JP2005300280A - マイクロスケール変位検出装置及びその製造方法 - Google Patents
マイクロスケール変位検出装置及びその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 被計測物体としての原子間力顕微鏡のカンチレバー16にレーザ光源20からの光を投射し、その反射光を2分割受光素子23で検出する装置において、カンチレバー16の背面22の前記光の投射位置に、直接マイクロスケールの凹面部を形成する。凹面部としては通常の凹面鏡、フレネル凹面鏡、溝角度が鋭角な凹面回折格子、溝角度が直角な凹面回折格子等の形状に形成する。その凹面鏡の形成に際しては、フォーカスドイオンビーム法、エッチング法等を用いて形成することができる。
【選択図】図1
Description
11 XY軸駆動部
12 Z軸駆動部
13 試料台
14 試料
15 支持部材
16 カンチレバー
17 先端部
18 探針
20 レーザ光源
21 集光レンズ
22 背面
23 受光素子
24 制御回路
25 Z軸駆動制御部
26 XY軸駆動制御部
Claims (9)
- 被計測物体に光を投射し、その反射光を受光素子で受光して被計測物体のマイクロスケールの位置或いは角度を検出する物体の変位検出装置において、前記被計測物体の光反射部に対して、直接凹面部を形成したことを特徴とするマイクロスケール変位検出装置。
- 前記被計測物体は、原子間力顕微鏡のカンチレバーであることを特徴とする請求項1記載のマイクロスケール変位検出装置。
- 前記凹面部は、凹面鏡であることを特徴とする請求項1記載のマイクロスケール変位検出装置。
- 前記凹面部は、複数の溝からなるフレネル凹面鏡であることを特徴とする請求項1記載のマイクロスケール変位検出装置。
- 前記凹面部は、複数の溝からなる凹面回折格子であることを特徴とする請求項1記載のマイクロスケール変位検出装置。
- 前記凹面部は、溝角度が直角をなす複数の溝により形成したことを特徴とする請求項1記載のマイクロスケール変位検出装置。
- 前記凹面部をフォーカスドイオンビームにより形成したことを特徴とする請求項1記載のマイクロスケール変位検出装置の製造方法。
- 前記複数の溝をフォーカスドイオンビームにより形成するに際して、円の径を変化させながら同心円上に彫り込むことによって、マイクロスケールの凹面部を形成したことを特徴とする請求項4、5、6のいずれか一つに記載のマイクロスケール変位検出装置の製造方法。
- 前記凹面部をエッチングにより形成したことを特徴とする請求項4、5、6のいずれか一つに記載のマイクロスケール変位検出装置の製造方法。
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KR100797089B1 (ko) | 2006-06-15 | 2008-01-22 | 포항공과대학교 산학협력단 | 미세 상호 작용력 측정장치 및 측정방법 |
JP2008089510A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Research Institute Of Biomolecule Metrology Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡用のプローブ、及び検査方法 |
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2004
- 2004-04-09 JP JP2004114833A patent/JP4370421B2/ja not_active Expired - Fee Related
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