JP2005314761A - 光ディスク用スタンパーの基板作製方法及び電鋳物 - Google Patents
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Abstract
【課題】高密度に記録した光ディスクの生産に好適なスタンパーの基板1を提供する。
【解決手段】陽極18に対し対向する陰極19として設置された鏡面母材2が回転する電鋳装置を用いた光ディスク用スタンパーの基板1作製方法において、前記鏡面母材2に電鋳物4を電鋳し、その後電鋳物4を鏡面母材2から剥離して、鏡面母材2との剥離面5の表面粗さRyが10nm以下の鏡面である電鋳物4を基板1とする。
【選択図】図1
【解決手段】陽極18に対し対向する陰極19として設置された鏡面母材2が回転する電鋳装置を用いた光ディスク用スタンパーの基板1作製方法において、前記鏡面母材2に電鋳物4を電鋳し、その後電鋳物4を鏡面母材2から剥離して、鏡面母材2との剥離面5の表面粗さRyが10nm以下の鏡面である電鋳物4を基板1とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、高密度記録ディスクである光ディスク用スタンパーの基板作製方法及び電鋳物に関するものである。
通常、光ディスク用スタンパーは、ガラス板に形成したフォトレジスト層に所望の信号で変調されたレーザビームを露光し、その後現像することによってフォトレジスト層をパターン化するガラス原板作成工程と、前記フォトレジスト層にニッケル電鋳を施した後、表面に形成されたニッケル層を剥離し、材質がニッケルであるスタンパーの基板を得る金属原板作製工程から成り立っている。(例えば、非特許文献1参照)
しかしこの作製方法は工程数が多いため、より簡単な方法として、スタンパーと同じ厚みのニッケル板にフォトレジトを直接塗布し、それをレーザ露光と現像でパターン化し、その後パターン化されたフォトレジストを焼成によって固め、それを直接スタンパーとする方法が提案されている。(例えば、特許文献1参照)。
しかしこの作製方法は工程数が多いため、より簡単な方法として、スタンパーと同じ厚みのニッケル板にフォトレジトを直接塗布し、それをレーザ露光と現像でパターン化し、その後パターン化されたフォトレジストを焼成によって固め、それを直接スタンパーとする方法が提案されている。(例えば、特許文献1参照)。
図3は、前記特許文献1に記載された方法の概要を示すものである。図3(A)は、フォトレジスト層53が塗布されたニッケル板59(スタンパーの基板51)を示す。同図(B)は記録レンズ21で小さなスポットに絞られたレーザビーム16をフォトレジスト層53に露光する工程である。レーザビーム16は信号変調器(図示せず。)で所望の信号に変調されている。ニッケル板59は円板であってその円板の中心で回転していて、記録レンズ21はニッケル板59の半径方向に移動しながら露光する。同図(C)は露光後のフォトレジスト層53aを有するニッケル板59を示す。露光部分23は加熱によって架橋し、潜像として螺旋状にニッケル板59上に記録される。
同図(D)は現像によって露光部分23が残り、未露光部分20(同図(C))の架橋されていないところは現像により除去されている。この後、高温のベーキングによって残った露光部分23を焼き固めて強度をさらに強くしたバンプとし、光ディスク用スタンパーのサイズに合うようにニッケル板59を加工すればスタンパーSが完成する。
前記特許文献1にはニッケル板59の製造方法は触れられていないが、前記ニッケル板59を得る一般的な方法の一例として、図4に示す電鋳装置22のように鏡面母材52を電極(陰極19)としてニッケルの電鋳を行い、ニッケルの電鋳物54を鏡面母材52から剥離して母材52の鏡面が電鋳物54であるニッケル板59の剥離面55に転写されたニッケル板59を得ることが行われている。
前記特許文献1にはニッケル板59の製造方法は触れられていないが、前記ニッケル板59を得る一般的な方法の一例として、図4に示す電鋳装置22のように鏡面母材52を電極(陰極19)としてニッケルの電鋳を行い、ニッケルの電鋳物54を鏡面母材52から剥離して母材52の鏡面が電鋳物54であるニッケル板59の剥離面55に転写されたニッケル板59を得ることが行われている。
そして図4に示すように、ニッケルペレット11を陽極18としたニッケル電鋳浴10を用い、前記電極(陰極19)を回転させることで、均一で内部応力のないスタンパーの基板としての電鋳物54であるニッケル板59を得ている(図3(A)参照)。なお、電鋳浴10は、陽極18と陰極19の間の下方から噴出し、オーバーフローした電鋳浴10は、温度等がコントロールされるように電鋳装置22の右下の矢印方向に循環している。
次に、従来説明してきた母材52としてはガラス板が主に用いられている。該ガラス板は導電性がないため、その上にニッケル膜をスパッタリングなどで形成し、電鋳の電極(陰極19)とすることが行われている。
次に、従来説明してきた母材52としてはガラス板が主に用いられている。該ガラス板は導電性がないため、その上にニッケル膜をスパッタリングなどで形成し、電鋳の電極(陰極19)とすることが行われている。
一方、ガラス板に変わる鏡面母材52としてアモルファスカーボンが用いられている(例えば、特許文献2参照)。該アモルファスカーボンはフェノール樹脂を高温で炭化焼成
し、高純度のカーボン粒子の成形体にしたものである。アモルファスカーボンは導電性があるため導電膜を付ける必要が無いなどの利点を有している。
図5は前記アモルファスカーボンの母材を用いてスタンパーSの基板51である鏡面のニッケル板59を得る方法の一例を示す。同図(A)の片面である上面が鏡面に研磨された剥離面55を有するアモルファスカーボンの母材52を示す。同図(B)はニッケル電鋳でアモルファスカーボンの母材52の剥離面55にニッケル層58を形成した状態を示す。該ニッケル層58の厚みは所望の光ディスク用スタンパーの厚みに合わせている。通常の光ディスク成形では300μm程度が一般的である。この厚みは電鋳時間等によって自由に調整ができる。
し、高純度のカーボン粒子の成形体にしたものである。アモルファスカーボンは導電性があるため導電膜を付ける必要が無いなどの利点を有している。
図5は前記アモルファスカーボンの母材を用いてスタンパーSの基板51である鏡面のニッケル板59を得る方法の一例を示す。同図(A)の片面である上面が鏡面に研磨された剥離面55を有するアモルファスカーボンの母材52を示す。同図(B)はニッケル電鋳でアモルファスカーボンの母材52の剥離面55にニッケル層58を形成した状態を示す。該ニッケル層58の厚みは所望の光ディスク用スタンパーの厚みに合わせている。通常の光ディスク成形では300μm程度が一般的である。この厚みは電鋳時間等によって自由に調整ができる。
次に同図(C)は同図(B)からニッケル層58をアモルファスカーボンの母材52から剥離したもので、片面である剥離面55(同図(C)では下面)が鏡面になっている。このニッケル層58が図3のスタンパーSの基板51であるニッケル板59に相当する。
(財)新世代研究所編、「湿式プロセスハンドブック」 日刊工業新聞社、1996年3月22日発行、p.596〜599 特開6−180867号公報(第5頁、図1)
特開2001−283475号公報(第7頁、第4図)
(財)新世代研究所編、「湿式プロセスハンドブック」 日刊工業新聞社、1996年3月22日発行、p.596〜599
しかしながら、前記特許文献2等に記載の構成では、図6(A)に示すようにアモルファスカーボンの母材52から電鋳で形成されたスタンパーの基板51であるニッケル板59の表面に数μmから数十μmの突起13が形成されるということが生じていた。これはアモルファスカーボンの母材52の表面の研磨時にできた小さな窪み12に電鋳ニッケルが浸入し、ニッケル板59を母材52から繰り返し剥離する時にその窪み12周辺が掘り返される力が働いて、窪み12が掘り返されて次第に大きくなり、電鋳されたニッケル層58にできる突起13も次第に大きくなるためと考えられる(同図(B)参照)。もともとアモルファスカーボンは焼成されてできたカーボン粒子の集まりであるため、その中に不純物があるとそこが空隙となり、前記研磨時には窪み12となる。
同図(B)は前記表面に窪み12を有するアモルファスカーボンの母材52の上に電鋳でニッケル層58を形成した図である。同図(C)はニッケル板59をアモルファスカーボンの母材52から剥離しているところを示す。
同図(D)は剥離されたニッケル板59を示し、剥離面55の表面には窪み12に対応した、すなわち窪み12を転写した突起13が形成されている。なお、同図(D)のニッケル板59は、同図(B)、同図(C)に示されたものとは上下逆向きで、突起13はニッケル板59の上面に示されている。
同図(D)は剥離されたニッケル板59を示し、剥離面55の表面には窪み12に対応した、すなわち窪み12を転写した突起13が形成されている。なお、同図(D)のニッケル板59は、同図(B)、同図(C)に示されたものとは上下逆向きで、突起13はニッケル板59の上面に示されている。
このようなニッケル板59にフォトレジストを塗布すると、突起13のところでフォトレジストの流れが変わって、その結果流れ星のような模様が生じる。この突起13の大きなものでは50μmにもなり、光ディスク用スタンパーの欠陥になるとともに、流れ星のような模様は前述のように光ディスクの外観不良になる。
アモルファスカーボンを鏡面研磨した母材52の欠点として、上記のような表面の窪み12に起因したニッケル板59に生じる数十μmの欠陥(突起13)が生じる点がある。
また窪み12はたとえ1μmであっても、ニッケル板59上に形成するバンプ14(後述の図1(H))に比べると大きく、製品の光ディスクに高密度の記録ができないという
欠点がある。
アモルファスカーボンを鏡面研磨した母材52の欠点として、上記のような表面の窪み12に起因したニッケル板59に生じる数十μmの欠陥(突起13)が生じる点がある。
また窪み12はたとえ1μmであっても、ニッケル板59上に形成するバンプ14(後述の図1(H))に比べると大きく、製品の光ディスクに高密度の記録ができないという
欠点がある。
光ディスクであるCD(Compact Disc)のバンプ14幅は約0、5μm程度であるが、同DVD(Digital Video Disc)のバンプ14幅は約0.3μmである。DVD用の光ディスク用スタンパーに使用する場合は、アモルファスカーボンの母材52の鏡面研磨で生じる窪み12の大きさは、アモルファスカーボンの母材52の全表面積にわたって少なくとも0.3μmに押さえる必要があり、そのような鏡面研磨されたアモルファスカーボンの母材52の製造には高いコストがかかっていた。また、DVDより一層高密度記録の光ディスクでは、バンプ14幅もさらに小さくなることから、要求される鏡面研磨の精度はより厳しくなっている。
アモルファスカーボンの母材52で作製したニッケル板には上記のようなコスト高と歩留まりの低下、及び次世代光ディスクの高密度記録化への対応が難しいという課題を有していた。
本発明は、前記の課題を解決するもので、ニッケル板等の光ディスク用スタンパーの基板の表面に欠陥がなく、光ディスク用スタンパー製造歩留まりを向上させるとともに、さらにDVDより一層の高密度記録の光ディスクにも対応できる優れた鏡面を有する光ディスク用スタンパーの基板作製方法及び電鋳物を提供することを目的とする。
本発明は、前記の課題を解決するもので、ニッケル板等の光ディスク用スタンパーの基板の表面に欠陥がなく、光ディスク用スタンパー製造歩留まりを向上させるとともに、さらにDVDより一層の高密度記録の光ディスクにも対応できる優れた鏡面を有する光ディスク用スタンパーの基板作製方法及び電鋳物を提供することを目的とする。
この技術的課題を解決するための本発明の技術的手段は、陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた光ディスク用スタンパーの基板作製方法において、前記鏡面母材に電鋳物を電鋳し、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRy(最大高さ:JISB0601に準ずる。)が10nm以下、より好ましくは7〜1nm、更に好ましくは5〜3nmの鏡面である電鋳物を基板とする点にある。
また、前記鏡面母材が、酸化アルミナ(Al2O3)とチタンカーバイト(TiC)との多結晶体の非磁性のセラミックスであることを特徴とする。
また、前記鏡面母材が、酸化アルミナ(Al2O3)とチタンカーバイト(TiC)との多結晶体の非磁性のセラミックスであることを特徴とする。
アルチックの母材は導電性(電気抵抗:2×10-5Ω・m)があるので、その上に直接電鋳が可能である。また、剥離もアモルファスカーボンと同様に容易で、特別な剥離処理が不要である。
アルチックの母材は非磁性のセラミックスで、酸化アルミナとチタンカーバイトから成り立つ多結晶体である。従って、アルチックの特徴は、空隙がなく、大変小さな粒子で構成されているため、アモルファスカーボンで問題となった空隙による研磨時に生じる表面の窪みが無い。
アルチックの母材は非磁性のセラミックスで、酸化アルミナとチタンカーバイトから成り立つ多結晶体である。従って、アルチックの特徴は、空隙がなく、大変小さな粒子で構成されているため、アモルファスカーボンで問題となった空隙による研磨時に生じる表面の窪みが無い。
また、ビッカース硬度はHv2000であり、アモルファスカーボンのビッカース硬度Hv650の3倍以上も硬い。そのため精密研磨が容易なために、鏡面に近い研磨が可能になり、表面粗さRyが10nm以下が可能である。
さらに曲げ強度は880MPaとアモルファスカーボンの300MPaの3倍近くあるため、アルチックの母材の鏡面研磨時の加工歪みが少なく、平面度が出やすいなどの利点を備えている。
本構成によって、アルチックの母材にはアモルファスカーボンで生じていたような窪み(凹状の欠陥)がないため、電鋳で得られるニッケル板にも突起(凸状の欠陥)が形成さ
れることがない。また、アルチックの母材の表面が鏡面であるために、DVDより更に高密度記録の光ディスク用スタンパーの基板として供用できる。
さらに曲げ強度は880MPaとアモルファスカーボンの300MPaの3倍近くあるため、アルチックの母材の鏡面研磨時の加工歪みが少なく、平面度が出やすいなどの利点を備えている。
本構成によって、アルチックの母材にはアモルファスカーボンで生じていたような窪み(凹状の欠陥)がないため、電鋳で得られるニッケル板にも突起(凸状の欠陥)が形成さ
れることがない。また、アルチックの母材の表面が鏡面であるために、DVDより更に高密度記録の光ディスク用スタンパーの基板として供用できる。
また、前記鏡面母材が、ニッケル−モリブデンを主体とするハステロイ合金、特に前記鏡面母材が、ハステロイC合金であることが好ましい。
そして、前記基板である電鋳物の材質がニッケル、ニッケル合金、銅、銀、若しくは金からなる点である。その基板の上にフォトレジストを塗布し、露光・現像を経てフォトレジストのバンプを形成し、それを焼き固めて作製される。
また、本発明の技術的手段は、陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた電鋳物であって、前記鏡面母材に電鋳物が電鋳され、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRyが10nm以下、より好ましくは5nm以下の鏡面である光ディスク用スタンパーの基板である電鋳物に構成したことにある。
そして、前記基板である電鋳物の材質がニッケル、ニッケル合金、銅、銀、若しくは金からなる点である。その基板の上にフォトレジストを塗布し、露光・現像を経てフォトレジストのバンプを形成し、それを焼き固めて作製される。
また、本発明の技術的手段は、陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた電鋳物であって、前記鏡面母材に電鋳物が電鋳され、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRyが10nm以下、より好ましくは5nm以下の鏡面である光ディスク用スタンパーの基板である電鋳物に構成したことにある。
また、本発明の技術的手段は、陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた電鋳物であって、前記鏡面母材に電鋳物が電鋳され、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRyが10nm以下、より好ましくは5nm以下の鏡面である超小型部品搭載用ナノトレイの基板である電鋳物に構成したことにある。
また、本発明の技術的手段は、陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた電鋳物であって、前記鏡面母材に電鋳物が電鋳され、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRyが10nm以下、より好ましくは5nm以下の鏡面である映像管用ファインメッシュの基板である電鋳物に構成したことにある。
また、本発明の技術的手段は、陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた電鋳物であって、前記鏡面母材に電鋳物が電鋳され、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRyが10nm以下、より好ましくは5nm以下の鏡面である映像管用ファインメッシュの基板である電鋳物に構成したことにある。
以上のように、本発明の光ディスク用スタンパーの基板作製のための母材は欠陥がないためそれによるスタンパーを用いれば歩留まり良く高密度記録ディスク用の光ディスクの生産が行える。さらに、本発明の電鋳物を用いれば、超小型で精密を要求される部品の作製に対応できる。
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の実施の形態における光ディスク用スタンパーの基板作製工程図である。図1(A)は、片面(図では上面)が鏡面に研磨されたアルチック(Al2O3−TiC)の母材2を示している。このアルチックの母材2は、直径200mmの円板である。また、前記[課題を解決するための手段]に記載のように、母材2は電気抵抗が2×10-5Ω・m、ビッカース硬度がHv2000、曲げ強度が880MPaで、表面粗さRyが10nm以下の鏡面である。なお、ビッカース硬度はJISZ2244によって測定した。
図1は、本発明の実施の形態における光ディスク用スタンパーの基板作製工程図である。図1(A)は、片面(図では上面)が鏡面に研磨されたアルチック(Al2O3−TiC)の母材2を示している。このアルチックの母材2は、直径200mmの円板である。また、前記[課題を解決するための手段]に記載のように、母材2は電気抵抗が2×10-5Ω・m、ビッカース硬度がHv2000、曲げ強度が880MPaで、表面粗さRyが10nm以下の鏡面である。なお、ビッカース硬度はJISZ2244によって測定した。
図1(B)はアルチックの母材2の鏡面側6に電鋳でニッケル層8を形成する工程である。アルチックの母材2である円板の中心を回転中心として1秒に1回転させながら、ニッケルペレットを陽極としスルファミン酸ニッケル電鋳浴(50℃前後)を用いて電鋳を行う。
図1(C)はアルチックの母材2から剥離して得られたニッケル板9を示す。アルチッ
クの母材2の鏡面側6に電鋳されたニッケル層8をアルチックの母材2から未剥離のままアルチックの母材2とともに、電鋳温度50℃である電鋳浴から取り出し、約25℃前後の室温の清浄水を両者に散布すると、両者の熱膨張差により、ニッケル層8はアルチックの母材2の鏡面を転写したままアルチックの母材2から容易に剥離する。
図1(C)はアルチックの母材2から剥離して得られたニッケル板9を示す。アルチッ
クの母材2の鏡面側6に電鋳されたニッケル層8をアルチックの母材2から未剥離のままアルチックの母材2とともに、電鋳温度50℃である電鋳浴から取り出し、約25℃前後の室温の清浄水を両者に散布すると、両者の熱膨張差により、ニッケル層8はアルチックの母材2の鏡面を転写したままアルチックの母材2から容易に剥離する。
剥離して得られたニッケル板9の剥離面5の表面粗さRyは10nm以下の鏡面であり、突起などの欠陥を有しない。また、前記のようにアルチックの母材2の曲げ強度が大きく、従って平面度も優れているため、ニッケル板9の平面度も優れている。そのため、表面欠陥のないフラットな光ディスク用スタンパーの基板1を実現できる。
なお、以下の図1(D)〜(G)は、光ディスク用スタンパーの基板1であるニッケル板9から光ディスク用スタンパーを作成している工程であって、[背景技術]の図3(A)〜(D)と基本的に同じであるが、以下に更に記載する。
なお、以下の図1(D)〜(G)は、光ディスク用スタンパーの基板1であるニッケル板9から光ディスク用スタンパーを作成している工程であって、[背景技術]の図3(A)〜(D)と基本的に同じであるが、以下に更に記載する。
図1(D)はニッケル板9の鏡面側、すなわちアルチックの母材2の鏡面が転写された側の面にフォトレジスト層3を塗布した工程である。フォトレジスト層3はニッケル板9を高速で回転させながらフォトレジストを塗布するスピニング法で形成できる。
図1(E)は信号記録工程で、レーザビーム16は記録レンズ21で小さなスポットに絞られている。DVD用の記録ではスポット径は0.3μm程度になる。光ディスク用スタンパーの基板1であるニッケル板9は図示されていない回軽駆動部材で高速に円回転させられている。また記録レンズ21とレーザビーム16を含む光学系は円板であるニッケル板9の半径方向にニッケル板9の回転と同期して移動する。そのため、図1(F)に示される露光部分23は螺旋状の潜像として記録される。
図1(E)は信号記録工程で、レーザビーム16は記録レンズ21で小さなスポットに絞られている。DVD用の記録ではスポット径は0.3μm程度になる。光ディスク用スタンパーの基板1であるニッケル板9は図示されていない回軽駆動部材で高速に円回転させられている。また記録レンズ21とレーザビーム16を含む光学系は円板であるニッケル板9の半径方向にニッケル板9の回転と同期して移動する。そのため、図1(F)に示される露光部分23は螺旋状の潜像として記録される。
図1(G)には現像後の光ディスク用スタンパーの基板1であるニッケル板9を示す。露光部分23は架橋されて固くなっているため現像で溶解することなくバンプ14(図1(H))として残っている。未露光部分20(図1(F))は現像液で溶解されて消失している。フォトレジストの種類によっては、図1(E)の露光後にべ−キングが必要なものもある。
図1(H)は図1(G)の現像後のニッケル板9に、さらに高温のベーキングを行い、架橋を促進して強度を増したバンプ14を有するニッケル板9を示す。その後、成形機の型のサイズに合うようにニッケル板9を加工すれば光ディスク用スタンパーが完成する。
図1(H)は図1(G)の現像後のニッケル板9に、さらに高温のベーキングを行い、架橋を促進して強度を増したバンプ14を有するニッケル板9を示す。その後、成形機の型のサイズに合うようにニッケル板9を加工すれば光ディスク用スタンパーが完成する。
なお、上記は、電鋳でニッケル層8を得る方法を示したが、基板である電鋳物の材質がニッケルに限定するものではなく、ニッケル合金、銅、銀、若しくは金によることも可能である。もちろん、銅、銀、若しくは金は、スルファミン酸ニッケル電鋳浴からの電鋳ではなく、各々にふさわしい電鋳浴を用いる。
また、上記は、片面が鏡面に研磨されたアルチックの母材2で示したが、鏡面の母材2が、ニッケル−モリブデンを主体とするハステロイ合金であってもよい。このハステロイ合金は、耐食性に優れたもので、特にハステロイC合金(ビッカース硬度がHv250で、標準化学組成は、重量%で、モリブデンが17.0%、クロムが16.5%、鉄が5.0%、タングステンが4.5%、残りはニッケルである。)が適している。
また、上記は、片面が鏡面に研磨されたアルチックの母材2で示したが、鏡面の母材2が、ニッケル−モリブデンを主体とするハステロイ合金であってもよい。このハステロイ合金は、耐食性に優れたもので、特にハステロイC合金(ビッカース硬度がHv250で、標準化学組成は、重量%で、モリブデンが17.0%、クロムが16.5%、鉄が5.0%、タングステンが4.5%、残りはニッケルである。)が適している。
さらに本発明の表面粗さRyが10nm以下の鏡面である電鋳物を用いて、超小型で精密を要求される部品、例えば図2に示すような極小ギア(歯車)17搭載用のナノトレイ15や、映像管用ファインメッシュ等などの作製を行うことができる。図2に示すナノトレイ15は、100μmの大きさを1cmで示した拡大図である。なお、得た電鋳物から
上記ナノトレイ17や映像管用ファインメッシュに微細加工するには、上記図1(D)〜(G)に記載した方法を用いて行うこともできる。
上記ナノトレイ17や映像管用ファインメッシュに微細加工するには、上記図1(D)〜(G)に記載した方法を用いて行うこともできる。
本発明の基板によれば、表面欠陥のないフラットな光ディスク用スタンパーを実現できる。また表面粗さが小さいため、バンプ幅がDVDより小さい一層高密度記録である光ディスクに対応できる。
さらに高密度記録になる分だけ、同じ容量の場合はディスクのサイズを小さくすることができるので、本発明の基板によれば小型のモバイル用装置の光ディスク作製に用いることができる。
さらに本発明の電鋳物は、その表面粗さRyが10nm以下の鏡面を活用して、超小型で精密を要求される部品等の作製に利用できる。
さらに高密度記録になる分だけ、同じ容量の場合はディスクのサイズを小さくすることができるので、本発明の基板によれば小型のモバイル用装置の光ディスク作製に用いることができる。
さらに本発明の電鋳物は、その表面粗さRyが10nm以下の鏡面を活用して、超小型で精密を要求される部品等の作製に利用できる。
1 スタンパーの基板
2 (鏡面)母材
3 フォトレジスト層
4 電鋳物
5 剥離面
8 ニッケル層
9 ニッケル板
12 窪み
13 突起
18 陽極
19 陰極
51 スタンパーの基板(従来)
52 母材(従来)
59 ニッケル板(従来)
2 (鏡面)母材
3 フォトレジスト層
4 電鋳物
5 剥離面
8 ニッケル層
9 ニッケル板
12 窪み
13 突起
18 陽極
19 陰極
51 スタンパーの基板(従来)
52 母材(従来)
59 ニッケル板(従来)
Claims (9)
- 陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた光ディスク用スタンパーの基板作製方法において、
前記鏡面母材に電鋳物を電鋳し、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRyが10nm以下の鏡面である電鋳物を基板とすることを特徴とする光ディスク用スタンパーの基板作製方法。 - 前記鏡面母材が、酸化アルミナ(Al2O3)とチタンカーバイト(TiC)との多結晶体の非磁性のセラミックスであることを特徴とする請求項1記載の光ディスク用スタンパーの基板作製方法。
- 前記鏡面母材が、ニッケル−モリブデンを主体とするハステロイ合金であることを特徴とする請求項1記載の光ディスク用スタンパーの基板作製方法。
- 前記鏡面母材が、ハステロイC合金であることを特徴とする請求項3記載の光ディスク用スタンパーの基板作製方法。
- 前記基板である電鋳物の材質がニッケル、ニッケル合金、銅、銀、若しくは金からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光ディスク用スタンパーの基板作製方法。
- 陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた電鋳物であって、
前記鏡面母材に電鋳物が電鋳され、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRyが10nm以下の鏡面である光ディスク用スタンパーの基板である電鋳物に構成したことを特徴とする電鋳物。 - 前記基板である電鋳物の材質がニッケル、ニッケル合金、銅、銀、若しくは金からなることを特徴とする請求項6に記載の電鋳物。
- 陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた電鋳物であって、
前記鏡面母材に電鋳物が電鋳され、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRyが10nm以下の鏡面である超小型部品搭載用ナノトレイの基板である電鋳物に構成したことを特徴とする電鋳物。 - 陽極に対し対向する陰極として設置された鏡面母材が回転する電鋳装置を用いた電鋳物であって、
前記鏡面母材に電鋳物が電鋳され、その後電鋳物を鏡面母材から剥離して、鏡面母材との剥離面の表面粗さRyが10nm以下の鏡面である映像管用ファインメッシュの基板である電鋳物に構成したことを特徴とする電鋳物。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009529433A (ja) * | 2006-03-15 | 2009-08-20 | ドニアール・ソシエテ・アノニム | 隣接する層が完全には重なり合わない多層金属構造のliga−uvによる製造方法及びそれにより得られる構造 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01112543A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-01 | Tosoh Corp | 光ディスク用スタンパー |
JPH01217740A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-31 | Nec Corp | 光ディスク用スタンパ |
JPH09279366A (ja) * | 1996-04-16 | 1997-10-28 | Mitsubishi Materials Corp | 微細構造部品の製造方法 |
JPH11333856A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-12-07 | Nikon Corp | 樹脂基板用の成形型の製造方法 |
JPH11333885A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-12-07 | Nikon Corp | ファザ―・スタンパ―の大量製造方法 |
JP2001283475A (ja) * | 1999-09-01 | 2001-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ダイレクトマスタリングの基板及びその製造方法 |
JP2002355749A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-10 | Sumitomo Metal Ind Ltd | スタンパ用基板の製造方法及びNi圧延板の研磨方法 |
JP2003026426A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板成形用金型およびその製造方法 |
JP2004010984A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Sony Corp | 電鋳方法及び電着物 |
JP2004039104A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Nikon Corp | スタンパー、スタンパーの製造方法、光情報記録媒体の製造方法 |
-
2004
- 2004-04-30 JP JP2004135452A patent/JP2005314761A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01112543A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-05-01 | Tosoh Corp | 光ディスク用スタンパー |
JPH01217740A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-31 | Nec Corp | 光ディスク用スタンパ |
JPH09279366A (ja) * | 1996-04-16 | 1997-10-28 | Mitsubishi Materials Corp | 微細構造部品の製造方法 |
JPH11333856A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-12-07 | Nikon Corp | 樹脂基板用の成形型の製造方法 |
JPH11333885A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-12-07 | Nikon Corp | ファザ―・スタンパ―の大量製造方法 |
JP2001283475A (ja) * | 1999-09-01 | 2001-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ダイレクトマスタリングの基板及びその製造方法 |
JP2002355749A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-10 | Sumitomo Metal Ind Ltd | スタンパ用基板の製造方法及びNi圧延板の研磨方法 |
JP2003026426A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板成形用金型およびその製造方法 |
JP2004010984A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Sony Corp | 電鋳方法及び電着物 |
JP2004039104A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Nikon Corp | スタンパー、スタンパーの製造方法、光情報記録媒体の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009529433A (ja) * | 2006-03-15 | 2009-08-20 | ドニアール・ソシエテ・アノニム | 隣接する層が完全には重なり合わない多層金属構造のliga−uvによる製造方法及びそれにより得られる構造 |
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