JP2005338061A - 検査品の電気的検査のための検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接触面(10)の配列の平面性又は平面性からの偏りを調整するための引張手段及び/又は圧縮手段(14)を支持装置(6)と接続装置(5)の間に配置する。
【選択図】 図1
Description
接続装置5の当該の接触面10が平面配列を有しない場合は、問題が起こる。接続装置5の平面性又は故意の非平面性に対して影響を及ぼすことができるように、支持装置6と接続装置5の間に引張及び圧縮手段14が配置されている。検査装置1の中央区域15にマトリックス状に配置された多数の引張及び圧縮手段14が設けられている。この場合は特にコンタクトヘッド4の接触ピン配列17の基準面区域16が引張及び圧縮手段14を備えている。図1Bの拡大図が示すように、各引張及び圧縮手段14は頭部19を備えたねじ付きピン18を有し、ねじ付きピン18の上に調整ナット20がねじ込まれている。プリント配線板8の上側21にソケット22がとりわけ接着して固定されている。ソケット22は横断面で見てC形輪郭23を有し、引張及び圧縮手段14の頭部19を収容する。各頭部19がC形輪郭23の中に若干の遊びを置いて収容されるならば、引張及び圧縮手段14は振り子式引張手段又は振り子式圧縮手段24をなす。しかし代案として頭部をC形輪郭の中に接着することも可能である。その場合は引張及び圧縮手段14の屈曲によって振り子の釣合いが可能である。各ねじ付きピン18の自由端区域25は、支持装置6の貫通穴26の中に突出する。ソケット22とねじ付きピン18の一部を収容するために、支持装置6は接続装置5に面した側に空洞部27(図1A)を備えている。図1Bは各貫通穴26が段付き穴28として形成されていることを示す。即ち貫通穴26は接続装置5に適用された小さな直径の穴部分29と、支持装置6の外側30に通じる大きな直径の穴部分31を有する。こうして環状段部32が形成される。
Claims (11)
- 検査品に適用され、接触ピン配列を構成するピン状の接触部材を備えたコンタクトヘッドと、検査品を収容する検査平面の反対側にある接触部材の端部と接触する接触面を有する電気接続装置と、接続装置のコンタクトヘッドと反対の側に配置された支持装置とを有する、検査品の電気的検査、特にウエハの検査のための検査装置において、接触面(10)の配列の平面性又は平面性からの偏りを調整するための引張手段及び/又は圧縮手段(14)が支持装置(6)と接続装置(5)の間に配置されていることを特徴とする検査装置。
- 引張手段及び/又は圧縮手段(14)が検査平面(2)と平行な平面での接続装置(5)又は検査装置(1)のその他の部材の熱膨張を許容することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 接続装置(5)又は検査装置(1)のその他の部材の熱膨張を許容するために、引張手段及び/又は圧縮手段(14)が振り子式引張手段及び/又は振り子式圧縮手段(24)として形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査装置。
- 引張手段及び/又は圧縮手段(14)が検査装置(1)の中央区域、特に接触ピン配列(17)の基準面区域(16)に分散して、とりわけマトリックス状に分散して設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 引張手段及び/又は圧縮手段(14)がねじ付きピン(18)を有し、ねじ付きピン(18)が引張力及び/又は圧縮力を作用させるために調整ナット(20)と協動することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の検査装置。
- ねじ付きピン(18)の一方の端部が接続装置(5)に固定され、調整ナット(20)が支持装置(6)に支えられることを特徴とする請求項1から5にいずれか1項に記載の検査装置。
- 接続装置(5)に適用されたねじ付きピン(18)の端部が頭部(19)を備え、この頭部(19)が接続装置(5)に固定されたソケット(22)に収容されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の検査装置。
- ねじ付きピン(18)が支持装置(6)の貫通穴(26)に入っており、又はこの貫通穴(26)を貫通することを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の検査装置。
- 貫通穴(26)がそれぞれ小さな直径の穴部分(29)と大きな直径の穴部分(31)を有する段付き穴(28)として形成され、支持装置(6)の外側(30)に接する大きな直径の穴部分(31)に調整ナット(20)が入っており、調整ナット(20)が一方では段付き穴(28)の段部(32)に、他方では大きな直径の穴部分(31)の中の密閉片(36)に支えられることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の検査装置。
- 密閉片(36)が調整ナット(20)のための締付け片(37)であることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の検査装置。
- 密閉片(36)が輪ねじ(38)であり、その雄ねじ(39)が大きな直径の穴部分(31)の雌ねじ(40)にねじ込まれていることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の検査装置。
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