JP2005339633A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005339633A5 JP2005339633A5 JP2004155005A JP2004155005A JP2005339633A5 JP 2005339633 A5 JP2005339633 A5 JP 2005339633A5 JP 2004155005 A JP2004155005 A JP 2004155005A JP 2004155005 A JP2004155005 A JP 2004155005A JP 2005339633 A5 JP2005339633 A5 JP 2005339633A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nanoparticle film
- recording medium
- magnetic layer
- nanoparticles
- recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (10)
- 基板上に磁性層を形成する工程と、
前記磁性層上の所望の部分にナノ粒子膜を形成する工程と、
前記ナノ粒子膜をマスクにして前記磁性層を切削加工する工程と、
その後ナノ粒子膜を除去して前記磁性層にパターンを形成する工程と、
を含むことを特徴とする記録媒体作製方法。 - 前記磁性層はFe,Co,Ni,Mn,Sm,Pt,Pd,Crのうち少なくとも1種類の元素を含む記録層であり、前記ナノ粒子膜はAu,Pt,Pdのうち少なくとも1種類の元素を含むナノ粒子からなる膜であることを特徴とする請求項1記載の記録媒体作製方法。
- 前記磁性層上の所望の部分に形成されたナノ粒子膜は、磁性層上の全面にナノ粒子が配置されて形成されたナノ粒子膜であることを特徴とする請求項1記載の記録媒体作製方法。
- 前記磁性層上の所望の部分に形成されたナノ粒子膜は、磁性層上においてナノ粒子が存在する部分と存在しない部分が交互に同心円状に形成された構造を持つナノ粒子膜であることを特徴とする請求項1記載の記録媒体作製方法。
- 前記磁性層上の所望の部分に形成されたナノ粒子膜は、磁性層上においてナノ粒子が存在する部分が前記磁性層上の格子点上に配置されてなるナノ粒子膜であることを特徴とする請求項1記載の記録媒体作製方法。
- 前記ナノ粒子膜は、形状が略球形で1nm以上100nm以下の範囲にある直径を持ち、粒子の粒径分散が10%以下であるナノ粒子が略規則的に1層配列したナノ粒子膜であることを特徴とする請求項1記載の記録媒体作製方法。
- 前記ナノ粒子膜を構成するナノ粒子は、形状が略球形であり、前記磁性層上に形成される微細な凹凸パターンのうち略円筒形の形状を持つ凸部分の直径とナノ粒子の直径が略同じであることを特徴とする請求項6記載の記録媒体作製方法。
- 前記ナノ粒子膜は、形状が略球形で1nm以上100nm以下の範囲にある直径を持ち、粒子の粒径分散が10%以下であるナノ粒子が略規則的に多層積層されたナノ粒子膜であることを特徴とする請求項4記載の記録媒体作製方法。
- 前記ナノ粒子膜は、形状が略球形で1nm以上100nm以下の範囲にある直径を持ち、粒子の粒径分散が10%以下であるナノ粒子が略規則的に多層積層されたナノ粒子膜であることを特徴とする請求項5記載の記録媒体作製方法。
- 記録媒体、前記記録媒体を駆動する媒体駆動部、記録ヘッドと再生ヘッドを搭載した磁気ヘッド、前記磁気ヘッドを前記記録媒体に対して相対的に駆動する磁気ヘッド駆動部、前記記録ヘッドへの記録信号及び前記再生ヘッドからの再生信号を処理する信号処理部を備える情報記録再生装置において、
前記記録媒体は、基板上にナノ粒子膜をマスクにしてパターニングされた磁性層を有することを特徴とする情報記録再生装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004155005A JP4418300B2 (ja) | 2004-05-25 | 2004-05-25 | 記録媒体作製方法とこれを用いた記録媒体及び情報記録再生装置 |
US11/134,399 US7732005B2 (en) | 2004-05-25 | 2005-05-23 | Method for producing recording medium, recording medium employing said method, and information recording and reproducing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004155005A JP4418300B2 (ja) | 2004-05-25 | 2004-05-25 | 記録媒体作製方法とこれを用いた記録媒体及び情報記録再生装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005339633A JP2005339633A (ja) | 2005-12-08 |
JP2005339633A5 true JP2005339633A5 (ja) | 2007-02-15 |
JP4418300B2 JP4418300B2 (ja) | 2010-02-17 |
Family
ID=35425685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004155005A Expired - Fee Related JP4418300B2 (ja) | 2004-05-25 | 2004-05-25 | 記録媒体作製方法とこれを用いた記録媒体及び情報記録再生装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7732005B2 (ja) |
JP (1) | JP4418300B2 (ja) |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4679585B2 (ja) * | 2004-12-16 | 2011-04-27 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | インプリントリソグラフィに使用されるナノディスクを形成するための方法 |
JP2006286159A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Canon Inc | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US20070231826A1 (en) * | 2005-10-19 | 2007-10-04 | General Electric Company | Article and assembly for magnetically directed self assembly |
US7926176B2 (en) * | 2005-10-19 | 2011-04-19 | General Electric Company | Methods for magnetically directed self assembly |
US8022416B2 (en) * | 2005-10-19 | 2011-09-20 | General Electric Company | Functional blocks for assembly |
JP2007149155A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体、その作製方法、及び磁気ディスク装置 |
JP4676897B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2011-04-27 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
WO2008001670A1 (fr) * | 2006-06-30 | 2008-01-03 | Oji Paper Co., Ltd. | Masque de gravure de film monoparticulaire et son procédé de production, procédé de production d'une structure fine avec un masque de gravure de film monoparticulaire et structure fine obtenue à l'aide du procédé de production |
US20080026255A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Heraeus, Inc. | Alloy and architecture design for heat-assisted magnetic recording |
JP4405485B2 (ja) * | 2006-08-02 | 2010-01-27 | 株式会社東芝 | 磁性体膜および磁性体膜の製造方法 |
KR100831045B1 (ko) * | 2006-09-01 | 2008-05-21 | 삼성전자주식회사 | 고밀도 패턴 미디어용 나노 템플릿의 형성 방법 및 이를이용한 고밀도 자기 저장매체 |
JP2008130187A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Samsung Electronics Co Ltd | 磁気記録装置および磁気記録方法 |
JP2008165849A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Fujitsu Ltd | ナノ構造作成方法、および磁気ディスク製造方法 |
US20080206602A1 (en) * | 2007-02-28 | 2008-08-28 | Katine Jordan A | Nanoimprinting of topography for patterned magnetic media |
JP5037243B2 (ja) * | 2007-07-06 | 2012-09-26 | 富士フイルム株式会社 | 界面結合剤、該界面結合剤を含有するレジスト組成物、及び該界面結合剤からなる層を有する磁気記録媒体形成用積層体、並びに該界面結合剤を用いた磁気記録媒体の製造方法、及び該製造方法により製造された磁気記録媒体 |
KR101360078B1 (ko) * | 2007-09-19 | 2014-02-12 | 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 | 패턴 자기 기록 매체 및 그 제조방법 |
JP4507126B2 (ja) * | 2007-10-29 | 2010-07-21 | ソニー株式会社 | 偏光板の製造方法 |
US8105753B2 (en) * | 2007-11-28 | 2012-01-31 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System, method and apparatus for pattern clean-up during fabrication of patterned media using forced assembly of molecules |
US8674212B2 (en) * | 2008-01-15 | 2014-03-18 | General Electric Company | Solar cell and magnetically self-assembled solar cell assembly |
JPWO2009118854A1 (ja) * | 2008-03-27 | 2011-07-21 | 東芝ストレージデバイス株式会社 | 記録媒体駆動装置および磁気記録媒体並びにヘッド素子の浮上量制御方法およびヘッド素子の浮上量制御回路 |
US8475669B2 (en) | 2008-12-30 | 2013-07-02 | HGST Netherlands B.V. | System, method and apparatus for master pattern generation, including servo patterns, for ultra-high density discrete track media using e-beam and self-assembly of block copolymer microdomains |
JP5435824B2 (ja) | 2009-02-17 | 2014-03-05 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ イリノイ | マイクロ構造を作製する方法 |
US8933526B2 (en) * | 2009-07-15 | 2015-01-13 | First Solar, Inc. | Nanostructured functional coatings and devices |
JP5783890B2 (ja) * | 2011-12-07 | 2015-09-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理方法 |
JP5814868B2 (ja) * | 2012-06-29 | 2015-11-17 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体の製造方法 |
TWI565532B (zh) * | 2012-08-07 | 2017-01-11 | 國立交通大學 | 奈米球溶液塗佈方法與其應用 |
US20140065294A1 (en) * | 2012-08-30 | 2014-03-06 | Intrinsiq Materials, Inc. | Surface conditioning for depositing and curing nanoparticle-based ink |
US8921167B2 (en) * | 2013-01-02 | 2014-12-30 | International Business Machines Corporation | Modified via bottom for BEOL via efuse |
JP2015056187A (ja) * | 2013-09-10 | 2015-03-23 | 株式会社東芝 | 微細パターン形成方法、剥離方法、磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体、及びスタンパーの製造方法 |
CN104424967A (zh) * | 2013-09-10 | 2015-03-18 | 株式会社东芝 | 图案形成方法、磁记录介质的制造方法及微粒子分散液 |
JP2015130220A (ja) * | 2013-12-06 | 2015-07-16 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 |
CN104700850A (zh) * | 2013-12-06 | 2015-06-10 | 株式会社东芝 | 垂直磁记录介质和垂直磁记录介质的制造方法 |
JP2015122133A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 株式会社東芝 | パターン形成方法、スタンパーの製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法 |
JP5915696B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2016-05-11 | 王子ホールディングス株式会社 | 単粒子膜エッチングマスク付基板の製造方法 |
JP5987894B2 (ja) * | 2014-12-22 | 2016-09-07 | 王子ホールディングス株式会社 | 凹凸パターンシートの製造方法、及び光学シートの製造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3034879B2 (ja) | 1989-07-06 | 2000-04-17 | 株式会社日立製作所 | 磁気ディスクの製造方法 |
JP2915812B2 (ja) | 1994-12-07 | 1999-07-05 | 科学技術振興事業団 | 微粒子膜の転写付着方法 |
US6014296A (en) | 1995-07-24 | 2000-01-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic disk, method of manufacturing magnetic disk and magnetic recording apparatus |
JPH0997419A (ja) | 1995-07-24 | 1997-04-08 | Toshiba Corp | 磁気ディスク、磁気ディスクの製造方法、及び磁気記録装置 |
JPH10320772A (ja) | 1997-05-22 | 1998-12-04 | Hitachi Ltd | 高密度磁気記録媒体作製法およびこれによる高密度磁気記録媒体 |
JPH1166654A (ja) | 1997-08-18 | 1999-03-09 | Hitachi Ltd | 微細構造の作製法、微細構造、磁気センサ、磁気記録媒体および光磁気記録媒体 |
JP2000020945A (ja) | 1998-07-01 | 2000-01-21 | Sony Corp | 磁気ディスク及び磁気ディスク装置 |
US6162532A (en) * | 1998-07-31 | 2000-12-19 | International Business Machines Corporation | Magnetic storage medium formed of nanoparticles |
IL129718A0 (en) * | 1999-05-02 | 2000-02-29 | Yeda Res & Dev | Synthesis of nanotubes of transition metal chalcogenides |
JP3886802B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2007-02-28 | 株式会社東芝 | 磁性体のパターニング方法、磁気記録媒体、磁気ランダムアクセスメモリ |
SG102013A1 (en) | 2001-11-09 | 2004-02-27 | Inst Data Storage | Manufacturing method for high-density magnetic data storage media |
US20030116531A1 (en) * | 2001-12-20 | 2003-06-26 | Kamins Theodore I. | Method of forming one or more nanopores for aligning molecules for molecular electronics |
DE10219122B4 (de) * | 2002-04-29 | 2005-01-05 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Herstellung von Hartmasken |
US20050079282A1 (en) * | 2002-09-30 | 2005-04-14 | Sungho Jin | Ultra-high-density magnetic recording media and methods for making the same |
JP2005074578A (ja) * | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Sony Corp | 微粒子アレイ及びその製造方法並びに磁気記録媒体 |
-
2004
- 2004-05-25 JP JP2004155005A patent/JP4418300B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-05-23 US US11/134,399 patent/US7732005B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005339633A5 (ja) | ||
JP4418300B2 (ja) | 記録媒体作製方法とこれを用いた記録媒体及び情報記録再生装置 | |
US8647757B2 (en) | Assembly formed of nanotube arrays containing magnetic nanoparticles | |
KR100647152B1 (ko) | 나노 홀 구조체 및 그 제조 방법, 자기 기록 매체 및 그 제조 방법 및 자기 기록 장치 및 자기 기록 방법 | |
CN100446089C (zh) | 被构图基底,制造基底的方法,磁记录介质及磁记录装置 | |
JP2011129241A (ja) | 垂直型磁気記録ディスクおよび垂直型磁気記録ディスクの製造方法 | |
WO2006078952A1 (en) | Methods for fabricating a long-range ordered periodic array of nano-features, and articles comprising same | |
Mayes et al. | Biologically derived nanomagnets in self-organized patterned media | |
CN102682790A (zh) | 图案化垂直磁记录介质和磁记录盘、以及磁记录盘驱动器 | |
JP2013065392A (ja) | ブロック共重合体と電気めっき用ハードマスクを用いた、パターニングされた磁気記録ディスクのナノインプリント加工用マスタディスクの作製方法 | |
JP2008130210A (ja) | 磁気記録媒体、金属ガラス基板、磁気記録媒体の製造方法、ナノ金型の製造方法および金属ガラス基板の製造方法 | |
JP4712412B2 (ja) | ナノ構造体及びそれを用いた磁気記憶材料、配線基板、アンテナ基材 | |
CN104821174A (zh) | 具有由纳米粒子混合物形成的模板层的垂直磁记录磁盘 | |
TW200837730A (en) | Servo patterns for patterned media | |
JP2008165849A (ja) | ナノ構造作成方法、および磁気ディスク製造方法 | |
JP2005052956A5 (ja) | ||
JP2006209816A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘッドの製造方法 | |
JP5175812B2 (ja) | ナノ金型、金型の製造方法および磁気記録媒体の製造方法 | |
US9053733B2 (en) | Magnetic recording medium with magnetic portions of different orientations and method of manufacturing the same | |
JP4651665B2 (ja) | 情報記憶媒体 | |
JP2015056187A (ja) | 微細パターン形成方法、剥離方法、磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体、及びスタンパーの製造方法 | |
TWI285450B (en) | Magnetic recording material and method for making the same | |
JP4853293B2 (ja) | パターンドメディアの製造方法 | |
JP3766360B2 (ja) | 記録媒体、記録媒体の製造方法、インプリント原盤、およびインプリント原盤の製造方法 | |
JP2009072980A (ja) | 微細構造作製方法 |