JP2005298926A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】蒸発材料のロスをより効果的に軽減する。
【解決手段】材料収納容器２１を加熱して材料を蒸発させる蒸発部４ａと、前記蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着部３ａと、蒸発材料を蒸発部４ａから蒸着部３ａに導く連通部９ａとを備えた蒸着装置であって、連通部９ａに設けられた弁孔４１ｄと、材料収納容器２１を連通部９ａに嵌合するとともに弁孔４１ｄに対して接近離間方向に往復移動させる容器進退装置２０と、材料収納容器２１に設けられて弁孔４１ｄに接近または当接し連通部９ａにおける蒸発材料の流量を調整可能開閉弁部４２とを備えた流量調整装置４０を設け、容器進退装置２０により材料収納容器２１を連通部９ａに嵌合されることにより、材料収納容器２１と連通部９ａとが略気密状態に接続される。
【選択図】 図２

Description

本発明は、真空雰囲気または不活性ガス雰囲気中で、たとえば有機ＥＬディスプレイなどの画像表示部を製造するための蒸着装置に関するものである。

近年、ディスプレイの薄型化が進み、この種のディスプレイとしては、液晶ディスプレイの実用化が非常に進んでいる。この液晶画面については、バックライトを必要とするもので、視野範囲、消費電力などの点で難点があり、最近、自発光性の有機ＥＬ方式のディスプレイが注目されている。

ところで、有機ＥＬディスプレイの基本構造は、ガラス基板上に、陽極（透明電極）を配置し、この上に、ホール輸送層および発光層が順番に配置され、さらに陰極が配置されたものであり、少なくとも、前記発光層については、有機材料が蒸着により形成されている。

そして、基板上に、蒸着により薄膜を形成する場合、真空容器内に有機材料の蒸発源を配置しておき、真空状態で蒸発源を加熱し、その蒸気を同じく真空容器内に配置された基板の表面に付着させることにより薄膜が形成されていた。

ところで、特許文献１に示されたガスデポジション装置は、超微粒子形成室（蒸発室）から膜形成室（蒸着室）に超微粒子を搬送する搬送管を設け、超微粒子が搬送管に付着しないように加熱装置を設けたものである。

また特許文献２に開示された蒸着装置は、真空チャンバの下部に、真空弁を有する有機ＥＬ材料の材料放出口が２個配置されるとともに、これら各放出口の下部に材料を加熱するセル（蒸発源）がそれぞれ配置されたセル室（蒸発室）が設けられたものである。
特開平７−１６６３３２号 特開２００３−２９７５６４

特許文献１では、加熱蒸発された蒸発材料は、一旦超微粒子形成室内に充満され搬送管を介して膜形成室に送られるため、特にガラス基板や材料収納容器の交換時などに材料のロスが生じやすく、特に高価な有機ＥＬ材料では、コストの無駄が生じる。また特許文献２でも、セル室が小さいが、セル交換時にセル室で材料のロスは発生する。

そこで、本発明は、例えば蒸発材料のロスをより効果的に軽減することができる蒸着装置を提供することを目的とする。

請求項１記載の発明は、材料収納容器を加熱して材料を蒸発させる蒸着部と、前記蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着部と、前記蒸発材料を蒸発部から蒸着部に導く連通部とを備えた蒸着装置であって、前記連通部に設けられた協働調整部と、前記材料収納容器を連通部に嵌合するとともに前記協働調整部に対して接近離間方向に往復移動させる容器進退手段と、前記材料収納容器に設けられて協働調整部に接近または当接し連通部における蒸発材料の流量を調整可能な開度調整部とを備えた流量調整手段を設け、前記容器進退手段により材料収納容器を連通部に嵌合されることにより、材料収納容器と連通部とが略気密状態に接続されるものである。

請求項２記載の発明は、蒸発用容器内に蒸発部を、蒸着用容器内に蒸着部をそれぞれ独立して設け、前記蒸発用容器と蒸着用容器とを接続する接続部材に、少なくとも前記蒸発用容器側に容器進退手段の進退方向に沿いかつ材料収納容器と連通部とが略気密状態に接続される部位を有する連通部を形成したものである。

請求項３記載の発明は、協働調整部は、連通部に弁孔を形成する弁孔形成部材により構成され、開度調整部は、前記弁孔に接近離間して前記弁孔の流路断面積を縮小調整可能な開閉弁部により構成されたものである。

請求項４記載の発明は、上下方向に形成された連通部を有し、協働調整部は、前記連通部に形成された弁孔部と、前記弁孔部に昇降自在に配置されて自重により閉止する第１弁体とで構成され、開度調整部は、前記第１弁体を押し上げて弁孔部を開放可能な第１弁体作動部により構成されたものである。

請求項５記載の発明は、横方向に形成された連通部を有し、協働調整部は、前記連通部に形成された弁孔部と、付勢部材により弁孔部に押し付けられて弁孔部を閉止する第２弁体とを有し、開度調整部は、前記第２弁体を付勢部材に抗して押し戻し弁孔部を開放可能な第２弁体作動部により構成されたものである。

請求項６記載の発明は、協働調整部は、連通部に周方向の軸心周りに揺動自在に設けられ非作用時に該連通部を開放状態とする複数の第３弁体により構成され、開度調整部は、前記第３弁体を揺動して連通部を開度調整可能な第３弁体作動部により構成されたものである。

請求項７記載の発明は、開度調整部は、材料収納容器の開口部に揺動自在に設けられて非作用時に開口部を開放する複数の第４弁体により構成され、協働調整部は、第４弁体を揺動して材料収納容器の開口部の開度調整可能な第４弁体作動部材により構成されたものである。

請求項８記載の発明は、協働調整部は、連通部に直交する軸心周りに回動自在に配置され非作用時に該連通部を略閉止状態とする第５弁体により構成され、開度調整部は、第５弁体を開動して連通部を開度調整可能な第５弁体作動部により構成されたものである。

請求項９記載の発明は、開度調整部は、材料収納容器の開口部に直交する軸心周りに回動自在に配置され非作用時に該開口部を略閉止状態とする第６弁体により構成され、協働調整部は、第６弁体を開動して容器の開口部を開度調整可能な第６弁体作動部で構成されたものである。

請求項１０記載の発明は、材料収納容器内の蒸着材料を加熱する材料加熱手段を設け、容器進退手段による材料収納容器に移動量を検出する進退量検出手段を設け、前記進退量検出手段の検出信号に対応して材料加熱手段を制御する蒸着制御部を有する蒸着制御装置を設けたものである。

請求項１１記載の発明は、蒸着部に被蒸着部材への蒸発材料の付着量を検出する付着量検出手段を設け、蒸着制御部は、前記付着量検出手段の検出信号に対応して前記容器進退手段を操作するように構成されたものである。

請求項１２記載の発明は、蒸着制御装置は、材料収納容器の移動量に対応して、連通部に材料収納容器が気密状態で接続される位置と、連通部における蒸発材料の流量と、材料加熱温度とを記憶する記憶部を具備し、蒸着制御部は、進退量検出手段の検出信号により前記記憶部のデータに基いて材料加熱手段を制御するように構成されたものである。

請求項１３記載の発明は、材料収納容器内の蒸着材料を冷却する材料冷却手段を設け、蒸着制御部は、進退量検出手段の検出信号により記憶部のデータに基いて材料冷却手段を制御するように構成されたものである。

請求項１記載の発明によれば、容器進退手段により材料収納容器を連通部に嵌合することにより、材料収納容器と連通部とが略気密状態に接続されるので、材料収納容器内から蒸発する蒸発材料が連通部から直接蒸着部に導入され、蒸発材料が蒸発部内に充満することがない。したがって、蒸発材料を有効に活用でき、被蒸着部材や材料収納容器の交換時における材料ロスを低減することができる。また材料収納容器が連通部に嵌入される動作に連続する進退動作で、材料収納容器の開度調整部と協働調整部とで連通部における蒸発材料の流量を調整することができ、容器進退手段により、材料収納容器の気密性の確保と、蒸発材料の流量調整とを兼用して行うことができる。

請求項２記載の発明によれば、蒸発部と蒸着部とをそれぞれ独立した容器内に設け、これら容器間を接続部材により連通したので、特に容器内の容量を削減して、被蒸着部材や材料収納容器の交換時における蒸発材料のロスを低減することができる。また排気に要する時間を短縮できて作業性を向上させることができ、蒸発部と蒸着部のレイアウトの自由度を高めることができる。

請求項３記載の発明によれば、容器進退手段により材料収納容器を連通部に嵌入させて進退させ、開閉弁部を弁孔形成部材の弁孔に接近離間させることにより流路断面積を縮小調整して連通部における蒸発材料の流量を効果的に調整することができる。

請求項４記載の発明によれば、容器進退手段により材料収納容器を連通部に嵌合させ、材料収納容器の第１弁体作動部により、連通部を閉止する第１弁体を押し上げて弁孔部を開放することにより、材料収納容器から蒸着部に蒸発材料を送り、連通部における蒸発材料の流量を効果的に調整することができる。

請求項５記載の発明によれば、容器進退手段により材料収納容器を横方向の連通部に嵌合させて進退させ、材料収納容器の第２弁体作動部により、連通部を閉止する第２弁体を付勢部材に抗して押し戻し弁孔部を開放することにより、材料収納容器から蒸着部に蒸発材料を送り、連通部における蒸発材料の流量を効果的に調整することができる。

請求項６記載の発明によれば、容器進退手段により材料収納容器を連通部に嵌合させて進退させ、材料収納容器の第３弁体作動部により、連通部を第３弁体を揺動して連通部の開度を調整することにより、材料収納容器から蒸着部に蒸発材料を送り、連通部における蒸発材料の流量を効果的に調整することができる。

請求項７記載の発明によれば、容器進退手段により材料収納容器を連通部に嵌合させて進退させ、連通部に設けられた第４弁体作動部により、材料収納容器で開口部を開放・閉止する第４弁体を揺動して開口部の開度（連通部の開度）を調整することにより、材料収納容器から蒸着部に蒸発材料を送り、連通部における蒸発材料の流量を効果的に調整することができる。

請求項８記載の発明によれば、容器進退手段により材料収納容器を連通部に嵌合させて進退させ、材料収納容器の第５弁体作動部材により、連通部を略閉止状態とする第５弁体を開動して連通部を開度調整することにより、材料収納容器から蒸着部に蒸発材料を送り、連通部における蒸発材料の流量を効果的に調整することができる。

請求項９記載の発明によれば、容器進退手段により材料収納容器を連通部に嵌合させて進退させ、連通部に設けられた第６弁体作動部により、材料収納容器の開口部を略閉止状態とする第６弁体を回動して容器の開口部の開度調整することにより、材料収納容器から蒸着部に蒸発材料を送り、連通部における蒸発材料の流量を効果的に調整することができる。

請求項１０記載の発明によれば、蒸着制御部により、材料収納容器の進退量に基いて、材料収納容器と連通部との気密状態を確保した後、材料加熱手段により予備加熱から本加熱に自動的に移行することができ、蒸着開始動作の自動化を図ることができる。

請求項１１記載の発明によれば、蒸着制御部により、蒸発材料の付着量に基いて、進退手段を介して連通部における蒸発材料の流量を調整でき、またこの蒸発材料の流量を極めて小さくした状態で被蒸着部材の交換作業を開始することができる。

請求項１２記載の発明によれば、記憶部のデータ、すなわち材料収納容器の移動量に対応する、材料収納容器の連通部の気密確保位置と、蒸発材料の流量と、材料加熱温度とに基いて、被蒸着部材の交換作業や材料収納容器を交換して材料を追加する作業を自動化することができ、被蒸着部材の交換時に蒸発材料の流量を絞ったり、材料加熱を停止することで、材料のロスを軽減することができる。

請求項１３記載の発明によれば、被蒸着部材の交換時に、材料を冷却することで、蒸発を速やかに停止させて材料ロスを軽減することができる。

［実施の形態１］
以下、本発明の実施の形態１に係る蒸着装置を、図１〜図４に基づき説明する。本実施の形態１に係る蒸着装置は、有機ＥＬディスプレイの表示部を製造する場合、すなわち有機材料からなる蒸発材料を下方からガラス基板１の表面（下面）に吹付けて蒸着させるアッパーデポジションタイプである。

この蒸着装置は、図１に示すように、ガラス基板（被蒸着部材）１が、その蒸着面が下方となるように、水平方向で挿入され保持具２に保持される蒸着部３ａを形成する蒸着用容器３と、この蒸着用容器３の下方に配置されて有機材料（以下、蒸発前の有機材料を材料といい、蒸発した有機材料を蒸発材料という）の蒸発が行われる蒸発部４ａを形成する蒸発用容器４と、前記蒸着用容器３の底壁部中央に形成された出口６と蒸発用容器４の上壁部中央に形成された入口５とを接続する接続部材９により、蒸発用容器４が嵌合可能な円形断面の連通部９ａが形成されている。

また前記蒸着用容器３の側壁部には、途中に出入用ゲートバルブ（仕切弁）１０が介装された接続用通路１１を介してガラス基板１を交換するための基板交換用容器（基板交換室ともいう）１２が接続されている。

さらに前記蒸発用容器４の一方の側壁部の開口部に、搬入用ゲートバルブ（仕切弁）１５が介装された接続用通路１７を介して予熱用容器（予熱室ともいう）１３が接続されている。さらにまた蒸発用容器４の他方の側壁部の開口部に、搬出用ゲートバルブ（仕切弁）１６が介装された接続用通路１８を介して取出用容器（取出室ともいう）１４が接続されている。

そして、前記予熱用容器１３内には、蒸着材料を収容して加熱・蒸発させるための材料収納容器（蒸発ポットともいう）２１を載置して材料を予備加熱する予熱器（例えば、加熱用電熱線からなる）２２が設けられた容器載置台２３が配置されている。

図２に示すように、前記蒸発用容器４内には、材料収納容器２１を載置するとともに、当該材料収納容器２１を介して材料を加熱および冷却可能な、例えば加熱用電熱線からなる加熱器２８と冷却配管からなる冷却器２９を有する容器載置台２４が配置されている。また図３に示すように、この容器載置台２３には、材料収納容器２１を連通部９ａに嵌入、進退させるための容器進退装置（容器進退手段）２０が具備されている。すなわち、容器載置台２４の下面から垂下された昇降軸２６が、蒸発用容器４の底壁部に真空シール部材を介して昇降可能に貫設されており、この昇降軸２６には、カップリング２７を介して接続された加熱器２８用の電源ケーブルと冷却器２９の冷却媒体給排出用の配管がそれぞれ内装されている。そして蒸発用容器４の下方には、昇降軸２６を進退駆動する電動ジャッキや油圧式シリンダなどの直線駆動装置からなる進退駆動装置３１が設けられており、進退駆動装置３１の出力軸が昇降軸２６に連結されて容器進退装置２０が構成されている。さらに昇降軸２６の進退量を検出して材料収納容器２１の位置を検知する進退量検出センサ３０が設けられており、この進退量検出センサ３０は、カップリング２７に設けられた反射部材に向って昇降軸２６に平行に投光して反射光を受光するように構成されている。

図２に示すように、前記連通部９ａに、協働調整部である弁孔形成部材４１が設けられ、材料収納容器２１の開口部周囲に、弁孔形成部材４１に接近して連通部９ａにおける蒸発材料の流量を調整可能な開度調整部である開閉弁部４２とが設けられ、これら弁孔形成部材４１および開閉弁部４２と、前記容器進退装置２０とで流量調整装置（流量調整手段）４０が構成されている。

円形断面の前記連通部９ａには、蒸発用容器４の入口５から少なくとも所定距離の範囲に、材料収納容器２１が下方から嵌合されて略気密状態に保持可能な円形断面の気密用嵌合部９ｂが直線状に形成され、気密用嵌合部９ｂの上端部に弁孔形成部材４１が配置されている。この弁孔形成部材４１は、気密用嵌合部９ｂの上端内周の段部４１ａに複数本（図は４本）の支持梁４１ｂを介して閉止ブロック４１ｃが支持され、支持梁４１ｂ間の段部４１ａと閉止ブロック４１ｃの間に円弧状の弁孔４１ｄが形成されている。また閉止ブロック４１ｃはその下面が、蒸気材料の流れを妨げない逆円錐形に形成されて蒸発材料を弁孔４１ｄに導きやすくされている。一方材料収納容器２１は、上面が開放された円筒形で、その上端部で開口面周囲が開閉弁部４２に形成され、また材料収納容器２１の高さは気密用嵌合部９ｂの長さよりも長く形成されている。したがって、気密用嵌合部９ｂ内で材料収納容器２１を昇降移動させることにより、開閉弁部４２を弁孔４１ｄに接近離間させてその昇降方向の隙間δにより蒸気材料の流量を調整することができる。また、入口５は材料収納容器２１を挿入しやすくするために、開口面が大径になるテーパ面に形成されるので、材料収納容器２１の位置ずれが修正される。

図１に示すように、前記予熱用容器１３および取出用容器１４の上壁部には、材料収納容器２１の出入用の開口フランジ部１３ｂ，１４ｂが設けられるとともに、これら開口フランジ部１３ｂ，１４ｂには出入用ゲートバルブ（仕切弁）２９，３０が設けられている。

また予熱用容器１３および取出用容器１４の接続用通路１７，１８が接続された側壁部とは反対側の側壁部には、材料収納容器２１を蒸発用容器４との間で移送するための移送用治具３２，３３が外部から操作可能に設けられている。これら各移送用治具３２，３３としては、図４に示すように、各容器１３，１４の側壁部に、水平方向で移動し得るように且つ容器１３，１４内の真空状態を維持し得るようにシール部材を介して棒状体３５が挿通され、棒状体３５の先端部に材料収納容器２１の両側壁面に形成されたねじ穴（被係合部）２１ｂに係脱自在なおねじ部（係合部）３５ａが形成されている。したがって、この棒状体３５を回転させることにより、当該移送用治具３２，３３を材料収納容器２１に係合および離脱することができる。３６は接続部材９に内蔵された加熱用電熱線で、連通部９ａを加熱して蒸発材料の付着を防止している。

なお、図示しないが、前記各容器３，４，１２，１３，１４には、真空ポンプに接続された排気用配管がそれぞれ接続されており、必要に応じて、各容器３，４，１２，１３，１４内が所定の真空度にされる。

図３に示すように、前記蒸着部３ａには、ガラス基板１に蒸着された膜厚を一定時間ごとに連続して測定可能な水晶振動子による膜厚測定センサ４４が設けられ、蒸発部４ａには容器載置台２４に材料収納容器２１に接触するように設けられて材料収納容器２１（材料）の加熱温度を検出可能な温度センサ４５が設けられている。さらに、進退量検出センサ３０と膜厚測定センサ４４と温度センサ４５の信号に基いて、蒸着作業を自動的に行う蒸着制御装置５０が設けられている。

この蒸着制御装置５０は、記憶部５１、蒸着制御部５２、加熱操作部５３、冷却操作部５４および進退操作部５５を具備している。前記記憶部５１は、容器進退装置２０により材料収納容器２１を連通部９ａの気密用嵌合部９ｂに嵌合した嵌入位置、上限位置およびその間の位置などの略気密状態に保持できる位置データや、容器進退装置２０により材料収納容器２１の開閉弁部４２を弁孔４１ｄに接近させた進退位置に対応する蒸気材料の流量または開度の関係を示すデータ、材料収納容器２１の進退位置（開閉弁部４２の開閉）に対応した材料加熱温度データなど、試験などにより得られて材料収納容器２１の進退位置に関連付けられたデータが記憶されている。また加熱操作器５３は、給電装置５６から容器載置台２３の加熱器２８に送られる電流を調整する加熱制御器５７を停止、材料が蒸発する手前の温度に保持する予備加熱および材料が蒸発する温度に過熱する本加熱に応じて操作するものである。さらに冷却操作部５４は、冷却水タンク５８から容器載置台２３の冷却器２９に冷却水を供給し循環させる冷却水ポンプ６１を操作するものである。さらに進退操作部５５は、進退駆動装置３１がたとえば油圧シリンダの場合、油圧ユニット５９から進退駆動装置３１に送られる圧油の給排出を制御する切換弁６０を操作するものである。

前記蒸着制御部５２は、容器進退装置２０により容器載置台２４を介して材料収納容器２１を上昇させ、気密嵌合穴部９ｂに材料収納容器２１が所定量嵌入される（上記嵌入位置）と、これを進退量検出センサ３０の検出信号により検知し、加熱操作部５３により加熱制御器５７を操作して自動的に加熱器２８を、嵌入前から継続された予備加熱から本加熱に移行させる。

また蒸着制御部５２は、膜厚測定センサ４４の検出信号に基いて、ガラス基板１の交換時期を判断する。またこのガラス基板１の交換時に、容器進退装置２０により材料収納容器２１を上昇させ、開閉弁部４２により弁孔４１ｄを閉じて流量調整装置２０を全閉する。さらに加熱制御器５３により加熱器２８を停止又は予備加熱温度にすると同時に、冷却操作部５４により冷却器２９を起動し、材料収納容器２１を材料蒸発温度以下とすることで材料の蒸発を停止し、材料収納容器２１内の昇圧を防止し、蒸着用容器３への蒸発材料の流入を停止する。これは特に、熱容量の大きな材料収納容器を使った場合、材料収納容器の加熱温度を低下させただけでは直ちに材料の温度が温度が下がるものではないためである。

このような制御動作がない場合、ガラス基板１の交換時にも材料が蒸発されて蒸着部に流入しつづけ、基板交換用容器１２に流出したり、流量調整装置２０を全閉しても、蒸発が継続されると、材料収納容器２１内に蒸発材料が充満して内部が昇圧される。蒸着を再開した時に、流量調整装置２０が開放されると、材料収納容器２１内に充満した高圧の蒸発材料が一気に蒸着用容器３内に流入して膜厚制御が困難になり、蒸着品質を低下せたり、蒸発材料が無駄になるおそれがある。上記制御動作により、材料のロスを防止するとともに、蒸着の再開時の蒸着膜の品質低下を防止することができる。また材料を予備加熱温度程度に下げることで、蒸発再開への移行時間が短くてすむ。

さらに蒸着制御部５２は、ガラス基板１への蒸着膜厚を一定時間毎に検出して膜厚の増加量を検出し、その進退位置における同時間間隔における膜厚の増加量を記憶部５１から取出して、その条件における膜厚の増加量が十分に小さい場合には、材料収納容器２１内の材料が減少した材料収納容器２１の交換時期であると判断して材料収納容器２１の交換を決定する。

次に上記構成の蒸着装置における蒸着作業を説明する。
上記構成において、容器載置台２４に載置された材料収納容器２１は、加熱器２８により予備過熱された状態で、進退駆動装置３１が進展されて容器載置台２４が上昇され、材料収納容器２１が連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂに嵌入される。この時、進退量検出センサ３０により材料収納容器２１の進退位置が検出されており、蒸着制御部５０では、記憶部５１のデータを参照して、材料収納容器２１が気密嵌合穴部９ｂに嵌入されて気密状態に保持される位置になったと判断すると、加熱操作部５３を介して加熱制御器５７を操作し、加熱器２８により材料収納容器２１を本加熱に切替え材料を蒸発させる。

そして、流量調整装置４０が全開である位置で進退駆動装置３１を停止させ、加熱蒸発された蒸発材料を弁穴４１ｄを介して連通部９ａから蒸着部３ａに導入させ、保持具２に保持されたガラス基板１の表面（下面）に蒸発材料を蒸着させる。

膜厚測定センサ４４によりガラス基板１の表面の膜厚が所定値に達したと判断すると、ガラス基板１の交換を行う。蒸着制御部５０では、まず加熱操作部５３により加熱制御器５７を操作して加熱器２８による加熱を停止又は予備加熱に切替えると同時に、記憶部５１のデータに基いて進退駆動装置３１を進展させて材料収納容器２１の開閉弁部４２により弁穴４１ｄを閉止させて流量調整装置４０を全閉位置（上限位置）とし、冷却操作部５４により冷却水ポンプ６１を起動して冷却水を容器載置台２３の冷却器２９に送り、材料収納容器２１の材料を強制的に冷却する。この冷却は、材料収納容器（材料）が蒸発温度を下回ったら停止する。

出入口ゲートバルブ１０を開け、接続用通路１１を介して蒸発用容器４内と同程度の真空状態とした基板交換用容器１２に蒸着したガラス基板１を搬出するとともに、次のガラス基板１を搬入する。

次のガラス基板１が保持具２に保持されると、蒸着制御部５０では加熱操作部５３により加熱器２８をオン（停止→本加熱、または予備加熱→本加熱）し、加熱を再開する。次いで進退操作部５５により切換弁６０を操作して進退駆動装置３１を収縮させ、材料収納容器２１を下降させて開閉弁部４２を弁穴４１ｄから離間させ流量調整装置４０を全開する。これにより、次のガラス基板１の蒸着作業が開始される。

何枚ものガラス基板１への蒸着が進むにつれて、さらに材料収納容器２１を交換して材料を補充する必要があると判断された場合には、予熱用容器１３で次の材料の予備加熱が行われる。

そして、膜厚測定センサ４４によりガラス基板１の表面の膜厚の増加率が所定以下になると、蒸着制御部５０では予熱用容器１３内の材料が少なくなったと判断して、加熱操作部５３により加熱制御器５７を介して加熱器２８をオフするとともに、冷却操作部５４により冷却水ポンプ６１を起動して冷却器２９による冷却を開始する。次いで、進退操作部５５により切換弁６０を操作して進退駆動装置３１を収縮させ、材料収納容器２１を気密嵌合穴部９ｂから蒸発部４ａに抜き出す。

そして、棒状体３５により使用済みの材料収納容器２１を接続用通路１８から搬出用ゲートバルブ１６を介して取出用容器１４に送り出し、さらに予熱用容器１３から新たな材料収納容器２１を接続用通路１７から搬入用ゲートバルブ１５を介して蒸発用容器４に搬入する。搬入、搬出作業がそれぞれ終ると、それぞれのゲートバルブ１６，１５も閉じられる。

上記実施の形態によれば、進退駆動装置３１により材料収納容器２１を連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂに嵌入することにより、材料収納容器２１と蒸発部４ａの空間とが略気密状態に分離されるので、材料収納容器２１内から蒸発された蒸発材料が連通部９ａから直接蒸着部３ａに導入され、蒸発材料が蒸発部４ａ内に充満されることがないため、材料の効率的な利用に繋がる。またこれにより、ガラス基板１の交換時や材料収納容器２１の交換時における材料ロスを低減することができる。また材料収納容器２１が連通部９ａに嵌合される連続動作で、流量調整装置４０を操作することができて連通部９ａにおける蒸発材料の流量を調整することができる。したがって、進退駆動装置３１により材料収納容器２１の気密性の確保と、蒸発材料の流量調整とを兼用して行うことができ、装置を簡易化できて設備コストの低減に寄与できる。

また、蒸発部４ａと蒸着部３ａをそれぞれ独立した蒸発用容器３と蒸着用容器３に設けることで、空間容量を削減することができて、ガラス基板１や材料収納容器２１の交換時における蒸発材料のロスを低減することができる。

［実施の形態２］
図５は、本発明に係る実施の形態２の蒸着装置でサイドデポジションタイプであり、９０°転向された流量調整装置６２を設けたものである。これは材料収納容器２１を横方向（図では水平方向）に進退させるもので、材料収納容器２１には、上部が側方に９０°で折れ曲り、水平方向の連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂに略気密状態でかつ出退自在に嵌合される気密用水平嵌合部２１ｃが形成され、気密用水平嵌合部２１ｃの開口部周囲に、開閉弁部４１が設けられている。上記実施の形態１の変形例によれば、実施の形態１と同様の作用効果を奏することができる。

なお、実施の形態１および２では、流量調整装置４０，６２を全開と全閉との二段階で流量調整したが、複数段階または無段階で流量調整することもできる。
また、図６に示すように、蒸着方向として、（ａ）のアッパーデポジションタイプの蒸着部３ａを示したが、（ｂ）のサイドデポジションの蒸着部３ａや（ｃ）のダウンデポジションタイプの蒸着部３ａであってもよい。

さらに、上記実施の形態では連通部９ａの形状を直線状に形成したが、これに限るものではなく、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、連通部９ａのうち、気密嵌合部９ｂまでは直線状にし、それ以外を折り曲げてもよく、ダウンデポジションタイプの蒸着用容器３に接続された接続部材９を折れ曲り状に形成することもできる。

［実施の形態３］
流量調整装置の異なる蒸着装置の実施の形態３を、図８を参照して説明する。なお、実施の形態１と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

この蒸着装置は、上下方向に形成された連通部９ａを有し、前記連通部９ａの中間部に形成された弁孔部（協働調整部）７１と、前記弁孔部７１に昇降自在に配置されて自重により弁孔部７１を閉止する第１弁体（協働調整部）７２と、材料収納容器２１の上部に突出されて前記第１弁体７２を押し上げ弁孔部７１を開放可能な第１弁体作動部（開度調整部）７３とにより流量調整装置７０が構成されている。

前記弁穴部７１は、上位大径部から下位小径部に至るテーパ状着座面７１ａに形成され、またこの着座面７１ａに、逆円錐台形の第１弁体７２が押上自在に配置されている。第１弁体７２の昇降ガイド部材を設けてもよい。前記第１弁体作動部７３は、先端部が第１弁体７２下面中央の載頭凹部に嵌って押上可能なアーム状に形成されている。

前記材料収納容器２１は、縮径部２１ｄを介して上部に気密用垂直嵌合部２１ｅが形成され、この気密用垂直嵌合部２１ｅは連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂに嵌脱自在で、嵌合状態で材料収納容器２１内と蒸発部４ａとが略気密状態となるように構成されている。

上記構成において、容器載置台２４に載置された材料収納容器２１は、加熱器２８により予備加熱された状態で、進退駆動装置３１が進展されて上昇され、気密用垂直嵌合部２１ｅが気密嵌合穴部９ｂに嵌入される。この時、進退量検出センサ３０により気密嵌合穴部９ｂに嵌合された材料収納容器２１が気密状態に保持される位置となると、加熱器２８が予備加熱から本加熱に切替えられる。

さらに進退駆動装置３１により材料収納容器２１を上昇させることで、第１弁体作動部７３により第１弁体７２を押し上げて弁穴部７１を開放する位置で停止させ、流量調整装置７０を全開とする。これにより、加熱蒸発された蒸発材料を弁穴部７１を介して連通部９ａから蒸着部３ａに導入し、保持具２に保持されたガラス基板１の表面（下面）に蒸発材料を蒸着させる。

ガラス基板の交換時には進退駆動装置３１により材料収納容器２１を下降させて第１弁体７２を弁穴部７１の着座面７１ａに着地させ、弁穴部７１を全閉する。その後の動作は、第１の実施の形態と同様に行う。

上記実施の形態３によれば、実施の形態１と同様の効果を奏することができる。なお、材料収納容器２１の縮径部２１ｄが入口５に接触して進退駆動装置３１の進展上限を規定している。

図９は第１弁体作動部の変形例を示し、第１弁体７２を押上可能な第１弁体作動部７５を、複数のブリッジ７６を介して材料収納容器２１の開口部に配置したものである。
［実施の形態４］
実施の形態３の流量調整装置７０を横置きにしたサイドデポジションタイプの蒸着装置の実施の形態４を、図１０に基いて説明する。なお、実施の形態３と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

この流量調整装置８０は、水平方向に形成された連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂの出口側に形成された弁孔部（協働調整部）８１と、前記弁孔部８１に当接離間自在に配置されてコイルばね（付勢部材）８４により弁孔部８１を閉止する第２弁体（協働調整部）８２と、材料収納容器２１の気密用水平嵌合部２１ｃから突出されて前記第２弁体８２を押し出して弁孔部８１を開放可能な第２弁体作動部（開度調整部）８３とにより流量調整装置８０が構成されている。

前記弁穴部８１は、出口側大径部から入口側小径部に至るテーパ状着座面８１ａが形成されている。８４ａは、連通部９ａの出口側に設けられたコイルばね８４の支持部材である。進退駆動装置３１による材料収納容器２１の進退方向が水平方向に変更され、気密用水平嵌合部２１ｃと気密用嵌合孔部９ｂとが嵌合させれる他は、実施の形態３と同様な動作で蒸発が実施される。なお、ここで連通部９ａを水平方向としたが、傾斜角度を持つ横方向であってもよい。

上記実施の形態４の変形例によれば、実施の形態１と同様の効果を奏することができる。
［実施の形態５］
他の流量調整装置９０を有する蒸着装置の実施の形態５を、図１１に基いて説明する。なお、実施の形態１と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

接続部材９は、上端部および下端部にフランジを有する外筒部９１ａと、上端部フランジから外筒部９１ａ内に垂下されて連通部９ａを形成する気密用筒部９１ｂとを具備し、前記気密用筒部９１ｂに、材料収納容器２１の上部内面に形成された気密用垂直嵌合部２１ｅが下方から外嵌されることにより、材料収納容器２１内と蒸発部４ａとを略気密状態に保持できるように構成されている。ここで気密用垂直嵌合部２１ｅの長さは第３弁体９２よりも長く形成されている。

前記気密用筒部９１ｂの下端部には、基端部が連通部９ａの周方向（接線方向）の軸心周りに揺動自在に取り付けられた複数（図では４枚）の花弁状の第３弁体９２（協働調整部）が設けられている。これら第３弁体９２は、通常の非作用時に、材料の持つ弾性（またはばねなどの付勢部材）により連通部９ａを開放する位置に保持されている。またこの開放状態で第３弁体９２に外嵌して閉動可能な第３弁体作動部（開度調整部）９３が材料収納容器２１の気密用垂直嵌合部２１ｅの下部周囲に設けられている。第３弁体作動部９３は、気密用垂直嵌合部２１ｅから下部ほど縮径されたテーパ面に形成されている。したがって、第３弁体作動部９３が第３弁体９２の先端部に当接して内側に揺動させ、連通部９ａを略閉止状態にすることができる。

上記構成において、図１１（ａ）（ｂ）に示すように、容器載置台２４に載置された材料収納容器２１は、加熱器２８により予備加熱された状態で、進退駆動装置３１が進展されて上昇され、気密用垂直嵌合部２１ｅが第３弁体９２および気密用筒部９１ｂに外嵌される。そして、進退量検出センサ３０により材料収納容器２１が気密状態に保持される位置になると、加熱器２８が予備加熱から本加熱に切替えられる。

さらに進退駆動装置３１により材料収納容器２１を上昇させて第３弁体作動部９３が第３弁体９２に接触する手前の全開位置で停止される。これにより、流量調整装置９０が全開状態で蒸着作業が開始され、蒸発材料を連通部９ａから蒸着部３ａに導入して、保持具２に保持されたガラス基板１の表面（下面）に蒸発材料を蒸着される。

ガラス基板１の交換時には、図１１（ｃ）（ｄ）に示すように、進退駆動装置３１により材料収納容器２１を上昇させて第３弁体作動部９３により第３弁体９３を閉動させ、図１１（ｅ）（ｆ）に示すように、連通部９ａを閉止する。その後の動作は、第１の実施の形態と同様に行う。

上記第５の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。なお、図１１（ｂ）（ｄ）（ｆ）は、蒸着部３ａから見た開度状態を示している。
［実施の形態６］
実施の形態６は、実施の形態５の変形例で図１２に基いて説明する。なお、実施の形態５と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

材料収納容器２１の開口部周囲には、基端部が周方向（接線方向）の軸心周りに揺動自在に取り付けられた複数（図では４枚）の花弁状の第４弁体（開度調整部）９６が設けられており、第４弁体９６は通常の非作用時に、材料の持つ弾性（またはばねなどの付勢部材）により材料収納容器２１の外周面の上方に連続する位置に保持されて開口部が開放されている。

また連通部９ａの気密用筒部９ｂの上部には、上方ほど縮径されて第４弁体９６を開閉可能なテーパ状の第４弁体作動部（協働調整部）９７が設けられて流量調整装置９５が構成されている。

したがって、気密用筒部９ｂ内で材料収納容器２１が上昇されて第４弁体９６の先端部または外側面が第４弁体作動部９７に当接されることで、第４弁体９６が閉動されて閉じられ、その進退位置により材料収納容器２１の開口部から放出される蒸発材料の流量を調整することができる。

上記構成において、図１２（ａ）（ｂ）に示すように、容器載置台２３に載置された材料収納容器２１は、加熱器２８により予備加熱された状態で、進退駆動装置３１が進展されて上昇され、材料収納容器２１の第４弁体９６および気密用垂直嵌合部２１ｅが連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂに下方から嵌入される。ここで気密用筒部９ｂの長さが第４弁体９６よりも長く形成されており、進退量検出センサ３０により材料収納容器２１が気密状態に保持される位置になると、加熱器２８が予備加熱から本加熱に切替えられる。

さらに進退駆動装置３１により材料収納容器２１が上昇されて第４弁体９６が第４弁体作動部９７に接触する手前の全開位置で停止される。これにより、流量調整装置９５が全開状態で蒸着作業が開始され、連通部９ａから蒸発材料が蒸着部３ａに導入されて、保持具２に保持されたガラス基板１の表面（下面）に蒸発材料が蒸着される。

ガラス基板１の交換時には、図１２（ｃ）（ｄ）に示すように、進退駆動装置３１により材料収納容器２１を上昇させ、第４弁体作動部９７を第４弁体９６の先端部から外側面に当接させて閉動させ、図１２（ｅ）（ｆ）に示すように、上昇限の全閉位置で停止される。さらにその後の動作は、第１の実施の形態と同様に行う。

上記第６の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
［実施の形態７］
他の流量調整装置を有する蒸着装置の実施の形態７を、図１３に基いて説明す。なお、実施の形態１と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

この流量調整装置１００は、連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂの上部に、連通穴９ａの軸心に直交する支軸１０１ａに回動自在に配置されたバタフライ弁形の第５弁体（協働調整部）１０１と、材料収納容器２１の開口縁部から上方に突出されて第５弁体１０１を開動可能な板状の第５弁体作動部（開度調整部）１０２とで構成されている。前記気密嵌合穴部９ｂの上部の対向面には、第５弁体１０１の一方の回動を規制する受け側と押え側の係止段部１０３が形成され、第５弁体１０１は前記受け側の重量を押え側より大きくして、非作用状態（通常時）に連通部９ａを閉止するように構成されている。もちろん、第５弁体１０１を閉止側に回動付勢するコイルばねなどの付勢部材を支軸１０１ａに介装してもよい。

上記構成において、容器載置台２４に載置された材料収納容器２１は、図１３（ａ）に示すように、加熱器２８により予備加熱された状態で、進退駆動装置３１が進展されて上昇され、材料収納容器２１が連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂに下方から嵌入される。そして、進退量検出センサ３０により材料収納容器２１が気密状態に保持される位置になると、加熱器２８が予備加熱から本加熱に切替えられる。

さらに進退駆動装置３１により材料収納容器２１が上昇されて第５弁体作動部１０２により第５弁体１０１の遊端部を押し上げて開放させ、全開位置で停止される。これにより、流量調整装置１００が全開状態で蒸着作業が開始され、蒸発材料が連通部９ａから蒸着部３ａに導入されて、保持具２に保持されたガラス基板１の表面（下面）に蒸発材料が蒸着される。

ガラス基板１の交換時には、進退駆動装置３１により材料収納容器２１を下降させて第５弁体作動部１０２が第５弁体１０１から離間する位置で停止させ、第５弁体１０１を係止段部１０３まで回動させて流量調整装置１００を閉止する。さらにその後の動作は、第１の実施の形態と同様に行う。なお、ここでも気密嵌合孔部９ｂの長さが第５弁体作動部１０２よりも長いものとする。

上記第７の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
［実施の形態８］
実施の形態７の弁体と弁体作動部とを逆に配設した実施の形態８を、図１４に基いて説明する。なお、実施の形態１と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

すなわち、流量調整装置１１０は、材料収納容器２１の開口部に容器軸心に直交する支軸１１１ａに回動自在に配置されたバタフライ弁形の第６弁体１１１と、連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂの上部に、下方に向って突出されて第６弁体１１１を開閉可能な板状の第６弁体作動部１１２とで構成されている。前記材料収納容器２１の開口部には、第６弁体１１１の一方の回動を規制する係止部１１３が形成され、第６弁体１１１は前係止部１１３の反対側の重量をより大きくして、非作用状態（通常時）で開口部を閉止するように構成されている。もちろん、第６弁体１１１を閉止側に回動付勢するコイルばねなどの付勢部材を支軸１１１ａに介装してもよい。

上記構成において、図１４（ａ）に示すように、容器載置台２３に載置された材料収納容器２１は、加熱器２８により予備加熱された状態で、進退駆動装置３１が進展されて上昇され、材料収納容器２１が連通部９ａの気密嵌合穴部９ｂに下方から嵌入される。そして、進退量検出センサ３０により材料収納容器２１が気密状態に保持される位置になると、加熱器２８が予備加熱から本加熱に切替えられる。

さらに進退駆動装置３１により材料収納容器２１がさらに上昇され、図１４（ｂ）に示すように、第６弁体作動部１１２により第６弁体１１１の遊端側を押し下げて、開口部を全開する位置で停止される。これにより、流量調整装置１１０が全開状態で蒸着作業が開始され、連通部９ａから蒸発材料が蒸着部３ａに導入されて、保持具２に保持されたガラス基板１の表面（下面）に蒸発材料が蒸着される。

ガラス基板１の交換時には、進退駆動装置３１により材料収納容器２１を下降させて第５弁体作動部１１２が第５弁体１１１から離間する位置で停止させ、第６弁体１１１を係止部１１３に当接する位置まで回動させて材料収納容器２１の開口部を閉止する。さらにその後の動作は、第１の実施の形態と同様に行う。ここで、第６弁体作動部１１２の先端は、入口５よりも上方に位置している。

上記第７の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
なお、上記蒸着装置では、真空雰囲気で蒸着を実施したが、蒸発材料により不活性ガス雰囲気で蒸着を行うこともできる。

本発明に係る蒸着装置の実施の形態を示し、蒸着装置の全体を示す部分側面断面図である。 （ａ）〜（ｃ）はそれぞれ同蒸着装置の流量調整装置を示す要部拡大断面図で、（ａ）は蒸着作業前の側面断面図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ断面図、（ｃ）は蒸着作業中の側面断面図である。 同溶着装置の制御構成図である。 同溶着装置の材料収納容器と移送用治具を示す斜視図である。 （ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明に係る蒸着装置の実施の形態２を示し、（ａ）は蒸着前の流量調整装置を示す側面断面図、（ｂ）は蒸着中の流量調整装置を示す側面断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は蒸着方向をタイプ別に示したもので、（ａ）はアップデポジションタイプ、（ｂ）はサイドデポジションタイプ、（ｃ）はダウンデポジションタイプを示す断面図である。 （ａ）〜（ｃ）はそれぞれダウンデポジションタイプの接続部材の変形例を示したものである。 本発明に係る蒸着装置の実施の形態３を示す流量調整装置の側面断面図である。 同蒸着装置の第１弁体作動部の変形例を示す斜視図である。 本発明に係る蒸着装置の実施の形態４を示す流量調整装置の側面断面図である。 （ａ）〜（ｆ）はそれぞれ本発明に係る蒸着装置の実施の形態５を示し、（ａ）は流量調整装置の蒸着前の側面断面図、（ｂ）は（ａ）の第３弁体を示す底面図、（ｃ）は流量調整装置の中間閉動状態の側面断面図、（ｄ）は（ｃ）の第３弁体を示す底面図、（ｅ）は流量調整装置の閉止状態の底面図、（ｆ）は（ｅ）の第３弁体を示す底面図である。 （ａ）〜（ｆ）はそれぞれ本発明に係る蒸着装置の実施の形態６を示し、（ａ）は流量調整装置の蒸着前の側面断面図、（ｂ）は（ａ）の第４弁体を示す平面図、（ｃ）は流量調整装置の中間閉動状態の側面断面図、（ｄ）は（ｃ）の第４弁体を示す平面図、（ｅ）は流量調整装置の閉止状態の底面図、（ｆ）は（ｅ）の第４弁体を示す平面図である。 （ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明に係る蒸着装置の実施の形態７を示し、（ａ）は蒸着前の流量調整装置を示す側面断面図、（ｂ）は蒸着中の流量調整装置を示す側面断面図である。 （ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明に係る蒸着装置の実施の形態８を示し、（ａ）は蒸着前の流量調整装置を示す側面断面図、（ｂ）は蒸着中の流量調整装置を示す側面断面図である。

符号の説明

１ ガラス基板（被蒸着部材）
３ 蒸着用容器
３ａ 蒸着部
４ 蒸発用容器
４ａ 蒸発部
９ 接続部材
９ａ 連通部
９ｂ 気密嵌合部
２０ 容器進退装置
２１ 材料収納容器
２１ｂ ねじ穴
２１ｃ 気密用水平嵌合部
２１ｅ 気密用垂直嵌合部
２４ 容器載置台
２６ 昇降軸
２７ カップリング
２８ 加熱器
２９ 冷却器
３０ 進退量検出センサ
３１ 進退駆動装置
４０ 流量調整装置
４１ 弁孔形成部材
４１ａ 段部
４１ｂ 支持梁
４１ｃ 閉止部目
４１ｄ 弁孔
４２ 開閉弁部
４４ 膜厚測定センサ
４５ 温度センサ
５０ 蒸着制御部
５１ 記憶部
５２ 蒸着制御部
５３ 加熱操作部
５４ 冷却操作部
５５ 進退操作部
７１ 弁孔部
７１ａ 着座面
７２ 第１弁体
７３ 第１弁体作動部
８０ 流量調整装置
８１ 弁孔部
８１ａ 着座面
８２ 第２弁体
８３ 第２弁体作動部
９０ 流量調整装置
９２ 第３弁体
９３ 第３弁体作動部
９５ 流量調整装置
９６ 第４弁体
９７ 第４弁体作動部材
１００ 流量調整装置
１０１ 第５弁体
１０２ 第５弁体作動部
１１０ 流量調整装置
１１１ 第５弁体
１１２ 第５弁体作動部

Claims (13)

1. 材料収納容器を加熱して材料を蒸発させる蒸着部と、前記蒸発材料を被蒸着部材に付着させる蒸着部と、前記蒸発材料を蒸発部から蒸着部に導く連通部とを備えた蒸着装置であって、
   前記連通部に設けられた協働調整部と、前記材料収納容器を連通部に嵌合するとともに前記協働調整部に対して接近離間方向に往復移動させる容器進退手段と、前記材料収納容器に設けられて協働調整部に接近または当接し連通部における蒸発材料の流量を調整可能な開度調整部とを備えた流量調整手段を設け、
   前記容器進退手段により材料収納容器を連通部に嵌合されることにより、材料収納容器と連通部とが略気密状態に接続される
   ことを特徴とする蒸着装置。
2. 蒸発用容器内に蒸発部を、蒸着用容器内に蒸着部をそれぞれ独立して設け、
   前記蒸発用容器と蒸着用容器とを接続する接続部材に、少なくとも前記蒸発用容器側に容器進退手段の進退方向に沿いかつ材料収納容器と連通部とが略気密状態に接続される部位を有する連通部を形成した
   ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
3. 協働調整部は、連通部に弁孔を形成する弁孔形成部材により構成され、
   開度調整部は、前記弁孔に接近離間して流路断面積を縮小調整可能な開閉弁部により構成された
   ことを特徴とする請求項１または２記載の蒸着装置。
4. 上下方向に形成された連通部を有し、
   協働調整部は、前記連通部に形成された弁孔部と、前記弁孔部に昇降自在に配置されて自重により閉止する第１弁体とで構成され、
   開度調整部は、前記第１弁体を押し上げて弁孔部を開放可能な第１弁体作動部により構成された
   ことを特徴とする請求項１または２記載の蒸着装置。
5. 横方向に形成された連通部を有し、
   協働調整部は、前記連通部に形成された弁孔部と、付勢部材により弁孔部に押し付けられて弁孔部を閉止する第２弁体とを有し、
   開度調整部は、前記第２弁体を付勢部材に抗して押し戻し弁孔部を開放可能な第２弁体作動部により構成された
   ことを特徴とする請求項１または２記載の蒸着装置。
6. 協働調整部は、連通部に周方向の軸心周りに揺動自在に設けられ非作用時に該連通部を開放状態とする複数の第３弁体により構成され、
   開度調整部は、前記第３弁体を揺動して連通部を開度調整可能な第３弁体作動部により構成された
   ことを特徴とする請求項１または２記載の蒸着装置。
7. 開度調整部は、材料収納容器の開口部に揺動自在に設けられて非作用時に開口部を開放する複数の第４弁体により構成され、
   協働調整部は、第４弁体を揺動して材料収納容器の開口部の開度調整可能な第４弁体作動部により構成された
   ことを特徴とする請求項１または２記載の蒸着装置。
8. 協働調整部は、連通部に直交する軸心周りに回動自在に配置され非作用時に該連通部を略閉止状態とする第５弁体により構成され、
   開度調整部は、第５弁体を開動して連通部を開度調整可能な第５弁体開動部により構成された
   ことを特徴とする請求項１または２記載の蒸着装置。
9. 開度調整部は、材料収納容器の開口部に直交する軸心周りに回動自在に配置され非作用時に該開口部を略閉止状態とする第６弁体により構成され、
   協働調整部は、第６弁体を開動して容器の開口部を開度調整可能な第６弁体作動部で構成された
   ことを特徴とする請求項１または２記載の蒸着装置。
10. 材料収納容器内の蒸着材料を加熱する材料加熱手段を設け、
    容器進退手段による材料収納容器の移動量を検出する進退量検出手段を設け、
    前記進退量検出手段の検出信号に対応して材料加熱手段を制御する蒸着制御部を有する蒸着制御装置を設けた
    ことを特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載の蒸着装置。
11. 蒸着部に被蒸着部材への蒸発材料の付着量を検出する付着量検出手段を設け、
    蒸着制御部は、前記付着量検出手段の検出信号に対応して前記容器進退手段を操作するように構成された
    ことを特徴とする請求項１０記載の蒸着装置。
12. 蒸着制御装置は、材料収納容器の移動量に対応して、連通部に材料収納容器が気密状態で接続される位置と、連通部における蒸発材料の流量と、材料加熱温度とを記憶する記憶部を具備し、
    蒸着制御部は、進退量検出手段の検出信号により前記記憶部のデータに基いて材料加熱手段を制御するように構成された
    ことを特徴とする請求項１０または１１記載の蒸着装置。
13. 材料収納容器内の蒸着材料を冷却する材料冷却手段を設け、
    蒸着制御部は、進退量検出手段の検出信号により記憶部のデータに基いて材料冷却手段を制御するように構成された
    ことを特徴とする請求項１２記載の蒸着装置。

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