JP2008130210A - 磁気記録媒体、金属ガラス基板、磁気記録媒体の製造方法、ナノ金型の製造方法および金属ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11に金属ガラス層13を形成し、その金属ガラス層13を過冷却液体領域温度に保ちつつ金型2を押圧し、金属ガラス層13に金型2の成形転写面に形成された凸凹形状を金属ガラス層13に転写する。形成された凹部130内に磁性体を埋め込んだり、凸部132上に磁性体を蒸着することにより、磁気的に孤立化された磁性ドットが形成された磁気記録媒体が得られる。金属ガラス層13に凹凸形状をナノインプリンティングすることで、非常に微細な凹凸形状を形成することができ、磁気記録媒体の記録密度の向上を図ることができる。
【選択図】図2
Description
請求項2の発明に係る磁気記録媒体は、基板と、基板上に設けられ、複数の凸部が形成された金属ガラス層と、複数の凸部の各々の頂部に形成された磁性体とを備えることを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載の磁気記録媒体において、凹部および凸部を、マトリクス状,千鳥格子状およびライン状のいずれかの配列パターンで配列したものである。
請求項4の発明は、請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁気記録媒体において、基板を金属ガラスで形成したものである。
請求項5の発明は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁気記録媒体において、金属ガラス層と基板との間に軟磁性層を設けたものである。
請求項6の発明は、請求項5に記載の磁気記録媒体において、軟磁性層を金属ガラスで形成したものである。
請求項7の発明は、請求項4〜6のいずれか一項に記載の磁気記録媒体に用いられる基板の製造方法であって、ラッピング・ポリシング,CMP(Chemical Mechanical Polishing)等の平坦化処理が施された平面を成形転写面として有する一対の成形型の間に金属ガラス材料を挟持し、金属ガラス材料をその過冷却液体温度域に保持しつつ一対の成形型で所定厚さにプレス加工することを特徴とする。
請求項8の発明は、請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法であって、金属ガラス層をその過冷却液体温度域に保持しつつ成形型の成形転写面に押圧して、凸部および凹部を形成することを特徴とする。
請求項9の発明は、請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法であって、金属ガラス層をその過冷却液体温度域に保持しつつ成形型の成形転写面に押圧して凹部を形成し、その凹部にナノ磁性粒子を充填して磁性体を形成することを特徴とする。
請求項10の発明は、請求項2に記載の磁気記録媒体の製造方法であって、金属ガラス層をその過冷却液体温度域に保持しつつ成形型の成形転写面に押圧して凸部を形成し、スパッタ蒸着により凸部の頂部に磁性体を形成することを特徴とする。
請求項11の発明による磁気記録媒体は、請求項8〜10のいずれか一項に記載の製造方法で製造したことを特徴とする。
請求項12の発明は、請求項1または2に記載の磁気記録媒体の凹部または凸部をナノインプリント法で形成する際に用いられるナノ金型の製造方法であって、金型基板上に被エッチング層を形成する工程と、集束イオンビーム援用化学気相成長により、被エッチング層上に薄膜パターンを形成する工程と、薄膜パターンをマスクとして被エッチング層をエッチングし、凹部または凸部に対応する形状の成型転写面を形成する工程とを有することを特徴とする。
請求項13の発明に係る金属ガラス基板の製造方法は、ラッピング・ポリシング,CMP(Chemical Mechanical Polishing)等の平坦化処理が施された平面を成形転写面として有する一対の成形型の間に金属ガラス材料を挟持し、金属ガラス材料をその過冷却液体温度域に保持しつつ一対の成形型で所定厚さにプレス加工することを特徴とする。
請求項14の発明に係る金属ガラス基板は、請求項13に記載の製造方法で製造したことを特徴とする。
次に、図2〜図4を参照して、磁気記録媒体1の製造方法について説明する。本実施の形態では、金属ガラス層13の微細凹凸パターンを、ナノインプリント法により形成する。まず、図2(a)に示すように、スパッタ蒸着などにより、所定厚さの軟磁性層12を基板11上に形成する。図2(b)に示す工程では、金属ガラス層13をスパッタ蒸着などにより形成する。
Claims (14)
- 基板と、
前記基板上に設けられ、複数の凹部が形成された金属ガラス層と、
前記複数の凹部の各々に配設された磁性体とを備えることを特徴とする磁気記録媒体。 - 基板と、
前記基板上に設けられ、複数の凸部が形成された金属ガラス層と、
前記複数の凸部の各々の頂部に形成された磁性体とを備えることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1または2に記載の磁気記録媒体において、
前記凹部および凸部は、マトリクス状,千鳥格子状およびライン状のいずれかの配列パターンで配列されていることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁気記録媒体において、
前記基板を金属ガラスで形成したことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁気記録媒体において、
前記金属ガラス層と前記基板との間に軟磁性層を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項5に記載の磁気記録媒体において、
前記軟磁性層を金属ガラスで形成したことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項4〜6のいずれか一項に記載の磁気記録媒体に用いられる前記基板の製造方法であって、
ラッピング・ポリシング,CMP(Chemical Mechanical Polishing)等の平坦化処理が施された平面を成形転写面として有する一対の成形型の間に金属ガラス材料を挟持し、前記金属ガラス材料をその過冷却液体温度域に保持しつつ前記一対の成形型で所定厚さにプレス加工することを特徴とする基板の製造方法。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法であって、
前記金属ガラス層をその過冷却液体温度域に保持しつつ成形型の成形転写面に押圧して、前記凸部および前記凹部を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法であって、
前記金属ガラス層をその過冷却液体温度域に保持しつつ成形型の成形転写面に押圧して前記凹部を形成し、その凹部にナノ磁性粒子を充填して前記磁性体を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項2に記載の磁気記録媒体の製造方法であって、
前記金属ガラス層をその過冷却液体温度域に保持しつつ成形型の成形転写面に押圧して前記凸部を形成し、スパッタ蒸着により前記凸部の頂部に前記磁性体を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項8〜10のいずれか一項に記載の製造方法で製造したことを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1または2に記載の磁気記録媒体の前記凹部または凸部をナノインプリント法で形成する際に用いられるナノ金型の製造方法であって、
金型基板上に被エッチング層を形成する工程と、
集束イオンビーム援用化学気相成長により、前記被エッチング層上に薄膜パターンを形成する工程と、
前記薄膜パターンをマスクとして前記被エッチング層をエッチングし、前記凹部または凸部に対応する形状の成型転写面を形成する工程とを有することを特徴とするナノ金型の製造方法。 - ラッピング・ポリシング,CMP(Chemical Mechanical Polishing)等の平坦化処理が施された平面を成形転写面として有する一対の成形型の間に金属ガラス材料を挟持し、前記金属ガラス材料をその過冷却液体温度域に保持しつつ前記一対の成形型で所定厚さにプレス加工することを特徴とする金属ガラス基板の製造方法。
- 請求項13に記載の製造方法で製造したことを特徴とする金属ガラス基板。
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