JP2005340687A - 積層基板及びその製造方法、かかる積層基板を有する電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 製造を容易にし、層間接続の電気的・機械的特性を安定にする積層基板及びその製造方法、かかる積層基板を有する電子機器を提供する。
【解決手段】 プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層と、前記コア層と前記ビルドアップ層とを電気的に接続及び接着する接合層とを有する積層基板であって、前記接合層は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含むことを特徴とする積層基板を提供する。
【選択図】 図2
【解決手段】 プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層と、前記コア層と前記ビルドアップ層とを電気的に接続及び接着する接合層とを有する積層基板であって、前記接合層は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含むことを特徴とする積層基板を提供する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、一般に積層基板及びその製造方法に係り、特に、コア層とその両面にビルドアップ層とを有する積層基板(「ビルドアップ基板」とも呼ばれる)及びその製造方法に関する。
従来から電子機器の小型化及び軽量化の要請に応えるために、ビルドアップ基板は、ノート型パーソナルコンピュータ(PC)、デジタルカメラ、サーバー、携帯電話などに使用されている。ビルドアップ基板は、両面プリント基板又は多層プリント基板をコア(芯材)とし、その両面又は片面にマイクロビア技術によって層間接続されたビルドアップ層(絶縁層と配線層の積層)を付加させる。両面貼り合わせによって反りのバランスを維持することができる。マイクロビアは、スルーホール接続よりパッド径を減少してボードを小型・軽量化にし、高密度配線により低コスト化にし、ビヤ径とビヤ長さを小さくできるので寄生容量など電気特性を向上することができるという特長を有する。
ビルドアップ基板の製造方法としては、特許文献1のように、コア層の両面にビルドアップ層を一層ずつ積層していく方式が知られている。また、特許文献2や非特許文献1のように、多層基板の層間接続を任意の場所で形成した構造であるIVH(Inner Via Hole)構造を全層にしたALIVH(Any Layer IVH)においては、各層の接合に導電性ペースト(銀ペースト)を接着剤として使用している。
その他の従来技術としては、例えば、特許文献3がある。
特開平2003−218519号公報
特開平2001−352171号公報
特開平2001−172606号公報
平成16年5月23日検索、多層プリント配線板インターネット<URL:http://industrial.panasonic.com/www-ctlg/ctlgj/qANE0000_J.html>
しかし、従来の製造方法は、ビルドアップ基板の層間において所定の導通性、接続強度及び信頼度を必ずしも同時に満足することができなかった。例えば、ビルドアップ基板をLSIウェハテスト等の大型テスタ基板に適用した場合には、基板の熱膨張率をLSI(シリコン)の熱膨張率に近づける必要がある。ビルドアップ基板の熱膨張率はコア層のコア材にある程度依存することが知られているため、この結果、コア層はビルドアップ層に比べて熱膨張率が大幅に低くなる。熱膨張率が大きく異なる2種類の層を、例えば、熱硬化型接着剤に銀のフィラーを含有する銀ペーストを用いて接合すると、銀により層間の導通を確保することができる。しかし、銀自体には接着性はないので全体の接着力は弱まる。コア層とビルドアップ層の熱膨張差が大きいほど熱応力、熱歪みが大きくなるため、層間接続が破壊するという問題がある。
かかる問題を解決するために、本発明者らは、まず導電性ペーストの代わりにハンダを使用することを検討した。ハンダを使用すれば導電性と接着力を高めることができる。しかし、通常のハンダは、熱硬化型接着剤を硬化させる温度よりもはるかに高い温度で溶融するので、かかる温度から常温に戻る際にコア層とビルドアップ層との間の熱応力、熱歪みが増大し、両層の破壊や変形、層間接続の破壊を招くおそれがある。このため、本発明者らは低温ハンダを使用することを次に検討したが、低温ハンダは後工程におけるリフロー等の加熱によって再溶融するという問題を招くため、信頼性が低い。
そこで、本発明は、製造を容易にし、層間接続の電気的・機械的特性を安定にする積層基板及びその製造方法、かかる積層基板を有する電子機器を提供することを例示的目的とする。
本発明の一側面としての積層基板は、プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層と、前記コア層と前記ビルドアップ層とを電気的に接続及び接着する接合層とを有する積層基板であって、前記接合層は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含むことを特徴とする。かかる積層基板は、低い融点のハンダにより、接合時の熱応力・熱歪を下げることができる。一方、一旦ハンダが溶融した後はフィラーとハンダは合金として作用し、フィラーが接合層の融点を第2の融点よりも高くすることによって再溶融の温度を第2の融点よりも上げる。また、金属粒子により導通性を確保することができる。
前記コア層は前記ビルドアップ層よりも熱膨張率が低いことが好ましい。コア層(におけるコア)は、積層基板の熱膨張率をある程度支配することが知られている。例えば、積層基板がLSIウェハ用のテスター基板として使用される場合には、LSIウェハのシリコンと同様の熱膨張率を有するように構成することができる。前記ビルドアップ層は前記コア層の両側に設けられていることが好ましい。これにより、反りのバランスを確保することができる。
前記コア層と前記ビルドアップ層とを接合する絶縁性接着剤を更に有してもよい。これにより、フィラーよりも強い所望の接着力を維持することができる。前記第2の融点は、前記絶縁性接着剤の融点以下であることが好ましい。これにより、ハンダメッキを利用した接合と絶縁性接着剤を利用した接着とを同時に行うことができる。
前記ハンダメッキの厚さは1μm以上であることが好ましい。ハンダメッキの厚さは接着力を規定する。ハンダ量が少なくなれば、従来のALIVHにおける銀ペーストのように、接合力が低下するからである。
本発明の別の側面としての製造方法は、プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層とを有する積層基板の製造方法であって、前記コア層と前記ビルドアップ層とが電気的に接続される部位に対応する位置において、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含む導電性接着剤を配置するステップと、前記導電性接着剤が配置された前記コア層の上に前記ビルドアップ層を加圧及び加熱することによって前記コア層と前記ビルドアップ層とを接合するステップとを有することを特徴とする。かかる製造方法は、上述の作用を奏する積層基板を製造することができる。
プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層とを有する積層基板の製造方法であって、前記コア層と前記ビルドアップ層とが電気的に接続される部位に対応する位置において、貫通孔を絶縁性接着シートに形成するステップと、前記コア層に前記絶縁性接着シートを配置するステップとを更に有し、前記配置ステップは、前記導電性接着剤を前記貫通孔に充填するステップを含むことを特徴とする。これにより、簡単な方法で絶縁性接着剤と導電性接着剤とをコア層の上に配置することができる。
前記製造方法は、前記コア層が良品かどうかを判定するステップと、前記ビルドアップ層が良品かどうかを判定するステップとを更に有し、前記配置ステップは、良品と判定された前記コア層を使用し、前記接合ステップは、良品と判定された前記ビルドアップ層を使用することが好ましい。良品判定を積層基板の製造完了前に行うことにより、良品と判定されたコア層とビルドアップ層とを接合することにより歩留まりを向上することができる。
前記導電性接着剤の再溶融温度が溶融温度よりも高くなるようにするには、例えば、前記金属粒子の粒径、ハンダメッキ厚、及び、前記フィラーの含有量の少なくとも一を調節する。前記再溶融温度は、例えば、250℃以上である。これにより、後工程で他の回路素子を積層基板に取り付けても再溶融を防止することができる。
上述の積層基板を有することを特徴とする電子機器も本発明の別の側面を構成する。
熱膨張率が異なる2つの部材と、当該部材を接続する接合層とを有する電子機器であって、前記接合層は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含むことを特徴とする。かかる電子機器は、熱膨張率に差がある2つの部材を接合する際に、両者間に働く熱応力・熱歪をハンダメッキによって低減し、フィラーが接合後の融点を高めて再溶融温度を上げる。前記2つの部材は、例えば、プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層であり、前記接合部材は、前記コア層と前記ビルドアップ層とを電気的に接続及び接着する接合層である。あるいは、前記2つの部材は、発熱性回路素子と、当該発熱性回路素子からの熱を伝達するためのヒートスプレッダである。これにより、接合時の温度を下げると共に発熱性回路素子(例えば、CPU)の発熱時の再溶融を防止することができる。
前記接合層は、カルボキシル基、アミン、フェノールのいずれか1種類を含む硬化剤と、アジピン酸、コハク酸、セバシン酸のいずれか1種類のカルボン酸を含む有機酸とを有することを特徴とする。これにより、ハンダの活性化(又は濡れ性)を向上することができ、即ち、酸化を防止してコア層に浸透する性能を向上することができる。
本発明の他の目的及び更なる特徴は、以下、添付図面を参照して説明される実施例により明らかにされる。
本発明によれば、製造を容易にし、層間接続の電気的・機械的特性を安定にする積層基板及びその製造方法、かかる積層基板を有する電子機器を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態である積層基板100の製造方法について説明する。ここで、図1は、積層基板100の製造方法を説明するためのフローチャートであり、図2は、図1の工程の概略断面図である。
まず、コア層110を製造する(ステップ1100)。本実施形態のコア層110は、シリコンの熱膨張率(約4.2×10−6/℃)と同じ程度の低熱膨張率を有するが、本発明はコア層の熱膨張率を限定するものではない。コア層110は、本実施形態では矩形形状又は円形状を有し、例えば、表裏4箇所(例えば、矩形形状の角部)に位置決め用の孔を有している。コア層は、コアとスルーホールを含み、コアの両側に積層構造を含んでいてもよいし、積層構造を含まなくてもよい。一般に、かかる積層構造のピッチは多層ビルドアップ層140の層間ピッチよりも大きい。
以下、コア層110の製造の詳細について、図3及び図4を参照して説明する。ここで、図3は、コア層110の製造方法を説明するためのフローチャートであり、図4は、図3の工程の概略断面図である。ここでは、積層構造を有しないコア層110の製造方法の例について説明する。
まず、図4(a)に示すように、絶縁性基板111にレーザ加工で貫通孔112を形成する(ステップ1102)。絶縁性基板111は、例えば、ガラスクロスエポキシ樹脂基材、ガラスクロスビスマレイミドトリアジン樹脂基材、ガラスクロスポリフェニレンエーテル樹脂基材、アラミドポリイミド液晶ポリマー等である。貫通孔112は、スルーホールとして機能する。本実施形態で準備した絶縁性基板111は熱硬化型エポキシ樹脂基材であり、厚みは約50μm樹脂である。レーザ加工は、例えば、パルス発振型炭酸ガスレーザ加工装置を使用する。加工条件は、例えば、パルスエネルギーが0.1〜1.0mJであり、パルス幅が1〜100μsであり、ショット数が2〜50の範囲である。レーザ加工によって設けられた貫通穴112の形状は直径d1が約60μmΦで直径d2が約40μmΦである。この後、貫通穴112の内部に残留する樹脂を取り除くため、酸素プラズマ放電、コロナ放電処理、過マンガン酸カリウム処理等によるデスミア処理を行う。更に貫通穴1Cの内面と絶縁性基板1の表裏全面に無電解メッキを施す。この無電解メッキの膜厚は約4500Åである。
次に、図4(b)に示すように、絶縁性基板111の表裏面にドライフィルムレジスト113を設ける(ステップ1104)。このドライフィルムレジスト113は、例えば、アルカリ現像タイプであり、感光性を有する。ドライフィルムレジスト113の膜厚は、例えば、約40μmである。ドライフィルムレジスト113を露光現像して所望するパターンのレジスト膜を得た。
次に、図4(c)に示すように、メッキ処理を行う(ステップ1106)。メッキ処理は直流電解メッキ法にて行われ、ステップ1102(図4(a))で設けた無電解メッキ層を電極として使用する。メッキ層114の材料は銅、スズ、銀、半田、銅とスズの合金、銅と銀の合金等でよく、メッキ可能な金属であれば種類は問わない。ステップ1104で得られたドライフィルムレジスト113付きの絶縁性基板111をメッキ浴槽に浸漬する。メッキ層114は貫通穴112の内面と絶縁性基板111の表裏全面共に同時に成長し、メッキ層114は厚みを増していく。厚みを増していく途中で、貫通穴112の底面部から表層部へ成長して、そしてメッキ層114により貫通穴112の底面部が閉じられる。
絶縁性基板111の表裏面のメッキ層114の厚みt1が、例えば、約60μmになるまでメッキ処理は継続され、貫通穴112を含めた絶縁性基板111の表裏両面がほぼ平坦化する。
その後に、エッチング及びレジスト剥離が行われる(ステップ1108)。絶縁性基板111の表裏両面のメッキ層114の凸凹を滑らかにするためと、表裏両面のメッキ層114の厚み調整のためにエッチングを行う。使用するエッチング液は塩化銅である。続いて、図4(d)に示すように、絶縁性基板111の表裏面に設けられたドライフィルムレジスト113を、剥離剤を利用して剥離する。剥離液は、例えば、アルカリ系剥離液である。この結果、ドライフィルムレジスト113を剥離した下層からステップ1102で設けた無電解メッキが露出する。続いて、この無電解メッキをエッチングする。使用するエッチング液は、例えば、硫酸過水素である。
なお、絶縁性基板111は、積層構造を有してもよい。例えば、絶縁性基板111は、上から第1の絶縁性基板の両側に第2及び第3の絶縁性基板を積層する。第1の絶縁性基板を、アラミド又はエポキシ系樹脂から構成し、厚さを約25μm、熱分解温度が約500℃に設定する。第2の絶縁性基板と第3の絶縁性基板には熱硬化型エポキシ樹脂を使用し、それぞれの厚さを約12.5μm、熱分解温度を約300℃に設定する。このように熱分解温度を異ならせると、ステップ1102におけるレーザ加工において貫通孔112の穴径を異ならせることができる。熱分解温度が低い第2及び第3の絶縁性基板の穴径は熱分解温度が高い第1の絶縁性基板の穴径より大きくなり、貫通穴112は図4(b)に示す台形形状ではなく断面が略X形状になる。これにより、図4(c)において、メッキ層114を絶縁性基板111の上下から同時に成長することができ、片面から成長させる図4(c)よりも処理時間を短縮することができる。
コア層110は、ビルドアップ層140と接合される前に良品判定を行い、良品のもののみをステップ1700に使用する。
次に、多層ビルドアップ層140を製造する(ステップ1200)。ビルドアップ層140は、本実施形態では矩形形状又は円形状を有し、例えば、4箇所(例えば、矩形形状の角部)に位置決め用の孔を有している。ビルドアップ層140は、絶縁部と配線部を有し、コア層110に電気的に接続される。ビルドアップ層140は積層構造を有し、内部にコア(芯材)を含んでいてもよいし、含まなくてもよい。以下、コアを含むビルドアップ層の製法例について、図5乃至図7を参照して説明する。ここで、図5は、ビルドアップ層140の製造方法を説明するためのフローチャートであり、図6は、図5のコア部の作成を説明するための各工程の概略断面図である。図7は、図5の積層部の作成を説明するための各工程の概略断面図である。
まず、ビルドアップ層140のコア部を作成する。
図6(a)に示すように、両側に銅142が張られたガラスクロス入りエポキシ樹脂141を基材として準備し、図6(b)に示すように、表裏導通を図るためにドリル加工にて貫通孔143を形成する(ステップ1202)。次に、図6(c)に示すように、貫通孔143内に銅メッキ114を施す(ステップ1204)。次に、図6(d)に示すように、貫通孔143内に樹脂145を充填する(ステップ1206)。次に、図6(e)に示すように、前面に蓋メッキと称する銅メッキ146を施す(ステップ1208)。最後に、図6(f)に示すように、サブトラクティブ法を利用してパターン147をエッチングにより形成してコア層140を完成する(ステップ1210)。
次に、コア部の両側に積層部を形成し、ビルドアップ層140を完成する。
まず、図7(a)に示すように、絶縁性基板151にコア層110のスルーホール112に対応する導体部152aと配線部用の導体部152bを銅メッキによって形成する(ステップ1212)。次に、図7(b)に示すように、レーザ穴加工を施し、銅メッキ152aが露出するような穴153を形成する(ステップ1214)。次に、図7(c)に示すように、無電解銅メッキ154を施す(ステップ1216)。次に、図7(d)に示すように、導体部152a及び152bに対応した場所に開口部を有するレジスト膜155を形成する(ステップ1218)。次に、図7(e)に示すように、銅パターンメッキを施す(ステップ1220)。この結果、導体部152a及び152bが絶縁性基板151の上面に形成されると共に穴153が導体部152cによって塞がれる。次に、図7(f)に示すように、レジスト剥離/銅エッチングを行う(ステップ1222)。次に、図7(g)に示すように、ステップ1212乃至1222を繰り返し、必要層数を有するビルドアップ層140を形成する(ステップ1224)。
最後に、図6(g)に示すように、図6(f)のコア部の表裏に図7の工程を繰り返すことによってビルドアップ層140を完成する。ビルドアップ層140は、コア層110に接合される前に良品判定を行い、良品のもののみをステップ1700に使用する。
最後に、図6(g)に示すように、図6(f)のコア部の表裏に図7の工程を繰り返すことによってビルドアップ層140を完成する。ビルドアップ層140は、コア層110に接合される前に良品判定を行い、良品のもののみをステップ1700に使用する。
次に、図2(a)に示すように、絶縁性接着シート170をパターン加工する(ステップ1300)。絶縁性接着シート170は、例えば、エポキシ樹脂から構成され、様々な種類の絶縁性接着シートが商業的に入手可能である。エポキシ樹脂は熱硬化型接着剤であり、150℃で硬化するが、80℃程度になれば柔らかくなってコア層110と密着して仮止め効果を有する。
絶縁性接着シート170の高さは、導電性接着剤180の量を決定する。コア層110とビルドアップ層140とが電気的に接続される部位に対応する位置において貫通孔172を絶縁性接着シートにドリル174により形成する。図2においては、一定間隔で貫通孔172が設けられているが、かかる配置は例示的である。また、絶縁性接着シート170は本実施形態では矩形形状又は円形状を有し、例えば、4箇所(例えば、矩形形状の角部)に位置決め用の孔を有している。
次に、図2(b)に示すように、一対の絶縁性接着シート170をコア層110の両側に位置決め及び仮止めする(ステップ1400)。貫通孔172はコア層110とビルドアップ層140とが電気的に接続される部位、即ち、電気接続パッド部、に位置決めされている。本実施形態においては、コア層110と絶縁性接着シート170との位置決めは、両者の位置決め用の孔を合わせてピンを挿すことによって行われる。このように本実施形態では機械的な位置合わせ手段を採用しているが、位置合わせ手段の方法は問わない。例えば、両者にアライメント用のマークを設けて光学的手段で位置合わせを行ってもよい。
仮止めは、コア層110と接着シート170とを、例えば、約80℃に予備加熱することによって行う。加熱後に位置合わせ用のピンを抜く。なお、本実施形態では、コア層110に接着シート170を位置決めして仮止めしたが、ビルドアップ層140仮止めして固定してもよい。
次に、導電性接着剤180を調製する(ステップ1500)。導電性接着剤は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤(例えば、エポキシ樹脂)に含有させたものである。本実施形態の導電性接着剤180に含まれる基材としての接着剤はエポキシ樹脂であるため、熱硬化温度は150℃である。金属粒子は、本実施形態では高融点金属粒子であり、例えば、Cu、Niなどであり、その融点は基材としての接着剤の熱硬化温度よりも高いことが好ましい。ハンダは、本実施形態では低温ハンダであり、例えば、Sn−Biから構成され、融点は138℃である。低温ハンダの融点は基材としての接着剤の熱硬化温度よりも低いことが好ましい。これは、ハンダが溶融する前に接着剤を熱硬化させないためである。
このように、導電性接着剤180は、高融点金属粒子をコアとし、表面に低温ハンダをメッキした導電性フィラー入りの接着剤である。いろいろな粒子径の金属粒子の粉末を、商業的に入手することができる。本実施形態では、無電解メッキによって金属粒子の表面にメッキを施す。金属粒子の表面のメッキ厚は、例えば、水溶液に浸漬する時間によって制御可能である。もちろん本発明はメッキ方法を限定するものではない。
本実施形態の導電性接着剤180には幾つかの満足すべき性能があり、かかる性能は、導通性、溶融温度、再溶融温度、接合力を含む。導通性が不足すればコア層110とビルドアップ層140との電気的接続が不安定になり、積層基板100の電気的特性が劣化する。溶融温度が高ければ、コア層110とビルドアップ層140との間に働く(即ち、導電性接着剤180が受ける)熱応力・熱歪が大きくなり、両層や導電性接着剤180が破壊するなど好ましくない。このため、溶融温度は低い方が好ましい。一方、再溶融温度が低いと後工程で積層基板100に別の回路素子を取り付ける際に温度が250℃程度まで上昇すれば導電性接着剤180が溶け出して接着力や導通性が失われるなど好ましくない。このため、再溶融温度は250℃以上であることが好ましい。また、接合力は、安定した導通性と積層構造を維持するために、従来の銀フィラーを使用する銀ペーストよりも高いことが好ましい。
導電性接着剤180による導通性はフィラーの含有量とハンダ量に依存する。所定の導通量を確保するためにはこれらの量を制御する必要がある。
導電性接着剤180の溶融温度はメッキの融点である。本実施形態では、Sn−Biからなる低温ハンダを利用しているので、溶融温度は138℃である。
導電性接着剤180の再溶融温度は、メッキ厚とフィラーの粒径を制御することによって制御することができる。一旦ハンダが溶融した後はフィラーとハンダは合金として作用するため、フィラーにより再溶融温度を上げることができる。図8に、フィラー(Cu)の含有量を90%、粒径をφ20乃至40μmとした場合のSn−Biメッキ厚と再溶融温度との関係を示す。メッキ厚が2μmを超えるとハンダが拡散しきらずに残るため、再溶融温度もSn−Biの融点付近まで下がる。逆に、メッキ厚が2μm以下の場合はSn−Biが完全に拡散し、再溶融温度はほぼ一定になる。
一方、メッキ厚は導電性接着剤180の接合力を規定する。従来のALIVHの銀ペーストにおいては、銀フィラーによって接合力が低下している。一方、本実施形態では、ハンダメッキを施すことによって接合力の低下を防止している。従って、ハンダ量は多ければ多いほど接合力は増加する。しかし、上述のようにハンダ量が多いと再溶融温度が低下するために好ましくない。このため、導電性接着剤180が所定の接合強度と再溶融温度(信頼性)を両立するようにメッキ厚を決定する必要がある。
図8に示すグラフは、粒径が40μmよりも大きくなれば右側に移動し、粒径が20μm以下であれば、左側に移動する。一般にフィラーとして使用される粒径100μm以下の金属粒子に対してはSn−Biについては、メッキ厚が1μm以上であれば一般に所定の接合強度を維持することができる。
図8のグラフは使用されるフィラーやハンダの種類によっても変化する。本実施形態の導電性接着剤180には、積層基板100の熱膨張率をシリコンと同様にするという目的から、上述のように幾つかの満足すべき性能があるが、積層基板100にこのような目的がない場合には導電性接着剤180が満足すべき性能の程度も変化し得る。このため、上述のハンダメッキの種類、厚さ、フィラーの種類、粒径、含有率は、かかる性能に合わせて適宜選択される。
導電性接着剤180は、カルボキシル基、アミン、フェノールのいずれか1種類を含む硬化剤と、アジピン酸、コハク酸、セバシン酸のいずれか1種類のカルボン酸を含む有機酸とを有する。これにより、ハンダの活性化(又は濡れ性)を向上することができ、即ち、酸化を防止してコア層に浸透する性能を向上することができる。
次に、図2(c)に示すように、導電性接着剤180を貫通孔172に充填する(ステップ1600)。充填は、本実施形態においては、メタルマスクを使用したスクリーン印刷によって行うが、本発明は充填方法を限定するものではない。
次に、多重ビルドアップ層140をコア層110の両側に位置合わせをして、加熱及び加圧をすることによって接合する(ステップ1700)。位置合わせは、本実施例では、コア層110と接着シート170との位置合わせと同様に行われる。即ち、接着シート170に設けられた位置合わせ用の孔とビルドアップ層140に設けられた位置合わせ用の孔とを合わせてピンで留めることによって行う。加熱及び加圧は真空環境でプレスを行うこと(「真空ラミネート」ともいう。)により行う。
本実施形態では、コア層110とビルドアップ層140の接合前に、コア層110が良品かどうかを判定し、また、ビルドアップ層140が良品かどうかを判定し、良品と判定されたコア層及びビルドアップ層140のみを使用して、ステップ1700において接合を行う。良品判定を積層基板100の製造完了前に行うことにより、歩留まりを向上することができる。
本実施形態では、低温ハンダを使用しているので、通常のハンダを利用するよりも低い融点でハンダは溶融する。このため、加熱時の温度から常温に戻る際にコア層110とビルドアップ層140との間に作用する熱応力・熱歪を低減し、両層並びに接合層における破壊を防止することができる。一方、高融点金属粒子が導電性接着剤180の融点を低温ハンダの融点よりも高くすることによって再溶融の温度を上げることができる。この結果、後工程で回路素子を搭載しても導電性接着剤180が再溶融して接着の信頼性が低下することを防止することができる。金属粒子によりコア層110とビルドアップ層140との間の導通性を確保することができる。
図2(e)は完成した積層基板100を示している。ビルドアップ層170はコア層110の両側に配置されているので反りのバランスを維持することができる。
図9に積層基板100を適用したLSIウェハ用のテスタ基板200の上面図を示す。
導電性接着剤180にCuコア(粒径φ20乃至40μm)で表面はSn−Biハンダメッキ(メッキ厚2μm)を用いた。コア層110及びビルドアップ層140の熱膨張係数は、それぞれ1ppm/℃、20ppm/℃であり、積層後の完成体では3ppm/℃であり、接合部再溶融温度は250℃以上であることを確認した。
本実施形態の導電性接着剤180は、電子機器において、熱膨張率が異なる2つの部の接合に広く適用することができる。例えば、これらの2つの部材は、発熱性回路素子(例えば、CPU)と、当該発熱性回路素子からの熱を伝達するための伝熱部材(例えば、ヒートスプレッダやヒートシンク)であってもよい。これにより、接合時の温度を下げると共に発熱性回路素子の発熱時の再溶融を防止することができる。導電性接着剤180に使用されるエポキシ樹脂は、CPUを伝熱部材に強固に接合し、CPUからの熱を効率良く伝熱部材に伝達し、CPUを放熱する。
本実施形態の導電性接着剤180は、電子機器において、熱膨張率が異なる2つの部の接合に広く適用することができる。例えば、これらの2つの部材は、発熱性回路素子(例えば、CPU)と、当該発熱性回路素子からの熱を伝達するための伝熱部材(例えば、ヒートスプレッダやヒートシンク)であってもよい。これにより、接合時の温度を下げると共に発熱性回路素子の発熱時の再溶融を防止することができる。導電性接着剤180に使用されるエポキシ樹脂は、CPUを伝熱部材に強固に接合し、CPUからの熱を効率良く伝熱部材に伝達し、CPUを放熱する。
以上、本発明の好ましい実施態様及びその変形をここで詳細に説明してきたが、本発明はこれらの実施態様及び変形に正確に限定されるものではなく、様々な変形及び変更が可能である。例えば、本発明の電子機器は、LSIウェハ用のテスターだけでなく、ノート型パーソナルコンピュータ(PC)、デジタルカメラ、サーバー、携帯電話にも広く適用することができる。
本出願は更に以下の事項を開示する。
(付記1) プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層と、前記コア層と前記ビルドアップ層とを電気的に接続及び接着する接合層とを有する積層基板であって、前記接合層は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含むことを特徴とする積層基板。(1)
(付記2) 前記コア層は前記ビルドアップ層よりも熱膨張率が低いことを特徴とする付記1記載の積層基板。
(付記2) 前記コア層は前記ビルドアップ層よりも熱膨張率が低いことを特徴とする付記1記載の積層基板。
(付記3) 前記ビルドアップ層は前記コア層の両側に設けられていることを特徴とする付記1記載の積層基板。
(付記4) 前記コア層と前記ビルドアップ層とを接合する絶縁性接着剤を更に有することを特徴とする付記1記載の積層基板。
(付記5) 前記第2の融点は、前記絶縁性接着剤の融点以下であることを特徴とする付記4記載の積層基板。
(付記6) プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層とを有する積層基板の製造方法であって、前記コア層と前記ビルドアップ層とが電気的に接続される部位に対応する位置において、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含む導電性接着剤を配置するステップと、前記導電性接着剤が配置された前記コア層の上に前記ビルドアップ層を加圧及び加熱することによって前記コア層と前記ビルドアップ層とを接合するステップとを有することを特徴とする製造方法。(2)
(付記7) プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層とを有する積層基板の製造方法であって、前記コア層と前記ビルドアップ層とが電気的に接続される部位に対応する位置において、貫通孔を絶縁性接着シートに形成するステップと、前記コア層に前記絶縁性接着シートを配置するステップとを更に有し、前記配置ステップは、前記導電性接着剤を前記貫通孔に充填するステップを含むことを特徴とする付記6記載の製造方法。
(付記7) プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層とを有する積層基板の製造方法であって、前記コア層と前記ビルドアップ層とが電気的に接続される部位に対応する位置において、貫通孔を絶縁性接着シートに形成するステップと、前記コア層に前記絶縁性接着シートを配置するステップとを更に有し、前記配置ステップは、前記導電性接着剤を前記貫通孔に充填するステップを含むことを特徴とする付記6記載の製造方法。
(付記8) 前記製造方法は、前記コア層が良品かどうかを判定するステップと、前記ビルドアップ層が良品かどうかを判定するステップとを更に有し、前記配置ステップは、良品と判定された前記コア層を使用し、前記接合ステップは、良品と判定された前記ビルドアップ層を使用することを特徴とする付記6記載の製造方法。
(付記9) 前記導電性接着剤の再溶融温度が溶融温度よりも高くなるように前記金属粒子の粒径、及び/又は、ハンダメッキ厚を調節するステップを更に有することを特徴とする付記6記載の製造方法。
(付記10) 前記再溶融温度は250℃以上であることを特徴とする付記9記載の製造方法。
(付記11) 付記1乃至5のうちいずれか一項記載の積層基板を有することを特徴とする電子機器。(5)
(付記12) 熱膨張率が異なる2つの部材と、当該部材を接続する接合層とを有する電子機器であって、前記接合層は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含むことを特徴とする電子機器。(3)
(付記13) 前記2つの部材は、プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層であり、前記接合部材は、前記コア層と前記ビルドアップ層とを電気的に接続及び接着する接合層であることを特徴とする付記12記載の電子機器。
(付記12) 熱膨張率が異なる2つの部材と、当該部材を接続する接合層とを有する電子機器であって、前記接合層は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含むことを特徴とする電子機器。(3)
(付記13) 前記2つの部材は、プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層であり、前記接合部材は、前記コア層と前記ビルドアップ層とを電気的に接続及び接着する接合層であることを特徴とする付記12記載の電子機器。
(付記14) 前記2つの部材は、発熱性回路素子と、当該発熱性回路素子からの熱を伝達するためのヒートスプレッダであることを特徴とする付記12記載の電子機器。
(付記15) 前記接合層は、カルボキシル基、アミン、フェノールのいずれか1種類を含む硬化剤と、アジピン酸、コハク酸、セバシン酸のいずれか1種類のカルボン酸を含む有機酸とを有することを特徴とする付記11乃至14のうちいずれか一項記載の電子機器。(4)
100 積層基板
110 コア層
140 ビルドアップ層
170 絶縁性接着剤(接着シート)
180 導電性接着剤
200 電子機器(テスタ基板)
110 コア層
140 ビルドアップ層
170 絶縁性接着剤(接着シート)
180 導電性接着剤
200 電子機器(テスタ基板)
Claims (5)
- プリント基板として機能するコア層と、
絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層と、
前記コア層と前記ビルドアップ層とを電気的に接続及び接着する接合層とを有する積層基板であって、
前記接合層は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含むことを特徴とする積層基板。 - プリント基板として機能するコア層と、絶縁部と配線部を有し、前記コア層に電気的に接続されるビルドアップ層とを有する積層基板の製造方法であって、
前記コア層と前記ビルドアップ層とが電気的に接続される部位に対応する位置において、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含む導電性接着剤を配置するステップと、
前記導電性接着剤が配置された前記コア層の上に前記ビルドアップ層を加圧及び加熱することによって前記コア層と前記ビルドアップ層とを接合するステップとを有することを特徴とする製造方法。 - 前記接合層は、
カルボキシル基、アミン、フェノールのいずれか1種類を含む硬化剤と、
アジピン酸、コハク酸、セバシン酸のいずれか1種類のカルボン酸を含む有機酸とを有することを特徴とする請求項1記載の積層基板。 - 請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の積層基板を有することを特徴とする電子機器。
- 熱膨張率が異なる2つの部材と、
当該部材を接続する接合層とを有する電子機器であって、
前記接合層は、第1の融点を有するフィラーとしての金属粒子の表面に、前記第1の融点よりも低い第2の融点を有するハンダメッキを施したものを接着剤に含有させたものを含むことを特徴とする電子機器。
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