JP2005326365A - 試験液量計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハ表面上に試験液を滴下する試験液滴下ノズルと、この滴下された試験液を捕捉してこの捕捉した試験液によりウェハ表面上をスキャンしこのスキャン終了後の試験液を吸引する試験液収集ノズルを備えたノズルロボットと、この吸引された試験液の液量を計測する試験液量計測手段とを備える試験液量計測装置であって、上記試験液量計測手段は、上記試験液収集ノズル内の液面上面及び液面下面間の高さとこの試験液収集ノズルの開口部の断面積を乗算することにより、吸引された試験液の液量を計測することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
2 ウェハーロボット
3 VPD処理部
4 SCAN部
5 試験液滴下ロボット
5a 試験液滴下ノズル
6 試験液供給部
7 ノズルロボット
8 試験液量計測手段
9 ICP−MS部
10 ノズル洗浄部
11 制御手段
12 吸引された試験液
13 U字グリップ部
14 保持部
15 スプリング
16 スプリング固定部
17 試験液収集部位N1内の管の上部
A アーム
B ノズルグリップベローズ
D 導入管
D1 導入管
F フランジ部
L 試験液収集ノズルN管内の試験液の液面上面と液面下面間の高さ
N 試験液収集ノズル
N1 試験液収集部位
P ポンプ
P1 ポンプ
S 試験液滴
S 試験液収集ノズルNの断面積
S1 液面上面
S2 液面下面
W ウェハ
Claims (8)
- ウェハの汚染物質を表面に滴下された試験液とともに採取し、この採取した試験液の液量を計測する試験液量計測装置であって、
ウェハ表面上に試験液を滴下する試験液滴下ノズルと、
この滴下された試験液を捕捉してこの捕捉した試験液によりウェハ表面上をスキャンしこのスキャン終了後の試験液を吸引する試験液収集ノズルを備えたノズルロボットと、
この吸引された試験液の液量を計測する試験液量計測手段と
を備えることを特徴とする試験液量計測装置。 - ウェハ表面上に滴下された試験液を捕捉してこの捕捉した試験液によりウェハ表面上をスキャンしこのスキャン終了後の試験液を吸引する試験液収集ノズルを備えたノズルロボットと、この吸引された試験液の液量を計測する試験液量計測手段とを備える試験液量計測装置であって、
上記試験液量計測手段は、上記試験液収集ノズル内の液面上面及び液面下面間の高さとこの試験液収集ノズルの開口部の断面積を乗算することにより、吸引された試験液の液量を計測すること
を特徴とする試験液量計測装置。 - ウェハ表面上に試験液を滴下する試験液滴下ノズルと、
この滴下された試験液を捕捉してこの捕捉した試験液によりウェハ表面上をスキャンしこのスキャン終了後の試験液を吸引する試験液収集ノズルを備えたノズルロボットと、
この吸引された試験液の液量を計測する試験液量計測手段とを備える試験液量計測装置であって、
上記試験液量計測手段は、上記試験液収集ノズル内の液面上面及び液面下面間の高さとこの試験液収集ノズルの開口部の断面積を乗算することにより、吸引された試験液の液量を計測すること
を特徴とする試験液量計測装置。 - 上記試験液収集ノズルは、
試験液収集部位と導入管とからなること
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の試験液量計測装置。 - 上記ノズルロボットは、
上記試験液収集部位を着脱する着脱手段を備えていること
を特徴とする請求項4記載の試験液量計測装置。 - 上記試験液量計測手段は、
反射型あるいは透過型光センサであること
を特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の試験液量計測装置。 - 上記試験液収集ノズルの材質がPFAであること
を特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の試験液量計測装置。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の試験液量計測装置は、
更に、しきい値を設定するしきい値設定手段を備え、
上記試験液量計測手段により計測された試験液量がしきい値を越えている場合には、警告を発する警告手段を具備すること
を特徴とする試験液量計測装置。
Priority Applications (1)
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JP2004146737A JP2005326365A (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | 試験液量計測装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008132401A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-12 | Ias Inc | ノズルおよび液体回収方法 |
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2004
- 2004-05-17 JP JP2004146737A patent/JP2005326365A/ja active Pending
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