JP2010181782A - オートフォーカス装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】開口数の小さい対物レンズを用いても、被測定面を対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることができるオートフォーカス装置を提供すること。
【解決手段】本発明では、光源2からの光を第1反射手段33により輪帯状に拡げた後、第2反射手段34により対物レンズ4の外側に送り、集光手段35により被測定面7に集光するとともに被測定面7にて反射された光を集光し、合焦機構6によりフォーカスを行う。被測定面観察用の対物レンズ4とは別に設けたフォーカス用の集光手段35によりフォーカスを行うので、開口数の小さい対物レンズ4を用いた場合でも、集光手段35として開口数が大きく焦点深度の浅いものを用いることができ、被測定面7を対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができる。加えて、開口数が大きい集光手段35をフォーカス用に用いることができるので、傾斜角の大きい被測定面7でもフォーカスできる。
【選択図】図1
【解決手段】本発明では、光源2からの光を第1反射手段33により輪帯状に拡げた後、第2反射手段34により対物レンズ4の外側に送り、集光手段35により被測定面7に集光するとともに被測定面7にて反射された光を集光し、合焦機構6によりフォーカスを行う。被測定面観察用の対物レンズ4とは別に設けたフォーカス用の集光手段35によりフォーカスを行うので、開口数の小さい対物レンズ4を用いた場合でも、集光手段35として開口数が大きく焦点深度の浅いものを用いることができ、被測定面7を対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができる。加えて、開口数が大きい集光手段35をフォーカス用に用いることができるので、傾斜角の大きい被測定面7でもフォーカスできる。
【選択図】図1
Description
本発明は、オートフォーカス装置に関する。
従来、画像測定機や顕微鏡等の光学式測定装置において、被測定面観察用の対物レンズの焦点位置に被測定面を自動的に位置付けるオートフォーカス装置が利用されている(例えば、特許文献1)。特許文献1に記載のオートフォーカス装置は、観察用光源(白熱電球)、赤外線光を射出するフォーカス用光源(レーザダイオード)、対物レンズ、前記各光源と対物レンズとの間に設けられて赤外線光のみを透過する波長選択フィルタ、対物レンズの外側に設けられた環状ミラー、観察光学系、および受光素子を備えている。
このオートフォーカス装置では、観察用光源から射出された光は、中心部が波長選択フィルタによって遮蔽されて輪帯状となり、対物レンズの外側から環状ミラーに入射した後、該環状ミラーにて反射され、被測定面に集光される。被測定面に集光された光は、被測定面にて反射された後、対物レンズを通って観察光学系に入射する。そして、観察光学系により被測定面が観察される。
一方、このオートフォーカス装置では、フォーカス用光源から射出された赤外線光は、波長選択フィルタを透過した後、対物レンズによって被測定面に集光される。そして、被測定面にて反射された赤外線光は、再び対物レンズによって集光された後、受光素子によって受光される。オートフォーカス装置は、この受光手段からの出力信号に基づき、対物レンズの焦点位置に被測定面を位置付ける。
しかしながら、特許文献1に記載のオートフォーカス装置では、フォーカス用光源から射出された赤外線光が被測定面観察用の対物レンズにより被測定面に集光されるので、開口数が小さく焦点深度が深い対物レンズを用いた場合、オートフォーカス装置が、被測定面が対物レンズの焦点位置にあると検出する範囲が広くなってしまい、被測定面を対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることが難しくなってしまうという問題があった。
加えて、特許文献1に記載のオートフォーカス装置では、フォーカス用光源から射出された赤外線光が対物レンズにより被測定面に集光されるとともに、被測定面にて反射された後に再び対物レンズにより集光されるので、被測定面の傾斜角が対物レンズの開口数を超える場合、被測定面にて反射された赤外線光が対物レンズに戻らなくなり、被測定面を対物レンズの焦点位置に位置づけることができなくなる。そのため、特許文献1に記載のオートフォーカス装置では、開口数が小さい対物レンズを用いる場合、傾斜角が小さい被測定面しか対物レンズの焦点位置に位置づけることができないという問題もある。
本発明の目的は、開口数が小さい被測定面観察用の対物レンズを用いる場合でも、被測定面を対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることができ、しかも傾斜角が大きい被測定面でも対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることができるオートフォーカス装置を提供することにある。
本発明のオートフォーカス装置は、光源と、前記光源からの光を被測定面へ導く照明光学系と、前記被測定面にて反射された光を集光する被測定面観察用の対物レンズと、前記被測定面にて反射された光に基づいて前記対物レンズの焦点位置に前記被測定面を位置付ける合焦機構とを備えたオートフォーカス装置であって、前記照明光学系は、前記光源と前記対物レンズとの間に設けられ、前記光源からの光を前記対物レンズの光軸と直交する方向に輪帯状に反射する第1反射手段と、前記第1反射手段にて反射された輪帯状の光を前記対物レンズの外側に、かつ前記対物レンズの光軸と平行に反射する第2反射手段と、前記第2反射手段にて反射された輪帯状の光を前記被測定面へ集光するとともに、前記被測定面にて反射された光を集光する集光手段とを備え、前記合焦機構は、前記被測定面にて反射された光を前記照明光学系を介して得ることを特徴とする。
本発明によれば、光源からの光を第1反射手段により輪帯状に拡げた後、第2反射手段により対物レンズの外側に送り、集光手段により被測定面に集光する。そして、被測定面にて反射された光を集光手段により集光し、照明光学系を介して合焦機構に送り、合焦機構がフォーカスを行う。このように、本発明では、被測定面観察用の対物レンズとは別に設けたフォーカス用の集光手段によりフォーカスを行うので、開口数の小さい対物レンズを用いる場合でも、集光手段として開口数が大きく焦点深度の浅いものを用いることができ、合焦機構が、被測定面が集光手段および対物レンズの焦点位置にあると検出する範囲を狭めることができる。そのため、開口数の小さい対物レンズを用いる場合でも、被測定面を対物レンズ(および集光手段)の焦点位置に精度良く位置付けることができる。
ここで、フォーカスできる被測定面の傾斜角は、フォーカス用に用いる集光手段の開口数に対応するので、従来のようにフォーカス用の集光手段として被測定面観察用の対物レンズを用いる場合、対物レンズの開口数が小さいと、傾斜角の小さい被測定面しかフォーカスすることができない。しかしながら、本発明では、被測定面観察用の対物レンズとは別に設けたフォーカス用の集光手段によりフォーカスを行うので、開口数の小さい対物レンズを用いる場合でも、集光手段として開口数の大きいものを用いることできる。そのため、傾斜角の大きい被測定面でも対物レンズの焦点位置に位置付けることができる。しかも、集光手段として、検出範囲を狭めることができる開口数の大きいものを用いることができるので、傾斜角の大きい被測定面でも対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることができる。
ここで、フォーカスできる被測定面の傾斜角は、フォーカス用に用いる集光手段の開口数に対応するので、従来のようにフォーカス用の集光手段として被測定面観察用の対物レンズを用いる場合、対物レンズの開口数が小さいと、傾斜角の小さい被測定面しかフォーカスすることができない。しかしながら、本発明では、被測定面観察用の対物レンズとは別に設けたフォーカス用の集光手段によりフォーカスを行うので、開口数の小さい対物レンズを用いる場合でも、集光手段として開口数の大きいものを用いることできる。そのため、傾斜角の大きい被測定面でも対物レンズの焦点位置に位置付けることができる。しかも、集光手段として、検出範囲を狭めることができる開口数の大きいものを用いることができるので、傾斜角の大きい被測定面でも対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることができる。
本発明のオートフォーカス装置では、前記集光手段は、環状に形成され、前記対物レンズの外側に設けられたドーナツレンズであることが好ましい。
本発明によれば、集光手段は、環状に形成され、対物レンズの外側に設けられたドーナツレンズであるので、対物レンズから被測定面までの空間に集光手段が配置されることがなく、オートフォーカス装置を小型化できる。
本発明によれば、集光手段は、環状に形成され、対物レンズの外側に設けられたドーナツレンズであるので、対物レンズから被測定面までの空間に集光手段が配置されることがなく、オートフォーカス装置を小型化できる。
本発明のオートフォーカス装置では、前記集光手段は、環状に形成され、前記対物レンズの外側に設けられた放物面ミラーであることが好ましい。
本発明によれば、集光手段として放物面ミラーが用いられるので、放物面ミラーの形状を選択することで、ドーナツレンズよりも開口数が大きいものを使用することができ、被測定面を対物レンズの焦点位置により精度良く位置付けることができるとともに、十分に傾斜角の大きい被測定面でも対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることができる。
本発明によれば、集光手段として放物面ミラーが用いられるので、放物面ミラーの形状を選択することで、ドーナツレンズよりも開口数が大きいものを使用することができ、被測定面を対物レンズの焦点位置により精度良く位置付けることができるとともに、十分に傾斜角の大きい被測定面でも対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることができる。
本発明のオートフォーカス装置では、前記集光手段の開口数は0.70以上であることが好ましい。
本発明によれば、集光手段の開口数が0.70以上と十分に大きいので、被測定面を対物レンズの焦点位置に確実に精度良く位置付けることができるとともに、傾斜角の大きい被測定面でも確実に対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることができる。
本発明によれば、集光手段の開口数が0.70以上と十分に大きいので、被測定面を対物レンズの焦点位置に確実に精度良く位置付けることができるとともに、傾斜角の大きい被測定面でも確実に対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることができる。
〔第1実施形態〕
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態に係るオートフォーカス装置1の光学系を示す図である。
オートフォーカス装置1は、図1に示すように、光源としてのレーザダイオード2、照明光学系3、対物レンズ4、ミラー51、観察光学系52、および合焦機構6を備えている。
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態に係るオートフォーカス装置1の光学系を示す図である。
オートフォーカス装置1は、図1に示すように、光源としてのレーザダイオード2、照明光学系3、対物レンズ4、ミラー51、観察光学系52、および合焦機構6を備えている。
照明光学系3は、レーザダイオード2から射出されたレーザ光を被測定面7へ導くとともに、被測定面7にて反射された光を集光し、合焦機構6へ送る。この照明光学系3は、ハーフミラー31、チューブレンズ32、第1反射手段としてのコーンミラー33、第2反射手段としてのパラボラミラー34、および集光手段としてのドーナツレンズ35を備えている。
ハーフミラー31、チューブレンズ32、およびコーンミラー33は、それぞれレーザダイオード2と対物レンズ4との間、かつ対物レンズ4の光軸の延長線上に設けられている。レーザダイオード2から射出されたレーザ光は、ハーフミラー31にて反射された後、チューブレンズ32を介してコーンミラー33に入射する。
コーンミラー33は、円錐状に形成され、反射面33aが入射側を向くように設けられている。コーンミラー33は、チューブレンズ32から射出された光を対物レンズ4の光軸と直交する方向に輪帯状に反射する。
パラボラミラー34は、環状に形成され、コーンミラー33の外側に設けられるとともに、反射面34aがコーンミラー33の反射面33aと対向するように設けられている。パラボラミラー34は、コーンミラー33にて反射された輪帯状の光を対物レンズ4の外側に、かつ対物レンズ4の光軸と平行に反射する。
パラボラミラー34は、環状に形成され、コーンミラー33の外側に設けられるとともに、反射面34aがコーンミラー33の反射面33aと対向するように設けられている。パラボラミラー34は、コーンミラー33にて反射された輪帯状の光を対物レンズ4の外側に、かつ対物レンズ4の光軸と平行に反射する。
ドーナツレンズ35は、環状に形成され、対物レンズ4の外側に設けられている。ドーナツレンズ35は、開口数が0.70と大きく焦点深度が浅いものが用いられている。このドーナツレンズ35は、パラボラミラー34にて反射された輪帯状の光を被測定面7へ集光するとともに、被測定面7にて反射された光を集光する。被測定面7にて反射され、ドーナツレンズ35により集光された光は、照明光学系3を介して合焦機構6へ送られる。
対物レンズ4の焦点位置は、ドーナツレンズ35の焦点位置と等しい位置に設定されている。
観察光学系52は、図示しない観察用の光源を備えている。観察光学系52の光源から射出された光は、ミラー51にて反射された後、対物レンズ4により被測定面7に集光される。そして、被測定面7にて反射された光は、対物レンズ4により集光された後、ミラー51にて反射され、観察光学系52に入射する。これにより、被測定面7が観察される。
観察光学系52は、図示しない観察用の光源を備えている。観察光学系52の光源から射出された光は、ミラー51にて反射された後、対物レンズ4により被測定面7に集光される。そして、被測定面7にて反射された光は、対物レンズ4により集光された後、ミラー51にて反射され、観察光学系52に入射する。これにより、被測定面7が観察される。
合焦機構6は、レーザダイオード2から射出され、被測定面7にて反射された光を照明光学系3を介して受光する。この合焦機構6は、いわゆるピンホール法によって対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置に被測定面7があるか否かを検出し、対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置に被測定面7を位置付ける。このような合焦機構6は、ハーフミラー61、受光素子である2つのフォトダイオード62,63、駆動装置64、および制御装置65を備えている。
各フォトダイオード62,63は、チューブレンズ32の焦点位置の前側および後側にそれぞれ設けられている。各フォトダイオード62,63は、被測定面7にて反射され、照明光学系3を介して送られてきた光をそれぞれピンホール62a,63aを介して受光し、受光量に応じた信号を制御装置65に出力する。
駆動装置64は、アクチュエータを備え、対物レンズ4およびドーナツレンズ35をそれらの光軸方向に沿って移動させ、被測定面7から近接離間させる。なお、駆動装置64は、被測定面7を有する被測定物を対物レンズ4およびドーナツレンズ35の光軸方向に沿って移動させることで、被測定面7を対物レンズ4およびドーナツレンズ35から近接離間させてもよい。
制御装置65は、各フォトダイオード62,63からの出力信号に基づき、駆動装置64を介して被測定面7を対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置に位置付ける。具体的に、制御装置65は、被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置からずれると、各フォトダイオード62,63の受光量が異なることとなることにより、被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にはないこと、および被測定面7が焦点位置に対して光軸方向の基端側および先端側のいずれ側にずれているのかを検出する。そして、制御装置65は、各フォトダイオード62,63の受光量の差が無くなるように駆動装置64を介して対物レンズ4およびドーナツレンズ35を移動させることにより、被測定面7を対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置に位置付ける。
このように、オートフォーカス装置1は、被測定面観察用の対物レンズ4とは別に設けられたドーナツレンズ35によりフォーカスを行うので、開口数の小さい対物レンズ4を用いる場合でも、開口数が大きく焦点深度が浅いドーナツレンズ35を用いることができ、合焦機構6が、被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にあると検出する範囲(以下、検出範囲と記載)を狭めることができる。そのため、開口数の小さい対物レンズ4を用いる場合でも、被測定面7を対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができる。なお、このような機構により、対物レンズ4は、被測定面7の表面形状(凹凸)に合わせてその光軸方向に変位することとなるが、この変位から、オートフォーカス装置1は被測定面7の表面形状を測定する。
図2は、被測定面観察用の対物レンズを用いてフォーカスを行う従来のオートフォーカス装置における対物レンズの開口数と精度(繰返し再現性)との関係を示す図である。
従来のオートフォーカス装置では、被測定面観察用の対物レンズを用いてフォーカスを行うので、図2に示すように、開口数が小さく焦点深度が深い対物レンズを用いた場合、検出範囲が広くなってしまい、被測定面を対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることが難しくなってしまうことが分かる。具体的に、従来のオートフォーカス装置では、開口数が0.70と大きく焦点深度が0.6μmと浅い倍率100倍(100×)の対物レンズを用いた場合には、精度(繰返し再現性)は0.6μmと良好だが、開口数が0.055と小さく焦点深度が91.0μmと深い倍率2倍の対物レンズを用いた場合には、精度が2.5μmと悪くなってしまうことが分かる。
従来のオートフォーカス装置では、被測定面観察用の対物レンズを用いてフォーカスを行うので、図2に示すように、開口数が小さく焦点深度が深い対物レンズを用いた場合、検出範囲が広くなってしまい、被測定面を対物レンズの焦点位置に精度良く位置付けることが難しくなってしまうことが分かる。具体的に、従来のオートフォーカス装置では、開口数が0.70と大きく焦点深度が0.6μmと浅い倍率100倍(100×)の対物レンズを用いた場合には、精度(繰返し再現性)は0.6μmと良好だが、開口数が0.055と小さく焦点深度が91.0μmと深い倍率2倍の対物レンズを用いた場合には、精度が2.5μmと悪くなってしまうことが分かる。
図3は、本実施形態のオートフォーカス装置1における対物レンズ4の開口数と精度(繰返し再現性)との関係を示す図である。なお、図中の対物レンズ倍率は対物レンズ4の倍率を示し、開口数および焦点深度は、ドーナツレンズ35の開口数および焦点深度を示す。
本実施形態のオートフォーカス装置1では、被測定面観察用の対物レンズ4とは別に設けられたドーナツレンズ35によりフォーカスを行うので、図3に示すように、開口数(対物レンズ倍率)が小さい対物レンズ4を用いた場合でも、開口数が大きく焦点深度が浅いドーナツレンズ35を用いることでき、被測定面7を対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができることが分かる。具体的に、オートフォーカス装置1では、開口数が0.70と大きく焦点深度が0.6μmと浅いドーナツレンズ35を用いてフォーカスを行うので、倍率2倍の開口数が小さい対物レンズ4を用いた場合でも、倍率100倍の開口数が大きい対物レンズ4を用いた場合と同様に、精度が0.6μmと良好であることが分かる。
本実施形態のオートフォーカス装置1では、被測定面観察用の対物レンズ4とは別に設けられたドーナツレンズ35によりフォーカスを行うので、図3に示すように、開口数(対物レンズ倍率)が小さい対物レンズ4を用いた場合でも、開口数が大きく焦点深度が浅いドーナツレンズ35を用いることでき、被測定面7を対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができることが分かる。具体的に、オートフォーカス装置1では、開口数が0.70と大きく焦点深度が0.6μmと浅いドーナツレンズ35を用いてフォーカスを行うので、倍率2倍の開口数が小さい対物レンズ4を用いた場合でも、倍率100倍の開口数が大きい対物レンズ4を用いた場合と同様に、精度が0.6μmと良好であることが分かる。
以上の第1実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)オートフォーカス装置1は、被測定面観察用の対物レンズ4とは別に設けられたドーナツレンズ35によりフォーカスを行うので、開口数の小さい対物レンズ4を用いる場合でも、開口数が大きく焦点深度が浅いドーナツレンズ35を用いることができ、検出範囲を狭めることができて、被測定面7を対物レンズ4(およびドーナツレンズ35)の焦点位置に精度良く位置付けることができる。加えて、開口数が大きいドーナツレンズ35をフォーカス用に用いることができるので、傾斜角の大きい被測定面7でも対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができる。
(1)オートフォーカス装置1は、被測定面観察用の対物レンズ4とは別に設けられたドーナツレンズ35によりフォーカスを行うので、開口数の小さい対物レンズ4を用いる場合でも、開口数が大きく焦点深度が浅いドーナツレンズ35を用いることができ、検出範囲を狭めることができて、被測定面7を対物レンズ4(およびドーナツレンズ35)の焦点位置に精度良く位置付けることができる。加えて、開口数が大きいドーナツレンズ35をフォーカス用に用いることができるので、傾斜角の大きい被測定面7でも対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができる。
(2)集光手段として、環状に形成され、対物レンズ4の外側に設けられるドーナツレンズ35が用いられるので、対物レンズ4から被測定面7までの空間に集光手段が配置されることがなく、オートフォーカス装置1を小型化できる。
(3)ドーナツレンズ35の開口数が0.70と十分に大きいので、被測定面7を対物レンズの焦点位置に確実に精度良く位置付けることができるとともに、傾斜角の大きい被測定面7でも確実に対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができる。
(3)ドーナツレンズ35の開口数が0.70と十分に大きいので、被測定面7を対物レンズの焦点位置に確実に精度良く位置付けることができるとともに、傾斜角の大きい被測定面7でも確実に対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができる。
〔第2実施形態〕
図4は、第2実施形態に係るオートフォーカス装置1Aの光学系を示す図である。以降、前記第1実施形態と同一機能部位には同一符号を付し、それらの説明を省略、若しくは簡略化する。
前記第1実施形態では、集光手段としてドーナツレンズ35が用いられていたが、本実施形態では、集光手段として、ドーナツレンズ35よりも開口数が大きい放物面ミラー36が用いられている点が特徴である。放物面ミラー36は、環状に形成されているとともに、断面放物面状の反射面36aがパラボラミラー34の反射面34aと対向するように設けられている。
図4は、第2実施形態に係るオートフォーカス装置1Aの光学系を示す図である。以降、前記第1実施形態と同一機能部位には同一符号を付し、それらの説明を省略、若しくは簡略化する。
前記第1実施形態では、集光手段としてドーナツレンズ35が用いられていたが、本実施形態では、集光手段として、ドーナツレンズ35よりも開口数が大きい放物面ミラー36が用いられている点が特徴である。放物面ミラー36は、環状に形成されているとともに、断面放物面状の反射面36aがパラボラミラー34の反射面34aと対向するように設けられている。
このような本実施形態でも、前記第1実施形態と同様の効果(1)、(3)を奏することができるうえ、以下の効果を奏することができる。
(4)集光手段として、ドーナツレンズ35よりも開口数が大きい放物面ミラー36が用いられているので、被測定面7を対物レンズ4の焦点位置により精度良く位置付けることができるとともに、十分に傾斜角の大きい被測定面7でも対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができる。
(4)集光手段として、ドーナツレンズ35よりも開口数が大きい放物面ミラー36が用いられているので、被測定面7を対物レンズ4の焦点位置により精度良く位置付けることができるとともに、十分に傾斜角の大きい被測定面7でも対物レンズ4の焦点位置に精度良く位置付けることができる。
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
図5は、変形例のオートフォーカス装置1Bの光学系を示す図である。
前記第1実施形態では、合焦機構6は、ピンホール法によって被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にあるか否かを検出していたが、合焦機構6は、図5に示すように、ナイフエッジ法によって被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にあるか否かを検出してもよい。
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
図5は、変形例のオートフォーカス装置1Bの光学系を示す図である。
前記第1実施形態では、合焦機構6は、ピンホール法によって被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にあるか否かを検出していたが、合焦機構6は、図5に示すように、ナイフエッジ法によって被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にあるか否かを検出してもよい。
本変形例では、合焦機構6は、被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にある際のチューブレンズ32の焦点位置にエッジ66aが配置される遮蔽部材66と、一対の受光部67a,67bの分割線の位置が、照明光学系3から射出される光束の光軸上に配置された2分割フォトダイオード67とを備えている。被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置からずれると、チューブレンズ32の焦点位置がエッジ66aからずれ、遮蔽部材66により光の一部が遮蔽されて受光部67a,67b間の受光量がずれることにより、合焦機構6は、被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にはないこと、および被測定面7が焦点位置に対して光軸方向の基端側および先端側のいずれ側にずれているのかを検出する。そして、合焦機構6は、受光部67a,67b間の受光量の差が無くなるように対物レンズ4およびドーナツレンズ35を移動させることにより、被測定面7を対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置に位置付ける。このように合焦機構6を構成しても、前記第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
また、合焦機構6は、フーコー法によって被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にあるか否かを検出してもよい。すなわち、被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にある際のチューブレンズ32の焦点位置に頂点が配置されるようにプリズムを設けるとともに、プリズムによって2分割される光をそれぞれ2分割フォトダイオードで受光するように合焦機構6を構成する。被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置からずれると、チューブレンズ32の焦点位置がプリズムの頂点からずれ、2分割フォトダイオードの各受光部の受光量が異なることとなることにより、合焦機構6は、被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にはないこと、および被測定面7が焦点位置に対して光軸方向の基端側および先端側のいずれ側にずれているのかを検出する。そして、合焦機構6は、2分割フォトダイオードの各受光部の受光量の差が無くなるように対物レンズ4およびドーナツレンズ35を移動させることにより、被測定面7を対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置に位置付ける。このように合焦機構6を構成しても、前記第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
さらに、合焦機構6は、非点収差法によって被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にあるか否かを検出してもよい。すなわち、照明光学系3から射出される光を円柱レンズを介して4分割フォトダイオードで受光するように合焦機構6を構成する。被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置からずれると、4分割フォトダイオードの各受光部の受光量が異なることとなることにより、合焦機構6は、被測定面7が対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置にはないこと、および被測定面7が焦点位置に対して光軸方向の基端側および先端側のいずれ側にずれているのかを検出する。そして、合焦機構6は、4分割フォトダイオードの各受光部の受光量の差が無くなるように対物レンズ4およびドーナツレンズ35を移動させることにより、被測定面7を対物レンズ4およびドーナツレンズ35の焦点位置に位置付ける。このように合焦機構6を構成しても、前記第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
なお、集光手段として放物面ミラー36やそのほか適宜の手段が用いられている場合においても、当然、合焦機構6は、これらナイフエッジ法、フーコー法、非点収差法によって合焦状態を検出してもよい。
なお、集光手段として放物面ミラー36やそのほか適宜の手段が用いられている場合においても、当然、合焦機構6は、これらナイフエッジ法、フーコー法、非点収差法によって合焦状態を検出してもよい。
本発明は、被測定面観察用の対物レンズを有する画像測定機や顕微鏡等の光学式測定装置に利用することができる。
1,1A,1B オートフォーカス装置
2 レーザダイオード(光源)
3 照明光学系
4 対物レンズ
6 合焦機構
7 被測定面
33 コーンミラー(第1反射手段)
34 パラボラミラー(第2反射手段)
35 ドーナツレンズ(集光手段)
36 放物面ミラー(集光手段)
2 レーザダイオード(光源)
3 照明光学系
4 対物レンズ
6 合焦機構
7 被測定面
33 コーンミラー(第1反射手段)
34 パラボラミラー(第2反射手段)
35 ドーナツレンズ(集光手段)
36 放物面ミラー(集光手段)
Claims (4)
- 光源と、前記光源からの光を被測定面へ導く照明光学系と、前記被測定面にて反射された光を集光する被測定面観察用の対物レンズと、前記被測定面にて反射された光に基づいて前記対物レンズの焦点位置に前記被測定面を位置付ける合焦機構とを備えたオートフォーカス装置であって、
前記照明光学系は、
前記光源と前記対物レンズとの間に設けられ、前記光源からの光を前記対物レンズの光軸と直交する方向に輪帯状に反射する第1反射手段と、
前記第1反射手段にて反射された輪帯状の光を前記対物レンズの外側に、かつ前記対物レンズの光軸と平行に反射する第2反射手段と、
前記第2反射手段にて反射された輪帯状の光を前記被測定面へ集光するとともに、前記被測定面にて反射された光を集光する集光手段とを備え、
前記合焦機構は、前記被測定面にて反射された光を前記照明光学系を介して得る
ことを特徴とするオートフォーカス装置。 - 請求項1に記載のオートフォーカス装置において、
前記集光手段は、環状に形成され、前記対物レンズの外側に設けられたドーナツレンズである
ことを特徴とするオートフォーカス装置。 - 請求項1に記載のオートフォーカス装置において、
前記集光手段は、環状に形成され、前記対物レンズの外側に設けられた放物面ミラーである
ことを特徴とするオートフォーカス装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のオートフォーカス装置において、
前記集光手段の開口数は0.70以上である
ことを特徴とするオートフォーカス装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009027289A JP2010181782A (ja) | 2009-02-09 | 2009-02-09 | オートフォーカス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009027289A JP2010181782A (ja) | 2009-02-09 | 2009-02-09 | オートフォーカス装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010181782A true JP2010181782A (ja) | 2010-08-19 |
Family
ID=42763379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009027289A Pending JP2010181782A (ja) | 2009-02-09 | 2009-02-09 | オートフォーカス装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010181782A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106975836A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-07-25 | 北京华岸科技有限公司 | 光束变换装置及激光加工装置 |
CN109001902A (zh) * | 2018-09-05 | 2018-12-14 | 哈尔滨理工大学 | 基于图像融合的显微镜聚焦方法 |
-
2009
- 2009-02-09 JP JP2009027289A patent/JP2010181782A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106975836A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-07-25 | 北京华岸科技有限公司 | 光束变换装置及激光加工装置 |
CN109001902A (zh) * | 2018-09-05 | 2018-12-14 | 哈尔滨理工大学 | 基于图像融合的显微镜聚焦方法 |
CN109001902B (zh) * | 2018-09-05 | 2021-07-16 | 哈尔滨理工大学 | 基于图像融合的显微镜聚焦方法 |
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