孔/自己格子間原子(V/I)シミュレータによって種々のメルト−固体界面形状を解析し、それぞれのメルト−固体界面形状について対応するV/I遷移曲線を予測する。結晶の長手方向に沿った複数の軸方向位置のそれぞれについて、実質的にフラットなV/I曲線に対応する目標メルト−固体界面形状を特定する。特定したメルト−固体界面形状を達成する目標操作パラメータを、メルト−固体界面プロファイルに記録する。制御システムは、記録したプロファイルに対応して制御信号を発生させ、結晶成長の間、前記プロファイルによって規定されるようにメルト−固体界面形状を目標形状に従わせて出力デバイスを制御する。
【選択図】図1
Description
本発明は、一般に、電子部品等の製造に用いることができる半導体級単結晶シリコンの製造に関する。本発明は、特に、選択した熱的環境の中でメルト−固体界面の形状を制御することによってシリコンインゴットを製造する方法に関する。
単結晶シリコンは、半導体電子部品を製造する多くの方法に用いられる出発材料であって、一般にいわゆるチョクラルスキー法によって製造されている。この方法では、多結晶シリコン(ポリシリコン)をルツボに装入してこれを溶融し、その溶融シリコンに種結晶を接触させて、種結晶をゆっくりと引き上げることによって単結晶を成長させる。メルトから成長させたシリコン結晶は、結晶格子空孔(V)又はシリコン自己格子間原子(I)のいずれかが過剰である型の真性点欠陥を有して成長することがあり、並びに両者又はいずれでもない型の領域をも有し得る。優勢な点欠陥の型は固化の近くで決定されるのであって、優勢な点欠陥濃度が系の臨界過飽和レベルに達して、点欠陥の移動度が十分に高い場合には、反応又は凝集事象(agglomeration event)が生じ得るということが示唆されている。シリコン中の凝集した真性点欠陥は、複雑で高度に集積された回路の製造に関する材料の歩留まり可能性に大きな影響を及ぼし得る。
半導体電子部品を製造する大部分の方法のための出発物質である単結晶シリコンは、いわゆるチョクラルスキー法によって一般に製造されている。この方法では、多結晶シリコン(ポリシリコン)をルツボに装入してこれを溶融し、その溶融シリコンに種結晶を接触させて、種結晶をゆっくりと引き上げることによって単結晶を成長させる。本発明は、デバイス製造に用いるのに好適なシリコン結晶インゴットを製造するためのシステム及び方法を提供する。ある態様では、本発明の方法及びシステムを用いることによって、全体か又は実質的な部分が凝集真性点欠陥を実質的に有さないシリコン結晶インゴットを製造することができる。即ち、シリコンインゴットは、その全体か又は実質的な部分が約1×104欠陥/cm3以下、約5×103欠陥/cm3以下、約1×103欠陥/cm3以下又は検出しうる凝集真性点欠陥は存在しないレベルの欠陥密度を有する。もう1つの態様では、本発明によれば、直径が約60nm以上の凝集欠陥を実質的に有さないシリコンインゴットを製造することができる。特に、本発明は、結晶成長の間に、溶融シリコン及び結晶(メルト−固体)界面の形状を制御することによって、凝集真性点欠陥の生成を制御及び/又は抑制することができる。メルト−固体界面形状は、結晶に対して凹面の形状、凸面の形状であってもよいし、又は結晶に対して凹面及び凸面の形状の両者を有している形状(例えば、ガルウイング(sea gull wing)の形状)であってもよい。メルト−固体界面形状は、結晶成長の間の欠陥制御のために重要なパラメータであることが見出されている。
HDR=[Hc−He]/半径×100 (1)
[式中、Hcは結晶中央部のメルト表面からの高さであり、Heは結晶縁部のメルト表面からの高さである。]
によって求められる。200mm以外の直径を有する結晶については、最大高さ偏差比(HDR)は結晶半径あたり−0.06の勾配(−0.06/結晶半径の勾配)で徐々に低下する。
もう1つの態様では、付録A(APPENDIX A)に記載するようにして許容範囲又は操作ウインドウ(operating window)が決められる。
操作ウインドウを規定する方法
1150℃と1000℃との間の温度を通過する冷却速度は、この方法のために最大限に可能な許容され得る操作ウインドウを決定する。操作ウインドウは、引上げ速度という用語によって規定される。ある位置における結晶の平均引上げ速度をxmm/分と仮定すると、ymm/分の最大操作ウインドウは、その選択された位置における実質的に微小欠陥のない結晶は、x+y/2mm/分とx−y/2mm/分との間の引上げ速度範囲内で製造することができるということを意味する。このことは、以下のようにして求められる。
Claims (20)
- 半導体材料メルトが入れられている加熱ルツボを有し、チョクラルスキー法に従って単結晶インゴットを成長させるための結晶成長装置であって、前記半導体材料メルトから該インゴットを引上げるにあたり、前記半導体材料メルトから引上げられた種結晶上に該インゴットを成長させる結晶成長装置と組合せて用いられる方法であって、
結晶成長装置の操作パラメータについての設定ポイントを、引上げの間のインゴットの長さの関数として決める工程であって、該設定ポイントは予め決められたメルト−固体界面形状プロファイルによって規定し、メルト−固体界面形状プロファイルはメルトに影響を及ぼす操作条件及びインゴットの長さの関数として引上げの間のインゴットとメルトとの間のメルト−固体界面の所望の形状を表す工程;並びに
インゴットをメルトから引上げながら、決められた操作パラメータ設定ポイントに従って結晶成長装置の操作条件を調節して、メルト−固体界面の形状を制御する工程
を含んでなる方法。 - 操作条件は、メルトの温度;ルツボ内の磁界;インゴットの回転速度;インゴットの回転の向き;ルツボの回転速度;及びルツボの回転の向きから選ばれる1つまたはそれ以上の事項を含む請求項1記載の方法。
- 操作パラメータ設定ポイントは、結晶成長装置のヒータ電源のためのヒータ出力設定ポイント;結晶成長装置の磁界電源のための磁界出力設定ポイント;結晶成長装置のルツボ駆動装置のためのルツボ回転速度設定ポイント;及び結晶成長装置の結晶駆動装置のための結晶回転速度設定ポイントから選ばれる1つまたはそれ以上の事項を含む請求項1記載の方法。
- 決められた操作パラメータ設定ポイントに従って操作条件を調節することが、ヒータ出力設定ポイントに基づいて結晶成長装置のヒータへ供給される出力を調節して、メルトの温度勾配を変化させ、メルト−固体界面の形状を制御することを含む請求項3記載の方法。
- 決められた操作パラメータ設定ポイントに従って操作条件を調節することが、磁界出力設定ポイントに基づいて結晶成長装置の磁石へ供給される出力を調節して、メルトの対流を変化させ、メルト−固体界面の形状を制御することを含む請求項3記載の方法。
- 決められた操作パラメータ設定ポイントに従って操作条件を調節することが、ルツボ回転速度設定ポイントに基づいて結晶成長装置のルツボ駆動装置へ供給される出力を調製すること、及び、結晶回転速度設定ポイントに基づいて結晶成長装置の結晶駆動装置へ供給される出力を調製することによって、メルトの対流を変化させ、メルト−固体界面の形状を制御することを含む請求項3記載の方法。
- ルツボ及びインゴットを反対方向に回転させて、メルト−固体界面の形状を制御する請求項1記載の方法。
- ルツボ及びインゴットを同じ方向に回転させて、メルト−固体界面の形状を制御する請求項1記載の方法。
- 予めコンピュータで求められた結晶熱境界条件を有する結晶成長装置の選択されたホットゾーンについて、操作パラメータのための設定ポイントが決定されている請求項1記載の方法。
- メルト−固体界面の形状プロファイルを決めることを更に含んでなる請求項1記載の方法。
- メルト−固体界面の形状プロファイルを決めることが、
モデルインゴットの長手方向に沿った複数の軸方向位置を選択すること;
特定された各軸方向位置についての複数のメルト−固体界面形状を規定すること;
各軸方向位置及び各メルト−固体界面形状について結晶成長装置のホットゾーンのサーマルモデルを決めること;
傾斜引上げ速度を表す速度プロファイルを規定すること;
モデルインゴットの1つの領域に生じる1またはそれ以上の点欠陥を表す点欠陥モデルであって、特定された各軸方向位置についてそれぞれ決められた各メルト−固体界面形状についてのV/I遷移を特定するためのサーマルモデル及び速度プロファイルに対応する点欠陥モデルを決めること;並びに
複数の特定された軸方向位置のそれぞれについて実質的にフラットなV/I遷移に対応する目標メルト−固体界面形状を特定すること
を含む請求項10記載の方法。 - 特定した目標形状及びメルト−固体界面形状プロファイルにおける対応する軸方向位置を記録することを更に含む請求項11記載の方法。
- サーマルモデルを決めることが、ホットゾーン熱特性の変化を表す界面形状応答モデルを決めることを含む請求項11記載の方法。
- 半導体材料メルトが入れられている加熱ルツボを有し、チョクラルスキー法に従って単結晶インゴットを成長させるための結晶成長装置であって、前記半導体材料メルトから該インゴットを引上げるにあたり、前記半導体材料メルトから引上げられた種結晶上に該インゴットを成長させる結晶成長装置と組合せて用いる、メルト−固体界面形状プロファイルを決めるための方法であって、
前記メルト−固体界面形状プロファイルはインゴットの長さの関数として、引上げの間のインゴットとメルトとの間のメルト−固体界面の所望の形状を表しており、更に
モデルインゴットの長手方向に沿った複数の軸方向位置を選択すること;
特定された各軸方向位置についての複数のメルト−固体界面形状を規定すること;
各軸方向位置及び各メルト−固体界面形状について結晶成長装置のホットゾーンのサーマルモデルを決めること;
傾斜引上げ速度を表す速度プロファイルを規定すること;
モデルインゴットの1つの領域に生じる1またはそれ以上の点欠陥を表す点欠陥モデルであって、特定された各軸方向位置についてそれぞれ決められた各メルト−固体界面形状を特定するためのサーマルモデル及び速度プロファイルに対応する点欠陥モデルを決めること;並びに
複数の特定された軸方向位置のそれぞれについて実質的にフラットなV/I遷移に対応する目標メルト−固体界面形状を特定すること
を含んでなる方法。 - 半導体材料メルトが入れられている加熱ルツボを有し、チョクラルスキー法に従って単結晶インゴットを成長させるための結晶成長装置であって、前記半導体材料メルトから該インゴットを引上げるにあたり、前記半導体材料メルトから引上げられた種結晶上に該インゴットを成長させる結晶成長装置と組合せて用いるためのシステムであって、
予め決められたメルト−固体界面形状プロファイルであって、前記メルトに影響を及ぼす操作条件及びインゴットの長さの関数として引上げの間のインゴットとメルトとの間のメルト−固体界面の所望の形状を表す該メルト−固体界面形状プロファイルを記録するメモリ;
結晶成長装置の操作パラメータについての設定ポイントを、引上げの間のインゴットの長さの関数として決めるための、予め決められたメルト−固体界面プロファイルに応答するプロセッサ;並びに
所定の操作パラメータ設定ポイントに応答して、インゴットをメルトから引上げながら、決められた操作パラメータ設定ポイントに従って結晶成長装置の操作条件を調節して、メルト−固体界面の形状を制御するコントローラ
を有してなるシステム。 - 操作条件は、メルトの温度;ルツボ内の磁界;インゴットの回転速度;インゴットの回転の向き;ルツボの回転速度;及びルツボの回転の向きから選ばれる1つまたはそれ以上の事項を含む請求項15記載のシステム。
- 操作パラメータ設定ポイントは、結晶成長装置のヒータ電源のためのヒータ出力設定ポイント;結晶成長装置の磁界電源のための磁界出力設定ポイント;結晶成長装置のルツボ駆動装置のためのルツボ回転速度設定ポイント;及び結晶成長装置の結晶駆動装置のための結晶回転速度設定ポイントから選ばれる1つまたはそれ以上の事項を含む請求項15記載のシステム。
- コントローラは、メルト−固体界面の形状を制御するためにメルトの温度勾配を変化させるヒータ出力設定ポイントに従って結晶成長装置のヒータに供給される出力;及びメルト−固体界面の形状を制御するためにメルトの対流を変化させる磁界出力設定ポイントに従って結晶成長装置の磁界に供給される出力の一方又は両者を調節して、メルト−固体界面の形状を制御する請求項17記載のシステム。
- コントローラは、ルツボ回転速度設定ポイントに従って結晶成長装置のルツボ駆動装置へ供給される出力を調節し、及び、結晶回転速度設定ポイントに従って結晶成長装置の結晶駆動装置へ供給される出力を調節して、メルトの対流を変化させ、メルト−固体界面の形状を調節する請求項15記載のシステム。
- メルト−固体界面形状プロファイルを予め決めるためのV/Iシミュレータであって、結晶の長手方向に沿った複数の軸方向位置におけるそれぞれのメルト−固体界面形状についての温度勾配を生じさせるための温度モデルを含むV/Iシミュレータ;
メモリ内に記録されており、傾斜引上げ速度を規定する速度プロファイル;
規定された複数のメルト−固体界面形状についてそれぞれ過剰な空孔が優勢な領域から過剰な自己格子間原子が優勢な領域への遷移を表す予期されたV/I遷移を生じる温度モデル及び速度プロファイルに応答する点欠陥モデル
を更に有してなり、
生じたV/I遷移をオペレータが試験して、メモリ内にメルト−固体界面プロファイルとして記録するための特定された複数の軸方向位置のそれぞれについての実質的にフラットなV/I遷移に対応する目標形状を特定する請求項15記載のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US57772204P | 2004-06-07 | 2004-06-07 | |
US11/145,626 US20060005761A1 (en) | 2004-06-07 | 2005-06-06 | Method and apparatus for growing silicon crystal by controlling melt-solid interface shape as a function of axial length |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005350347A true JP2005350347A (ja) | 2005-12-22 |
Family
ID=35539992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005166791A Pending JP2005350347A (ja) | 2004-06-07 | 2005-06-07 | 軸方向長さの関数としてメルト−固体界面形状を制御することによってシリコン結晶を成長させる装置及び方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060005761A1 (ja) |
EP (1) | EP1605079B1 (ja) |
JP (1) | JP2005350347A (ja) |
KR (1) | KR100848435B1 (ja) |
CN (1) | CN100529197C (ja) |
DE (1) | DE602005011528D1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018535917A (ja) * | 2015-12-04 | 2018-12-06 | グローバルウェーハズ カンパニー リミテッドGlobalWafers Co.,Ltd. | 低酸素含有シリコンを生産するシステム及び方法 |
CN115287762A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-11-04 | 中电化合物半导体有限公司 | 一种晶体结晶界面控制装置和碳化硅晶体生长方法 |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4483729B2 (ja) * | 2005-07-25 | 2010-06-16 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶製造方法 |
JP5073257B2 (ja) | 2006-09-27 | 2012-11-14 | Sumco Techxiv株式会社 | 単結晶製造装置及び方法 |
CN100560810C (zh) * | 2007-09-18 | 2009-11-18 | 山东大学 | 集成式可编程晶体生长控制系统 |
JP5574645B2 (ja) * | 2009-09-07 | 2014-08-20 | Sumco Techxiv株式会社 | 単結晶シリコンの製造方法 |
US8774959B2 (en) * | 2009-12-15 | 2014-07-08 | Japan Super Quartz Corporation | Method of calculating temperature distribution of crucible |
JP2012166979A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Sumco Corp | 多結晶シリコンの電磁鋳造方法および電磁鋳造装置 |
CN102154685B (zh) * | 2011-03-15 | 2012-08-15 | 杭州精功机电研究所有限公司 | 一种基于隔板升降的晶体生长界面控制方法 |
CN102534757A (zh) * | 2012-01-06 | 2012-07-04 | 南京师范大学 | 基于工业总线的晶体生长智能控制系统 |
KR101665827B1 (ko) * | 2014-12-30 | 2016-10-12 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 계면의 형상을 제어할 수 있는 단결정 성장 방법 |
JP6428796B2 (ja) * | 2015-02-03 | 2018-11-28 | 株式会社Sumco | 単結晶引き上げ装置のクリーニング方法及びこれに用いるクリーニング用具並びに単結晶の製造方法 |
KR101680213B1 (ko) * | 2015-04-06 | 2016-11-28 | 주식회사 엘지실트론 | 실리콘 단결정 잉곳의 성장 방법 |
TWI586853B (zh) * | 2015-11-13 | 2017-06-11 | 中美矽晶製品股份有限公司 | 熔料參數的預測方法 |
JP6604338B2 (ja) * | 2017-01-05 | 2019-11-13 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶の引き上げ条件演算プログラム、シリコン単結晶のホットゾーンの改良方法、およびシリコン単結晶の育成方法 |
KR101962175B1 (ko) * | 2017-08-28 | 2019-03-26 | 에스케이실트론 주식회사 | 단결정 잉곳 성장을 위한 용융액을 형성하는 방법 |
CN107653489B (zh) * | 2017-09-15 | 2020-06-09 | 福建晶安光电有限公司 | 一种晶体的生长方法 |
KR102065837B1 (ko) | 2018-01-09 | 2020-01-13 | 에스케이실트론 주식회사 | 단결정 잉곳 성장용 온도제어장치 및 이에 적용된 온도제어방법 |
JP6844560B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2021-03-17 | 株式会社Sumco | シリコン融液の対流パターン制御方法、シリコン単結晶の製造方法、および、シリコン単結晶の引き上げ装置 |
US20200002839A1 (en) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | Global Wafers Co., Ltd. | Monitoring a moving average of the ingot neck pull rate to control the quality of the neck for ingot growth |
US20200002838A1 (en) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | Global Wafers Co., Ltd. | Methods for producing a silicon ingot that involve monitoring a moving average of the ingot neck pull rate |
CN108950679B (zh) * | 2018-06-28 | 2020-04-28 | 西安交通大学 | 一种在线监测直拉单晶炉内长晶界面形状的方法 |
WO2020210129A1 (en) * | 2019-04-11 | 2020-10-15 | Globalwafers Co., Ltd. | Process for preparing ingot having reduced distortion at late body length |
CN113584572B (zh) * | 2019-08-21 | 2022-05-10 | 眉山博雅新材料股份有限公司 | 一种晶体制备装置 |
WO2021031142A1 (zh) | 2019-08-21 | 2021-02-25 | 眉山博雅新材料有限公司 | 上提拉开放式单晶炉 |
CN111041551B (zh) * | 2020-01-06 | 2021-02-05 | 北京北方华创真空技术有限公司 | 直拉硅单晶炉 |
CN112080794B (zh) * | 2020-04-20 | 2022-10-21 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 用于晶体生长过程中温度控制的方法和系统 |
US11987899B2 (en) * | 2020-11-12 | 2024-05-21 | Globalwafers Co., Ltd. | Methods for preparing an ingot in an ingot puller apparatus and methods for selecting a side heater length for such apparatus |
WO2022147835A1 (zh) * | 2021-01-11 | 2022-07-14 | 眉山博雅新材料有限公司 | 一种晶体生长控制方法和系统 |
CN113417004B (zh) * | 2021-05-27 | 2022-05-20 | 中山大学 | 一种基于提拉法的晶体生长界面形状的探测方法和装置 |
CN114411236B (zh) * | 2022-02-10 | 2023-06-27 | 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 | 一种模拟晶体的生长方法、晶体的生长方法及装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62256790A (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-09 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 半導体単結晶の製造方法およびその製造装置 |
JPH09208379A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-12 | Sumitomo Sitix Corp | 単結晶引き上げ方法 |
JPH1179889A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-23 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 結晶欠陥が少ないシリコン単結晶の製造方法、製造装置並びにこの方法、装置で製造されたシリコン単結晶とシリコンウエーハ |
JP2001261495A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-26 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 無欠陥結晶の製造方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6027682A (ja) * | 1983-07-26 | 1985-02-12 | Toshiba Corp | 単結晶引上装置 |
JPS6144797A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-04 | Toshiba Corp | 単結晶育成装置およびその制御方法 |
US4617173A (en) * | 1984-11-30 | 1986-10-14 | General Signal Corporation | System for controlling the diameter of a crystal in a crystal growing furnace |
JP2561072B2 (ja) * | 1986-04-30 | 1996-12-04 | 東芝セラミツクス株式会社 | 単結晶の育成方法及びその装置 |
US5137699A (en) * | 1990-12-17 | 1992-08-11 | General Electric Company | Apparatus and method employing interface heater segment for control of solidification interface shape in a crystal growth process |
US5178720A (en) * | 1991-08-14 | 1993-01-12 | Memc Electronic Materials, Inc. | Method for controlling oxygen content of silicon crystals using a combination of cusp magnetic field and crystal and crucible rotation rates |
EP0732427B1 (en) * | 1995-03-16 | 2002-02-06 | Sumitomo Electric Industries, Limited | A method and apparatus for the growth of a single crystal |
US5653799A (en) * | 1995-06-02 | 1997-08-05 | Memc Electronic Materials, Inc. | Method for controlling growth of a silicon crystal |
US5593498A (en) * | 1995-06-09 | 1997-01-14 | Memc Electronic Materials, Inc. | Apparatus for rotating a crucible of a crystal pulling machine |
JP3449128B2 (ja) * | 1996-08-30 | 2003-09-22 | 信越半導体株式会社 | 単結晶成長方法 |
US5846318A (en) * | 1997-07-17 | 1998-12-08 | Memc Electric Materials, Inc. | Method and system for controlling growth of a silicon crystal |
EP1035234A4 (en) * | 1997-08-26 | 2003-05-28 | Sumitomo Mitsubishi Silicon | HIGH QUALITY SINGLE SILICON CRYSTAL AND MANUFACTURING METHOD |
US5882402A (en) * | 1997-09-30 | 1999-03-16 | Memc Electronic Materials, Inc. | Method for controlling growth of a silicon crystal |
JP3943717B2 (ja) * | 1998-06-11 | 2007-07-11 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶ウエーハ及びその製造方法 |
JP2002539060A (ja) * | 1998-10-14 | 2002-11-19 | エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド | 結晶を正確に引き揚げるための方法及び装置 |
JP3783495B2 (ja) * | 1999-11-30 | 2006-06-07 | 株式会社Sumco | 高品質シリコン単結晶の製造方法 |
JP3573045B2 (ja) * | 2000-02-08 | 2004-10-06 | 三菱住友シリコン株式会社 | 高品質シリコン単結晶の製造方法 |
JP4192530B2 (ja) * | 2002-08-27 | 2008-12-10 | 株式会社Sumco | パーティクルモニター用シリコン単結晶ウェーハの製造方法 |
CN1324166C (zh) * | 2002-11-12 | 2007-07-04 | Memc电子材料有限公司 | 利用坩锅旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法 |
-
2005
- 2005-06-06 US US11/145,626 patent/US20060005761A1/en not_active Abandoned
- 2005-06-07 EP EP05253486A patent/EP1605079B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-06-07 CN CNB2005100878337A patent/CN100529197C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-06-07 KR KR1020050048549A patent/KR100848435B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-06-07 DE DE602005011528T patent/DE602005011528D1/de active Active
- 2005-06-07 JP JP2005166791A patent/JP2005350347A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62256790A (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-09 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 半導体単結晶の製造方法およびその製造装置 |
JPH09208379A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-12 | Sumitomo Sitix Corp | 単結晶引き上げ方法 |
JPH1179889A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-23 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 結晶欠陥が少ないシリコン単結晶の製造方法、製造装置並びにこの方法、装置で製造されたシリコン単結晶とシリコンウエーハ |
JP2001261495A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-26 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 無欠陥結晶の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018535917A (ja) * | 2015-12-04 | 2018-12-06 | グローバルウェーハズ カンパニー リミテッドGlobalWafers Co.,Ltd. | 低酸素含有シリコンを生産するシステム及び方法 |
JP2022033854A (ja) * | 2015-12-04 | 2022-03-02 | グローバルウェーハズ カンパニー リミテッド | 低酸素含有シリコンを生産するシステム及び方法 |
CN115287762A (zh) * | 2022-10-08 | 2022-11-04 | 中电化合物半导体有限公司 | 一种晶体结晶界面控制装置和碳化硅晶体生长方法 |
CN115287762B (zh) * | 2022-10-08 | 2022-12-09 | 中电化合物半导体有限公司 | 一种晶体结晶界面控制装置和碳化硅晶体生长方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE602005011528D1 (de) | 2009-01-22 |
US20060005761A1 (en) | 2006-01-12 |
CN100529197C (zh) | 2009-08-19 |
EP1605079A1 (en) | 2005-12-14 |
EP1605079B1 (en) | 2008-12-10 |
CN1737216A (zh) | 2006-02-22 |
KR100848435B1 (ko) | 2008-07-28 |
KR20060048231A (ko) | 2006-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005350347A (ja) | 軸方向長さの関数としてメルト−固体界面形状を制御することによってシリコン結晶を成長させる装置及び方法 | |
US6472040B1 (en) | Semi-pure and pure monocrystalline silicon ingots and wafers | |
US6045610A (en) | Methods of manufacturing monocrystalline silicon ingots and wafers by controlling pull rate profiles in a hot zone furnance | |
JP4808832B2 (ja) | 無欠陥結晶の製造方法 | |
EP1831436B1 (en) | Controlling melt-solid interface shape of a growing silicon crystal using a variable magnetic field | |
EP1310583B1 (en) | Method for manufacturing of silicon single crystal wafer | |
JP3627498B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
US7427325B2 (en) | Method for producing high quality silicon single crystal ingot and silicon single crystal wafer made thereby | |
JP5381558B2 (ja) | シリコン単結晶の引上げ方法 | |
JP3601328B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法およびこの方法で製造されたシリコン単結晶とシリコンウエーハ | |
JP2005015312A (ja) | 単結晶の製造方法及び単結晶 | |
EP1650332A1 (en) | Method for producing single crystal and single crystal | |
KR101862157B1 (ko) | 단결정 실리콘 잉곳 제조 방법 및 장치 | |
JP2005015313A (ja) | 単結晶の製造方法及び単結晶 | |
EP1624094B1 (en) | Method for producing single crystal | |
JP4457584B2 (ja) | 単結晶の製造方法及び単結晶 | |
JP6135611B2 (ja) | 点欠陥濃度計算方法、Grown−in欠陥計算方法、Grown−in欠陥面内分布計算方法及びこれらを用いたシリコン単結晶製造方法 | |
JP2009091237A (ja) | 極低欠陥半導体単結晶製造方法及びその製造装置 | |
KR101540567B1 (ko) | 단결정 잉곳, 이를 제조하는 방법 및 장치 | |
JP4134800B2 (ja) | 単結晶製造用黒鉛ヒーター及び単結晶製造装置ならびに単結晶製造方法 | |
KR101379798B1 (ko) | 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치 및 방법 | |
KR101366154B1 (ko) | 반도체용 고품질 실리콘 단결정 잉곳 및 웨이퍼 | |
EP1666643A1 (en) | Process for producing single crystal and apparatus for single crystal production | |
US20240003047A1 (en) | Method and apparatus for growing silicon single crystal ingots | |
KR101379799B1 (ko) | 단결정 실리콘 잉곳 성장 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050816 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080605 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110510 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111101 |