JP2008171489A - パターンドメディアの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トラックパターン内での自己組織化材料の自己組織化を利用して作製したビットパターンスタンパを用いて、基板上のシード層をパターン化し、該シード層上に磁性層を設けることを特徴とするパターンドメディアの製造方法。
【選択図】図1
Description
22(a,b) 第1レジスト層
30 自己組織化材料分散液
32 微粒子
40 ビットスタンパ基板
42(a,b) 第2レジスト層
50 メディア基板
52 非磁性基体
54 軟磁性層
56(a,b) シード層
58 磁性層
60(a,b) 第3レジスト層
100 トラックパターン原版
200 ビットスタンパ原版
300 ビットスタンパ
Claims (3)
- 基板上にシード層を配向成膜する工程と、
シード層上に第3レジスト層を形成する工程と、
ビットパターンスタンパを用いて第3レジスト層にインプリントを行って、パターン化第3レジスト層を形成する工程と、
パターン化第3レジスト層をマスクとして、シード層をエッチングしてパターン化シード層を形成する工程と、
パターン化第3レジスト層を除去する工程と、
パターン化シード層の上にパターン化磁性層を柱状成長させる工程と
を含むことを特徴とするパターンドメディアの製造方法。 - 前記ビットパターンスタンパを、
ビットパターンスタンパ基板とその上に第2レジスト層とを有する積層体を準備する工程と、
ビットパターン原版を用いて、第2レジスト層にインプリントを行い、パターン化第2レジスト層を形成する工程と、
パターン化第2レジスト層をマスクとして、ビットパターンスタンパ基板をエッチングして、ビットパターンが転写されたビットパターンスタンパを形成する工程と
を含む方法によって製造することを特徴とする請求項1に記載のパターンドメディアの製造方法。 - 前記ビットパターンスタンパ原版を、
ビットパターン原版基板とその上に第1レジスト層とを有する積層体を準備する工程と、
記録再生トラックパターンが形成されたトラックパターン原版を用いて、第1レジスト層にインプリントを行い、パターン化第1レジスト層を形成する工程と、
パターン化第1レジスト層をマスクとして、ビットパターン原版基板をエッチングして、ビットパターン原版基板に記録再生トラックパターンを転写する工程と、
パターン化第1レジスト層を除去する工程と、
ビットパターン原版基板に転写された記録再生トラックパターン内に自己組織化材料を塗布する工程と、
自己組織化材料を組織化して、ビットパターンを形成する工程と、
ビットパターンが形成されたビットパターン原版基板をエッチングして、ビットパターンがその表面から突出したビットパターン原版を形成する工程と
を含む方法によって製造することを特徴とする請求項2に記載のパターンドメディアの製造方法。
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