JPH11204604A - ウエーハ周辺部の金属不純物回収方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の技術では定量分析できなかったウエー
ハの周辺部に付着している汚染金属元素のみを定量分析
するための前処理手段である、ウエーハ周辺部の金属不
純物の回収方法とその装置を提供する。 【解決手段】 ウエーハを裏面吸着により回転体に垂直
に保持した後、ウエーハの周辺部を薬液の入った浸漬容
器に浸漬させた状態でウエーハを保持または回転させる
ことにより、ウエーハ周辺部の微量金属不純物を薬液中
に分解回収する。後は、フレームレス原子吸光分析装置
あるいは誘導結合プラズマ質量分析装置により、その薬
液中の微量金属元素を定量分析する。これにより、従来
の技術では定量分析できなかったウエーハの周辺部に付
着している汚染金量元素のみを定量分析することが可能
となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウエーハ周辺部の金
属不純物回収方法とその装置に係り、特に、ウエーハ不
純物分析方法において、シリコンウエーハの周辺部に付
着している汚染金属元素のみを定量分析するための前処
理手段である、ウエーハ周辺部の金属不純物の回収方法
とその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年の半導体デバイスの微細化、高集積
化に伴い、シリコンウエーハに付着している微量の金属
汚染がデバイスの電気特性や信頼性などに悪影響を及ぼ
すことが明らかになってきている。従って、それらを精
度よく定量分析し、管理していくことが非常に重要とな
ってきている。

【０００３】このようなウエーハに付着している微量汚
染金属元素の定量分析方法としては、気相分解法、全反
射蛍光Ｘ線分析法、薬液抽出法などが一般的に広く用い
られている。

【０００４】ここで気相分解法は、フッ酸蒸気によりウ
エーハ表面の自然酸化膜を分解した後、ウエーハ表面に
回収液を滴下し、該ウエーハ表面を走査することにより
分解されたウエーハ表面の汚染金属元素を回収し、その
溶液をフレームレス原子吸光分析装置あるいは誘導結合
プラズマ質量分析装置にて定量分析する方法である。
又、薬液抽出法は、ポリプレン袋中に回収液とシリコン
ウエーハを封入し、それを温水中に入れることによりウ
エーハ全面の汚染金属元素を回収し、その溶液をフレー
ムレス原子吸光分析装置あるいは誘導結合プラズマ質量
分析装置にて定量分析する方法である。従って、前記気
相分解法は、シリコンウエーハの表面や裏面に付着して
いる微量汚染金属元素を定量分析する方法であり、一方
薬液抽出法は、シリコンウエーハの全面（ウエーハの表
面、裏面、エッジ部を合わせて全面とする。）に付着し
ている微量汚染金属元素を定量分析する方法である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】さて、上述した従来の
ウエーハ微量汚染金属元素の定量分析方法では、例えば
薬液抽出法ではウエーハ全面、他の方法ではウエーハ表
（裏）面の測定は可能であるが、シリコンウエーハの周
辺部、特にウエーハ外周の面取り部やオリエンテーショ
ンフラット（オリフラ）やノッチ部等のエッジ部に付着
している汚染金属元素のみを定量分析することはできな
い。この理由は、これまでは、ウエーハ表面の金属不純
物評価ばかり重要視されていて、ウエーハエッジ部の金
属不純物評価はほとんど無視されていたことにある。
しかしながら近年はウエーハ加工における鏡面面取り加
工が必要不可欠となっており、これに伴って鏡面面取り
工程における面取り部の金属不純物評価も要求されるよ
うになってきた。また、ウエーハ加工工程の中にはウエ
ーハ周辺部を支持してウエーハ加工を行なうものもあ
り、このためウエーハ周辺部には汚染金属物質が付着し
やすく、その部分の定量分析は重要である。

【０００６】そこで本発明は、シリコンウエーハの周辺
部、特にエッジ部に付着している汚染金属元素のみを定
量分析するための前処理装置である、ウエーハ周辺部金
属不純物回収方法とその装置を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、請求項１に記載した発明は、ウエーハを回転
可能なウエーハ保持体（回転体）に略垂直に保持した
後、ウエーハの周辺部を薬液の入った浸漬容器に浸漬さ
せウエーハ周辺部の微量金属不純物を薬液中に分解回収
することを特徴とする。より好ましくは、前記回転体中
心とウエーハ中心とがほぼ一致するごとく、好ましくは
完全に一致するごとく、芯出し作業を行なった後、ウエ
ーハ裏面または表面を回転体に吸着させるのがよい。回
転体はウエーハ周辺部の任意の位置合わせ（例えばオリ
フラ部の位置合わせ）や、薬液中に浸漬した後に回転体
を回転させることでウエーハ周辺部全体の微量金属不純
物を回収するために使用される。位置合わせを目的とす
る場合、他の方法で調整可能であれば回転体は必ずしも
回転可能にする必要はなく固定でよい。尚、本発明はウ
エーハの浸漬深さによってウエーハのエッジ部のみ更に
はエッジ部を含めたウエーハの周縁側の所定深さの微量
金属不純物の回収も可能であり、これらを含めてウエー
ハの周辺部という。

【０００８】更に、前記浸漬容器と回転体間の距離を制
御することにより、ウエーハ周辺部の薬液への浸漬深さ
を調整することができ、これにより異なるウエーハサイ
ズの他、ウエーハがオリフラ品、ノッチ品にかかわら
ず、ウエーハ周辺部の微量金属不純物を薬液中に分解回
収することができる他、ウエーハ周辺部の分析範囲に応
じて、任意の浸漬深さを選択することができる。

【０００９】請求項４乃至７記載の発明は、かかる発明
を具体的に実施するための装置に関する発明で、先ず、
請求項４記載の発明は、ウエーハを垂直に保持させた状
態で回転可能な回転体と、前記回転体に保持させたウエ
ーハの周辺部を薬液中に浸漬させる浸漬容器とを具え、
前記ウエーハの周辺部を薬液中に浸漬させ、該ウエーハ
周辺部の微量金属不純物を薬液中に分解回収可能に構成
したことを特徴とする。

【００１０】この場合、好ましくは前記回転体とウエー
ハ芯出しガイドとの軸心をほぼ一致好ましくは完全に一
致させた状態で対面配置し、該芯出しガイドにより、ウ
エーハの芯出しを行った後、ウエーハをそのまま保持し
ながら回転体側に近接移動させて、該ウエーハを回転体
に裏面吸着可能に構成するのがよい。このように、ウエ
ーハ芯出しガイドにより、精度よくウエーハの芯出しを
行った後、該ウエーハを回転可能な状態で保持吸着すれ
ば、その後の操作のウエーハを回転させる際に、ウエー
ハを偏心せずに回転させることができる。なお、ウエー
ハ芯出しガイドは、後記するようにその中心線がずれな
いような状態で左右に対称距離で移動できるような機構
になっているのがよい。

【００１１】請求項６記載の発明は、前記浸漬容器と回
転体間の距離を移動制御する移動制御手段を設け、該移
動制御手段により、ウエーハ周辺部の薬液への浸漬深さ
を調整可能に構成したことを特徴とする。これにより異
なるウエーハサイズの他、ウエーハがオリフラ品、ノッ
チ品にかかわらず、ウエーハ周辺部の微量金属不純物を
薬液中に分解回収することができるとともに、ウエーハ
周辺部の分析範囲に応じて、任意の浸漬深さを選択する
ことができる。

【００１２】請求項７記載の発明は、前記浸漬容器がス
リット状のウエーハ浸漬部両側に、薬液注入用穴と薬液
回収部を設けることを特徴とする。また、ウエーハ浸漬
部はＲ部（丸み部）より凹設され、それに続く直線的ま
たは曲線的底部から成ることを特徴とする。このよう
に、前記浸漬容器が薬液注入用穴、ウエーハ浸漬部、薬
液回収部から構成されていれば、薬液注入時には、薬液
注入用穴からマイクロピペットで薬液を注入し、ウエー
ハ浸漬部を薬液で満たすことが容易にできる。また、薬
液回収時には、浸漬容器を浸漬容器ホルダーに斜めに設
置することにより、ウエーハ浸漬部を満たしていた薬液
を薬液回収部に全量回収することができる。また、ウエ
ーハ浸漬部の構造が薬液回収部と分離されるようなＲ部
より凹設され、それに続く直線的または曲線的な底部か
ら成るようにすれば、一定量の薬液または一定深さの薬
液を用い、ウエーハ周辺部の微量金属不純物を薬液中に
分解回収することができる。また、オリフラ品を評価す
る時などは直線的な底部にすれば薬液を少なくすること
ができる。

【００１３】最後に、本発明のウエーハ周辺部金属不純
物回収装置の材質については、ウエーハが直接的あるい
は間接的に触れる部分はフッ素樹脂で、それ以外の部分
は硬質塩化ビニル樹脂で作製するのがよい。フッ素樹
脂、中でもテフロン（デュポン社製商品名、ポリ四フッ
化工チレン）は、微粒子付着や金属汚染がほとんどない
だけでなく、たとえ微粒子や金属不純物が付着したとし
ても比較的容易に洗浄により除去できるので、本発明で
は、ウエーハが直接的あるいは間接的に触れる部分の材
質にはテフロンを使用している。 一方、硬質塩化ビニ
ル樹脂は、フッ素樹脂と比べると微粒子付着や金属汚染
は多少あるものの、硬く非常に加工しやすいので、精度
を出す必要があり、且つ、微粒子付着や金属汚染を避け
たい部分の材質に最も適している。従って、本発明で
は、上述したフッ素樹脂以外の部分の材質には、硬質塩
化ビニル樹脂を使用している。また薬液については特に
限定されるものではないが、気相分解法や薬液抽出法で
使用している回収液はすべて使用可能である。具体的に
は、純水、希フッ酸、フッ化水素／過酸化水素水、フッ
化水素／希硝酸水、希塩酸／過酸化水素水などの薬液が
使用される。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
適な実施形態を例示的に詳しく説明する。但しこの実施
形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、そ
の相対的配置等は特に特定的な記載がないかぎりは、こ
の発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単なる説
明例にすぎない。以下では、本発明の実施形態に係るウ
エーハ周辺部金属不純物回収装置を図面に基づいて詳し
く説明する。図１は前記ウエーハエッジ部金属不純物回
収装置の概略斜視図であり、図２は前記ウエーハを芯出
しするための芯出しガイドで（Ａ）は前記ウエーハを芯
出しするための芯出しガイドの正面図、（Ｂ）はその左
右移動機構を示す作用図である。また、図３は図１の装
置に用いる浸漬容器の構成を示し、（Ａ）はノッチを有
するウエーハの浸漬状態、（Ｂ）はオリフラを有するウ
エーハの浸漬状態を夫々示す正面断面図、（Ｃ）は上視
図である。図４は図１の装置に用いる浸漬ホルダーの構
成を示し、（Ａ）は正面断面図、（Ｂ）は上視図であ
る。

【００１５】図１において、本発明の実施形態に係るウ
エーハエッジ部金属不純物回収装置本体２０は水平基台
２１上に、一対のウエーハ芯出しガイド本体１ａ、１ｂ
が装着された第１の垂直支持台２２と、ウエーハの裏面
中心部位を吸着保持する回転体２６が装着された第２の
垂直支持台２３とからなり、２つの垂直支持台２２，２
３は、平行に対面させて配置されており、そして第１の
支持台２２はレール２４により前記平行状態を維持しな
がら第２の支持台２３に近接する方向に移動可能に構成
されている。

【００１６】夫々の支持台２２，２３について更に詳細
に説明するに、第２の支持台２３に装着された回転体２
６と対面する第１の支持台２２の表面側には、一対の芯
出しガイド本体１ａ，１ｂが、その略「く」の字状開口
が互いに対面するごとく配設（図２参照）されており、
又、裏面側には前記芯出しガイド本体１ａ，１ｂを左右
に移動し「く」の字状開口を開閉する芯出しガイド開閉
用レバー２と固定レバー２７が取り付けられている。前
記芯出しガイド本体１ａ，１ｂは上下に設けた水平レー
ル２５，２５により、左右に移動可能に構成されてお
り、又前記芯出しガイド本体１ａ，１ｂのΧＹ軸の中心
点Ｃと、対面する位置にある回転体２６の中心位置Ｃ’
を一致するように配置する。

【００１７】更に図２に示すように前記開閉用レバー２
と芯出しガイド本体１ａ，１ｂとの間に設けた不図示の
ラック機構により、前記２つの芯出しガイド本体１ａ，
１ｂが垂直（Ｙ軸）中心線に対し、左右に等距離で接離
可能に構成されている。そしてこのような垂直（Ｙ軸）
中心線に対し左右に等距離の移動は２つのラック１ｃ、
１ｄとその間に挟持回動される１つのギヤ１ｅよりなる
ラック／ギヤ機構により容易に達成される。即ち、図２
（Ｂ）に示すように２つの芯出しガイド本体１ａ，１ｂ
を水平レール２５，２５に沿って移動可能に構成すると
ともに、上側ラック１ｄを右側ガイド本体１ｂに、下側
ラック１ｃを左側ガイド本体１ａに固定し、そして２つ
のラック１ｃ、１ｄの間に挟持回動される１つのギヤ１
ｅを前記ΧＹ軸の中心点Ｃ上に設ける。

【００１８】この結果、例えば右側芯出しガイド本体１
ｂに取り付けた開閉用レバー２を中心側に移動させるこ
とにより、該右側ガイド本体１ｂの移動に追従して上側
ラック１ｄを介してギヤ１ｅが回転し、その回転量に対
応して下側ラック１ｃ及び左側芯出しガイド本体１ａが
中心側に同一距離移動してウエーハＷの芯出しが行なわ
れる事になる。第２の垂直支持台２３には、回転体２６
が、前記芯出しガイド本体１ａ，１ｂのΧＹ軸の中心点
Ｃとその中心位置Ｃ’が一致するように対面配置すると
ともに、ウエーハ回転用ハンドル７の回転により回転体
２６が垂直面内で回転するように第２の垂直支持台２３
に軸支させる。

【００１９】回転体２６はウエーハＷ外径より大幅に小
径に形成されており、ウエーハ周縁部が充分はみ出す外
径に設定するとともに、回転体２６に付属する吸着パッ
ト３の負圧吸引により変形することなくその裏面を吸着
して保持可能に構成されている。回転体２６の下方に
は、浸漬容器設置台４が配設されており、該設置台４
は、浸漬容器５が位置決め保持されるように複数のブッ
シュ４ａを突設させている。又、前記設置台４は浸漬容
器上下用ハンドル６により上下に昇降自在に構成されて
いる。

【００２０】浸漬容器５は、底部に浸漬容器設置台４上
に突設するブッシュ４ａと嵌合して位置決め保持される
位置決め保持穴５ａを穿設するとともに、上面中央長手
方向に沿ってスリット状のウエーハ浸漬部１０を設け
る。浸漬部のみあれば薬液の回収は可能である。好まし
くはウエーハ浸漬部１０の左側には、薬液注入用穴９
を、又他側には土手部５ｂを介して薬液回収部１１を凹
設する。薬液回収部はウエーハを浸漬した後の薬液を効
率よく回収するため、浸漬容器ホルダー８に設置したと
き、ほぼ垂直の凹状態になるようにし、またすべての薬
液が回収できる容積にする。また回収後ピペット等で取
りやすいように口部は広くしておくことが好ましい。ま
た、ウエーハ浸漬部１０は図上左側よりＲ状に凹設１０
ａした後任意の深さで底面を水平に延設１０ｂし、Ｒ状
に凹設した土手部５ｂを介して薬液回収部１１に致る。
このように構成することにより一定高さ、一定量の薬液
でウエーハＷにオリフラＯＦ若しくはノッチｎを有する
場合でも、後記するようにウエーハエッジ部の微量金属
不純物を薬液中に分解回収することができる。

【００２１】図４に示す浸漬容器ホルダー８は、垂直壁
８ａの側面に、前記浸漬容器５を斜めに架設保持するた
めの架設バー８ｂが取り付けられている。尚前記実施例
においてはウエーハＷが直接的あるいは間接的に触れる
ウエーハ芯出しガイド本体１ａ、吸着パット３、回転体
２６、浸漬容器５はフッ素樹脂で、それ以外の部分は硬
質塩化ビニル樹脂で作製されている。

【００２２】次に係る実施例の動作を説明する。先ず、
一対のウエーハ芯出しガイド本体１ａ、１ｂにより、ウ
エーハＷの芯出しを行う。ウエーハＷの芯出しは、芯出
しガイド開閉用レバー２を外側に移動して、一対の芯出
しガイド本体１ａ，１ｂ間の開口を開いて、ウエーハＷ
を所定位置にセットした後、芯出しガイド開閉用レバー
２と固定レバー２７とを握る要領で該開閉用レバー２を
中心側に移動して、ラック／ギアにより芯出しガイド本
体１ａ，１ｂを対称距離で中心側に縮幅化させることに
より、ウエーハＷを４点支持して芯出しを完了させる。
この時点で、ウエーハＷの中心と回転体の中心Ｃ’が、
前記芯出しガイド本体１ａ，１ｂの中心点Ｃに一致する
ように対面配置されることとなる。ウエーハＷの芯出し
が完了したら、ウエーハＷをそのまま保持しながら芯出
しガイド本体１ａ、１ｂを支持している第１の支持台２
２を、レール２４により第２の支持台２３の回転体２６
に当接するまで平行移動させ、当接させた時点で裏面吸
着によりウエーハＷを回転体２６に付属する吸着パット
３に吸引保持されることにより垂直に位置保持されるこ
ととなる。

【００２３】次に、浸漬容器設置台４の位置決めブッシ
ュ４ａ及び位置決め保持穴５ａを利用して浸漬容器５を
設置台４上に設置した後、浸漬容器５の薬液注入用穴９
からマイクロピペットで薬液ｍを適量注入し、ウエーハ
浸漬部１０を薬液ｍで満たす。 次に、浸漬容器上下用
ハンドル６を回して浸漬容器５を上昇させ、ウエーハＷ
のエッジ部を図３（Ａ）に示す浸漬容器５のスリット状
浸漬部１０に満たされている薬液ｍ中に浸漬させる。そ
の状態でウエーハ回転用ハンドル７を回してウエーハＷ
を回転させることにより、ウエーハＷのエッジ部の微量
金量不純物を薬液ｍ中に分解回収することが出来る。
尚、浸漬深さはウエーハの外径若しくは加工条件によっ
て異なるが、一般的にはノッチ部ｎの深さより大きく且
つ５ｍｍ以下の範囲で任意に調整可能である。

【００２４】尚、ウエーハ試料がノッチｎ付きウエーハ
Ｗの場合は、上述した方法により、ウエーハＷのエッジ
部の徴量金属不純物を薬液ｍ中に分解回収すればよい
が、前記試料がオリフラＯＦ付きウエーハＷの場合は、
図３（Ｂ）に示すようにウエーハ回転用ハンドル７を回
してウエーハＷを回転させた後、オリフラＯＦを下にし
た状態でウエーハの回転を停止させた後、浸漬容器上下
用ハンドル６を回して、もう一段階浸漬容器５を上昇さ
せ、オリフラ部ＯＦを浸漬容器５のウエーハ浸漬部１０
に満たされている薬液ｍ中に浸漬させることにより、ウ
エーハＷのエッジ部の微量金属不純物を薬液ｍ中に分解
回収すればよい。同様に外周部の一部、たとえば加工工
程などでウエーハ外周部を支持した場合の支持部など特
定な部分の分析を行なう場合にも使用できる。

【００２５】そして薬液ｍ中への分解回収が終了した後
に、浸漬容器５を浸漬容器設置台４から外して、浸漬容
器ホルダー８に斜めに設置し、薬液ｍを薬液回収部１１
に全量回収する。薬液回収部よりマイクロピペット等で
薬液を取りだし、フレームレス原子吸光分析装置あるい
は誘導結合プラズマ質量分析装置により、その薬液ｍ中
の微量金属元素を定量分析すればよい。薬液回収部を設
けたことにより効率良く処理できる。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
極めて簡便な方法でウエーハの周辺部に付着している汚
染金属元素を薬液中に分解回収することができるので、
後は、フレームレス原子吸光分析装置あるいは誘導結合
プラズマ質量分析装置により、その薬液中の微量金属元
素を定量分析すればよい。従って、本発明によれば、従
来の技術では定量分析できなかったウエーハの周辺部に
付着している汚染金属元素のみを定量分析することがで
きるようになり、ウエーハに付着している汚染金属元素
の化学分析技術をまた一歩前進させることが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るウエーハ周辺部金属不
純物回収装置の概略斜視図である。

【図２】（Ａ）は前記ウエーハを芯出しするための芯出
しガイドの正面図、（Ｂ）はその左右移動機構を示す作
用図である。

【図３】図１の装置に用いる浸漬容器の構成を示し、
（Ａ）はノッチを有するウエーハの浸漬状態、（Ｂ）は
オリフラを有するウエーハの浸漬状態を夫々示す正面断
面図、（Ｃ）は上視図である。

【図４】図１の装置に用いる浸漬ホルダーの構成を示
し、（Ａ）は正面断面図、（Ｂ）は上視図である。

【符号の説明】

１ａ、１ｂ ウエーハ芯出しガイド １ｃ 下側ラック １ｄ 上側ラック １ｅ ギヤ ２ ウエーハ芯出しガイド開閉用レバー ３ 吸着パット ４ 浸漬容器設置台 ４ａ ブッシュ ５ 浸漬容器 ５ａ 位置決め保持穴 ５ｂ 土手部 ６ 浸漬容器上下用ハンドル ７ ウエーハ回転用ハンドル ８ 浸漬容器ホルダー ８ａ 垂直壁 ８ｂ 架設バー ９ 薬液注入用穴 １０ ウエーハ浸漬部 １０ａ Ｒ状凹設部 １０ｂ 底面水平延設部 １１ 薬液回収部 ２０ ウエーハ周辺部金属不純物回収装置本体 ２１ 水平基台 ２２ 第１の垂直支持台 ２３ 第２の垂直支持台 ２４ レール ２５ 水平レール ２６ 回転体 ２７ 固定レバー Ｗ ウエーハ Ｃ ウエーハ芯出しガイド本体のΧＹ軸の中心点 Ｃ’ 回転体の中心位置 ｍ 薬液 ｎ ノッチ ＯＦ オリフラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４２ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４２Ｄ 21/306 21/306 Ｂ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエーハを回転体に略垂直に保持した
   後、ウエーハの周辺部を薬液の入った浸漬容器に浸漬さ
   せウエーハ周辺部の微量金属不純物を薬液中に分解回収
   することを特徴とするウエーハ周辺部の金属不純物回収
   方法。
2. 【請求項２】 前記回転体中心とウエーハ中心とがほぼ
   一致するごとく、芯出し作業を行なった後、ウエーハを
   回転体に吸着させ該ウエーハを回転させることによりウ
   エーハ周辺部の微量金属不純物を薬液中に分解回収する
   ことを特徴とする請求項１記載のウエーハ周辺部の金属
   不純物回収方法。
3. 【請求項３】 前記浸漬容器と回転体間の距離を制御す
   ることにより、ウエーハ周辺部の薬液への浸漬深さを調
   整することを特徴とする請求項１または請求項２記載の
   ウエーハ周辺部の金属不純物回収方法。
4. 【請求項４】 ウエーハを垂直に保持させた状態で回転
   可能な回転体と、前記回転体に保持させたウエーハの周
   辺部を薬液中に浸漬させる浸漬容器とを具え、前記ウエ
   ーハの周辺部を薬液中に浸漬させた状態でシリコンウエ
   ーハ周辺部の微量金属不純物を薬液中に分解回収可能に
   構成したことを特徴とするウエーハ周辺部の金属不純物
   回収装置。
5. 【請求項５】 前記回転体とウエーハ芯出しガイドの軸
   心をほぼ一致させた状態で対面配置し、該芯出しガイド
   により、ウエーハの芯出しを行った後、ウエーハをその
   まま保持しながら回転体側に近接移動させて、該ウエー
   ハを回転体に吸着可能に構成したことを特徴とする請求
   項４記載のウエーハ周辺部の金属不純物回収装置。
6. 【請求項６】 前記浸漬容器と回転体間の距離を移動制
   御する移動制御手段を設け、該移動制御手段により、ウ
   エーハ周辺部の薬液への浸漬深さを調整可能に構成した
   ことを特徴とする請求項４記載のウエーハ周辺部の金属
   不純物回収装置。
7. 【請求項７】 前記浸漬容器がスリット状のウエーハ浸
   漬部両側に、薬液注入用穴と薬液回収部を設けることを
   特徴とする請求項４記載のウエーハ周辺部金属不純物回
   収装置。