KR102226471B1 - 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 방법 및 그 장치 - Google Patents

기판 검사기의 시료 용액 샘플링 방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

기판 검사기의 시료 용액 샘플링 방법 및 그 장치가 개시된다.
본 발명은 기판(W)을 수평상으로 지지하여 회전시키는 회전기구(20)와; 시료 용액을 기판(W)에 적하하는 노즐(30)와; 상기 노즐(30)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 구동기구(40)를 포함하여, 상기 회전기구(20)에 의해 기판(W)이 회전할 때 상기 구동기구(40)가 구동하여 노즐(30)이 기판(W)의 모서리에 접촉하여 샘플링할 수 있게 되는 기판 검사기에 있어서, 시료 용액을 기판(W) 표면에 적하시키는 적하수단(310)과, 상기 적하수단(310)에 의해 기판(W) 표면에 적하된 시료 용액을 회수하는 회수수단(320)를 구비하는 노즐(30) 및 상기 노즐(30)의 회수수단(320)에 의해 회수된 시료 용액을 처리하기 위한 처리수단(50)을 구비하여, 시료 용액이 적하된 기판(W)으로부터 정량분석을 하기 위한 시료 용액을 샘플링할 수 있게 된다.

Description

기판 검사기의 시료 용액 샘플링 방법 및 그 장치{Method of Sample solution sampling of substrate inspection machine and device therefor}
본 발명은 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 검사하기 위한 기판 검사기에서 시료 용액을 채취하는 방법과 그 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 기판의 불순물을 검사하기 위해서 기판을 회전 이동시키면서 기판의 외표면에 시료 용액 방울을 점적하여 부착시키고, 불순물을 용해시킨 다음, 검사를 위해 기판 표면에 부착된 시료 용액을 회수하기에 매우 적합한 기판 검사기의 시료 용액 채취 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
반도체 집적회로는 다양한 기능을 처리하고 저장하기 위해 많은 소자를 하나의 칩 안에 집적한 전자부품이며, ‘웨이퍼(Wafer)’란 집적회로를 올리기 위한 기반으로 제조되는 것이다. 이러한 웨이퍼는 대부분 모래에서 추출한 실리콘(Si), 갈륨 아세나이트(GaAs)를 성장시켜 만든 단결정 기둥을 적당한 두께로 얇게 절단한 원판물이다.
웨이퍼를 이용한 반도체 및 액정의 제조 설비는 반도체 웨이퍼의 표면에 형성된 산화막 또는 질화막 등의 박막 내의 나트륨, 갈륨, 철 등과 같은 불순물의 양을 정확히 측정하기 위해 기판의 오염을 방지하고 정확한 검사가 수행될 수 있도록 간단하고 신뢰할 수 있는 위치 결정 기구가 요구된다. 따라서, 기판 검사 장치에서는, 기판의 불순물의 양을 정확하게 측정하기 위해 정확한 위치결정이 중요하다.
반도체 웨이퍼 표면에 형성된 산화막이나 질화막 등과 같은 박막 내에 불순물이 포함된 경우, 그 불순물의 양이 미량일지라도 반도체 소자의 특성에 상당한 영향을 미친다.
따라서, 반도체 소자의 제조 설비 과정에서 웨이퍼 표면에 불순물이 포함되는 것이 억제되어야 하며, 이를 위해 웨이퍼 표면의 불순물의 양이 정확하게 측정되어야 한다.
반도체 웨이퍼 표면의 불순물을 측정하는 방법은 2차 이온 질량 분석법, 오제 분광 분석법 그리고 중성화 방사화 분석법을 대신하여 최근에는 HF(불화 수소)용액과 같은 불화물 용액을 이용하여 측정하고 있다.
이 방법은 불화 수소 용액으로 웨이퍼 표면의 산화막을 용해한 후, HF불화 수소 용액을 포집하여 불화 수소 용액 내의 불순물을 분석하게 되는 것으로, 포집된 불화 수소 용액의 양이 적을수록 불순물 농도가 높아져 측정 정밀도가 개선된다.
예를 들면, 웨이퍼가 불화 수소 용액에 노출되면, 기판의 산화막이 용해되고, 불화 수소 용액의 물방울이 웨이퍼 표면에 부착된 상태로 이동되면서, 산화막 내의 불순물이 포집되는데, 이 시료 용액 내의 불순물의 양을 측정함으로써 웨이퍼 표면의 불순물의 양이 검사된다.
이러한 불화 수소 시료 용액을 웨이퍼의 표면에 부착시키기 위해 정확한 위치 결정이 가능하고, 지정된 영역 내에서 불순물의 양을 측정할 수 있는 검사 장치가 요구된다.
종래 기판 검사 장치의 예는, 일본특허 제4664818호 기판 검사 장치, 기판 검사 방법 및 회수 기구에 개시되었다.
이 장치는 수평기판을 지지하고, 수직으로 설치된 구동축에 대하여 회전하게 하는 회전기구와; 수직으로 설치된 구동축을 갖는 원통형부와 시료 용액을 저장할 수 있는 내부 공간을 갖는 노즐 및 노즐을 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 구동기구를 포함하며, 상기 노즐의 원통형부의 측면에 수평 방향으로 내부공간과 대기 공간을 연통시키는 요홈부를 구비하여 시료 용액이 내부 공간에 저장되고, 기판이 회전할 때 구동기구가 노즐을 기판의 모서리에 접촉시켜 요홈부에 노출된 시료 용액이 기판의 모서리에 접촉하게 되는 것이다.
이러한 종래의 장치는 노즐의 표면장력을 이용하여 기판의 모서리에서 샘플링을 하게 되는 것으로, 표면장력에 준하는 제한적인 시료 용액으로 샘플링을 하게 되어 측정에 충분한 샘플링이 어렵고, 샘플링에 사용된 시료 용액을 회수하는 것도 쉽지 않다. 또한, 기판 모서리가 노즐의 요홈부에 삽입되면서 샘플링이 불필요한 기판의 아랫면이 시료 용액에 노출되어 시료 용액이 소모되어 샘플링 용액의 회수에 어려움이 있고, 기판의 회전 속도가 빠르면 시료 용액이 누출될 수 있다. 또한 노즐의 크리닝을 위한 부가적인 모듈을 필요로 하는 문제점이 있는 것이다.
JP 04664818 B2 (2011. 01. 14.) KR 10-1999-0038504 A (1999. 06. 05.)
본 발명은 측정 정밀도를 가지고 반도체 웨이퍼를 포함하는 기판 표면의 불순물을 측정하기 위하여 반도체 표면에 일정량의 시료를 부착시키고 회수할 수 있는 기판 검사기의 샘플 용액 샘플링 방법과 그 방법을 수행하기에 적합하도록 제조되는 장치를 제안한다.
이와 같은 본 발명의 목적은 펌핑수단, 예를 들면 실린지 펌프를 이용하여 연속적으로 일정하게 시료 용액을 공급 및 회수하고, 공기와 함께 흡입된 시료 용액은 기수분리기와 같은 회수수단을 통해 시료 용액만 회수할 수 있게 되는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 방법과 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이러한 본 발명은 표면장력에 제한받지 않게 되어, 기판의 표면장력에 의한 시료 용액의 손실이 없으며, 또한 시료 용액의 공급 각도에 의해 다양한 면적의 샘플링이 가능하게 되는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 방법과 그 장치가 제공된다.
본 발명이 의도하는 목적을 달성하기 위한 기판 검사기의 시료 용액을 샘플링하는 방법의 기술적인 특징은 회전기구에 기판을 세팅시키는 기판 세팅 단계(S100)와; 회전기구를 구동하여 세팅된 기판을 회전시키며, 구동기구를 구동하고 노즐의 수용부에 기판의 모서리 부위가 삽입되게 하여 노즐을 기판에 근접시키는 단계(S200)와; 회전하는 기판에 적하수단로부터 시료 용액을 적하하여 오염물질을 용해시키는 단계(S300)와; 기판으로부터 오염물질이 용해된 시료 용액을 회수수단 및 노즐에 형성된 유도관으로 회수하는 단계(S400)와; 회수수단 및 유도관에 의해 회수된 시료 용액이 처리수단, 예를 들면, 기수분리기에 공급되어 시료 용액으로부터 공기와 시료 용액을 분리하는 단계(S500); 및 처리수단에서 공기와 분리된 시료 용액을 측정장치로 공급하여 분석을 수행하는 단계(S600)를 포함하는 것이다.
본 발명의 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치는 기판에 포함된 불순물을 검사하기 위해 회전하는 기판의 모서리에 노즐을 근접시켜 시료 용액을 샘플링 하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치에 있어서, 시료 용액을 기판 표면에 적하시키고 회수하는 노즐을 포함하여 기판 표면으로부터 시료 용액을 적하하고 회수하는 노즐; 및 상기 노즐에 의해 회수된 시료 용액을 처리하는 처리수단을 구비하여, 시료 용액이 적하된 기판으로부터 오염물질이 용해된 시료 용액을 회수할 수 있게 되는 것을 포함한다.
본 발명의 기술적 특징에 따르면, 상기 노즐은 각각 적하수단과 회수수단으로 이루어지며, 상기 적하수단은 배출단부가 노즐의 일측면으로부터 기판의 모서리 부위를 향하여 배치되고, 상기 회수수단은 흡입단부가 상기 적하수단의 일측에서 일정한 거리를 두고, 기판이 회전하는 후방에서 기판의 모서리 부위를 향하여 배치되며, 적하수단 및 회수수단은 각각 펌핑수단에 의해 연속적으로 일정한 양의 시료 용액을 공급하고 회수할 수 있게 되는 것을 포함한다.
본 발명의 기술적 특징에 따르면, 상기 처리수단은 기수분리기로 이루어져 공기와 분리된 시료 용액을 배출관을 통해 측정장치로 공급하는 것을 포함한다.
본 발명의 기술적 특징에 따르면, 상기 노즐은 일측면으로부터 개구된 수용부를 구비하여 기판의 모서리와 적하수단의 배출단부 및 회수수단의 흡입단부를 수용할 수 있게 되는 것을 포함한다.
본 발명의 기술적 특징에 따르면, 상기 적하수단의 시료 용액을 정량 배출하는 실린지를 포함하여 이루어지며, 배출단부는 기판 모서리의 접점으로부터 이격되면서, 기판이 회전하는 방향의 뒷쪽을 향하여 일정 각도로 경사지게 배치되는 것을 포함한다.
본 발명의 기술적 특징에 따르면, 상기 적하수단의 배출단부는 시료 용액이 기판의 전면, 후면, 베벨 및 엣지에 적하 가능하게 되면서, 기판의 모서리의 접점으로부터 일정 거리 이격되고, 기판이 회전하는 방향의 뒤쪽를 향하여 일정 각도로 경사지게 형성되어 시료 용액을 기판에 적하할 수 있게 되는 것을 포함한다.
본 발명의 기술적 특징에 따르면, 상기 회수수단의 흡입단부는 기판의 모서리 부위의 접점으로부터 이격되면서 기판이 회전하는 방향의 앞쪽을 향하여 일정 각도로 경사지게 배치되어 기판으로부터 시료 용액을 회수할 수 있게 되는 것을 포함한다.
본 발명의 기술적 특징에 따르면, 상기 노즐은 회수수단의 흡입단부 아랫쪽에 유도관이 형성되어 회수 후 잉여 시료 용액을 회수할 수 있게 되는 것을 포함한다.
본 발명의 기술적 특징에 따르면, 상기 배출관은 일측으로부터 세척관이 형성되어 챔버와 샘플링 라인을 다양한 종류의 세척수, 예를 들면, 초순수(Ultrapure Water), 고순수 워터를 비롯하여 산성용액 또는 과산화수소가 포함된 산성용액 중에서 선택되는 세척수로 역세척할 수 있게 되는 것을 포함한다.
본 발명의 기술적 특징에 따르면, 적하수단의 배출단부 내경보다 회수수단의 흡입단부 내경이 더 크게 형성되어 적하수단에서 분사되는 시료 용액의 양 보다 회수수단에서 흡입하는 시료 용액의 양이 더 많게 되는 것을 포함한다.
본 발명에 의하면, 측정 정밀도를 가지고 반도체 웨이퍼를 포함하는 기판 표면의 불순물을 측정하기 위하여 일정량의 시료를 부착시키고 회수할 수 있는 기판 검사기의 샘플 용액 샘플링 방법과 그 방법이 제공된다.
이에 따라, 펌핑수단을 이용하여 연속적으로 일정하게 시료 용액을 공급 및 회수하며, 공기와 함께 흡입된 시료 용액은 처리수단을 통해 용액만 회수할 수 있게 되어 효율적인 샘플링이 가능하게 되므로, 시료 용액 회수에 따르는 경제적인 효과가 있다.
또한, 시료 용액의 샘플링은 표면장력에 제한받지 않게 되어, 기판의 표면장력에 의한 시료 용액의 손실이 없으며, 시료 용액의 공급 각도에 의해 다양한 면적의 샘플링이 가능하게 되어 검사 정밀도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명이 적용되는 기판 검사기의 평면도.
도 2는 본 발명의 노즐의 사시도
도 3은 본 발명의 노즐의 정면도
도 4는 본 발명의 구동 상태를 나타낸 개략도
도 6는 본 발명의 적하수단과 회수수단의 설치 개념도
도 7은 본 발명의 공정 순서도
본 발명의 특징과 장점은 첨부된 도면에 의하여 설명되는 실시예에 의하여 보다 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열에 의해 본 발명의 응용이 제한되는 것이 아니다. 본 발명은 다른 실시예 들로 구현될 수 있고, 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또한 장치 또는 요소의 방향 등과 같은 용어들에 관하여 실시예에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되며, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다. 예를 들면, "제1", "제2"와 같은 용어가 본 발명을 설명하는 실시예와 청구항에 사용되는데, 이러한 용어가 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.
따라서 본 발명은 제시되는 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위에 기재된 기술사상의 균등한 범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능하다.
다음에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 설명하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명이 적용되는 기판 검사기의 평면도를 나타내고 있다.
도 1에서 참조되는 바와 같이 기판 검사기는 하부 구조체(10), 회전기구(20), 노즐(30) 및 구동기구(40)를 포함하여 구성된다.
상기 하부 구조체(10)의 전면에는 제어반(control panel)(100)이 형성되고, 내부에는 제어장치 및 구동장치(도시되지 아니함)가 구성되며, 외부에는 상부 플레이트(110)의 상부로 회전기구(20), 노즐(30) 및 구동기구(40)가 형성된다.
상기 제어장치와 구동장치는 회전기구(20), 노즐(30) 및 구동기구(40)를 제어하기 위한 것이며, 구동장치는 제어장치의 신호에 따라 회전기구(20)와 구동기구(40)를 작동시키게 되는 것이다.
상기 회전기구(20)는 기판(W)이 고정되어 회전되며, 구동기구(40)는 고정축(400)에 회전 가능하게 고정되는 회동암(410)의 선단에 고정된 노즐(30)을 회전하는 기판(W)에 근접시키고 이격시키게 되는 것으로, 상기 회전기구(20) 및 구동기구(40)는 공지된 기능 혹은 구성에 해당하는 것이므로 구체적인 설명을 생략한다.
도 2는 본 발명의 노즐의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 노즐의 정면도를 각각 나타내고 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 노즐(30)은 적하수단(310)과 회수수단(320)으로 구성된다.
상기 노즐(30)는 일측면에 수평상으로 개구된 수용부(301)가 형성되며, 상기 수용부(301)는 기판(W)의 모서리와 상기 적하수단(310)의 배출단부(311) 및 회수수단(320)의 흡입단부(321)를 수용할 수 있도록 일측면으로부터 개구되며 형성된다.
상기 적하수단(310)은 시료 용액을 기판(W)에 공급하기 위해 시료 용액을 정량 배출하는 실린지를 포함하여 이루어지며, 회수수단은 상기 적하수단(320)에 의해 기판(W)에 적하된 시료 용액을 회수하기 위해 설치된다.
상기 적하수단(310)과 회수수단(320)는 상기 수용부(301)를 형성하는 일측면으로부터 노출되어 기판(W)의 모서리를 향하여 배치된다.
상기 적하수단(310)의 배출단부(311)는 시료 용액이 기판(W)의 윗면과 모서리 측면에서 기판의 전면, 후면, 베벨, 엣지 부위에 적하 가능하게 배치된다.
도 4는 본 발명의 구동 상태를 나타낸 개략도이고, 도 5은 노즐(30)의 설치 개념도로서, 적하수단(310)과 회수수단(320)이 배치되는 상호 관계를 구체적으로 도시하고 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 적하수단(310)의 배출단부(311)는 기판(W)의 모서리의 접점(P1)으로부터 일정 거리(L1)를 두고 이격되면서, 기판(W)이 회전하는 방향의 뒷쪽, 즉 회수수단(320)의 흡입단부(321)를 향하여 일정 각도(θ1)로 경사지게 형성되어 시료 용액을 기판(W)에 적하할 수 있게 된다.
이에 따라, 적하수단(310)의 배출단부(311)는 노즐(30)의 수용부(301)를 형성하는 일측면으로부터 노출되면서 기판(W)의 모서리를 향하여 배치되어, 기판(W)의 전면, 후면, 베벨, 엣지 부위에 시료 용액을 적하할 수 있게 된다.
상기 적하수단(310)의 배출단부(311)는 기판(W)이 회전하는 방향의 뒷쪽을 향하여 수평 또는 일정 각도(θ1)로 경사지게 형성됨에 따라 시료 용액의 원활한 적하가 가능하게 된다.
상기 회수수단(320)의 흡입단부(321)는 기판(W)의 모서리의 접점(P2)으로부터 일정 거리(L1)를 두고 이격되면서, 또한, 적하수단(310)의 일측으로 일정한 거리(L2)를 두고, 기판(W)이 회전하는 방향의 앞쪽, 즉 적하수단(310)의 배출단부(311)를 향하여 일정 각도(θ2)로 경사지게 배치된다.
이와 같이 경사 배치되는 회수수단(320)의 흡입단부(321)는 기판(W)의 모서리 부위로부터 시료 용액을 보다 원활하게 회수할 수 있게 된다.
상기 적하수단(310)의 흡입단부(311)와 회수수단(320)의 배출단부(321)는 주사기의 바늘과 같은 것으로, 주사기 바늘의 경우 끝단부가 경사지게 형성되는 것과 달리, 내경에 직각이 되는 방향으로 원형 단면을 형성하거나, 또는, 기판 사이의 거리를 고려하여 끝단의 잘림 각도가 변경 가능하게 절단되어 시료 용액의 적하와 흡입이 한정된 공간에서 효과적으로 이루어지게 되며, 특히 회수를 위한 흡입이 용이하게 이루어질 수 있게 된다.
바람직하게, 회수수단(320)의 흡입단부(321) 내경은 적하수단(310)의 배출단부(311) 내경 보다 더 크게 형성되어 적하수단(310)에서 분사되는 시료 용액의 양 보다 회수수단(320)에서 흡입하는 시료 용액의 양이 더 많게 된다. 이에 따라 기판(W)에 적하되는 일정 이상의 시료 용액은 회수수단(320)에 의해 충분하게 샘플링될 수 있으며, 또한, 시료 용액의 회수가 용이하게 이루어질 수 있게 된다.
적하수단(310)과 회수수단(320)은 예를 들면, 각각 실린지 펌프(도시되지 아니함)로 구성되어 연속적으로 일정한 양의 시료 용액을 공급하고 회수할 수 있게 된다.
한편, 기판(W), 또는 회수수단(320)에서 노즐(30)로 낙하될 수 있는 시료 용액을 회수하기 위한 수단으로 노즐(30)에 유도관(330)이 더 형성되어 회수 후 잉여 시료 용액을 회수할 수 있게 된다.
상기 유도관(330)은 노즐(30)에서 회수수단(320)의 흡입단부(321) 아래쪽에 수직방향으로 형성되어 시료 용액이 노즐(30) 외부로 배출될 수 있게 된다.
이러한 회수수단(320)에 의해 회수되는 시료 용액은 처리수단(50)으로 이송된다. 즉, 회수수단(320)에 의해 흡입되는 시료 용액은 처리수단(50)에서 후처리되는데, 유도관(330)을 통해 회수되는 시료 용액 또한 처리수단(50)에 의해 처리된다.
상기 구동기구(40)는 상부 플레이트(110) 상부에서 회전기구(20)의 일측에서 일측 단부가 회동 가능하게 배치되며, 하부 구조체(10) 내부에 형성되는 구동장치와 연결되는 구동축(400)에 회동암(410)이 고정된다.
상기 회동암(410)은 한쪽 단부가 상기 제2 구동축(400)에 고정되면서, 다른 한쪽의 자유단부에는 상기 노즐(30)이 형성된다.
이러한 구동기구(40)는 제2 회전축(400)이 하부 구조체(10) 내부에 형성되는 구동장치로부터 감속된 동력을 전달받으면 샘플링을 수행할 수 있도록 자유단부가 선회되어 노즐(30)과 함께 회전기구(20)에 고정된 기판(W)을 향해 이동된다.
상기 처리수단(50)은 기수분리기(steam separator)로 이루어져 공기와 분리된 시료 용액을 별도의 측정 장치로 공급하게 된다.
상기 기수분리기는 공지된 장치로 가로막이판, 철망, 사이클론 등의 장치에 의하여 기체와 액체를 분리하여 제거하는 장치로서, 챔버(510)를 형성하는 용기(500) 일측에는 회수수단(320)로부터 흡입된 시료 용액과 공기가 유입되는 입구(520)가 형성되고, 상기 용기(500)의 상부에는 기수분리 작용에 의해 시료 용액과 분리된 공기가 배출시키는 에어벤트(530)가 형성되며, 하부에는 공기와 분리된 시료 용액이 저장되는 챔버(510)로부터 시료 용액을 배출시키는 배출관(540)이 형성된다.
상기 배출관(540)은 일측으로부터 세척관(550)이 형성되어 챔버(510)와 샘플링 라인을 초순수(Ultrapure Water), 고순수 워터, 산성용액 또는 과산화수소가 포함된 산성용액 중에서 어느 하가가 선택되는 세척수로 역세척할 수 있게 된다.
이러한 적하수단(310)과 회수수단(320)를 포함하는 노즐(30)은 구동기구(40)에 의해 회전기구(20)에 고정된 기판(W)에 근접 및 이격되며 시료 용액을 샘플링할 수 있게 되며, 회수된 시료 용액은 처리수단(50)에 저장된 상태에서 기수분리되어 측정 장치, 예를 들면, ICP-MS과 같은 유도결합질량분석기로 공급되어 샘플링된 시료 용액으로부터 불순물을 정량분석하게 된다.
이와 같이 구성되는 본 발명은 회전기구(20)에 기판(W)을 세팅시키고(S100)회전기구(20)를 구동하여 세팅된 기판(W)을 회전시키면서, 구동기구(40)를 구동하여 노즐(30)를 회전하는 기판(W)에 근접시킨다.(S200)
노즐(30)이 기판(W)에 근접되면서 노즐(30)의 수용부(301)에 기판(W)의 모서리 부위가 삽입되어 적하수단(310)의 배출단부(311)와 회수수단(320)의 흡입단부(321)가 기판(W)의 모서리 측면에 근접된다.
그리고 적하수단(310)로부터 회전하는 기판(W)에 시료 용액이 적하된다.(S300)
이후 일정 시간이 경과함에 따라 시료 용액이 적하된 기판으로터 불순물이 용해된다.
기판(W)의 불순물이 용해되면, 용해된 불순물을 포함하고 있는 시료 용액이 회수수단(320)과 유도관(300)에 의해 회수된다.(S400)
회수수단(320)과 유도관(330)에 의해 회수된 시료 용액은 처리수단(50)에 공급되어 시료 용액으로부터 공기와 시료 용액이 분리되고,(S500) 시료 용액이 적하된 기판(W)으로부터 정량분석을 하기 위한 시료 용액의 샘플링이 완료된다. 샘플링된 시료 용액은 측정장치로 공급되어 분석을 수행하는 단계(S600)를 수행하게 된다.
지금까지 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 중심으로 살펴보았다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 하나의 실시예에 관련된 것이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형된 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
따라서 본 발명은 제시되는 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위에 기재된 기술사상의 균등한 범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능한 실시예가 있을 수 있다.
10: 하부 구조체 100: 제어반
110: 하부 플레이트
20: 회전기구
30: 노즐
301: 수용부 310: 적하수단
311: 배출단부 320: 회수수단
321: 흡입단부 330: 유도관
40: 구동기구 400: 구동축
410: 회동암
50: 회수수단
500: 용기 510: 챔버
520: 입구 530: 에어벤트
540: 배출관
550: 세척관 W: 기판

Claims (11)

  1. 기판(W)에 포함된 불순물을 검사하기 위해 회전하는 기판(W)의 모서리에 노즐을 근접시켜 시료 용액을 샘플링 하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치에 있어서,
    시료 용액을 기판(W) 표면에 적하시키고 회수하는 노즐(30); 및
    상기 노즐(30)에 의해 회수된 시료 용액을 처리하는 처리수단을 구비하여,
    상기 노즐(30)은,
    적하수단(310)과 회수수단(320)을 포함하고,
    상기 적하수단(310)은,
    배출단부(311)가 노즐(30)의 일측면으로부터 기판(W)을 향하여 배치되고,
    상기 회수수단(320)은,
    흡입단부(321)가 상기 적하수단(310)의 일측에서 일정한 거리(L2)를 두고, 기판(W)이 회전하는 후방에서 기판(W)의 모서리 부위를 향하여 배치되며,
    적하수단(310) 및 회수수단(320)은 각각의 펌핑수단에 의해 연속적으로 일정한 양의 시료 용액을 공급하고 회수할 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 처리수단(50)은,
    기수분리기로 이루어져 공기와 분리된 시료 용액을 배출관(540)을 통해 측정장치로 공급하는 것을 포함하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 노즐(30)은,
    일측면으로부터 개구된 수용부(301)를 구비하여 기판(W)의 모서리와 적하수단(310)의 배출단부(311) 및 회수수단(320)의 흡입단부(321)를 수용할 수 있게 되는 것을 포함하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 적하수단(310)의 배출단부(311)는,
    기판(W) 모서리의 접점(P1)으로부터 일정 거리(L1)을 두고 이격되면서, 기판(W)이 회전하는 방향의 뒷쪽을 향하여 일정 각도(θ1)로 경사지게 배치되는 것을 포함하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 적하수단(310)은,
    시료 용액을 정량 배출하는 실린지를 포함하며,
    배출단부(311)는,
    시료 용액이 기판(W)의 윗면과 모서리 측면에 적하 가능하게 되면서, 기판(W)의 모서리의 접점(P1)으로부터 일정 거리(L1) 이격되고, 기판(W)이 회전하는 방향의 뒤쪽를 향하여 일정 각도(θ1)로 경사지게 형성되어 시료 용액을 기판(W)에 적하할 수 있게 되는 것을 포함하는 판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 회수수단(320)의 흡입단부(321)는,
    기판(W)의 모서리 부위의 접점(P2)으로부터 일정 거리(L1) 이격되면서 기판(W)이 회전하는 방향의 앞쪽을 향하여 일정 각도(θ2)로 경사지게 배치되어 기판(W)으로부터 시료 용액을 회수할 수 있게 되는 것을 포함하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 노즐(30)은,
    회수수단(320)의 흡입단부(321) 아랫쪽에 유도관(330)이 형성되어 회수 후 잉여 시료 용액을 회수할 수 있게 되는 것을 포함하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치.
  9. 청구항 3에 있어서,
    상기 배출관(540)은 일측으로부터 세척관(550)이 형성되어 챔버(510)와 샘플링 라인을 초순수, 산성용액 또는 과산화수소가 포함된 산성용액 중에서 어느 하나가 선택되는 세척수로 역세척할 수 있게 되는 것을 포함하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치.
  10. 청구항 8에 있어서,
    적하수단(310)의 배출단부(311) 내경보다 회수수단(320)의 흡입단부(321) 내경이 더 크게 형성되어 적하수단(310)에서 분사되는 시료 용액의 양 보다 회수수단(320)에서 흡입하는 시료 용액의 양이 더 많게 되는 것을 포함하는 기판 검사기의 시료 용액 샘플링 장치.
  11. 삭제
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