JP2005303253A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 91
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 75
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 53
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 50
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 36
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 33
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 28
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 21
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 15
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 11
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 abstract 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 44
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 44
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 44
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 11
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 11
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021418 black silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N azane;hydrogen peroxide Chemical compound [NH4+].[O-]O SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 229920000592 inorganic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0642—Isolation within the component, i.e. internal isolation
- H01L29/0649—Dielectric regions, e.g. SiO2 regions, air gaps
- H01L29/0653—Dielectric regions, e.g. SiO2 regions, air gaps adjoining the input or output region of a field-effect device, e.g. the source or drain region
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/402—Field plates
- H01L29/407—Recessed field plates, e.g. trench field plates, buried field plates
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
- H01L29/66659—Lateral single gate silicon transistors with asymmetry in the channel direction, e.g. lateral high-voltage MISFETs with drain offset region, extended drain MISFETs
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7833—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's
- H01L29/7835—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's with asymmetrical source and drain regions, e.g. lateral high-voltage MISFETs with drain offset region, extended drain MISFETs
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Abstract
【解決手段】 半導体基板1に、第1のトレンチ104,105を形成する第1のエッチング工程と、第1のトレンチ104,105を絶縁膜108で埋め込む第1の堆積工程と、第2のトレンチ110を形成する第2のエッチング工程と、第2のトレンチ110を埋めきらない膜厚で絶縁膜を堆積する第2の堆積工程と、第2のトレンチをフィールドプレートで埋め込む第3の堆積工程とを備える。
【選択図】 図4
Description
その中において、絶縁膜でトレンチを充填する工程があるが、従来技術では幅の広くて深いトレンチを一度に反応性イオンエッチングにより形成した後にオフセットドレイン領域を形成し、該トレンチをCVD法などにより絶縁膜で埋め込む方法や、トレンチを所定間隔毎に形成し、そのトレンチ間に残った半導体基板を酸化した後、トレンチをCVD法などにより絶縁膜で埋め込む方法が取られていた。
まず、半導体基板としてシリコン基板を用いた場合、幅の広いトレンチを掘る技術については一度に大面積をエッチングすることになるためにブラックシリコンと呼ばれるトレンチ内部のシリコンエッチング残りの発生が問題となる。ブラックシリコンとは、シリコンのエッチングにより発生した反応生成物であるSiOなどが被エッチング面に堆積し、それがマスクとして作用することによってSiOの下のシリコンがエッチングされずにエッチングが進み、結果としてトレンチ内にシリコンが柱状に残る状態である。
また、トレンチ内部を酸化膜などの絶縁膜で埋め込む技術については、減圧CVD法を用いた場合には少なくともトレンチ幅の半分以上の膜厚を堆積しなければならない。例えばトレンチ幅及びトレンチの深さが20μmの場合には10μmもの厚い膜を形成しなければならず、非常に時間のかかる膜形成工程となるためにスループットの点で問題がありコストアップになる。
複数の第1のトレンチを隣接して形成する第1のエッチング工程と、前記第1のトレンチに絶縁膜を堆積する第1の堆積工程と、該第1の堆積工程の後に、前記第1のトレンチの間の前記半導体基板に第2のトレンチを形成する第2のエッチング工程と、前記第2のトレンチに絶縁膜を堆積する第2の堆積工程と、前記第1のトレンチまたは前記第2のトレンチの表面に不純物を供給する工程と、を備えたこととする。
または、第1導電型半導体基板の表面層に互いに平行に形成された第2導電型のソース領域と第2導電型のドレイン領域を有し、かつ前記ドレイン領域と前記ソース領域との間に形成したトレンチ表面に第2導電型オフセットドレイン領域を備えた半導体装置の製造方法において、
前記半導体領域に、前記ソース領域および前記ドレイン領域の前記平行な方向の長さが、前記ソース領域と前記ドレイン領域を横切る方向の長さよりも小さい複数の第1のトレンチを前記平行な方向に隣接して形成する第1のエッチング工程と、前記第1のトレンチに絶縁膜を堆積する第1の堆積工程と、該第1の堆積工程の後に、前記第1のトレンチの間の前記半導体基板に第2のトレンチを形成する第2のエッチング工程と、前記第2のトレンチに絶縁膜を堆積する第2の堆積工程と、前記第1トレンチまたは前記第2のトレンチの表面に不純物を供給する工程と、とを備えたこととする。
前記ソース領域と前記ドレイン領域を横切る方向に複数の第1のトレンチを隣接して形成する第1のエッチング工程と、前記オフセットドレイン領域を形成するための不純物を第1のトレンチ表面に供給する工程と、前記第1のトレンチに絶縁膜を堆積する第1の堆積工程と、該第1の堆積工程の後に、前記第1のトレンチの間の前記半導体基板に第2のトレンチを形成する第2のエッチング工程と、前記第2のトレンチ内に第2のトレンチを埋めきらない膜厚で絶縁膜を堆積する第2の堆積工程と、該第2の堆積工程の後に続いて前記第2のトレンチを前記フィールドプレートを構成する材料で埋め込む第3の堆積工程とを、備えたこととする。
前記第2の堆積工程の前に、前記半導体基板を熱酸化し前記第2のトレンチの表面に熱酸化膜を形成する工程を備えたこととする。
前記第1の堆積工程で堆積される絶縁膜が第1の絶縁膜からなり、前記第2の堆積工程で堆積される絶縁膜が第2の絶縁膜からなり、第1の絶縁膜と第2の絶縁膜とは材料が異なることとする。
前記第1の絶縁物と前記第2の絶縁物は、一方が前記半導体基板に対して引っ張り応力を発生するものであり、他方が前記半導体基板に対して圧縮応力を発生するものであることとする。
前記第3の堆積工程では減圧CVD法により不純物をドープしないポリシリコン膜を堆積することとする。
前記第3の堆積工程において堆積したポリシリコン膜の上面よりイオン注入により不純物を注入し熱処理することで該ポリシリコン膜内に不純物を拡散させる工程を備えたこととする。
前記第2のエッチング工程は、前記第1の堆積工程で堆積された絶縁膜をマスクとして行うこととする。
実施の形態1
本実施の形態では、シリコン半導体基板を用いた横型トレンチMOSFETの製造方法を示し、深さが25μmであり、底辺がおおよそ9μmである絶縁領域に沿ってn−オフセットドレイン領域を形成する場合を例にして説明する。シリコン半導体基板以外であってももちろん構わない。
図1は、本発明に係る半導体装置の製造方法において、形成される横型トレンチMOSFETの要部構成図であり、(a)は、断面図、(b)は、平面図である。
図1(a)の横型トレンチMOSFETは、p+半導体基板1に形成されたトレンチ8に絶縁領域5が形成され、この絶縁領域5を挟んで、一方にn+ドレイン領域3、他方にn+ソース領域7が形成されている。n+ソース領域7は、p+ウェル領域2内に形成されたp+ベース領域6内に形成されている。p+ウェル領域2はベース抵抗を下げる働きがある。絶縁領域5の周囲には、n+ドレイン領域3と接触するn−オフセットドレイン領域4が形成されている。n−オフセットドレイン領域4とn+ソース領域7の間のp+ベース領域6の表面には、ゲート絶縁膜9を介してゲート電極10が形成されている。ゲート電極10の上には、層間絶縁膜11を介してn+ソース領域7と接触するソース電極12が延長されて配置され、絶縁領域5内に形成されるフィールドプレート14と接続されている。n+ドレイン領域3上には、ドレイン電極13が形成されている。層間絶縁膜11、ソース電極12およびドレイン電極13の上には、パッシベーッション膜15が形成され、モールド樹脂16で封止されている。
図2〜図6は、本実施の形態についての製造工程を示す図であり、各工程における横型トレンチMOSFETの要部断面図を示す。
p+ウェル領域2をイオン注入法により形成した後に、基板1の表面に30nmの熱酸化膜101を形成し、その後シリコン窒化膜102を減圧CVD法によって100nm堆積し、さらに酸化膜103を減圧CVD法により、1μm堆積する(図2(a))。次いで、フォトレジストマスク(図示せず)を用いて、n−オフセットドレイン領域4を形成する領域上で第1のトレンチ104,105を掘る領域のみ、酸化膜103、窒化膜102及び酸化膜101を選択的に除去する。反応性イオンエッチングにより酸化膜103をマスクとして基板1のエッチングを行い、第1のトレンチ104,105を、ここでは25μmの深さで形成する。このとき、第1のトレンチ104のマスク開口幅は2μmとし、第1のトレンチ105のマスク開口幅は3μmとする。第1のトレンチ104と第1のトレンチ105との間のシリコン107のマスク幅は3μmとする。これらのマスク幅は、後に形成するフィールドプレート14の形成位置を考慮して形成する(図2(b))。
本実施の形態では、n−オフセットドレイン領域4の形成を固相拡散によって行ったが、イオン注入とその後のドライブによって行うこともできる。イオン注入は、第1のトレンチ104,105の底面に垂直方向に行う工程と、第1のトレンチ104,105の側面に斜めに行う工程とからなる。
次に、フォトリソグラフィ技術によってシリコン107上の酸化膜108,103および101と窒化膜102を選択的に除去して開口部109を形成する(図4(a))。この後、シリコン107を第1のトレンチ104,105と同様に反応性イオンエッチングによってエッチングして深さ25μmの第2のトレンチ110を形成する。このトレンチエッチングの際は酸化膜108をマスクとした(図4(b))。
次に、第2のトレンチ110に減圧CVD法により酸化膜112を埋め込み、次に減圧CVD法によってノンドープポリシリコン膜113を第2のトレンチ110に充填する(図5(b))。
この第2のトレンチ110内に充填されたポリシリコン膜113は、後に導電性が付与されフィールドプレート14となる。ポリシリコン膜113は、第2のトレンチ110の表面から10μmの深さまで充填されており、その幅は1μmである。
次に、図1に示す横型トレンチMOSFETのゲート電極、ソース領域、ドレイン領域などの形成について説明する。
酸化膜101を除去し、ゲート絶縁膜9を形成し、その上にドープトポリシリコンを減圧CVD法により堆積し、フォトエッチング技術によりゲート電極10を形成する(図6(b))。
次に、層間絶縁膜11を堆積し、その層間絶縁膜11のポリシリコン膜113上にコンタクトホール114を開口させた後、ポリシリコン膜113の上面に不純物をイオン注入して拡散させてポリシリコン膜113に導電性を付与する。ポリシリコン膜113の堆積時に不純物がドープされたポリシリコン膜113を堆積すると、ゲート絶縁膜8の形成時にポリシリコン膜113の表面が露出しているため、ポリシリコン膜113内の不純物がゲート絶縁膜8に影響を及ぼし特性を悪化させるため、ポリシリコン113の堆積時には、不純物をドープせずに、ゲート絶縁膜9が形成されその上に層間絶縁膜11が形成された後にポリシリコン膜113へ不純物をドープすることが望ましい。
絶縁領域5上に張り出す距離は、例えばソース電極12の張り出しは絶縁領域5上に5μm、ドレイン電極13の張り出しは絶縁領域5上に4μm、ゲート電極10の張り出しは絶縁領域5上に1μmなどとする。またフィールドプレート14の位置は、n+ソース領域7側のトレンチ8の側面から3μm離れ、トレンチ8の底部から15μm離れたトレンチ8内に配置されている。本実施の形態では、フィールドプレート14をポリシリコンにより形成したが、金属などの導電体により形成してももちろん構わない。
実施の形態2
上述した実施の形態1では、第2のトレンチ110が1つの場合であるが、第2のトレンチを複数形成する場合について以下に説明する。
このような場合は、絶縁領域5の幅が広い場合であり、第1のトレンチ104,105間のシリコン107が複数形成される場合である。
図8および図9は、本実施の形態についての製造工程を示す図であり、各工程における横型トレンチMOSFETの要部断面図を示す。
実施の形態1と同様に、半導体基板1の表面に熱酸化膜101,シリコン窒化膜102,酸化膜103を堆積した後、第1のトレンチ201,202,203を形成する(図8(a))。
次に、実施の形態1と同様に、熱酸化後、第2のトレンチ205,206内にTEOS膜207を埋め込む。この際、第2のトレンチ206は完全に酸化膜で充填され、第2のトレンチ205は開口されるように埋め込む(図9(a))。
次に、第2のトレンチ205に減圧CVD法によってノンドープポリシリコン膜208を埋める(図9(b))。この後は、実施の形態1と同様に形成することができる。
本実施の形態では、シリコン半導体基板を用いた横型トレンチMOSFETの製造方法を示し、深さおよび底辺長さが20μmである絶縁領域に沿ってn−オフセットドレイン領域を形成する場合を例にして説明する。シリコン半導体基板以外であってももちろん構わない。
図10は、本発明に係る半導体装置の製造方法において形成される横型トレンチMOSFETの要部構成図であり、(a)は、断面図、(b)は、平面図である。
図10(a)の横型トレンチMOSFETは、p形半導体基板31に形成されたトレンチ36に絶縁領域34が形成され、この絶縁領域34を挟んで、一方にn+ソース領域38およびp+ソース領域39、他方にn+ドレイン領域37が形成されている。n+ソース領域38およびp+ソース領域39は、p+ウェル領域33内に形成されている。p+ウェル領域33はベース抵抗を下げる働きがある。絶縁領域34の周囲には、nウェル領域32内に形成されたn+ドレイン領域37と接触するn−オフセットドレイン領域35が形成されている。n−オフセットドレイン領域35とnソース領域38の間のp+ウェル領域33の表面には、ゲート絶縁膜41を介してゲート電極42が形成されている。n+ソース領域38およびp+ソース領域39の上にはソース電極44が形成され、n+ドレイン領域37上には、ドレイン電極40が形成されている。
n+ソース領域38およびn+ドレイン領域37の長さは、半導体チップサイズと同程度で、数mm程度になる。
図11〜図18は、本実施の形態についての製造工程を示す図であり、図11は要部平面図を示す。図12〜図18は、各工程における横型とレインチMOSFETの要部断面図を示し、各図の(a)は、図11のB−Bに渡る断面図、(b)は、図11のC−Cに渡る断面図、(c)は、図11のD−Dに渡る断面図を示す。
pウェル領域33およびnウェル領域32をイオン注入法により形成した後に、半導体基板31の表面に厚さ1.4μmの熱酸化膜301を形成する。次いで、フォトレジストマスク(図示せず)を用いて、n−オフセットドレイン領域35を形成する領域上で第1のトレンチ303を掘る領域のみ、酸化膜301を選択的に除去し開口部302を形成する(図11)。この開口部302は、n+ソース領域38およびn+ドレイン領域37が形成される長さ方向に平行に短辺が形成され、かつ複数個並べて形成される。開口幅は2μmとし、開口部302の間隔も2μmとする。反応性イオンエッチングにより酸化膜301をマスクとして半導体基板31のエッチングを行い、第1のトレンチ303を、20μmの深さで形成する。反応性イオンエッチングは、誘導結合型のプラズマエッチング装置を用い、圧力3.3Pa、SourcePower400W、BiasPower140W、HBrの流量40sccm、SF6の流量45sccm、O2の流量60sccmの条件で行った。この条件は、エッチングバラツキを考慮して順テーパーと逆テーパーが混在するのを防ぐためトレンチが89°の順テーパーとなるように調節した。また、トレンチが91°の逆テーパーとなるように調節してもよい。
次に、シリコン304の丸め処理を行う。例えば、CDE(chemical dry etching)などの等方性ドライエッチングを行い、シリコン304をエッチングする。これにより、第1のトレンチ303の内面が平坦化されコーナー部は丸まる。等方性ドライエッチングを行うとシリコン304と酸化膜301との界面においてもエッチングされ、シリコン304の上部も丸まる。その後、バッファードフッ酸により酸化膜301を除去するとともにトレンチ内のポリマーなどの残渣を除去し、アンモニア過水などで洗浄する。また、等方性ドライエッチングを行う代わりに、酸化膜101の除去および残渣除去および洗浄後、水素またはアルゴンまたはこれらの混合ガスなどの不活性雰囲気でのアニールを行うことによっても丸め処理を行うことができる(図13)。なお、次図以降はコーナー部の丸みは省略して記載した。
次に、減圧CVD法により酸化膜305を1.5μm堆積して第1のトレンチ303を埋め込む(図14)。酸化膜305はTEOSなどを原料としたTEOS膜かモノシラン系のHTO膜のどちらでも良い。トレンチ303は全て酸化膜305で埋まることはなく、トレンチ303内部には空孔306が形成される場合があるが、空孔306が形成されても問題はない。
上記のように、第1のトレンチ303を形成後シリコン304のコーナー部の丸め処理を行い第1のトレンチ303の開口部を広げるため、酸化膜305が第1のトレンチ303の開口部で第1のトレンチ303を塞ぐことを防ぎ、空孔306の上端の位置を下げることができる。また、第1のトレンチ303を埋め込む前に熱酸化膜を形成することで、酸化膜305の密着性を向上させることができる。
次に、レジスト307をマスクとして、酸化膜305をCHF3、CF4およびArの混合ガスを用いて異方性エッチングにより除去して開口部309を形成する(図15)。
次に、シリコン304を第1のトレンチ303と同様に反応性イオンエッチングによってエッチングして深さ20μmの第2のトレンチ308を形成する。反応性イオンエッチングの際の反応性ガスは第1のトレンチ303の形成時と同じガスを用いた。第1のトレンチ303の形成時と同じ条件では第2のトレンチ308の下部側面にシリコンが残ってしまうため、シリコンが残らないような条件に調節した。第2のトレンチ308を形成した際に、第2のトレンチ308の下部側面にシリコンが残った場合でも、熱酸化により残ったシリコンを酸化するか、ウエットエッチングで除去することができる。
次に、不純物310として例えばリンの垂直イオン注入および第2のトレンチ308の長辺方向に平行に斜めイオン注入を行う。これにより、第2のトレンチ308の底部および短辺の側面に不純物310が注入される(図16)。
次に、1100℃以上の窒素雰囲気などの還元性雰囲気でドライブし、リンを第2のトレンチ308の側面および底面に拡散させて深さ4μm、ピーク濃度5×1015cm−3のn−オフセットドレイン領域311を形成する。
n−オフセットドレイン領域311の長さ方向の濃度をより均一にするために、第1のトレンチ303形成後に、第1のトレンチ303に対しても第2のトレンチ308と同様に不純物のイオン注入およびドライブを行う工程を追加しても良い。
また、第1のトレンチ303に対して側面への斜めイオン注入を行い、第2のトレンチ308に対して底面への垂直イオン注入を行ってもよいし、この逆でも構わない。第1のトレンチ303および第2のトレンチ308は、n+ソース領域38およびn+ドレイン領域37が形成される長さ方向に平行に短辺が形成されるため、図10に示すn−オフセットドレイン35のトレンチ36の側面に形成される部分は、第1のトレンチ303および第2のトレンチ308の長辺方向に平行に斜めイオン注入を行える。これに対して、実施の形態1または2のように、第1のトレンチおよび第2のトレンチの長辺をn+ソース領域およびn+ドレイン領域の長さ方向に平行に形成する場合は、トレンチの短辺方向に対してイオン注入を行うことになる。イオン注入の入射角度は、トレンチ側面に対する角度が大きい方が、入射角度のバラツキによる不純物濃度のバラツキが小さくなるため、本実施の形態の方が、イオン注入の入射角度の自由度が高く容易にイオン注入を行うことができる。
従来のトレンチ間のシリコン304を完全に熱酸化する方法の場合は、第1のトレンチ303形成後、第1のトレンチ303内に不純物を導入し、シリコン304を完全に熱酸化した後、第1のトレンチ303に絶縁膜を堆積するため、不純物を導入した後のシリコン304の熱酸化工程において、シリコン304に導入された不純物が半導体基板に析出して局所的に高濃度領域を形成することがあるが、本発明では、シリコン304に不純物を導入してもシリコン304を除去するため高濃度領域は生じない。また、本発明において第2のトレンチを形成後に不純物の導入を行う場合にも、第2のトレンチ間は絶縁膜であるので高濃度領域は生じない。
次に、減圧CVDにより酸化膜312を1.5μm堆積して第2のトレンチ308を埋め込む。第2のトレンチ308内に空孔313が形成される(図17)。
次に、CHF3、CF4およびArの混合ガスを用いて反応性イオンエッチングにより酸化膜エッチバックを行い表面の酸化膜312および酸化膜305を除去する(図18)。空孔313の上端が半導体基板31より下にあるため、空孔312が開口することはない。
本実施の形態では、第1のトレンチ303および第2のトレンチ308をn+ソース領域38およびn+ドレイン領域37の長さ方向に平行に短辺が形成されるため、シリコン304が製造途中で倒れることがなくなる。
この後は、一般的な横型MOSFETデバイスと同様の作製プロセスを用いて、図10に示す横型トレンチMOSFETが完成する。
実施の形態4
本実施の形態では、シリコン半導体基板に深さおよび底辺長さが20μmである絶縁領域を形成する場合を例にして説明する。本実施の形態では、第1のトレンチを埋める絶縁物と第2のトレンチを埋める絶縁物とを異なる材料とするものである。
半導体基板41上に、例えば、厚さが1μmの熱酸化膜を成長させ、フォトリソグラフィ技術を用いて、レジストマスク402を形成し、反応性イオンエッチングによりトレンチ長さが20μm、トレンチ幅1.4μm、シリコン幅1.4μmのエッチングマスク401を形成した(図19)。
次に、Cl2およびO2の混合ガスを用いて反応性イオンエッチングを行い、深さ20μmの第1のトレンチ403を形成した。第1のトレンチ403形成後に、第1のトレンチ403内の残渣除去および洗浄を行い、25nm程度の熱酸化膜(図示せず)を形成する(図20)。第1のトレンチ403の間にはシリコン404が形成される。
次に、減圧CVDにより700℃でTEOS膜405を1μm堆積して第1のトレンチ403を埋め込んだ後、厚さ1μmのレジストマスク406を形成した(図21)。
次に、レジストマスク406を除去し、Cl2およびO2のガス流量比を制御してシリコン404を除去し、第2のトレンチ407を形成した。第2のトレンチ407形成後に、第2のトレンチ407内の残渣除去および洗浄を行い、25nm程度の熱酸化膜(図示せず)を形成する(図23)。
実施の形態3のような横型MOSFETを形成する場合は、ここで、実施の形態3と同様にn−オフセットドリフト領域311を形成すればよい。
次に、減圧CVDにより、厚さ1μmのHTO膜408を堆積して第2のトレンチ407を埋め込んだ(図24)。
最後に、CMPによりHTO膜408とTEOS膜405を研磨して半導体基板41の表面を露出させた(図25)。以上の工程を経ることにより、2種類の酸化膜からなる絶縁領域409を得ることができる。
本実施の形態によれば、TEOS膜405とHTO膜408の膜特性の差を利用し応力を緩和することが可能である。700℃で成膜したTEOS膜405を1000℃でアニールすると約5%の体積収縮が生じシリコン基板に対して引っ張り応力を発生する。一方でHTO膜408の熱膨張係数が0.5×10−6とシリコンの熱膨張係数2.5×10−6より小さいため、シリコンに対して圧縮応力を発生する。
第1のトレンチおよび第2のトレンチを両方ともHTO膜により埋めた場合と本実施の形態とを比べると、本実施の形態の方が、シリコン基板と絶縁領域との界面の応力を低減することができる。
また、本実施の形態の製造方法を適用して形成されたMOSFETのリーク電流も、第1のトレンチおよび第2のトレンチを両方ともHTO膜により埋めた場合の製造方法により形成されたMOSFETと比べ低減することができる。
また、本実施の形態においては、TEOS膜の熱収縮性を利用しているが、同様の効果は無機ポリマー(例えば、ポリシラザン)などの材料を使用した塗布膜を用いても得ることができる。また、シリコン窒化膜も熱膨張係数として6.5×10−6が知られており、より薄い膜厚でTEOS膜と同様の効果を得ることが可能である。
以上において本発明は、上述した実施の形態に限らず、種々変更可能である。
5,34 絶縁領域
8,36 トレンチ
14 フィールドプレート
104,105 第1のトレンチ
201,202,203,303,403 第1のトレンチ
110,205,206,308,407 第2のトレンチ
Claims (12)
- 半導体基板表面に形成したトレンチに絶縁膜が堆積された構造を有する半導体装置の製造方法において、
複数の第1のトレンチを隣接して形成する第1のエッチング工程と、前記第1のトレンチに絶縁膜を堆積する第1の堆積工程と、該第1の堆積工程の後に、前記第1のトレンチの間の前記半導体基板に第2のトレンチを形成する第2のエッチング工程と、前記第2のトレンチに絶縁膜を堆積する第2の堆積工程と、前記第1のトレンチまたは前記第2のトレンチの表面に不純物を供給する工程と、を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1導電型半導体基板の表面層に互いに平行に形成された第2導電型のソース領域と第2導電型のドレイン領域を有し、かつ前記ドレイン領域と前記ソース領域との間に形成したトレンチ表面に第2導電型オフセットドレイン領域を備えた半導体装置の製造方法において、
前記半導体領域に、前記ソース領域および前記ドレイン領域の前記平行な方向の長さが、前記ソース領域と前記ドレイン領域を横切る方向の長さよりも小さい複数の第1のトレンチを前記平行な方向に隣接して複数形成する第1のエッチング工程と、前記第1のトレンチに絶縁膜を堆積する第1の堆積工程と、該第1の堆積工程の後に、前記第1のトレンチの間の前記半導体基板に第2のトレンチを形成する第2のエッチング工程と、前記第2のトレンチに絶縁膜を堆積する第2の堆積工程と、前記第1トレンチまたは前記第2のトレンチの表面に不純物を供給する工程と、を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記不純物を供給する工程が、前記第1トレンチまたは第2のトレンチの前記平行な方向の側面に斜めイオン注入を行う工程と、前記第1のトレンチまたは第2のトレンチの底面に垂直イオン注入を行う工程とを備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1導電型半導体基板の表面層に互いに平行に形成された第2導電型のソース領域と第2導電型のドレイン領域を有し、かつ前記ドレイン領域と前記ソース領域との間に形成したトレンチ表面に第2導電型オフセットドレイン領域を有し、前記トレンチに絶縁膜が堆積され、その絶縁膜内に前記トレンチの側面および底面から離れて設けられたフィールドプレートが配置された半導体装置の製造方法において、
前記ソース領域と前記ドレイン領域を横切る方向に複数の第1のトレンチを隣接して形成する第1のエッチング工程と、前記オフセットドレイン領域を形成するための不純物を第1のトレンチ表面に供給する工程と、前記第1のトレンチに絶縁膜を堆積する第1の堆積工程と、該第1の堆積工程の後に、前記第1のトレンチの間の前記半導体基板に第2のトレンチを形成する第2のエッチング工程と、前記第2のトレンチ内に第2のトレンチを埋めきらない膜厚で絶縁膜を堆積する第2の堆積工程と、該第2の堆積工程の後に続いて前記第2のトレンチを前記フィールドプレートを構成する材料で埋め込む第3の堆積工程とを、備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の堆積工程の前に、前記半導体基板を熱酸化し第1のトレンチの表面に熱酸化膜を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の堆積工程の前に、前記半導体基板を熱酸化し前記第2のトレンチの表面に熱酸化膜を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の堆積工程で堆積される絶縁膜が第1の絶縁膜からなり、前記第2の堆積工程で堆積される絶縁膜が第2の絶縁膜からなり、第1の絶縁膜と第2の絶縁膜とは材料が異なることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁物と前記第2の絶縁物は、一方が前記半導体基板に対して引っ張り応力を発生するものであり、他方が前記半導体基板に対して圧縮応力を発生するものであることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁物と前記第2の絶縁物は、一方が前記半導体基板より大きい熱膨張係数を有するもしくは熱収縮性を有するものであり、他方が前記半導体基板より小さな熱膨張係数を有するものであることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3の堆積工程では減圧CVD法により不純物をドープしないポリシリコン膜を堆積することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第3の堆積工程において堆積したポリシリコン膜の上面よりイオン注入により不純物を注入し熱処理することで該ポリシリコン膜内に不純物を拡散させる工程を備えたことを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2のエッチング工程は、前記第1の堆積工程で堆積された絶縁膜をマスクとして行うことを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004245659A JP2005303253A (ja) | 2004-03-18 | 2004-08-25 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004078539 | 2004-03-18 | ||
JP2004245659A JP2005303253A (ja) | 2004-03-18 | 2004-08-25 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005303253A true JP2005303253A (ja) | 2005-10-27 |
Family
ID=35334351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004245659A Withdrawn JP2005303253A (ja) | 2004-03-18 | 2004-08-25 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005303253A (ja) |
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---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060703 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060704 |
|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081215 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20081216 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A761 | Written withdrawal of application |
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