JP2005313169A - 基板処理システム及び基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 カセットから基板を受け取って工程ラインに転送するローダー、前記基板上に薬液を供給してストリップ工程を行うストリップ部と、前記ストリップ部で処理された基板の表面に超純水を噴射し、連続して吸入して基板上の流体を除去する吸入部と、前記吸入部を通過した基板を洗浄する洗浄部と、前記洗浄部を通過した基板を乾燥する乾燥部とを有する直線型基板処理ライン、及び前記直線型基板処理ラインから基板を受け取って排出するアンローダとを含む。
【選択図】 図2
Description
また、前記従来の基板処理システムでは、空間効率性の確保のために´U´字を横にした形状でストリップ工程ラインを構成したが、基板が大面積化される傾向を考慮すると設備スペースを減少させることには限界がある。
図2は、本発明の好ましい一実施例による基板処理システムの構造を概略的に示した図面である。図2に示す本発明の一実施例による基板処理システムは、短縮された長さのラインによっても、十分に基板の処理が可能なスタンドアロン(Standalone)タイプ(即ち、Iタイプ)のラインで構成されている。
以上のようにして、基板Gはストリッピング、吸入、洗浄、乾燥などの一連の工程を経る。
図2から図4、及び図8に示したように、基板処理工程は、薄膜が形成された基板Gを供給する段階S100、基板Gをストリップバスに移送して、残留するフォトレジストと反応させてストリップ工程を行う第1段階S200、第1段階S200でストリッピング処理された基板Gに、超純水を噴射しながら連続して超純水を吸入して基板Gのストリップ液を除去する第2段階S220、基板Gを洗浄する第3段階S240、及び洗浄された基板Gを乾燥及びアンローディングする第4段階S300を含む。
21 基板処理ライン
22、73、97 ローダ
24、74、92 ストリップ部
25、26、40 バス
28、93 吸入部
30、76、94 洗浄部
32、34 洗浄バス
36、77、95 乾燥部
38、79、99 アンローダ
42 流入口
44 流出口
46 コンベヤー
50、52 噴射ノズル
54 吸入モジュール
59 本体
60 流体
62 吸入口
71、86 トランスファユニット
72、84 レール
98 検査ライン
G 基板
Claims (9)
- カセットから基板を受け取って工程ラインに転送するローダー、
前記基板上に薬液を提供してストリップ工程を行うストリップ部と、前記ストリップ部で処理された基板の表面に超純水を噴射し、連続して吸入して基板上の流体を除去する吸入部と、前記吸入部を通過した基板を洗浄する洗浄部と、前記洗浄部を通過した基板を乾燥する乾燥部とを有する直線型基板処理ライン、及び
前記直線型基板処理ラインから基板を受け取って排出するアンローダ
を含む基板処理システム。 - 前記直線型基板処理ラインは、前記基板を検査するライン或いは他の工程を行うラインとインライン化できることを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記カセットから基板を受け取って前記ローダーに基板を転送する、前記直線型基板処理ライン上部に配置されたトランスファユニットをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記カセットは、前記アンローダに対して基板移送方向と平行方向に配置されるか、或いは基板移送方向と垂直方向に配置される、請求項3に記載の基板処理システム。
- 前記吸入部は、洗浄液を前記基板に噴射する一対の噴射ノズル、及び前記一対の流体噴射ノズルの間に配置されて、前記基板上の流体を吸入する吸入モジュールを含む、請求項1に記載の基板処理システム。
- 薄膜が形成された基板を供給する段階、
前記基板上にストリップ薬液を噴射し、基板上に残留しているフォトレジストと反応させてストリップ工程を行う第1段階、
前記第1段階でストリップ処理された基板上に超純水を噴射しながら連続して吸入して、基板上の流体を除去する第2段階、
前記基板を洗浄する第3段階、及び
前記基板を乾燥する第4段階
を含む基板処理方法。 - 前記第1段階は、2つのストリップバスを通過して前記ストリップ工程を完了することを特徴とする請求項6に記載の基板処理方法。
- 前記第2段階は、洗浄液を基板上に各々噴射する一対の噴射モジュール、及び前記一対の噴射モジュールの間に配置されて、前記基板上の流体を吸入する吸入モジュールによって行われる、請求項6に記載の基板処理方法。
- 前記噴射モジュールと前記吸入モジュールとの距離は、前記ストリップ薬液と前記洗浄液との反応によって前記薄膜に損傷を与えることがないように調節できることを特徴とする請求項8に記載の基板処理方法。
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